半導体圧力センサ 最新の半導体プロセス・マイクロマシニング技術により生み出される半導体式圧力センサは高感度・高精度で、あらゆるユーザーニー ズに適合します。さらにニーズにあわせたカスタム製品にも柔軟に対応できます。 ■特 徴 ・低熱膨張率セラミックパッケージ採用により、高精度・高信頼性 ・小型・低価格 ・面実装が可能なリードレスタイプ ・高感度・低消費電力 ゲージ圧モデル ■外形寸法 ゲージ圧モデル 絶対圧モデル 8.0 6.0 ④ 5 ② NC 2.5 ⑤ NC ⑥ ⑤ 4. φ NC ③ 1.25 Lot No. 2.5 HOKURIKU ① ④ 2.5 ③ ⑥ 2.5 6.0 ② NC 8.0 1.25 ① 絶対圧モデル 5.0 φ3.0 ■仕 1.0 端子配列 端子配列 ① +INPUT ① +INPUT ② -OUTPUT ② +OUTPUT ③ -INPUT ③ -INPUT ④ -INPUT ④ -INPUT ⑤ +OUTPUT ※絶対圧モデルにおける圧力導 ⑤ -OUTPUT ⑥ +INPUT 入ポート付も対応可能です。 ⑥ +INPUT 1.9 1.9 5.5 様 項目 定格 単位 印加圧力 定格圧力の2倍(1000kPa品のみ1.5倍) kPa 駆動電流 1 mA 使用温度範囲 -30∼85 ℃ 保存温度範囲 -40∼100 ℃ 備考 絶対最大定格 定電圧駆動も対応可能です。 使用条件 ±50, ±100, ±500, ±1000 kPa 絶対圧は、-50∼ +10kPaのみとなります。 駆動電流 0.5 mA 定電圧駆動も対応可能です。 圧力媒体 非腐食性気体 測定圧力範囲 圧力の種類 ゲージ圧 or 絶対圧 電気的特性 (Ta=25℃ Icc=0.5mA) オフセット電圧 ±10 mV スパン電圧 ±40∼±100 mV ブリッジ抵抗 7000∼10000 Ω ±0.3(1000kPa品のみ±1.0) %FS FS=O∼測定圧力範囲上限となります。 ±0.7 %FS FS=O∼測定圧力範囲上限となります。 ±5 %FS FS=O∼測定圧力範囲上限となります。 ±2.5 %FS 温度特性については、0∼50℃で規定します。 圧力直線性 圧力ヒステリシス オフセット温度特性 スパン温度特性 ※ FS=O∼測定圧力範囲上限となります。 上記以外も打ち合わせにより対応致します。 ■形番構成 HPD - 50 G (- S01) カスタム仕様の場合弊社仕様に基づく枝番が添付されます。 圧力の種類 :G=ゲージ圧 / A=絶対圧 測定圧力範囲：５０，１００，５００，１０００（ｋＰａ） 形名 HOKURIKU ※改良のため予告なく変更する場合があります