ミニ分光器／セレクションガイド

SOLID
STATE D I V I S I O N
セレクションガイド
2013.7
ミニ分光器
MINI-SPECTROMETER
浜松ホトニクス製イメージセンサ・光学素子・駆動回路をコンパクトにまとめた小型分光器
浜松ホトニクスのミニ分光器は、
グレーティングなどの光学
素子・イメージセンサ・駆動回路をコンパクトにまとめたポ
リクロメータです。測定光を光ファイバ経由で入光し、分光
結果をUSB接続でPCに取り込むことにより、分光スペクト
ルを収集することができます。
高性能の分光分析器は、化学分析など幅広い分野で利用さ
れていますが、一般にそれらは大型で高価であり、その上、
分析器の設置された室内に測定対象を持ち込む必要があ
りました。
浜松ホトニクスは、長年にわたって培った独自のイメージセ
ンサ技術と、ホログラフィック加工などのMEMS技術を融
合し、小型で低価格のミニ分光器を開発しました。
ミニ分光器は、化学分析、色測定、環境計測、生産ラインに
おけるプロセスコントロールなどの幅広い測定に応用でき
ます。また、モバイル測定機器へ の組み込みを想定した
OEMモデルも用意しています。
Contents
イメージセンサ技術
1 セレクションガイド
2
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
3
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
5
ミニ分光器のラインアップ
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
7
２-１. 紫外∼近赤外域用 [TMシリーズ]
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
7
高感度タイプ C10082CA, C10083CA 高分解能タイプ C10082CAH, C10083CAH
２-２. 紫外∼近赤外域用 [TMシリーズ] C10082MD, C10083MD ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 9
トリガ対応 C11697MA ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 11
２-3. 可視∼近赤外域用 [TMシリーズ] ・
・
・
２-4. 紫外・近赤外域用 [TGシリーズ] ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 13
高感度タイプ C9404CA, C9405CB 高分解能タイプ C9404CAH
２-5. 高分解能タイプ [TGシリーズ] C11713CA, C11714CA ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
２-6. 近赤外域 (NIR)用 [TGシリーズ] C11482GA, C9913GC, C9914GB ・・・・・
２-7. 近赤外域 (∼2.55 m)用 [TGシリーズ] C11118GA ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
２-8. 超小型タイプ [MSシリーズ] 機器組み込み用 C10988MA-01, C11708MA ・・・・・
２-9. 小型・低価格タイプ [RCシリーズ] C11007MA, C11008MA, ・・・・・・・・・・・・・・・・・・
機器組み込み用 C11009MA, 機器組み込み用 C11010MA
1
3
構成
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
15
17
19
21
23
26
ミニ分光器をささえるMOEMS* 技術
MEMS 技術
ミニ分光器 (TM/TGシリーズ)の波長分
散素子として、ホログラフィック加工による
透過型グレーティング (石英)を採用してい
ます。ホログラフィック加工は、量産性にお
いて優れた技術で、
レプリカでなく直接母
体に加工できるため高精度な分光が可能
となり、測定のスループットが向上します。
また、迷光のレベルが抑えられ、低ノイズ
で高い回折効率が得られます。
入射スリット
透過型
グレーティング
コリメート
ミラー
特長
グレーティングのSEM写真
量産性に優れた技術
迷光レベルが低い
■ 高い回折効率
■
■
イメージセンサ技術
イメージ
センサ
ミニ分光器の心臓部となる検出器には、分
フォーカス
ミラー
析・計測業界で長年実績のある浜松ホトニ
KACCC0287JA
クス製イメージセンサを使用しています。
特長
裏面入射型CCDイメージセンサ
CMOSリニアイメージセンサ
■ InGaAsリニアイメージセンサ
■
■
ミニ分光器に内蔵されたイメージセンサ
* Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems
4
特 性
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
27
27
４-１. 波長分解能
４-２. 迷 光 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 29
４-３. 感 度 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 30
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
5
動作モード
6
評価用ソフトウェア
7
測定例
8
関連製品
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
31
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
33
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
35
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
37
８-１. 入力用光ファイバ A9762-01, A9763-01
８-２. 外部トリガ用同軸ケーブル A10670 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
８-３. 小型 紫外−可視 (UV-VIS)S2D2ファイバ光源 L10671 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
８-４. 高出力紫外−可視 (UV-VIS)ファイバ光源 L10290 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
８-５. 小型5 Wキセノンフラッシュランプモジュール L9455-11/-12/-13, L11035-11/-12/-13 (SMAファイバアダプタタイプ)
８-6. 2 Wキセノンフラッシュランプモジュール L12236シリーズ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
37
37
37
37
37
38
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
2
イメージセンサ技術
ミニ分光器に内蔵された浜松ホトニクス製イメージセンサ
ミニ分光器
内蔵イメージセンサ
C10082CA, C10082CAH
裏面入射型CCDイメージセンサ
S10420-1106-01
C10082MD, C10083MD
CMOSリニアイメージセンサ
S8378-1024Q
C11697MA
アンプアレイ付 CMOSイメージセンサ
-
C9404CA, C9404CAH
裏面入射型CCDイメージセンサ
S10420-1006-01
C9405CB
赤外高感度裏面入射型CCDイメージセンサ
C10083CA, C10083CAH
C11713CA
S11510-1006
S10420-1106-01
裏面入射型CCDイメージセンサ
C11714CA
S10420-1006-01
C11482GA
非冷却型
G9204-512D
C9913GC
電子冷却型
G9204-512S
InGaAsリニアイメージセンサ
C9914GB
C11118GA
長波長タイプ (最大感度波長 1.95 m)、電子冷却型
-
長波長タイプ (最大感度波長 2.3 m)、電子冷却型
G9208-256W
C11007MA, C11009MA
CMOSリニアイメージセンサ
C11008MA, C11010MA
赤外高感度CMOSリニアイメージセンサ
-
C10988MA-01, C11708MA
CMOSリニアイメージセンサ
-
S8378-256N
裏面入射型CCDイメージセンサ
ミニ分光器 C9404CA・C9405CB・C10082CAなどには、ミニ分光器用に専用設計し
た弊社製の裏面入射型CCDイメージセンサを搭載しています。裏面入射型CCDイメージセ
ンサは、紫外域での量子効率が高いことに加えて、紫外線に対して優れた安定性をもってい
ます。またMPP動作により低暗電流を実現している上、残像がありません。このため裏面入
射型CCDイメージセンサ内蔵タイプのミニ分光器は、蛍光測定などの微弱光領域での計測
に適しています。また赤外高感度裏面入射型CCDイメージセンサは、近赤外域で高感度を
実現しています。
S10420-1106-01
特長
(Typ. Ta=25 ˚C)
①弊社独自のプロセス技術により高いCCD変換効率（6.5 μV/e- ）を実現
②高い飽和電荷量、広いダイナミックレンジ、
アンチブルーミング機能付き
項目
③広い波長範囲で高感度、
フラットに近い分光感度特性
画素サイズ (H × V)
④分解能、迷光特性を考慮し、画素サイズと画素数を最適化
有効画素数
(Typ. Ta=25 ˚C)
100
nm
垂直クロック
読み出しノイズ
垂 直
水 平
ダイナミックレンジ
アンチブルーミング
窓材
量子効率 (%)
飽和電荷量
60
40
S10420-01シリーズ
搭載したミニ分光器
20
0
200
400
600
800
1000
1200
波長 (nm)
KMPDB0265JB
3
m
感度波長範囲
暗電流（MPPモード）
80
単位
画素
CCD変換効率
S11510-1006
14 × 14
1024 × 64 2048 × 64 1024 × 64
受光面サイズ (H × V) 14.336 × 0.896 28.672 × 0.896 14.336 × 0.896
水平クロック
分光感度特性
S10420-1006-01 S10420-1106-01 S11510-1006
200∼1100
4相
2相
6.5
50
6
60
300
50000
あり
石英
C10082CA
C9404CA C10082CAH
C9404CAH C10083CA
C11713CA C10083CAH
C11714CA
mm
V/ee-/pixel/s
e- rms
keke-
C9405CB
-
CMOSリニアイメージセンサ
CMOSリニアイメージセンサは、高性能チャージアンプをオンチップで形成することによって、
優れた直線性を実現し、紫外から近赤外域において高感度で低ノイズとなっています。裏面
入射型CCDイメージセンサと比較すると、取り扱う電荷量が大きいため、光量の強い環境下
での使用に適しています。そのため、CMOSリニアイメージセンサ内蔵のミニ分光器は、光
源のスペクトル計測や吸光度測定などの比較的大光量の分光計測に適しています。
S8378-1024Q
分光感度特性 (代表例)
(Typ. Ta=25 ˚C)
(Typ. Ta=25 ˚C)
100
項目
画素サイズ (H × V)
画素ピッチ
80
相対感度 (%)
nm
nm
暗電流
0.04
pA
6.3
pC
Highゲイン
0.5
Lowゲイン
2.5
1000
pF
Highゲイン
0.9
2.1
Lowゲイン
0.2
0.4
mV rms
非冷却
冷却
800
画素
500
読み出し雑音
600
1024
最大感度波長
20
400
m
200 ∼ 1000
チャージアンプ
帰還容量 *1
0
200
m
25
感度波長範囲
飽和電荷量
40
単位
25 × 500
256
画素数
60
S8378-1024Q
S8378-256N
−
*1: Vg=0 V (Highゲイン), Vg=5 V (Lowゲイン)
波長 (nm)
KMPDB0213JB
InGaAsリニアイメージセンサ
InGaAsリニアイメージセンサは、内蔵されたCMOSチャージアンプアレイによって電荷を蓄
積し出力信号を大きくすることができ、
近赤外域の微弱光の検出に適しています。C9913GC・
C9914GB・C11118GAには電子冷却型InGaAsリニアイメージセンサを使用しており、
低ノイズを特長としています。C11118GAには長波長タイプのInGaAsリニアイメージセン
サG9208-256Wを使用しており、2.55 mまでの長波長光を測定することが可能です。
G9204-512D
分光感度特性
(Typ.)
1.4
C9914GB
内蔵センサ
1.2
項目
画素サイズ (H × V)
G9208-256W
長波長タイプ
(電子冷却型)
1.0
受光感度 (A/W)
(Typ. Ta=25 ˚C)
25 × 500
画素ピッチ
G9204-512D
(常温型)
50
m
512
256
256
画素
最大感度波長
1550
1950
2300
nm
飽和電荷量 *2
30
30
30
pC
180
180
180
V rms
(読み出し雑音)
冷却
0.2
0
0.8
G9204-512S
(電子冷却型)
1.0
1.2
1.4
1.6
m
50
RMS雑音電圧 *3
0.4
50 × 250 50 × 250
単位
25
画素数
0.8
0.6
C9914GB
G9204-512D G9204-512S
G9208-256W
内蔵センサ
非冷却
1段電子冷却 2段電子冷却 2段電子冷却
−
*2: Vφ=5 V, CE=16 nV/e-, Vp=5 V
*3: 標準偏差, 積算回数: 50
1.8
波長 ( m)
2.0
2.2
2.4
2.6
KMIRB0037JC
4
1. セレクションガイド
型名
C10083CAH
高分解能
1000
1200
1400
1600
1800
2000
2200
2400
2600
6
200 ∼ 800
1 (typ.)
6
広ダイナミックレンジ
TM-VIS/NIR-CCD
8
(波長 320∼900 nm)
高感度
TM-VIS/NIR-CCD
1 (typ.)
(波長 320∼900 nm)
320 ∼ 1000
TM-VIS/NIR-MOS
8
広ダイナミックレンジ
TM-VIS/NIR-MOS-II
8
トリガ対応
TG-UV-CCD
C9404CA
C11713CA
800
高分解能
C11697MA
C9405CB
600
TM-UV/VIS-MOS
T
M
シ
リ
ー
ズ
C10083MD
C9404CAH
400
高感度
TM-UV/VIS-CCD
C10082CAH
C10083CA
200
TM-UV/VIS-CCD
C10082CA
C10082MD
波長分解能
max. (nm)
感度波長範囲 (nm)
タイプ
3
高感度
200 ∼ 400
TG-UV-CCD
T
G
シ
リ
ー
ズ
1 (typ.)
高分解能
TG-SWNIR-CCD-II
高感度
TG-RAMAN-I
高分解能
500 ∼ 1100
5
(波長 550∼900 nm)
500 ∼ 600
0.3 (typ.)
TG-RAMAN-II
C11714CA
790 ∼ 920
高分解能
0.3 (typ.)
TG2-NIR
C11482GA
C9913GC
C9914GB
T
G
シ
リ
ー
ズ
C11708MA
7
TG-cooled NIR-II
9
340 ∼ 780
RC-SWNIR-MOS
640 ∼ 1050
分光器モジュール
RC-VIS-MOS
8
9
340 ∼ 780
分光器ヘッド
RC-SWNIR-MOS
640 ∼ 1050
分光器ヘッド
M
S
シ
リ
ー
ズ
20
900 ∼ 2550
RC-VIS-MOS
R
C
シ
リ
ー
ズ
8
1100 ∼ 2200
低雑音 (冷却型)
分光器モジュール
C11010MA
C10988MA-01
TG-cooled NIR-I
低雑音 (冷却型)
低雑音 (冷却型)
C11007MA
C11009MA
900 ∼ 1700
TG-cooled NIR-Ⅲ
C11118GA
C11008MA
7
非冷却型
MS-VIS-MOS
8
14
340 ∼ 750
分光器ヘッド
MS-SWNIR-MOS
20
640 ∼ 1050
分光器ヘッド
*2: ○印は欧州におけるEMC指令 (適合規格: EN 61326-1: 2006 Group 1 Class B)に準拠しています。
◎印は欧州におけるEMC指令 (適合規格: EN 61326-1: 2006 Group 1 Class B)、低電圧指令 (適合規格: EN 61010-1: 2010)に準拠しています。
裏面入射型CCD内蔵／CMOS内蔵タイプの比較
CCDタイプ
製品
特長
5
CMOSタイプ
C9404CA, C9405CB
C10082CA, C10083CA
C9404CAH
C10082CAH, C10083CAH
C11713CA, C11714CA
高感度、微弱光の分光計測
に適している(蛍光計測など)
高分解能
C10082MD, C10083MD, C11697MA
光量の大きい環境下での使用に適している
(光源のスペクトル計測、吸光度測定など)
内蔵イメージセンサ 画素数
蓄積時間
(ms)
A/D変換
CE *2
外部トリガ
インター
外部電源
(参照ページ) マーキング
フェース
掲載
ページ
特徴
●高感度
裏面入射型CCD
イメージセンサ
10 ∼ 10000
2048
16ビット
CMOSリニア
イメージセンサ
1024
裏面入射型CCD
イメージセンサ
USB 1.1
16ビット
CMOSリニア
イメージセンサ
1024
アンプアレイ付CMOS
イメージセンサ
1024
+5 V
4 s∼
100000 s
◎
P.7
● 光量の大きい環境下での使用に適している
(光源のスペクトル計測、吸光度測定など)
P.9
●微弱光の分光計測(蛍光計測など)
P.7
に適している
●C10083CAH: 高分解能1 nm
○
USB 2.0
に適している
●高感度
USB 1.1
5 ∼ 10000
16ビット
○
○
(P31)
10 ∼ 10000
●微弱光の分光計測(蛍光計測など) ●C10082CAH: 高分解能1 nm
-
5 ∼ 10000
2048
◎
+5 V
-
○
(P32)
+5 V
○
(P31)
◎
●光量の大きい環境下での使用に適している
(光源のスペクトル計測、吸光度測定など)
●トリガ機能付
●パルス発光による分光計測に適している
P.9
P.11
●高感度
裏面入射型CCD
イメージセンサ
1024
16ビット
10 ∼ 10000
USB 1.1
◎
●微弱光の分光計測(蛍光計測など)
P.13
に適している
●C9404CAH: 高分解能1 nm
赤外高感度
裏面入射型CCD
イメージセンサ
1024
16ビット
10 ∼ 10000
USB 1.1
+5 V
○
(P31)
16ビット
10 ∼ 10000
USB 1.1
+5 V
○
(P31)
2048
裏面入射型CCD
イメージセンサ
1024
6 s∼
10000 ms
USB 2.0
-
◎
◎
○
(P32)
-
USB 1.1
○
+5 V/+12 V
6 s∼
40000 s
USB 2.0
○
(P32)
P.15
●ラマン分光測定に適している
●C9914GB: 2.2 mまで感度波長
P.17
範囲を拡大
●2.55 mまで感度波長範囲を拡大
CMOSリニア
イメージセンサ
赤外高感度
CMOSリニア
イメージセンサ
●高感度
●低ノイズの冷却型を用意
5 ∼ 1000
256
P.13
●NIR (近赤外域)用
5 ∼ 10000
16ビット
●微弱光の分光計測(蛍光計測など)に適している
●高分解能: 0.3 nm
-
512
InGaAsリニア
イメージセンサ
●近赤外高感度
●小型
P.19
256
16ビット
5 ∼ 10000
USB 1.1
-
-
○
256
-
-
-
-
-
-
●機器組み込み用
P.23
256
-
-
-
-
-
-
●親指サイズ
●スリット入力
P.21
P.23
●低価格
CMOSリニア
イメージセンサ
赤外高感度
CMOSリニア
イメージセンサ
CMOSリニア
イメージセンサ
ミニ分光器の出力比較
測定可能な光ファイバ入射強度
(Typ. Ta=25 ˚C)
101
C10083CA (スリット幅 70 m, NA 0.22)
C10082CA (スリット幅 70 m, NA 0.22)
C10083CAH (スリット幅 10 m, NA 0.11)
C10082CAH (スリット幅 10 m, NA 0.11)
C10083MD
C10082MD
100
相対感度 *
10-1
10-2
* 光ファイバに入射する光量が一定の場合のA/D
カウント値 (ファイバコア径: 600 m、光ファイバに
よる減衰はないものとする)
10-3
KACCB0133JE
C10082CA (CCDタイプ)
C10082MD (CMOSタイプ)
10-14
10-12
10-10
10-8
10-6
入射強度 * (W)
10-4
10-5
200
* ファイバコア径: 600 m
光ファイバによる減衰はないものとする。
300
400
500
600
700
800
900
1000
KACCB0146JC
波長 (nm)
6
2. ミニ分光器のラインアップ
2-1. 紫外∼近赤外域用
TG-UV-CCD
[TMシリーズ]
C9404CA, C9404CAH
TG-RAMAN-I
C11713CA
TG-RAMAN-II
C10082CA, C10083CA
高分解能タイプ C10082CAH, C10083CAH
高感度タイプ
C11714CA
TM-UV/VIS-CCD
C10082CA, C10082CAH
TM-UV/VIS-MOS
C10082MD
TM-VIS/NIR-CCD
C10083CA, C10083CAH
TM-VIS/NIR-MOS
C10083MD
TM-VIS/NIR-MOS-II C11697MA
検 出 器に裏 面 入 射 型 C C Dイメージセンサを 採 用した 高 感 度タイプで す。
TG-SWNIR-CCD-II C9405CB
CMOSリニアイメージセンサを内蔵したタイプと比べ感度が約2桁高く、蛍光計
TG2-NIR
測などの微弱光領域の測定に適しています。C10082CAH、C10083CAH
C11482GA
TG-cooled NIR-I
は高分解能タイプで、波長分解能1 nmを実現しています。
C9913GC
TG-cooled NIR-II
C9914GB
TG-cooled NIR-III
200
400
600
800
C11118GA
1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
波長 (nm)
KACCB0161JD
内蔵のCCDイメージセンサ
S10420-1106-01
特 長
応用例
● 裏面入射型CCDイメージセンサを採用:
CMOS内蔵タイプに比べ感度が2桁向上
● 蛍光計測などの微弱光計測
● 半導体プロセスコントロール
● 高分解能 : 1 nm (C10082CAH, C10083CAH)
● スリット幅とNAの選択により波長分解能の変更が可能
● 光源 (LEDなど)の特性評価
● 石英製透過型グレーティングの採用による高スループット
● 機器への組み込みも可能
● 波長変換係数*1を内蔵メモリに記録
● 外部トリガ入力対応*2
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
*2: 外部トリガ用同軸ケーブルは別売。
7
■
光学的特性
TM-UV/VIS-CCD
項目
C10082CA
感度波長範囲
波長分解能
TM-VIS/NIR-CCD
C10082CAH
C10083CA
200 ∼ 800
(半値幅)*3
320 ∼ 1000
8*4 max.
1 typ.
6 max.
単位
C10083CAH
波長再現性*5
nm
1*4 typ.
nm
-0.2 ∼ +0.2
nm
-0.04 ∼ +0.04
波長温度依存性
輝線迷光*3 *6
nm/˚C
-33 max.
dB
-30 max.
*3:「■ 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*4: λ＝320∼900 nm
*5: 入光条件などが一定の場合
*6: 以下の波長を入力したときの測定されるカウントと、その波長の±40 nmで測定されるカウントの比
C10082CA, C10082CAH: 500 nm, C10083CA, C10083CAH: 650 nm
■
電気的特性
項目
C10082CA
C10082CAH
C10083CA
C10083CAH
単位
A/D変換
16
ビット
蓄積時間
10∼10000
ms
インターフェース
USB 1.1
-
USBバスパワー消費電流
100 max.
mA
5
V
駆動用外部電源
■
構成／絶対最大定格
項目
C10082CA
C10082CAH
外形寸法 (W × D × H)
C10083CAH
単位
95 × 92 × 76
mm
685
g
裏面入射型CCDイメージセンサ (S10420-1106-01)
-
質量
イメージセンサ
C10083CA
画素数
画素
2048
スリット*7 (H × V)
70 × 800
10 × 1000
70 × 800
10 × 1000
0.22
0.11
0.22
0.11
8
NA*
m
-
SMA905D
-
動作温度*9
+5 ∼ +40
˚C
保存温度*9
-20 ∼ +70
˚C
光ファイバ用コネクタ
*7: 入射開口部の大きさ
*8: 開口数 (立体角)
*9: 結露なきこと
ミニ分光器の出力比較 (CMOSタイプとの比較)
C10082CA
C10082CAH
C10082MD
C10083CA (スリット幅 70
C10082CA (スリット幅 70
C10083CAH (スリット幅 10
C10082CAH (スリット幅 10
C10083CA
C10083CAH
C10083MD
(Typ. Ta=25 ˚C)
101
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.5)
波長分解能
m, NA 0.22)
m, NA 0.22)
m, NA 0.11)
m, NA 0.11)
+2.0
95 0
17 ± 0.2
(Typ. Ta=25 ˚C)
8.0
-3
10
5.0
92 0
17
波長分解能 (nm)
10-2
40 ± 0.2
6.0
10-1
+2.0
7.0
100
相対感度 *
31
裏面より
(2 ×) M3タップ 深さ5
4.0
3.0
2.0
76
-4
10
1.0
-5
10
200
300
400
500
600
700
800
900
1000
波長 (nm)
0.0
200
300
400
500
600
700
800
900
1000
波長 (nm)
* ファイバに入射する光量が一定の場合のA/Dカウント値
(ファイバコア径: 600 m、
光ファイバによる減衰はないものとする)
KACCB0168JC
質量: 685 g
KACCA0188JF
KACCB0169JC
注) C10082CA/C10083CAシリーズでは、スリット幅およびNAを選択することで波長分解能を変更することができます。
製品ラインアップについてはP.30を参照してください。
8
2-2. 紫外∼近赤外域用
TG-UV-CCD
[TMシリーズ]
C9404CA, C9404CAH
TG-RAMAN-I
C11713CA
TG-RAMAN-II
C10082MD, C10083MD
C11714CA
TM-UV/VIS-CCD
C10082CA, C10082CAH
TM-UV/VIS-MOS
C10082MD
TM-VIS/NIR-CCD
検出器にCMOSリニアイメージセンサを採用したタイプです。吸光度測定や
C10083CA, C10083CAH
光源のスペクトル評価など比較的光量の多い場合の分光計測に適しています。
TM-VIS/NIR-MOS
C10083MD
TM-VIS/NIR-MOS-II C11697MA
TG-SWNIR-CCD-II C9405CB
TG2-NIR
C11482GA
TG-cooled NIR-I
C9913GC
TG-cooled NIR-II
C9914GB
TG-cooled NIR-III
200
400
600
800
C11118GA
1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
波長 (nm)
KACCB0162JD
内蔵のCMOSリニア
イメージセンサ
S8378-1024Q
特 長
応用例
● 石英製透過型グレーティングの採用による
高スループット
● 光源 (LEDなど)の特性評価
● 高精度な光学特性
● 溶液や固体試料の透過率、吸光度の測定
● 太陽光・照明光の分析
● 外部電源不要: USBバスパワー使用
● 広い感度波長範囲
● 機器への組み込みも可能
● 波長変換係数*1を内蔵メモリに記録
● 外部トリガ入力対応*2
9
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
*2: 外部トリガ用同軸ケーブルは別売。
2. ミニ分光器のラインアップ
■
光学的特性
項目
感度波長範囲
波長分解能 (半値幅)*
3
TM-UV/VIS-MOS
TM-VIS/NIR-MOS
C10082MD
C10083MD
200 ∼ 800
320 ∼ 1000
nm
8 max.
nm
6 max.
波長再現性*4
単位
nm
-0.2 ∼ +0.2
波長温度依存性
nm/˚C
-0.04 ∼ +0.04
輝線迷光*3 *5
-35 max.
-33 max.
dB
C10083MD
単位
*3:「■ 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*4: 入光条件などが一定の場合
*5: 以下の波長を入力したときの測定されるカウントと、その波長の±40 nmで測定されるカウントの比
C10082MD: 500 nm, C10083MD: 650 nm
■
電気的特性
項目
C10082MD
A/D変換
16
ビット
蓄積時間
5∼10000
ms
インターフェース
USB 1.1
-
USBバスパワー消費電流
100 max.
mA
■
構成／絶対最大定格
項目
C10082MD
外形寸法 (W × D × H)
C10083MD
mm
470
g
質量
イメージセンサ
単位
94 × 90 × 55
CMOSリニアイメージセンサ (S8378-1024Q)
-
1024
画素
画素数
スリット*6 (H × V)
70 × 800
NA*7
m
-
0.22
光ファイバ用コネクタ
SMA905D
-
動作温度*8
+5 ∼ +40
˚C
保存温度*8
-20 ∼ +70
˚C
*6: 入射開口部の大きさ
*7: 開口数 (立体角)
*8: 結露なきこと
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.5)
測定可能な光ファイバ入射強度
94
17 ± 0.2
30.5
裏面より
(2 ×) M3タップ 深さ5
15.5
C10082MD (CMOSタイプ)
90
40 ± 0.2
C10082CA (CCDタイプ)
10-12
10-10
10-8
10-6
入射強度 * (W)
55
10-14
* ファイバコア径: 600 m
光ファイバによる減衰はないものとする。
KACCB0146JC
質量: 470 g
KACCA0171JD
10
2-3. 可視∼近赤外域用
TG-UV-CCD
[TMシリーズ]
C9404CA, C9404CAH
TG-RAMAN-I
C11713CA
TG-RAMAN-II
トリガ対応
C11697MA
C11714CA
TM-UV/VIS-CCD
C10082CA, C10082CAH
TM-UV/VIS-MOS
C10082MD
TM-VIS/NIR-CCD
既存製品のC10083MDの光学系プラットフォームに新規開発したアンプア
C10083CA, C10083CAH
レイ付CMOSイメージセンサを搭載したタイプです。短時間蓄積にも対応し
TM-VIS/NIR-MOS
C10083MD
TM-VIS/NIR-MOS-II C11697MA
たトリガ機能の追加により、パルス発光の分光計測が可能となりました。読
TG-SWNIR-CCD-II C9405CB
み出し時間が大幅に短縮され、工業用ラインにおけるLED検査などに適して
TG2-NIR
います。
C11482GA
TG-cooled NIR-I
C9913GC
TG-cooled NIR-II
C9914GB
TG-cooled NIR-III
200
400
600
800
C11118GA
1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
波長 (nm)
KACCB0227JB
内蔵のアンプアレイ付CMOS
イメージセンサ
特 長
応用例
● トリガ機能付き (詳細はP.34を参照)
● LED検査ラインにおける品質確認
● 高速読み出し (約2 ms)
● パルス発光計測
● 同時電荷蓄積タイプ
● 高感度 (既存製品C10083MD比)
● 波長変換係数*1を内蔵メモリに記録
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
11
2. ミニ分光器のラインアップ
■
光学的特性
TM-VIS/NIR-MOS-II
項目
感度波長範囲
波長分解能 (半値幅)*
単位
C11697MA
2
nm
8 max.
nm
-0.2 ∼ +0.2
nm
-0.04 ∼ +0.04
nm/˚C
-33 max.
dB
波長再現性*3
波長温度依存性
320 ∼ 1000
輝線迷光*2 *4
*2:「■ 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*3: 入光条件などが一定の場合
*4: 650 nmの光を入力したときの測定されるカウントと、その波長の±40 nmで測定されるカウントの比
■
電気的特性
項目
C11697MA
単位
A/D変換
16
ビット
蓄積時間
4∼100000
s
インターフェース
USB 2.0
-
USBバスパワー消費電流
250 max.
mA
■
構成／絶対最大定格
項目
外形寸法 (W × D × H)
質量
イメージセンサ
単位
mm
470
g
アンプアレイ付CMOSイメージセンサ
-
1024
画素
画素数
スリット*5 (H
C11697MA
94 × 90 × 55
× V)
70 × 800
NA*6
m
-
0.22
光ファイバ用コネクタ
SMA905D
-
動作温度*7
+5 ∼ +40
˚C
保存温度*7
-20 ∼ +70
˚C
*5: 入射開口部の大きさ
*6: 開口数 (立体角)
*7: 結露なきこと
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.5)
トリガ機能
94
トリガ信号により、センサ動作 (蓄積)を開始し、デジタルデータを
取得します*8。
17 ± 0.2
30.5
15.5
40 ± 0.2
外部トリガ端子に入力した外部トリガのエッジ (立ち上がり／立ち
下がりは設定可能)によりセンサ動作 (蓄積)を開始し、デジタルデー
タを取得します。
90
裏面より
(2 ×) M3タップ 深さ5
外部トリガ入力時のデータ計測 (同期)
トリガ入力
(立ち下がりエッジの場合)
計測周期
55
電荷蓄積
電荷読み出し
(A/D変換)
デジタルデータ
KACCC0569JA
質量: 470 g
KACCA0171JD
*8: トリガ機能の一例。詳細はP.34を参照
12
2-4. 紫外・近赤外域用
TG-UV-CCD
[TGシリーズ]
C9404CA, C9404CAH
TG-RAMAN-I
C11713CA
TG-RAMAN-II
C9404CA, C9405CB
高分解能タイプ C9404CAH
高感度タイプ
C11714CA
TM-UV/VIS-CCD
C10082CA, C10082CAH
TM-UV/VIS-MOS
C10082MD
TM-VIS/NIR-CCD
C10083CA, C10083CAH
TM-VIS/NIR-MOS
C10083MD
TM-VIS/NIR-MOS-II C11697MA
検出器に裏面入射型CCDイメージセンサを採用した高感度タイプです。
TG-SWNIR-CCD-II C9405CB
C9404CAは、UV専用タイプです (感度波長範囲 200∼400 nm)。
TG2-NIR
C9405CBの感度波長範囲は500∼1100 nmです。C9404CAHは、
C11482GA
TG-cooled NIR-I
波長分解能1 nmを実現した高分解能タイプです。
C9913GC
TG-cooled NIR-II
C9914GB
TG-cooled NIR-III
200
400
600
800
C11118GA
1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
波長 (nm)
KACCB0163JD
内蔵のCCDイメージセンサ
内蔵のCCDイメージセンサ
S10420-1006-01
S11510-1006
特 長
応用例
● 裏面入射型CCDイメージセンサを採用:
CMOS内蔵タイプに比べ感度が2桁向上
(C9404CA, C9404CAH)
C9404CA, C9404CAH (TG-UV-CCD)
● 近赤外で高感度 (C9405CB)
● UV光源のスペクトル評価
● 蛍光計測などの微弱光計測
● 高分解能: 1 nm (C9404CAH)
● 石英製透過型グレーティングの採用による
高スループット
C9405CB (TG-SWNIR-CCD-II)
● 食品類の糖度・酸度検出
● 高精度な光学特性
● 波長変換係数*1を内蔵メモリに記録
● 外部トリガ入力対応*2
● プラスチック選別
● 膜厚計
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
*2: 外部トリガ用同軸ケーブルは別売。
13
2. ミニ分光器のラインアップ
■
光学的特性
TG-UV-CCD
項目
C9404CA
感度波長範囲
TG-SWNIR-CCD-II
C9404CAH
200 ∼ 400
波長分解能 (半値幅)*3
500 ∼ 1100
3 max.
波長再現性*4
nm
[550 ∼ 900 nm]
-0.1 ∼ +0.1
輝線迷光*3 *5
nm
5 max.
1 typ.
波長温度依存性
単位
C9405CB
-0.2 ∼ +0.2
nm
-0.02 ∼ +0.02
nm/˚C
-35 max.
dB
*3:「■ 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*4: 入光条件などが一定の場合
*5: 以下の波長を入力したときの測定されるカウントと、その波長の±20 nm (C9404CA, C9404CAH)、±40 nm (C9405CB)で測定されるカウントの比
C9404CA・C9404CAH: 300 nm, C9405CB: 800 nm
感度波長範囲の上限
注) C9405CBは、 >2のため、構造上、高次光が発生します。この高次光を除去するために、お客様にて必要に応じて
感度波長範囲の下限
ロングパスフィルタと組み合わせて使用してください。
■
電気的特性
項目
C9404CA
C9404CAH
C9405CB
単位
A/D変換
16
ビット
蓄積時間
10∼10000
ms
インターフェース
USB 1.1
-
USBバスパワー消費電流
150 max.
mA
5
V
駆動用外部電源
■
構成／絶対最大定格
項目
C9404CA
C9404CAH
外形寸法 (W × D × H)
C9405CB
単位
125.7 × 115.7 × 75
質量
mm
670
イメージセンサ
g
裏面入射型CCDイメージセンサ (S10420-1006-01)
赤外高感度裏面入射型
CCDイメージセンサ
(S11510-1006)
-
1024
画素数
スリット* (H × V)
140 × 500
6
NA*7
画素
70 × 800
10 × 1000
0.11
m
-
0.22
光ファイバ用コネクタ
SMA905D
-
動作温度*8
+5 ∼ +40
˚C
保存温度*8
-20 ∼ +70
˚C
*6: 入射開口部の大きさ
*7: 開口数 (立体角)
*8: 結露なきこと
(Typ. Ta=25 ˚C)
100
125.7
35
C9405CB
500∼1100 nm
6
10-2
-3
10
200 300 400 500 600 700
800 900 1000 1100
裏面より
(2 ×) M3タップ 深さ5
C9405CB
(スリット幅 70 m, NA 0.22)
4
45 ± 0.2
C9404CAH
200∼400 nm
5
3
2
C9404CA
(スリット幅 140 m, NA 0.11)
1
C9404CAH
(スリット幅 10 m, NA 0.11)
20 ± 0.2
20
波長分解能 (nm)
-1
相対感度 *
10
(Typ. Ta=25 ˚C)
7
0
200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100
75.0
C9404CA
200∼400 nm
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.5)
波長分解能
115.7
ミニ分光器の出力比較
波長 (nm)
波長 (nm)
* ファイバに入射する光量が一定の場合のA/Dカウント値
(ファイバコア径: 600 m、光ファイバによる減衰はないものとする)
質量: 670 g
KACCA0202JC
KACCB0292JA
KACCB0291JA
14
2-5. 高分解能タイプ
TG-UV-CCD
[TGシリーズ]
C9404CA, C9404CAH
TG-RAMAN-I
C11713CA
TG-RAMAN-II
C11713CA, C11714CA
C11714CA
TM-UV/VIS-CCD
C10082CA, C10082CAH
TM-UV/VIS-MOS
C10082MD
TM-VIS/NIR-CCD
検出器にエタロニング特性を改善した当社独自の裏面入射型CCDイメージセ
C10083CA, C10083CAH
ンサを採用し、高効率で安定した測定が可能です。
TM-VIS/NIR-MOS
C10083MD
TM-VIS/NIR-MOS-II C11697MA
C11713CAは500∼600 nm、C11714CAは790∼920 nmに感度波
TG-SWNIR-CCD-II C9405CB
長範囲をもち、0.3 nmの波長分解能を実現しています。
TG2-NIR
C11482GA
TG-cooled NIR-I
C9913GC
TG-cooled NIR-II
C9914GB
TG-cooled NIR-III
200
400
600
800
C11118GA
1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
波長 (nm)
KACCB0228JB
内蔵のCCDイメージセンサ
内蔵のCCDイメージセンサ
S10420-1106-01
S10420-1006-01
特 長
応用例
● 高精度な光学特性: 波長分解能 0.3 nm
● ラマン分光測定
● 小型サイズ: 機器への組み込みも可能
● 石英製透過型グレーティングの採用による
高スループット
● エタロニング特性を改善した裏面入射型
CCDイメージセンサを採用
● 波長変換係数*1を内蔵メモリに記録
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
15
2. ミニ分光器のラインアップ
■
光学的特性
項目
感度波長範囲
TG-RAMAN-I
TG-RAMAN-II
C11713CA
C11714CA
500 ∼ 600
790 ∼ 920
波長分解能 (半値幅)*2
単位
nm
0.3 typ., 0.5 max.
nm
-0.1 ∼ +0.1
nm
-0.04 ∼ +0.04
nm/˚C
-30 max.
dB
波長再現性*3
波長温度依存性
輝線迷光*2 *4
*2:「■ 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*3: 入光条件などが一定の場合
*4: 以下の波長を入力したときの測定されるカウントと、その波長の±10 nmで測定されるカウントの比
C11713CA: 550 nm, C11714CA: 860 nm
■
電気的特性
項目
C11713CA
単位
C11714CA
A/D変換
16
ビット
蓄積時間
10∼10000
ms
インターフェース
USB 1.1
-
USBバスパワー消費電流
150 max.
mA
5
V
0.8 max.
A
駆動用外部電源
外部電源消費電流
■
構成／絶対最大定格
項目
C11713CA
C11714CA
外形寸法 (W × D × H)
mm
592
g
質量
裏面入射型CCDイメージセンサ
(S10420-1106-01)
イメージセンサ
画素数
スリット*5 (H
単位
120 × 70 × 60
裏面入射型CCDイメージセンサ
(S10420-1006-01)
2048
画素
1024
× V)
10 × 1000
NA*6
m
-
0.11
光ファイバ用コネクタ
SMA905D
-
動作温度*7
+5 ∼ +40
˚C
保存温度*7
-20 ∼ +70
˚C
*5: 入射開口部の大きさ
*6: 開口数 (立体角)
*7: 結露なきこと
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.5)
波長分解能ー波長
C11714CA
120.0
110.0 ± 0.2
(Typ. Ta=25 ˚C)
0.3
0.2
0.1
0.2
60.0
波長分解能 (nm)
波長分解能 (nm)
0.3
0
450
(Typ. Ta=25 ˚C)
0.4
50.0 ± 0.2
0.4
裏面より
(4 ×) M3.0
タップ 深さ5
70.0
C11713CA
0.1
500
550
600
650
波長 (nm)
0
750
質量: 592 g
800
850
900
950
KACCA0281JA
波長 (nm)
KACCB0224JA
KACCB0226JA
16
2-6. 近赤外域 (NIR)用
[TGシリーズ]
C11482GA, C9913GC, C9914GB
InGaAsリニアイメージセンサを採用した近赤外線検出用のタイプです。感
度波長範囲は0.9∼1.7
mまたは1.1∼2.2
mで、低ノイズの電子冷却型
も用意しています。
TG2-NIR
200
400
600
800
C11482GA
1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
波長 (nm)
KACCB0165JD
C11482GA
C9914GB
内蔵のInGaAsリニア
イメージセンサ
内蔵の電子冷却型InGaAs
リニアイメージセンサ
G9204-512D
G9204-512S
特 長
● 石英製透過型グレーティングの採用による高スループット
C11482GA (TG2-NIR)
● 高精度な光学特性
● 水分測定
● C11482GA: 外部電源不要 (USBバスパワー使用)*1
● 光通信用部品の評価
● 低ノイズ測定 (冷却型: C9913GC, C9914GB)
● 膜厚測定
● コンパクト設計により機器への組み込みも可能
● 波長変換係数*2を内蔵メモリに記録
*1: C9913GC, C9914GB: 5 Vと12 Vの電源が必要
*2: イメージセンサの画素 No.を波長に変換する係数。
A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に
変換する係数は用意していません。
17
応用例
C9913GC (TG-cooled NIR- I)
C9914GB (TG-cooled NIR-II)
● 水分測定
● 食品・農業分野における成分分析
● 化学製品プロセスコントロール
2. ミニ分光器のラインアップ
n 光学的特性
TG2-NIR
TG-cooled NIR-I
TG-cooled NIR-II
C11482GA
C9913GC
C9914GB
900 ∼ 1700
900 ∼ 1700
1100 ∼ 2200
nm
項目
感度波長範囲
波長分解能 (半値幅)*
2
波長再現性*3
波長温度依存性
単位
7 max.
7 max.
8 max.
nm
-0.2 ∼ +0.2
-0.2 ∼ +0.2
-0.4 ∼ +0.4
nm
-0.04 ∼ +0.04
-0.02 ∼ +0.02
-0.04 ∼ +0.04
nm/˚C
輝線迷光*2 *4
-33 max.
-35 max.
dB
*2:「n 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*3: 入光条件などが一定の場合
*4: 以下の波長を入力したときの測定されるカウントと、その波長の±40 nmで測定されるカウントの比
C11482GA・C9913GC: 1300 nm, C9914GB: 1650 nm
n 電気的特性
C11482GA
項目
A/D変換
C9914GB
C9913GC
単位
16
6 s ∼ 10000 ms
蓄積時間
ビット
5∼10000
ms
5∼1000
インターフェース
USB 2.0
USB 1.1
-
USBバスパワー消費電流
350 max.
250 max.
mA
n 構成／絶対最大定格
項目
C11482GA
外形寸法 (W × D × H)
C9913GC
C9914GB
単位
38.5 × 106 × 86
142 × 218 × 80
mm
280
1700
g
質量
InGaAsリニアイメージセンサ 電子冷却型InGaAsリニアイメージセンサ
電子冷却型
(G9204-512D)
(G9204-512S)
InGaAsリニアイメージセンサ
イメージセンサ
画素数*5
スリット* (H × V)
6
画素
512
512
256
70 × 500
70 × 500
70 × 500
NA*7
-
m
0.22
-
SMA905D
光ファイバ用コネクタ
動作温度*8
保存温度*8
-
+5 ∼ +35 (+5 ∼ +30*9)
+5 ∼ +40
˚C
-20 ∼ +70
冷却素子用電源 max.*10
-
冷却ファン用電源
-
*5: 不良画素はありません (Lowゲイン設定時)。なお不良画素は、イメージセンサの
電気的および光学的特性において規定外の画素です。
*6: 入射開口部の大きさ *7: 開口数 (立体角) *8: 結露なきこと
*9: 冷却コントロールが可能な動作温度
*10: 定常状態での最大値。立ち上がり時には突入電流が流れますので注意してください。
外部電源用接続コネクタ付属 (G9913GC, G9914GB)。
˚C
5/1.8
5/2.8
V/A
12/0.2
V/A
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.5)
C11482GA
裏面より
(2×) M3 タップ 深さ5.0
(4
0.
0)
InGaAsリニアイメージセンサの分光感度特性
85.6
C9914GB
内蔵センサ
1.0
16.0
41.8
38.5
68.6
0.8
105.5
質量: 280 g
KACCA0146JD
G9204-512D
(常温型)
0.6
C9913GC, C9914GB
218.0
0.4
0.2
0
0.8
G9204-512S
(電子冷却型)
1.0
1.2
1.4
1.6
1.8
2.0
2.2
2.4
波長 ( m)
KMIRB0060JA
142.0
82.0 ± 0.2
受光感度 (A/W)
20.0
49.7
1.2
Td=25 °
C
Td=-10 °
C
Td=-20 °
C
85.6
(Typ.)
1.4
KACCA0158JD
18
2-7. 近赤外域 (∼2.55 µm)用
TG-UV-CCD
[TGシリーズ]
C9404CA, C9404CAH
TG-RAMAN-I
C11713CA
TG-RAMAN-II
C11118GA
C11714CA
TM-UV/VIS-CCD
C10082CA, C10082CAH
TM-UV/VIS-MOS
C10082MD
TM-VIS/NIR-CCD
感度波長範囲を2.55 mまで拡大したタイプです。
C10083CA, C10083CAH
インターフェースとしてあらたにUSB 2.0を採用しています。
TM-VIS/NIR-MOS
C10083MD
TM-VIS/NIR-MOS-II C11697MA
また、動作モードの変更により、外部トリガによる動作も可能としました。
TG-SWNIR-CCD-II C9405CB
TG2-NIR
C11482GA
TG-cooled NIR-I
C9913GC
TG-cooled NIR-II
C9914GB
TG-cooled NIR-III
200
400
600
800
C11118GA
1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
波長 (nm)
KACCB0212JC
内蔵の電子冷却型InGaAs
リニアイメージセンサ
G9208-256W
特 長
応用例
● 感度波長範囲: 0.9∼2.55 m
● CH基の吸収 (2.3 m帯)の測定
● USB 2.0インターフェースに対応
● 土壌分析、成分分析
● 石英製透過型グレーティングの採用による高スループット
● 高精度な光学特性
● 低ノイズ: 冷却型
● コンパクト設計により機器への組み込みも可能
● 波長変換係数*1を内蔵メモリに記録
● 外部トリガ入力対応*2 (詳細はP.34を参照)
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
*2: 外部トリガ用同軸ケーブルは別売。
19
2. ミニ分光器のラインアップ
■
光学的特性
TG-cooled NIR-III
項目
単位
C11118GA
感度波長範囲
0.9∼ 2.55
波長分解能 (半値幅)*
3
波長再現性*4
波長温度依存性
輝線迷光*3 *5
m
20 max.
nm
-0.8 ∼ +0.8
nm
-0.08 ∼ +0.08
nm/˚C
-30 max.
dB
*3:「■ 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*4: 入光条件などが一定の場合
*5: λ＝1700 nmの光を入力したときの測定されるカウントと、その波長の±80 nmで測定されるカウントの比
■
電気的特性
項目
A/D変換
蓄積時間*6
C11118GA
単位
16
ビット
6∼40000*7
s
インターフェース
USB 2.0
-
USBバスパワー消費電流
250 max.
mA
C11118GA
単位
142 × 218 × 80
mm
*6: イメージセンサの暗電流に依存します。
*7: 不良画素は除く。
■
構成／絶対最大定格
項目
外形寸法 (W × D × H)
質量
イメージセンサ
1.7
kg
電子冷却型InGaAsリニアイメージセンサ (G9208-256W)
-
256
画素
8
画素数*
スリット*9 (H × V)
140 × 500
10
NA*
m
-
0.22
光ファイバ用コネクタ
SMA905D
動作温度*11
+5 ∼ +35 (+5 ∼
保存温度*11
冷却素子用電源 max.*
13
冷却ファン用電源*13
-
+30*12)
˚C
-20 ∼ +70
˚C
5/2.8
V/A
12/0.2
V/A
*8: 不連続な3画素以内の不良画素が存在する場合があります (Lowゲイン設定時)。なお、不良画素はイメージセンサの電気的および光学的特性において規定外の画素です。
*9: 入射開口部の大きさ
*10: 開口数 (立体角)
*11: 結露なきこと
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.5)
*12: 冷却コントロールが可能な動作温度
*13: 定常状態での最大値。立ち上がり時には突入電流が流れますので
218
142
注意してください。
COOLED NIR-III (λ: 2.55)
Spectrometer
82 ± 2
InGaAsリニアイメージセンサ (G9208-256W)
の分光感度特性
(Typ. Td=25 °C)
1.4
COOLED NIR-III (λ: 2.55)
Spectrometer
1.2
質量: 1.7 kg
KACCA0258JD
受光感度 (A/W)
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0
0.8
1.0
1.2
1.4
1.6
1.8
波長 ( m)
2.0
2.2
2.4
2.6
KMIRB0048JA
20
2-8. 超小型タイプ
機器組み込み用
[MSシリーズ]
MSシリーズの光学配置図 (C10988MA-01)
入射光
C10988MA-01, C11708MA
貫通スリット
イメージセンサ
バンプ電極
先進のMOEMS技術により、入射スリット一体のCMOSイメージセンサと凸レ
ガラス配線基板
ンズにナノインプリントで形成したグレーティングを組み合わせ、親指大サイ
ズの超小型分光器ヘッドを実現しました。実装性に優れたパッケージを採用し
レンズ
ているため、センサ感覚でお使いいただけます。
回折光
ナノインプリントによる
グレーティング
KACCC0501JA
グレーティングによる分光スペクトル
CMOSリニアイメージセンサを搭載
(C10988MA-01)
スリット
CMOSチップ
特 長
応用例
● 親指大サイズ: 27.6 × 16.8 × 13 mm
C10988MA-01
● 質量: 9 g
● プリンタ、印刷機などの色モニタ
● 感度波長範囲: 340∼750 nm (C10988MA-01)
640∼1050 nm (C11708MA)
● 各種大型ディスプレイへの組み込み
(色管理用デバイス)
● 波長分解能: 14 nm (C10988MA-01)
20 nm (C11708MA)
C11708MA
● モバイル測定機器への組み込み用
● 果物の糖度測定／穀物のうまみ評価
● 波長変換係数*1を検査成績書に添付
● 成分分析
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
21
2. ミニ分光器のラインアップ
■
光学的特性
項目
感度波長範囲
MS-VIS-MOS
MS-SWNIR-MOS
C10988MA-01
C11708MA
単位
340 ∼ 750
640 ∼ 1050
nm
14 max.
20 max.
nm
波長分解能 (半値幅)*2
波長再現性*3
波長温度依存性
-0.5 ∼ +0.5
nm
-0.05 ∼ +0.05
nm/˚C
-25 max.
dB
輝線迷光*2 *4
*2:「■ 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*3: 入光条件などが一定の場合
*4: 以下の波長の光を入射したときに測定されるカウントと、その波長の±40 nmにて測定されるカウントの比
C10988MA-01: 550nm, C11708MA: 850 nm
■
電気的特性
項目
C10988MA-01
C11708MA
電源電圧
V
30
mW
0.25 ∼ 200
kHz
消費電力
ビデオレート
単位
5
150*5
出力インピーダンス
*5: ビデオ出力端子の消費電流が大きい場合、チップ温度の上昇によって暗電流が増加します。ビデオ出力端子にはバッファアンプを接続して、消費電流をできる
だけ小さくしてください。
■
構成／絶対最大定格
C10988MA-01
項目
C11708MA
外形寸法 (W × D × H)
mm
9
g
質量
イメージセンサ
単位
27.6 × 16.8 × 13
CMOSリニアイメージセンサ
-
256
画素
画素数
スリット*6 (H × V)
75 × 750
NA*7
m
0.22
-
動作温度*8
+5 ∼ +40
˚C
保存温度*8
-20 ∼ +70
˚C
*6: 入射開口部の大きさ *7: 開口数 (立体角) *8 : 結露なきこと
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.2)
リードピンを用いて外部回路への電気的接続を行います。
ピン名称
I/O
1
CLK
クロックパルス
I
2
GND
グランド
3
NC
4
ST
A
1.0
5.0
スリット
0.075 × 0.75
説明
1.5
記号
センサスキャン同期信号
センサGND
16.8
無接続
スタートパルス
I
スタートパルス
5
NC
6
Gain
ゲイン
I
イメージセンサ: ゲイン設定
7
EOS
エンドオブスキャン
O
センサスキャン終了信号
8
NC
9
Vdd
電源電圧
I
イメージセンサ用電源: 5 V
10
Video
ビデオ出力
O
ビデオ出力信号
2.54
ピンNo.
インデックス
マーク
0.51
外部回路との電気的接続
無接続
13
B
27.6
無接続
2.6
13
16
注)
・駆動条件については、
「ミニ分光器 C10988MA-01, C11708MA」のデータシート
を参照してください。
スリット位置
評価回路 C11351 (別売)
C11351は、ミニ分光器C10988MA-01, C11708MAの特性
を簡易的に評価するための回路です。分光器MSシリー
ズ (別売)とUSBケーブルA9160 (ABタイプ, 別売)を併せ
て使用することによって、MSシリーズの特性を評価用
ソフトウェアで評価することが可能です。
1.0
CLK
GND
NC
ST
NC
Gain
EOS
NC
Vdd
Video
質量: 9g
0.2
29.6
A
B
C10988MA-01 C11708MA
2.8
3
0.5
0.75
KACCA0257JC
注) C11351にはDLLが付属されていますが、評価回路
のためDLL関数仕様は公開していません。
C11351
22
2-9. 小型・低価格タイプ
RCシリーズの光学配置図
[RCシリーズ]
機器組み込み用
ファイバ
機器組み込み用
グレーティング
C11007MA, C11008MA, C11009MA, C11010MA
イメージセンサ
スリット
反射型グレーティングとCMOSリニアイメージセンサをコンパクトにまとめた
ガラスボディ
分光器です。駆動回路を装備したUSB出力の分光器モジュール (C11007MA,
C11008MA)と機器組み込み用の分光器ヘッド (C11009MA, C11010MA)
を用意しています。
コリメート機能
フォーカシング機能
KACCC0348JB
C11010MA
C11009MA
C11007MA
内蔵のCMOSリニア
イメージセンサ
内蔵の赤外高感度CMOS
リニアイメージセンサ
S8378-256N
特 長
応用例
C11007MA, C11008MA (分光器モジュール)
●
●
●
●
●
分光器ヘッドと駆動回路を一体化
PCで分光計測が可能
外部電源不要: USBバスパワー使用
A/D変換: 16ビット
波長変換係数*1を内蔵メモリに記録
C11007MA, C11009MA
●
●
●
●
C11009MA, C11010MA (分光器ヘッド)
● 機器組み込み用
● 光学系とイメージセンサをコンパクトなケースに内蔵
C11009MA: 28 × 28 × 28 mm
C11010MA: 35 × 28 × 20 mm
● 低価格
● 波長変換係数*1を検査成績書に添付
測定機器への組み込み
化学測定
可視光源検査
色計測
C11008MA, C11010MA
●
●
●
●
測定機器への組み込み
化学測定
果実の糖度測定
各種工業用測定
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
23
2. ミニ分光器のラインアップ
■
光学的特性
RC-VIS-MOS
項目
C11007MA
(分光器モジュール)
感度波長範囲
RC-SWNIR-MOS
C11008MA
(分光器モジュール)
C11009MA
(分光器ヘッド)
単位
C11010MA
(分光器ヘッド)
340 ∼ 780
640 ∼ 1050
nm
9 max.
8 max.
nm
波長分解能 (半値幅)*2
波長再現性*3
波長温度依存性
-0.5 ∼ +0.5
nm
-0.05 ∼ +0.05
nm/˚C
-30 max.
dB
輝線迷光*2 *4
*2:「■ 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*3: 入光条件などが一定の場合
*4: λ=550 nm (C11007MA, C11009MA), λ=850 nm (C11008MA, C11010MA)の光を入射したときに測定されるカウントと、その波長の±40 nmにて測定されるカウントの比
■
電気的特性
C11007MA
(分光器モジュール)
C11009MA
(分光器ヘッド)
A/D変換
16
蓄積時間
5 ∼ 10000
項目
C11008MA
(分光器モジュール)
C11010MA
(分光器ヘッド)
単位
-
16
-
ビット
-
5 ∼ 10000
-
ms
USB 1.1
-
USB 1.1
-
-
C11007MA
(分光器モジュール)
C11009MA
(分光器ヘッド)
C11008MA
(分光器モジュール)
C11010MA
(分光器ヘッド)
単位
55 × 100 × 48
28 × 28 × 28
55 × 100 × 48
35 × 28 × 20
mm
180
52
168
45
g
C11009MA
-
C11010MA
-
-
インターフェース
■
構成／絶対最大定格
項目
外形寸法 (W × D × H)
質量
内蔵ヘッド
イメージセンサ
CMOSリニアイメージセンサ (S8378-256N)
画素数
-
256
スリット*5 (H × V)
NA*
赤外高感度CMOSリニアイメージセンサ
画素
70 × 550
70 × 2500
6
m
0.22
ファイバコア径
-
600
m
光ファイバ用コネクタ
SMA905
-
動作温度*7
+5 ∼ +40
˚C
7
-20 ∼ +70
˚C
保存温度*
*5: 入射開口部の大きさ
*6: 開口数 (立体角)
*7: 結露なきこと
外部回路との電気的接続 (C11009MA, C11010MA)
外部回路への電気的接続は、分光器ヘッドより出ているフレキシブル基板で行います。
厚み: 0.3
No.
6 ± 0.5
4 ± 0.5
記号
No.
記号
説明
無接続
Gain
NC
無接続
A.GND
- アナログGND
A.GND
- アナログGND
O センサスキャン終了信号
- アナログGND
NC
I/O
NC
EOS
10.5 ± 0.2
説明
無接続
A.GND
ST
無接続
I イメージセンサ: ゲイン設定
I センサスキャン開始信号
A.GND
- アナログGND
CLK
I センサスキャン同期信号
Video
O ビデオ出力信号
SDA
O 温度センサ出力信号
A.GND
- アナログGND
SCL
A.GND
- アナログGND
D.GND
+5 V
黒色カバー
I/O
NC
I イメージセンサ用電源: +5 V
VCC
I 温度センサ駆動信号
- 温度センサデジタルGND
I 温度センサ: +3.3 V
注)
・④∼⑩および⑫∼⑯はイメージセンサに接続されています。
駆動条件については、「CMOSリニアイメージセンサ S8377/S8378シリーズ」
のデータシートを参照してください。
・ ⑰∼⑳は分光器に内蔵されている温度センサ (DALLAS社製 DS1775R)に接続さ
れています。
単位: mm
KACCC0261JB
24
2. ミニ分光器のラインアップ
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.5)
C11007MA
(4 ×) M2.6 深さ 3
C11009MA
C11009MA
55
10
35
VIS
Spectrometer
45
48
35
100
質量: 180 g
KACCA0240JB
C11009MA
110 ± 5
フレキ基板
28
21
(2 ×) M2.6 タップ 深さ 5
光ファイバ
14
28
28
10.5 ± 0.2
88 ± 3.5
質量: 52 g
KACCA0241JB
C11008MA
C11010MA
(4 ×) M2.6 深さ 3
C11010MA
35
10
55
SWNIR
Spectrometer
48
35
45
100
質量: 168 g
KACCA0242JB
C11010MA
110 ± 5
フレキ基板
28
35
(2 ×) M2.6 タップ 深さ 5
光ファイバ
10
20
88 ± 3.5
質量: 45 g
25
10.5 ± 0.2
28
KACCA0243JB
3. 構成
波長分散型分光器は、その使用目的によってモノクロメ
■ 入射スリット
ータ (単色計)とポリクロメータ (多色計)に大別されます。モ
入射スリットは、測定光を導入するための開口部です。
ノクロメータは、入射光を波長分散素子であるグレーティ
開口部の大きさは、波長分解能・スループットなどの光学
ングにより単一のスペクトルに分別します。ポリクロメー
的特性に大きな影響を与えます。入射スリットは、ミニ分
タは、モノクロメータの原理を応用して同時に複数のスペ
光器に取り込む測定光の空間的広がりを制限する機能をもち、
クトルの検出を可能にしたもので、ミニ分光器はポリクロ
入射スリット像はイメージセンサ上に結像します。そのた
メータになります。モノクロメータは、通常はフォーカス
め開口部の大きさが、光学系の分解能を決定するとともに
レンズの焦点面に出射スリットが配置されますが、ポリク
スループットを決定する要素となります。ミニ分光器の入
ロメータの場合は、フォーカスレンズの焦点面にアレイ型
射スリットには光ファイバが接続されることになります。
の検出器 (イメージセンサ)が配置されます。ミニ分光器に
おいては、コンパクトなサイズにするために、コリメート
レンズおよびフォーカスレンズの焦点距離はモノクロメー
タに比べて短焦点のものを採用しています。
■ コリメートレンズ、フォーカスレンズ
入射スリットを透過した光は、一定の広がり角をもって
います。コリメートレンズは、このスリット透過光を平行
にしてグレーティングに導きます。なお、このときアパー
[図1] 光学系配置図 (代表例: TGシリーズ) ――――――――
―
チャ (開口マスク)を併用することにより、装置内に取り込
む光束のNA (開口数)を制限しています。一方フォーカスレ
フォーカスレンズ
ンズは、グレーティング透過光をイメージセンサ上において
透過型グレーティング
イメージセンサ
コリメートレンズ
入射スリット
波長の順に結像させます。
■ グレーティング
コリメートレンズを介して入射した測定光を、波長ごと
に異なる回折角度にて出射します。
KACCC0256JA
■ イメージセンサ
イメージセンサは、フォーカスレンズにより集光され波
右に各構成要素の機能を説明します。
長ごとに分かれた光を電気的信号に変換して出力します。
なお、冷却型のミニ分光器には、イメージセンサのノイズ
を抑えるため、電子冷却素子を内蔵したイメージセンサが
搭載されています。
MSシリーズ (C10988MA-01)の構成
[図2] 光学系配置図 (C10988MA-01) ――――
入射光
イメージセンサ
貫通スリット
バンプ電極
ガラス配線基板
レンズ
回折光
ナノインプリントによる
グレーティング
■ 構成
ディープエッチング技術により入射スリットを一体化した
KACCC0501JA
スリット
CMOSイメージセンサを使用しています。また、ナノインプ
リントで凸面レンズにグレーティングを直接形成していま
す。これらのMOEMS技術により、親指大サイズの超小型分
光器ヘッドを実現しています。
CMOSチップ
グレーティングのSEM写真
26
4. 特性
ただし、スリット幅を狭くすることとNAを小さくするこ
4-1 波長分解能
とは、ミニ分光器に入射する光を制限することにつながり、
その結果イメージセンサに到達する光強度は小さくなります。
■ 定義
例えば、C10082CAとC10082CAHを比較した場合、
ミニ分光器の波長分解能は、半値幅 (FWHM)に基づいて
C10082CAのスリット幅70 µmに対して、C10082CAHのスリ
定義されています。図3のように、半値幅はピーク値の50%
ットは10 µmとスリットの幅が1/7であるため、ミニ分光器
におけるスペクトルの広がりとして定義します。図4に、ミ
への入射光量が1/7になります。
ニ分光器の波長分解能の測定例を示します。
一方、分光器内部のNAの違いによりC10082CAHのセン
サへ到達する光量は約1/4になります。しかしC10082CAHの
[図3] 半値幅の定義 ――――――――――――――――――
―
分解能は、C10082CAの約1/4なので、A/Dカウントは約4倍
になります。
半値幅
これらを統合すると光ファイバが入射する光量が同じ場
合には、C10082CAHのA/Dカウントは、C10082CAの1/7に
相対光強度
50 %
なります。
[図5] 波長分解能−波長 ――――――――――――――――
50 %
(測定例: C10082CAのスリット幅とNAを変更)
(NA 0.11)
3.5
3.0
スリット幅 70 m
波長分解能 (nm)
2.5
波長
KACCC0320JA
■ 波長分解能の変更
ミニ分光器の波長分解能は、スリット幅とNAによって変
2.0
スリット幅 25 m
1.5
わります。C10082CAの場合、スリット幅は70 µm、NAは
1.0
0.22です。このNAを0.11とし、スリット幅も変更した場合
0.5
スリット幅 10 m
の波長分解能の測定例を図5に示します。条件によっては、
0
200
波長分解能を1 nm程度にすることが可能であることがわか
300
400
ります。
500
600
700
800
波長 (nm)
KACCB0147JB
[図4] 波長分解能−波長 (代表例) ――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
18
16
C11118GA
C11708MA
14
波長分解能 (nm)
12
C10988MA-01
10
C11008MA
8
C11007MA
C10083CA
C10083MD
C9914GB
6
C9913GC
C11697MA
4
C10082CA
C11482GA
C9405CB
C10082MD
C9404CA
C10082CAH
2
0
200
C9404CAH
400
C10083CAH
C11714CA
C11713CA
600
800
1000
1200
1400
1600
1800
2000
2400
2600
波長 (nm)
KACCB0139JG
27
C10082CA/C10083CAシリーズでは、NA、スリット幅を
[図8] 出力特性 (C10082CAシリーズ) ―――――――――
表1で示す組み合わせの中から選択することができます。こ
(Typ. Ta=25 ˚C)
100
C10082CA-2200
れにより波長分解能を変更することが可能です。
80
[図6] 波長分解能−波長 (C10082CAシリーズ) ―――――
相対感度 (%)
(Typ. Ta=25 ˚C)
9
8
C10082CA-2200
波長分解能 (nm)
7
C10082CA-2100
C10082CA
60
C10082CA-2050
40
C10082CA-1050
C10082CA-1025
6
C10082CA-2100
20
5
4
C10082CAH
C10082CA
0
200
C10082CA-2050
3
300
400
500
600
700
800
C10082CA-1050
2
波長 (nm)
KACCB0196JA
1
C10082CAH
C10082CA-1025
0
200
400
300
500
600
700
800
[図9] 出力特性 (C10083CAシリーズ) ―――――――――
波長 (nm)
C10083CA-2200
C10083CA-2100
80
[図7] 波長分解能−波長 (C10083CAシリーズ) ―――――
C10083CA
12
相対感度 (%)
(Typ. Ta=25 ˚C)
14
C10083CA-2200
10
波長分解能 (nm)
(Typ. Ta=25 ˚C)
100
KACCB0194JA
C10083CA-2100
8
C10083CA-2050
60
C10083CA-2050
C10083CA-1050
40
C10083CA-1025
20
C10083CA
6
0
300
4
C10083CAH
400
500
600
700
800
900
1000
C10083CA-1050
波長 (nm)
2
KACCB0197JA
C10083CA-1025
C10083CAH
0
300
400
500
600
700
800
900
1000
波長 (nm)
KACCB0195JA
[表1] 製品ラインアップ (C10082CA/C10083CAシリーズ) ―――――――――――――――――――――――――――――――
型名
NA
スリット幅
感度波長範囲
200∼800 nm
感度波長範囲
320∼1000 nm
C10082CA-2200
C10083CA-2200
C10082CA-2100
C10083CA-2100
C10082CA
C10083CA
70 m
C10082CA-2050
C10083CA-2050
50 m
C10082CA-1050
C10083CA-1050
C10082CA-1025
C10083CA-1025
C10082CAH
C10083CAH
200 m
0.22
100 m
50 m
0.11
25 m
10 m
28
■ イメージセンサの1画素あたりの検出波長幅
■ 定義
ミニ分光器に内蔵されたイメージセンサの1画素当たりが
迷光の定義には、ロングパスフィルタを利用する方法と
受けもつ検出波長幅について説明します。なお、検出波長
狭い波長帯域のレファレンス光 (モノクロメータ出射光や輝
幅は波長分解能とは別のものです。
線ランプのスペクトルなど)を利用する方法があります。
1画素あたりが受けもつ波長幅は、感度波長範囲をイメー
ロングパスフィルタを利用する方法では、白色光を一定
ジセンサの画素数で割り算をすれば、概略の値を求めるこ
波長用のロングパスフィルタに透過させた測定光を用います。
とができます。
この場合の迷光は、透過波長域とブロック波長域の透過率
の比で定義されます。この場合の迷光レベル (SL)は、以下
例: C10082MD (感度波長範囲 200∼800 nm、1024画素)
1画素当たりが受けもつ検出波長幅 = (800 - 200) / 1024 ≒ 0.6 [nm] ... (1)
の式のように定義できます (Tl、Thの定義は図11参照)。
SL = 10 × log (Tl / Th) ............ (3)
任意の画素における検出波長は、ミニ分光器のEEPROM
この定義の場合、広い波長範囲での迷光の影響が測定で
に書き込まれている波長換算係数を用いて以下の式から算
きるため、蛍光測定など実際の用途に合った評価方法とな
出することができます。これにより任意の画素が受けもつ
ります。ただしこの場合、レファレンス光として用いる白
波長幅を求めることができます。
色光の強度プロファイルが、測定値に影響を与えることを
任意の画素における検出波長 [nm] = a0 + a1pix + a2pix2 + a3pix3 + a4pix4 + a5pix5 ... (2)
a0∼a5: 波長換算係数
pix: イメージセンサの任意の画素No. (1∼)
考慮する必要があります。
一方、狭い波長帯域のレファレンス光を利用する方法では、
迷光レベル (SL)は以下の式で定義されます。
当社のミニ分光器は、波長分解能に対してイメージセン
サの1画素当たりが受けもつ波長幅を小さくしてあります。
したがって、ミニ分光器で輝線を測定すると図10のように
複数の画素に出力が分割されることになります。この測定
結果をガウス曲線に近似することにより、輝線の中心波長
を求めることができます。
SL = 10 × (log IM / IR) ............ (4)
IM : レファレンス光の波長から、ずれた位置において
出力される不必要な光の強度
IR : レファレンス光の強度
この定義では、測定条件が単純なため、一定に決めるこ
とが容易になります。
これらの2つの定義では、迷光の状態は検出波長によって
[図10] 近似による輝線の中心波長の確定
――――――――
異なるため、迷光を測定する場合、複数の波長で行うこと
が必要です。
[図11] Tl、Thの定義 ――――――――――――――――――
透過率
光強度
Th
波長
輝
線
の
中
心
波
長
画
素
ご
と
の
デ
ー
タ
Tl
KACCC0335JA
波長
KACCC0255JA
4-2 迷光
迷光は、本来測定すべき光以外の光が検出器 (イメージセ
ンサ)に入射した結果、発生するものです。迷光の要因とし
ては以下のものが考えられます。
・外乱光
・グレーティングの不完全性
・レンズ表面、検出器の窓材、検出器の受光面からの表面
反射
29
4. 特性
[図12] 輝線による迷光の測定例 (C11482GA) ――――――
イメージセンサの出力電荷量 Q (λ)は電荷−電圧変換回路
により電圧に変換され、さらにA/Dコンバータでデジタル
0
10
値に変換され、最終的にミニ分光器の出力値 I (λ) [counts]と
950 nm
10-1
1100 nm
1300 nm
1500 nm
なります。ミニ分光器の出力値は以下の式で表されます。
1650 nm
I (λ) = ε ⋅ Q (λ) = ε ⋅ k (λ) ⋅ P (λ) ⋅ Texp ............ (6)
相対出力
10-2
ε : イメージセンサ出力電荷量よりミニ分光器の出力値への変換係数
(=電荷−電圧変換回路の回路定数、A/Dコンバータの分解能の積)
10-3
10-4
ミニ分光器の感度 E (λ) [counts / (W・s)]は以下の式で表さ
れます。
10-5
10-6
900
E (λ) = l (λ) / {P (λ) ⋅ Texp} ............ (7)
1000
1100
1200
1300
1400
1500
1600
1700
この式に (6)式を代入すると以下になります。
波長 (nm)
KACCB0275JA
E (λ) = ε ⋅ k (λ) [counts / (W ⋅ s)] ............ (8)
[表2] 変換係数を決める要素の波長依存性 ―――――――――
4-3 感度
ミニ分光器内蔵のイメージセンサの出力電荷量 Q (λ) [C]
は以下の式で表されます。
Q (λ) = k (λ) ⋅ P (λ) ⋅ Texp ............ (5)
変換係数を決める要素
波長依存性
光学系の効率
あり
グレーティングの回折効率
あり
イメージセンサの感度
あり
電荷−電圧変換回路の回路定数
なし
A/Dコンバータの分解能
なし
k (λ) : ミニ分光器への入射光量よりイメージセンサ出力電荷量への変換係数
(=光学系の効率、グレーティングの回折効率、イメージセンサの感度の積)
P (λ) : 各波長におけるミニ分光器への入射光強度 [W]
Texp: 積算時間 [s]
[図13] 分光感度特性 (相対値) ―――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
10 0
C9405CB
C9404CA
C10083CA
10 - 1
C11714CA
C11713CA
C9404CAH
10 - 2
C9914GB
C10082CA
相対感度 *
C10083CAH
C11118GA
C11008MA
C10082CAH
C11482GA
10 - 3
C11697MA
C11007MA
C9913GC
10 - 4
C10083MD
C10082MD
10 - 5
200
400
600
800
1000
1200
1400
1600
1800
2000
2200
2400
2600
波長 (nm)
* ファイバに入射する光量が一定の場合のA/Dカウント値
(ファイバコア径: 600 m、光ファイバによる減衰はないものとする)
KACCB0137JH
30
5. 動作モード
■ フリーラン動作 (通常の動作モード)
以下に外部トリガ入力時の動作モードを示します。
イメージセンサの各画素では入射光に応じた電荷が発生
します。蓄積時間において、電荷は各画素に蓄積され、そ
の電荷を読み出すことにより各画素の電荷はゼロになります。
新たな電荷の蓄積を開始する前に、電荷の読み出しが必要
になるわけです。ミニ分光器では、電荷蓄積→電荷読み出
し (A/D変換)→デジタルデータの保持、を周期的に繰り返し
ます。デジタルデータは、常に最新の蓄積時間によるデー
タに更新されます。PCからのデータ要求があると、分光器
はその時点の最新データを送ります。図14にフリーラン動
作の動作モードを示します。
(1)外部トリガ入力時のデータ保持
このモードは、保持されるデータがトリガ入力により制
御される点がフリーラン動作と異なります。トリガ入力エ
ッジ (立ち上がり／立ち下がりは設定可能)の次に開始され
る蓄積時間に対応するデジタルデータがミニ分光器内部に
保持されます。保持されたデータは、PCから読み出される
とリセットされます。また、データが保持された状態で次
のトリガ入力があった場合は、新しいデジタルデータに更
新されます。
たとえば直流点灯光源にシャッタが設置されていてミニ
[図14] フリーラン動作 ――――――――――――――――
―
分光器で検出する場合、シャッタのオープン動作をトリガ
入力としてミニ分光器に与えることにより、あらかじめ設
クリア
定された蓄積時間によるデータの保持が可能になります。
蓄積
電荷蓄積
シャッタのオープン時間を蓄積時間よりも充分に長く設定
電荷読み出し
(A/D変換)
することにより、再現性の高い計測条件のもとで測定を行
うことができます。
デジタルデータ
[図16] トリガ入力に対応したデータ保持 ―――――――――
デジタルデータは、常に最新の蓄積時間による
データに更新される
KACCC0378JA
トリガ入力
非同期
電荷蓄積
■ 外部トリガ入力時の動作モード
デジタルデータ
PCより読み出されると
クリアされる
以下のミニ分光器は、外部トリガの入力によってこの項
目の説明のように動作モードを変更することができます。
KACCC0379JA
(2)外部トリガ入力時のデータにラベリング
C9404CA, C9404CAH, C9405CB
C10082CA, C10082CAH, C10082MD
C10083CA, C10083CAH, C10083MD
C11713CA, C11714CA
外部トリガ入力時のゲート期間に応じて、デジタルデー
タに対してラベリングが行われるモードです。トリガ入力
(Highレベル／Lowレベルは設定可能)があったときのデータ
注) C9913GC、C9914GB、C11007MA、C11008MA、C11009MA、
蓄積に対するデジタルデータにラベルが付与されます。また、
C11010MA、C10988MA-01、C11708MAは外部トリガ入
PCからデジタルデータを読み出す際に、ラベル情報も同時
力機能に対応していません。
に取得することが可能です。
外部トリガ機能はDLLでは対応していますが、付属の評
価ソフトウェア上では機能しません。したがって、外部
トリガ機能を使用する場合はユーザーサイドで構築する
このモードは、異なった測定条件にてデータ取得を行う際、
どちらの測定条件に基づく測定データかを識別する場合に
適しています。たとえば条件Aと条件Bにて測定をするとし
ます。条件Aはトリガ入力なしで測定を行い、取得データ
ソフトウェア上で対応する必要があります。
にはラベリングを行いません。条件Bはトリガ入力を行い、
0 V∼5 Vレベルのデジタル信号を出力する機器と外部ト
リガ用同軸ケーブル A10670 (別売)によって接続します。
取得データにはラベリングします。このようにトリガ入力
時に取得データにラベリングを行うことにより、取得デー
タの測定条件が識別可能になります。
[図15] ミニ分光器のコネクタ (C10082CA)――――――
―
[図17] 外部トリガ入力時のデータにラベリング ―――――
―
IS
UV/V trometer
Spec
トリガ入力
非同期
非同期
電荷蓄積
デジタルデータ
データにラベリング
KACCC0380JB
電源コネクタ
光コネクタ部
トリガコネクタ
USBコネクタ
KACCC0377JB
31
■ トリガの動作モード
(C11118GA, C11697MA, C11482GA)
C11118GA, C11697MA, C11482GAにおいては、以下に示
[図21] 外部トリガ入力時のデータ計測 (同期)――――――
トリガ入力
(立ち下がりエッジの場合)
すトリガの動作モードがあります。これらの動作モードは
計測周期
電荷蓄積
ミニ分光器に付属されている評価ソフトウェア上で選択す
電荷読み出し
(A/D変換)
ることができます。
デジタルデータ
(1)ソフトウェアトリガ入力時のデータ計測(非同期)
KACCC0569JA
PCからのソフトウェアトリガの入力の後に最初に変換さ
れるデジタルデータを取得します。
(5)外部トリガ入力時のレベルによる計測 (非同期)
[図18] ソフトウェアトリガ入力時のデータ計測 (非同期)―――
外部トリガ端子に入力した外部トリガ (Highレベル／Low
レベルは設定可能)があったときのデジタルデータを取得し
ソフトウェアトリガ ソフトウェアトリガ
ます。
計測周期
電荷蓄積
[図22] 外部トリガ入力時のレベルによる計測 (非同期)―――――
電荷読み出し
(A/D変換)
トリガ入力
(Highレベルの場合)
デジタルデータ
KACCC0503JC
計測周期
電荷蓄積
電荷読み出し
(A/D変換)
(2)ソフトウェアトリガ入力時のデータ計測 (同期)
PCからのソフトウェアトリガの入力によりセンサ動作 (蓄
デジタルデータ
積)を開始します。
KACCC0504JB
[図19] ソフトウェアトリガ入力時のデータ計測 (同期)――――
(6)外部トリガ入力時のレベルによる計測 (同期)
外部トリガ端子に入力したトリガ (Highレベル／Lowレベ
ソフトウェアトリガ ソフトウェアトリガ
ルは設定可能)によりセンサ動作 (蓄積)を開始し、デジタル
計測周期
データを取得します。
電荷蓄積
電荷読み出し
(A/D変換)
[図23] トリガ入力時のレベルによる計測 (同期)――――――
デジタルデータ
KACCC0505JB
トリガ入力
(Lowレベルの場合)
計測周期
(3)外部トリガ入力時のデータ計測 (非同期)
電荷蓄積
外部トリガ端子に入力した外部トリガのエッジ (立ち上が
り／立ち下がりは設定可能)の後に最初に変換されるデジタ
電荷読み出し
(A/D変換)
デジタルデータ
ルデータを取得します。
KACCC0506JB
[図20] 外部トリガ入力時のデータ計測 (非同期)―――――
上記の (1)∼(6)のいずれのモードでも、トリガ入力間隔が
トリガ入力
(立ち下がりエッジの場合)
分光器の計測周期より短い場合には、入力されたトリガは
計測周期
無視されます。
電荷蓄積
(7)トリガ信号出力
電荷読み出し
(A/D変換)
外部トリガ端子から蓄積開始タイミング (パルス幅: 10 µs)
デジタルデータ
KACCC0568JA
を出力することができます。(トリガ出力エッジ: 立ち上が
り／立ち下がりは設定可能)
(4)外部トリガ入力時のデータ計測 (同期)
[図24] トリガ信号出力 ―――――――――――――――――
外部トリガ端子に入力した外部トリガのエッジ (立ち上が
り／立ち下がりは設定可能)によりセンサ動作 (蓄積)を開始
し、デジタルデータを取得します。
計測周期
電荷蓄積
電荷読み出し
(A/D変換)
デジタルデータ
トリガ入力
(立ち上がりエッジの場合)
KACCC0507JC
32
6. 評価用ソフトウェア
ミニ分光器には評価用ソフトウェア (CD-ROM)を付属し
[図25] 評価用ソフトウェアを用いた画面の例 ――――――――
ています。
■ 評価用ソフトウェアの機能
評価用ソフトウェアをPCにインストールすることにより、
以下の基本的な操作を行うことができます。
・測定データの取得、保存
・測定条件の設定
・モジュール情報 (波長変換係数 *1、分光器タイプなど)の
取得
・グラフ表示
・演算機能
[画素No.から波長への変換／参照データとの比較演算 (透
過率、反射率)／ダーク減算／ガウス近似 (ピークの位置
とカウント、半値幅)]
*1: イメージセンサの画素No.を波長に変換する係数。
ただし、A/D変換後のカウント値を入射光量に比例する値に変換する
係数は用意していません。
評価用ソフトウェアはMonitorモード、Measureモード、
Darkモード、Referenceモードなどの測定モードを用意してい
ます。表3に各測定モードの特徴を示します。Measureモード、
Darkモード*2、Referenceモード*2で計測したデータはcsv形式
(Microsoft Excelで読み込み可能)で保存が可能です。
また、評価用ソフトウェアのもつ演算機能を表4に示し、
計測時の制限を表5に示します。
[表3] 評価用ソフトウェアの測定モード ――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
測定モード
概要
特長
画素No.−A/D出力値のリアルタイムグラフ描画可能
波長−A/D出力値のリアルタイムグラフ描画可能
選択波長の時系列表示グラフ描画可能 *3
Monitorモード
取得データの保存を目的としない計測モード
計測データ保存不可能
Dark減算可能
Referenceデータ表示可能
計測スキャン数設定不可能、スキャン数制限なし
画素No.−A/D出力値のリアルタイムグラフ描画可能
波長−A/D出力値のリアルタイムグラフ描画可能
選択波長の時系列表示グラフ描画可能 *3
Measureモード
取得データの保存を目的とした計測モード
計測データ保存可能
Dark減算可能
Referenceデータ表示可能
計測スキャン数設定可能
画素No.−A/D出力値のリアルタイムグラフ描画可能
ダークデータ (ダーク減算を行う際に使用)を取得する
ための計測モード
Darkモード *2
波長−A/D出力値のリアルタイムグラフ描画可能
計測データ保存可能
画素No.−A/D出力値のリアルタイムグラフ描画可能
Referenceモード *2
レファレンスデータを取得するための計測モード
波長−A/D出力値のリアルタイムグラフ描画可能
計測データ保存可能
ソフトウェアトリガ非同期計測
ソフトウェアトリガ同期計測
Triggerモード
*3
トリガ信号によりデータを取得するための計測モード
外部トリガ非同期エッジ
外部トリガ非同期レベル
外部トリガ同期エッジ
外部トリガ同期レベル
画素No.−A/D出力値の転送完了時、グラフ描画可能
連続計測モード *3
データをまとめて転送することにより連続データを取得
波長−A/D出力値の転送完了時、グラフ描画可能
計測データ保存可能
*2: C11118GA、C11697MA、C11482GA、C11351にはDarkモード、Referenceモードはありません。Measureモードにて同様の機能をもちます。
*3: C11118GA、C11697MA、C11482GAのみ対応
[表4] 評価用ソフトウェアの演算機能 ――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
演算機能
33
特徴
ダーク減算
ダークデータの測定および測定データからダークデータを減算して表示することが可能
レファレンス測定･表示
レファレンスデータの測定およびグラフ表示が可能
ガウスフィッティング
指定した範囲のデータに対するガウス関数への近似が可能
[表5] 設定パラメータの制限 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
項目
蓄積時間
制限
4
s∼100 msの範囲内*4
C11697MA
6
s∼40 msの範囲内*4
C11118GA
5∼1000 msの範囲内*4
C9914GB
5∼10000 msの範囲内*4
C10082MD, C10083MD, C9913GC, C9914GB, C11007MA, C11008MA, C11351
6 s∼10000 msの範囲内*4 C11482GA
10∼10000 msの範囲内*4
C10082CA, C10082CAH, C10083CA, C10083CAH, C9404CA, C9404CAH, C9405CB, C11713CA, C11714CA
ゲイン
High/Low
C10082MD, C10083MD, C11482GA, C9913GC, C9914GB, C11007MA, C11008MA, C11118GA
スキャン回数
蓄積時間連続計測が可能な回数は、PC搭載のメモリサイズおよび動作状況に依存 (Monitorモードは制限なし)
*4: 最小1 s単位で変更可能
■ 評価用ソフトウェアの種類
評価用ソフトウェアには、次の4種類があります。対応するシリーズ以外のミニ分光器を駆動することはできません。
・TM/TGシリーズ (インターフェース USB 1.1)用 ・TM/TGシリーズ (インターフェース USB 2.0)用
・RCシリーズ用
・MSシリーズ用
[表6] ソフトウェア対応表 ――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
TM/TGシリーズ
RCシリーズ
MSシリーズ
(C11351)
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
DLL関数仕様の公開
○
○
○
×
1台のPCへ複数のミニ分光器を接続して駆動
○
○
×
×
Visual Basic
○
○
○
×
Visual C++
○
○
○
×
項目
対応OS
開発環境の対応
USB 1.1
USB 2.0
Windows XP Professional SP3 (32ビット)
○
Windows Vista Business SP2 (32ビット)
○
Windows 7 Professional (32ビット)
Windows 7 Professional (64ビット)
■ インターフェース
ミニ分光器には、DLLが付属しています。ユーザサイド
でDLLを利用して、Microsoft Visual C++、Microsoft
Visual Basic*5などの開発環境において、Windows対応のミ
ニ分光器制御用アプリケーションソフトウェアを構築する
ことができます*6。Windows対応のアプリケーションソフト
ウェアは、直接USBホストコントローラにアクセスできな
いため、DLLから必要な関数を呼び出して、デバイスドラ
イバとUSBドライバを介してUSBホストコントローラにア
クセスし、ミニ分光器の制御を行うことになります (図26参
照)。なおDLLには、USBポートのオープン／クローズ、測
定条件設定、測定データ、モジュール情報の取得などの関
数が用意されています。
*5: .NET Framework2.0および3.0 (Microsoft Windows XP/Vista/7)上で
のMicrosoft VisualStudio 2008 (SP1) Visual C++、Microsoft
Visual Studio 2008 (SP1) Visual Basic にて動作確認しています。
*6: C11351にはDLLは付属していますが、評価用ボードのためその関数仕
様は公開していません。
注)
・Microsoft、Windows、Visual Studio、Visual C++、Visual Basicは米国
Microsoft Corporationの米国およびそのほかの国における登録商標です。
[図26] ソフトウェア構成例 ――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
付属のCD-ROM
サンプルソフトウェア
ユーザサイドで構築可能
アプリケーション
ソフトウェア
DLL
関数仕様書を公開 *5
デバイスドライバ
USBドライバ
USB接続
USBホストコントローラ
ミニ分光器
KACCC0658JA
34
7. 測定例
[図29] LED光の測定 ――――――――――――――――――
可視LEDをC10082MD (TM-UV/VIS-MOS)で測定
40000
オレンジLED
赤色LED
30000
A/Dカウント
青色LED
20000
10000
0
200
300
400
[図27] 接続例 ―――――――――――――――――――――
500
600
700
800
波長 (nm)
KACCB0126JA
PC
[図30] 透過率の測定 ――――――――――――――――――
USB
ケーブル
厚さ1 mm光学窓板の透過率をC9404GC (TG-NIR)で測定
紫外可視ファイバ光源
(重水素 + ハロゲンランプ)
L10290
・測定値
50000
ミニ分光器
参照光
ファイバ
石英セル
(液体の測定サンプルを入れる)
A/Dカウント
40000
30000
20000
透過光
KACCC0288JF
10000
[図28] 蛍光測定 ―――――――――――――――――――――
0
900
1000 ppmのキニーネ溶液をC10083CA (TM-VIS/NIR-CCD)
1000
1100
1200
1300
1400
1500
1600
1700
で測定 (バッファー溶液は希硫酸)
波長 (nm)
KACCB0276JA
2500
・演算結果
2000
100
80
70
1000
透過率 (%)
A/Dカウント
90
1500
500
60
50
40
30
0
300
400
500
600
700
800
900
1000
20
10
波長 (nm)
0
900
1000
1100
1200
1300
1400
1500
1600
1700
KACCB0145JA
波長 (nm)
KACCB0277JA
35
[図31] 輝線スペクトルの測定 ――――――――――――――
[図33] 膜厚の測定 ―――――――――――――――――――
低圧水銀灯をC11714CA (TG-RAMAN- )で測定
厚さ10 mの食品用ラップ (ポリ塩化ビニリデン)の膜厚を
C11482GA (TG2-NIR)で測定 (膜厚測定原理 *1による）
60000
40000
50000
30000
A/Dカウント
A/Dカウント
40000
30000
20000
20000
10000
10000
0
750
800
850
900
0
950
0
100
200
300
波長 (nm)
400
500
画素
KACCB0280JA
[図32] 反射率の測定 ――――――――――――――――――
*1: 膜厚測定原理 (白色干渉法による)
白色干渉法による膜厚測定の場合、膜の表面と裏面での反射光が互いに干渉し
合い波打ったスペクトルが得られます。スペクトルのピークの数、波長範囲、
膜の屈折率、光の入射角より計算して膜厚を求めることができます。
KACCB0095JB
反射ミラーの分光反射率をC9405CB (TG-SWNIR-CCD)で
測定
[図34] 白色LED・3色LEDの測定 ――――――――――――
白色LED・3色LEDをC11007MA (RC-VIS-MOS)で測定
・測定値
35000
40000
参照光
30000
白色LED
25000
A/Dカウント
A/Dカウント
30000
20000
反射光
3色LED
20000
15000
10000
10000
5000
0
600
0
340
700
800
900
1000
390
440
490
540
590
640
690
740
1100
波長 (nm)
波長 (nm)
KACCB0100JA
KACCB00278JA
[図35] ラマン測定 ―――――――――――――――――――
・演算結果
ナフタレンサンプルのラマン測定をC11714CA (TG-RAMAN-II)
100
で測定
90
14000
(ポンプレーザ: 785 nm/60 mW, 接続ファイバ: 200 m コア径, 蓄積時間: 5000 ms)
80
12000
60
10000
50
A/D カウント
反射率 (%)
70
40
30
8000
6000
20
4000
10
0
600
700
800
900
1000
1100
2000
0
790 800
波長 (nm)
KACCB0279JA
820
840
860
880
900
920
波長 (nm)
KACCB0229JA
36
8. 関連製品
8-1 入力用光ファイバ A9762-01, A9763-01
ミニ分光器用のアクセサリとして、コア径600 µmの紫外／可視域用ファイバ (耐紫外線)と可視／近赤外域用ファイバを用意して
います (別売)。なおミニ分光器 RCシリーズのC11009MA, C11010MAは、ファイバが一体化された構造です。
[表7] ミニ分光器用光ファイバ
型名
コア径
( m)
仕様
C10082CA, C10082CAH
C10083CA, C10083CAH
C10082MD, C10083MD
C9404CA, C9404CAH
C11007MA, C11697MA
600
NA=0.22
長さ1.5 m、両端SMA905Dコネクタ付
C9405CB, C11482GA, C9913GC
C9914GB, C11008MA, C11118GA
C11713CA. C11714CA
600
NA=0.22
長さ1.5 m、両端SMA905Dコネクタ付
製品名
A9762-01
紫外／可視域用ファイバ (耐紫外線）
A9763-01
可視／近赤外域用ファイバ
対応ミニ分光器
8-2 外部トリガ用同軸ケーブル A10670
[図36] 外形寸法図 (単位: mm) ―――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
―
6.4
14.5
ケーブル長: 1.5 m
ケーブル仕様: 1.5D-2V
26.0
LEMOコネクタ
LEMO製: FFA00S250
31.7
BNCコネクタ
DDK製: BNC-P-1.5V-CR
KACCA0220JA
8-3 小型 紫外−可視 (UV-VIS)S2D2ファイバ光源 L10671
小型重水素ランプ (S2D2ランプ)を採用した紫外−可視ファイバ光源です。
200 nm∼1600 nmの安定した光をライトガイド (別売)から出力します。
コンパクトで持ち運べる手軽さに使いやすさを追求し、各種ポータブル装置に応
用できます。
特長
小型: 72 × 40 × 90 mm (当社従来品比: 1/25)
● 高安定: フラツキ 0.004 % p-p Typ. (2 × 10-5 A.U.相当)
● 高出力: 高効率小型重水素ランプを採用
●
注) ライトガイドは別売
8-4 高出力紫外−可視 (UV-VIS)ファイバ光源 L10290
200 nm∼1600 nmの光をライトガイド (別売)から出力します。
「高輝度重水素ランプ」を採用し、放射強度は当社従来品に比べ、約2倍になりま
した (30 W重水素ランプ光源)。
特長
高出力: 約2倍 (当社従来品比)
● 高安定: フラツキ 0.004 % p-p Typ. (2 × 10-5 A.U.相当)
● 長寿命: 2000時間
●
注) ライトガイドは別売
8-5 小型5 Wキセノンフラッシュランプモジュール L9455-11/-12/-13,
L11035-11/-12/-13 (SMAファイバアダプタタイプ)
5 Wキセノンフラッシュランプ・トリガソケット・電源を一体化したコンパクト
で発熱の少ない、使いやすい光源です。
ファイバアダプタタイプではSMAライトガイド (別売)を装着することで、200 nm
∼1600 nmの発光スペクトルをファイバ端より出力可能となります。このため、
各種分析装置に応用可能です。
特長
小型: 98 × 35 × 44 mm (L9455シリーズ)、120 × 35 × 44 mm (L11035シリーズ)
● 長寿命: 1.0 × 109フラッシュ以上 (10 Hz点灯で約28000時間点灯可能)
● 発光繰り返し周波数: 最大530 Hz
●
37
注) ライトガイドは別売
8-6 2 Wキセノンフラッシュランプモジュール L12336シリーズ
点灯動作回路をコンパクトに効率よく集積することでさらなる小型化を実現し、
バッテリー駆動にも対応した2 Wキセノンフラッシュランプモジュールです。
本製品は、環境分析や検体検査などの小型分析機器に最適な光源である他、将来、
開発が期待される高精度な環境モニタリングやPOCTなどの携帯型分析機器への
搭載も可能となります。
特長
高安定: 0.5 %CV typ. 長寿命: 1 × 109 フラッシュ
● 発光繰り返し周波数: 最大1250 Hz
● 広範囲な放射スペクトル: 紫外域∼赤外域
●
注) SMAファイバはオプション: 別売
38
■ 光半導体製品ラインアップ
［営業品目］
光半導体製品
受 光 素 子
○Siフォトダイオード
○APD
○MPPC
○フォトICと関連製品
○イメージセンサ
○PSD（位置検出素子）
○赤外線検出素子
○LED
○光通信用デバイス
○車載用デバイス
○X線フラットパネルセンサ
○ミニ分光器
○光半導体モジュール
Siフォトダイオード、APD、MPPC
フォトIC
イメージセンサ
PSD（位置検出素子）
赤外線検出素子
X線フラットパネルセンサ
電子管製品
○光電子増倍管
○光電子増倍管モジュール
○マイクロチャンネルプレート
○イメージインテンシファイア
○キセノンランプ・水銀キセノンランプ
○重水素ランプ
○光源応用製品
○レーザ応用製品
○マイクロフォーカスX線源
○X線イメージングデバイス
LED
光通信用デバイス
車載用デバイス
ミニ分光器
計 測 用ビデオ装 置
○カメラ・画像計測装置
○X線関連製品
○ライフサイエンス分野製品
○医療分野製品
○半導体故障解析装置
○FPD/LEDの特性評価装置
○分光計測・光計測装置
光半導体モジュール
●本資料の記載内容は、平成25年7月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。
●ご使用の際には、仕様書をご用命の上、最新の内容をご確認ください。
www.hamamatsu.com
仙 台 営 業 所
筑 波 営 業 所
東 京 営 業 所
中 部 営 業 所
大 阪 営 業 所
西日本営業所
固体営業推進部
〒980-0011
〒305-0817
〒105-0001
〒430-8587
〒541-0052
〒812-0013
仙台市青葉区上杉1-6-11（日本生命仙台勾当台ビル2階）
茨城県つくば市研究学園D6街区8画地（研究学園スクウェアビル7階）
東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階）
浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル4階）
大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階）
福岡市博多区博多駅東1-13-6 (竹山博多ビル5階)
〒435-8558 浜松市東区市野町1126-1
Tel:
Tel:
Tel:
Tel:
Tel:
Tel:
022-267-0121
029-848-5080
03-3436-0491
053-459-1112
06-6271-0441
092-482-0390
Tel: 053-434-3311
Fax:
Fax:
Fax:
Fax:
Fax:
Fax:
022-267-0135
029-855-1135
03-3433-6997
053-459-1114
06-6271-0450
092-482-0550
Fax: 053-434-5184
Cat. No. KACC0002J07
Jul. 2013
（2,200）