應 用 案 例 台達電子 工業自動化 . 案例名稱 台達 A2 伺服驅動器在 IC 測試機的應用 發行單位 適用機種 關鍵字 應用服務技術中心 A2-F 發行日期 2011 年6月 頁數 3 、PCI-DMC-A01、ASD-DMC-RM64MN、ASD-DMC-RM64NT 、 、IC tester A2-F DMCNET 【基本介紹】 近年來台灣 IC 產業發展迅速，其中智慧型手機、平板電腦的需求也成倍數成長，因此各種驅動 IC 需求也越來越高。一般 IC 製造通常 可以分為 IC 封裝前段製程及 IC 封裝後段製程，在不同製程所需設備也有所不同，因此國內廠商投入封裝測試設備研發也越來越多。 IC 測試機主要可分為 Logic 測試機、Memory 測試機及 Mixed-signal 測試機三大類，其中以 Logic 測試機為大宗，各家廠商莫不積 極投入開發相關機台以符合市場所需。在半導體後段測試製程當中，IC 測試結果正確與否及測試的速度是非常重要的考量因素；如何 在最短的時間內，生產出最多、品質最好的產品，一直是各家廠商所追求的目標。 【設備功能】 是屬於 IC 封裝後段製程設備，此設備主要功能是將 IC 晶片作快速檢測，檢測 IC 晶片的電氣特性包含 DC、AC 及電源供應， 系統將待檢 IC 透過取放機構放置於檢測盤，檢測盤上透過伺服馬達高速定位旋轉定位，在不同定位點依序作 IC 方向腳位確認、外觀檢 測及電性測試，測試結果會分類成多種等級而分送至分類盒內。此應用最主要的需求是能對晶粒作快速檢測等級分類，以達到高速生產 目的，因此如何縮短測試分類 cycle time、檢測精確性及穩定性便是此設備系統設計最重要的考量。 IC tester 一般取放測試移動距離因各家機台設計而不同，但往往在完成一個完整的測試動作必須限定在 100ms~200ms 以內，且整定完成位置 誤差在佰萬解析度條件下必須小於 10~20pulse，因這些動作必須透過上位控制器控制伺服驅動器來達成，而這些要求條件就牽涉到伺 服驅動器響應速度是否夠快、伺服整定時間是否夠短、伺服定位解析度是否夠高。 【設備示意圖】 台達工業自動化憑藉著豐富的經驗與先進技術，提供最高效率、高可靠度的產品、系統解決方案及服務，是最值得您信賴的合作伙伴！ 台達電子智慧產權所有，翻印必究。 COPYRIGHT © 2008 DELTA ELECTRONICS ， INC. ALL RIGHTS RESERVED. -1- 應 用 案 例 . 台達電子 工業自動化 【裝置示意圖】 【系統架構圖】 應用規劃可行性分析: 客戶原來使用上位控制器+他牌伺服馬達作為機台控制架構，但因為取放動作、檢測速度受限於伺服系統所帶動的取放機構整定時間太 久導致檢測周期過長，且檢測旋轉裝置在定點位置靜止時常有抖動不穩定的現象，此現象會導致 IC 作外觀檢測、電性測試時間增加。 故透過對機械設計和控制技術及元件性能規格的分析比較，確定採用 Delta DMCNET 軸卡作為上位控制器搭配 2 組台達 A2-F 系列交 流伺服驅動器，使能滿足下列條件需求: 1.精度要求部份: (1) 完成一個完整的晶粒取放的動作必須限定在 100ms~200ms 以內 (2) 整定完成位置誤差在佰萬解析度條件下必須小於 10~20pulse 台達工業自動化憑藉著豐富的經驗與先進技術，提供最高效率、高可靠度的產品、系統解決方案及服務，是最值得您信賴的合作伙伴！ 台達電子智慧產權所有，翻印必究。 COPYRIGHT © 2008 DELTA ELECTRONICS ， INC. ALL RIGHTS RESERVED. -2- 應 用 案 例 . 台達電子 工業自動化 台達交流伺服系統主要特性: (1)具有多種控制模式，可與各種上位控制器連結使用，使用廣泛。 (2)具有速度、位置迴路的平滑常數功能，能有效對輸入訊號作平滑化處理。 (3)強健式的控制模式，在負載慣量大的範圍變化時，系統仍然可以保持優異的性能。 (4)強大的高頻共振及低頻擺振抑制功能，能有效改善共振及低頻抖動現象。 (5)優異的命令追隨性能，伺服響應頻率達 1KHZ，能快速反應命令的變化達到幾乎無延遲的動作。 (6)豐富且完整的軟體操作功能，方便使用者快速調整伺服系統性能。 (7)馬達編碼器解析度可達 1280000PPR，位置控制更精確，動作更平順。 2. 台達 DMCNET 軸控卡主要特性: (1) 採用總線式通訊控制方式，節省系統配線，擴充能力佳且沒有傳統脈波式軸卡因命令延遲所造成的非同步現象。 (2) DMCNET 是即時系統(Real Time System)，具有通訊備援(Redundancy)功能，可接受 64 位元(bit)的雙精度浮點數值，可提 升伺服系統最大解析達 1280000 pulse/rev，讓系統的運算更精準且操作方式更靈活多元。 (3) DMCNET 擴充性佳且提供多種模組選用，一張軸卡最多可以連接 12 軸伺服馬達、線性馬達，或 768 點 DI 與 768 點 DO，或 48 軸步進馬達，並在 DI 模組內提供一組 4 通道的手搖輪控制介面方便使用者安裝手搖輪模組。 3. 【結語】 透過比較分析，台達交流伺服系統完全可以滿足此應用的控制要求 ，經由對機械結構、負載慣量、輸出扭距的計算，建議選用:ASDA A2 400W*6，ASDA A2 750W*3 做為選用搭配。 更多台達工業自動化產品介紹 http://www.delta.com.tw/inustrialautomation 台達工業自動化憑藉著豐富的經驗與先進技術，提供最高效率、高可靠度的產品、系統解決方案及服務，是最值得您信賴的合作伙伴！ 台達電子智慧產權所有，翻印必究。 COPYRIGHT © 2008 DELTA ELECTRONICS ， INC. ALL RIGHTS RESERVED. -3-