F F U FFU 用途で、機能と特長で、さらに風量で…。 さまざまなアングルからベストを選べる充実のラインアップ。 装置用FFU FFU 世界規格に準拠、限られた設置スペースで最高のパフォーマンスを システム天井用に各種タイプを用意、部屋全体をクリーンアップ WLFB WLFC WLFG WLFH Field WLFA WLFI 製造 中止 NEW 1 推奨代替機種 WLFH 標準タイプ 大風量タイプ 単相タイプ ■ ■ ■ 3Φ200 / 220V ■ 充実の通信機能 3Φ200 / 220V ■ 50CMMの大風量 P.15 1Φ200 / 220V ■ 充実の通信機能 P.16 WLFL F-Stage F-Cube-N 耐熱FFU (超薄型タイプ) ■ ■ ■ ■ ■ ■ 1Φ200V / 3Φ200V 超薄型 ■ RoHS対応 1Φ100 / 115V 高温環境(50℃)で使用可能 ■ 高さ105∼120mmの薄型 1Φ100V 一般コンセント対応 フィルタ一体型 ■ 通信機能 P.17 P.27 P.25 薄型対応ファンモジュール 簡単リプレースで省エネを実現 ストッカーにも最適 WLFD WLFE WLFF WLFJ WLFK WLFL NEW ACモータタイプ スタンドアロンタイプ 薄型タイプ ■ ■ ■ ■ ■ ■ 3Φ200 / 220V シンプル構造 ■ 簡単操作 P.18 11 CLEANROOM 3Φ200 / 220V クリーンブースなど 単独使用に最適 P.19 3Φ200 / 220V ストッカー側面に最適 P.20 耐熱FFU (高風速タイプ) ケミカルFFU F-Adjust ■ ■ ■ 1Φ100 / 115V ■ 高温環境(50℃)で使用可能 ■ 高静圧ファンで風量0.65m/s P.27 3Φ200 / 220V ■ コータ ・デベロッパなどの製造装置 のケミカル汚染対策に最適 ■ 交換容易なケミカルフィルタ P.28 1Φ200 / 220V 既存FFUに付加することでリプレース可能 ■ 狭いスペースにも設置可能 (全高170mm) ■ 通信機能(Modbus) ■ P.29 CLEANROOM 12 F F U Field 1 F F U 富士FFUの特長 それぞれの用途にマッチするシステムを的確に選べる 安心の実績 当社はクリーン機器のサプライヤーとして40年以上の経験があり、 今までに500,000台以上のFFU納入実績があります。 用途から選ぶ 三相 電源仕様 単相 大規模システム 数100∼数10,000台 三相 単相 電源仕様 なし 小規模システム 数10∼数100台 なし 風量可変 あり あり 専用設計 P.15 大風量タイプ WLFB P.16 選べる材質 単相タイプ WLFC NEW P.17 耐食性・コストパフォーマンスに優れためっき鋼板をケーシングの標準材料としていますが、 使用用途に応じてステンレスなど各種材質の選択が可能です。 F-Adjust WLFL NEW P.29 サイズバリエーション ACモータタイプ WLFD P.18 スタンドアロンタイプ WLFE P.19 標準タイプ WLFA クリーンブース 専用設計 なし 装置用スタンダードタイプ F-Stage F-Cube-N 製造 中止 WLFG WLFH なし あり 製造装置搭載 耐 熱 WLFI WLFJ ケミカル WLFK P.23 NEW NEW NEW モータ 上位通信 標準タイプ WLFA D750×W1500 (D:500∼) ( W:∼1800) 3Φ200V DC210W 可 大風量タイプ WLFB D750×W1500 (D:500∼) ( W:∼1800) 3Φ200V DC600W 可 BFFU750 CAN BFFU250-1P CAN 適合コントローラ 通信方式 SDR3204-2R-TD(4C4M) RS485 BFFU250( 1C1M) BFFU500( 1C2M) BFFU1000( 1C4M)BFFU1000( 4C4M) CAN 1Φ200V DC210W 可 1φ220V DC240W 可 3Φ200V AC200W 不可 ※ − − D610×W1220 (D:500∼) ( W:∼1800) 3Φ200V DC170W 不可 ※ BDR170T − 薄型タイプ WLFF D1200×W1500 (D:500∼) ( W:∼1800) 3Φ200V DC100W ×2 可 SDR3204-2R-TD (4C4M) RS485 F-Adjust WLFL D1200×W1200 (D:500∼) ( W:∼1800) 1φ220V DC280W 可 − Modbus 単相タイプ WLFC D610×W1220 (D:500∼) ( W:∼1800) ACモータタイプ WLFD D610×W1220 (D:500∼) ( W:∼1800) スタンドアロンタイプ WLFE SDR2404-2RS-TD(4C4M) CLEANROOM F-Stage[WLFG] 1Φ200V/3Φ200V HEPA、ULPA選択可能 RS485 ※オプションで異常信号の外部出力は可能 装置用FFU 13 1 製造 中止 ※2 RoHS (オプションでCEにも対応) 業界最高省エネモータ 特長 2 インダクションモ ータと比 較して 効率が優れたブラシレスDCモータ を標 準 採 用しています。業 界 最 高 レベルの省エネを実現。 特長 5 ジャストな風量に調整可能 当社のコア技術であるパワエレ技術を活かし、高精度 スピードコントロールが可能です。ご使用環境に合わ せた、最適な風量に設定することができます。業界最高 クラスの大風量タイプもラインアップ。 ULPAを標準で内蔵 (特定サイズのみHEPA選択可能) オプションで遠方風量調整、故障監視が可能 150mm RoHS (オプション) /CE (オプション) 当社の伝統事業である水力発電の 水 車 設 計ノウハウをファン設 計に 応用。ファン形状に翼断面を採用する ことで効率アップを実現しています。 特長 4 驚きの静かさ スムーズな流れを作るファンのインレットやユニット内の 整 流 構 造により、クラス 最 高レベ ル の 低 騒 音 を 実 現 。 防振も考慮した設計で周囲に影響を与えません。 複数台運転コントローラ 1台のコントローラで複数のFFUを運転することができる当社独自の制御システムです。 ケーブルの施工がシンプルになるため、多数のFFUを使用するクリーンルームシステムに最適です。 特許 取得済 FFUコントローラ 複数台運転コントローラ コントローラ(1C4M) ※1controller:4motor 親機 FFU 子機 FFU 子機 FFU 子機 FFU F-Cube-N[WLFH ] 1Φ100V 一般コンセント / 1Φ200V (オプション) / DC24V (オプション) 翼型高効率ファン ※当社は1980年に世界で初めてFFUにターボファンを採用しました。 今では全世界でターボファンタイプが主流となっています。 3 電源仕様 115mm ※1 ケーブルの接続不良による通信エラーの発生や、外来ノイズの影響を軽減できます。 特長 (カッコ内は製作可能範囲) なし 複数台運転コントローラを使用することでケーブル接続点数が減り (従来比1/4) 、工事費を軽減でき、 工事期間を短縮することでクリーンルームの立上げ時間を短縮できます。 P.29 グリッドサイズ 電 源 フィル タ 通信機能 厚 さ 規 格 1 特長 P.23 FFU仕様表 型 式 工事負荷軽減 P.20 薄型タイプ WLFF F-Adjust WLFL グリッド寸法や設置スペースなどに合わせ、様々なサイズのFFUを製作可能です。 信頼性向上 装置用カスタムタイプ ストッカー側面取付用 業界最高クラスの大風量タイプやストッカー側面に最適な薄型タイプなど、多くのタイプをご用意しています。 Field 風量可変 あり 豊富なラインアップ 標準タイプ WLFA 電源ケーブル 通信ケーブル 親機‒子機 接続ケーブル FFUを制御するコントローラは、 当社のインバータ技術を進化 させたコア技術です。 主な特長 高効率変換 (AC−DC−AC) 制御性 ( PWM制御回路内蔵 ) 遠隔操作性 (CAN/RS485通信システム) 電流制限回路 低電圧保護回路 BLDCモータのセンサレスによる回転速度検出 SDR3204-2R-TD 各種DC−FFUにはコントローラが搭載されています。詳細はP. 21∼22をご参照ください。 CLEANROOM 14 F F U 標準タイプ WLFA 大風量タイプ WLFB 外形寸法図 外形寸法図 外形寸法図 1464 47. 4 259 OFF 245 ON 1464 1464 ローダー接続ポート (モジュラー) 91 1467 FFU 1460×710 (フィルタ寸法) フィルタ 1467. 2 ●風量・静圧 1450rpm 350 1400rpm 300 1300rpm 1100rpm 200 1000rpm 150 55 57 51 53 48 43 46 100 50 300 58dB(A) 5 10 15 20 25 30 35 900rpm 800rpm 40 45 ●電 流 1.0 600 0.9 100 入力電力 [W] 150 0.6 0.5 0.4 0.3 1000rpm 900rpm 200 61 58 60 55 59 100 10 20 ●入力電力 30 40 風量 [m3/min] 66dB(A) 50 60 70 ●電 流 2.0 400 300 1.0 200 0.5 0.2 50 1100rpm 300 1.5 0.7 200 1200rpm 400 500 0.8 電流 [A] 入力電力 [W] 250 1300rpm 0 0 50 風量 [m3/min] ●入力電力 1400rpm 500 1200rpm 250 0 0 600 全静圧 (送風機静圧)[Pa] 全静圧 (送風機静圧)[Pa] 400 (2) ●風量・静圧 性能曲線 450 1460 電流 [A] 性能曲線 1. 6 (1. 2) 210 1464 210 (2) (1. 5) 1 電源/運転/異常 ランプ 8 1460 (フィルタ寸法) 電源SW (63. 6) 10 10 365 OFF 220 220 (1) ON (30) 18 1467 Field 225 714 714 270 通信ケーブル シールド 0. 2Sq 2芯 RS485 2m 2本 電源ケーブル VCTF 2. 0Sq 4芯 2m 2本 コントロールBOX 100 0.1 0 15 CLEANROOM 0 5 10 15 20 25 30 風量 [m3/min] 35 40 45 50 0.0 0 5 10 15 20 25 30 風量 [m3/min] 35 40 45 50 0 0 10 20 30 風量 [m3/min] 40 50 60 0.0 0 10 20 30 風量 [m3/min] 40 50 60 CLEANROOM 16 F F U 単相タイプ WLFC WLF00 単相 外形寸法図 AC モータタイプ WLFD WLF0170W 外形寸法図 通信ケーブル シールド 0. 2Sq 2芯 RS485 2m 2本 電源ケーブル VCTF 2. 0Sq 4芯 2m 2本 1224 M4端子台 E R S T 2 異 常 614 614 F 1 Field 1224 ローダー接続ポート (モジュラー) 1224 (1) 1. 6 フィルタ 1227. 2 300 900rpm 200 800rpm 150 55dB(A) 100 47 50 0 5 10 15 ●入力電力 52 54 20 25 風量 [m3/min] 30 35 40 ●電 流 0.9 170 0.8 160 120 0.7 150 60 入力電力 [W] 電流 [A] 80 0.5 0.4 0.3 80 0 0.0 30 35 40 45 47 50 0 5 10 15 ●入力電力 20 25 風量 [m3/min] 30 35 40 ●電 流 0.8 70 0 5 10 15 20 25 風量 [m3/min] 30 35 40 45 0.7 100 90 20 25 風量 [m3/min] 51dB(A) 100 110 0.1 15 150 120 20 10 AC200V50Hz 200 130 0.2 5 AC200V60Hz 140 0.6 100 ●風量・静圧 250 0 45 140 0 300 全静圧 (送風機静圧)[Pa] 全静圧 (送風機静圧)[Pa] 入力電力 [W] CLEANROOM 性能曲線 1000rpm 40 17 (2) 1100rpm 0 160 1227 ●風量・静圧 250 5) (2) (1. 1227 電流 [A] 性能曲線 1220 1220 (フィルタ寸法) 8 1220×610 (フィルタ寸法) 10 210 210 (1. 2) FFU 220 (30) (63. 6) 1224 1 18 端子台カバー 220 OFF 電源SW 10 ON 電源/運転/異常 ランプ 0 5 10 15 20 25 風量 [m3/min] 30 35 40 0.6 0 5 10 15 20 25 風量 [m3/min] 30 35 40 CLEANROOM 18 F F U 薄型タイプ WLFF スタンドアロンタイプ WLFE 外形寸法図 外形寸法図 1493 1445 18−M4ナットサート M4端子台 FAULT 30 40 50 60 FAULT 300 (フィルタ連結用) 300 300 300 FAULT 70 20 80 10 90 100 300 1193 1145 300 614 0 300 子機モータケーブル2 (L=400) 18 端子台カバー 220 (1) 4 900 FFU固定金具 (別途) 35 子機モータケーブル1 (L=400) 1423 1220 (フィルタ寸法) (1. 5) 6 (2) 120 10 10 1 フランジ (1. 6t) 220 (30) 1224 1227 Field 1224 1227 M4ナットサート ●風量・静圧 性能曲線 100% 80% 250 70% 200 60% 150 100 50 43 37 0 5 10 15 ●入力電力 47 54 51 55dB(A) ●風量・静圧 1500rpm 90% 300 0 300 全静圧 (送風機静圧)[Pa] 全静圧 (送風機静圧)[Pa] 350 250 性能曲線 400 50% 250 1400rpm 1300rpm 200 1200rpm 150 1100rpm 1000rpm 100 50 44 20 25 30 風量 [m3/min] 35 40 45 0 50 ●電 流 0.8 250 1460 (フィルタ寸法) 16. 5 0 5 10 15 ●入力電力 900rpm 59dB(A) 56 57 52 54 54 46 20 25 風量 [m3/min] 30 35 800rpm 40 45 ●電 流 1.0 0.7 100 入力電力 [W] 0.5 150 0.4 0.3 0.2 50 200 0.8 150 0.6 電流 [A] 0.6 電流 [A] 入力電力 [W] 200 100 50 0.4 0.2 0.1 0 19 CLEANROOM 0 5 10 15 20 25 30 風量 [m3/min] 35 40 45 50 0.0 0 5 10 15 20 25 30 風量 [m3/min] 35 40 45 50 0 0 5 10 15 20 25 風量 [m3/min] 30 35 40 45 0.0 0 5 10 15 20 25 風量 [m3/min] 30 35 40 45 CLEANROOM 20 F F U コントローラ仕様表 RS485通信タイプ BDR170-T SDR3204-2R-TD SDR2404-2RS-TD 適用モータ型式 GCG21155-TL8FE21 GCG21155-UL8FE24 GCG2954-T8TD17B-c モータ定格出力 210W / 1450min-1 240W / 1450min-1 170W / 1350min-1 適用モータ型式 1∼4台 1台 電動機接続台数 Max 12m − 型 式 接続モータ数 NEW 定格電圧 3相200V (公称) 1相220V (公称) 3相200V (公称) 定格電流 0.9A (モータ1台当たり) 1.4A (モータ1台当たり) 0.87A 許容過負荷電流 定格電流の130%-30s 定格電流の110%-30s 3相 200∼230V, 50/60Hz 電圧:+5%-10% 周波数:±5% 電圧:±10% 周波数:±5% 電圧相間アンバランス 2%以内 − 3%以内 定格入力電流 3.1A (参考値) 6.5A (参考値) 0.9A 所要電源容量 1.1kVA 2.0kVA 310VA 速度制御範囲 500∼1450min-1 250∼1350min-1 速度精度 最大速度設定に対して±3% 最大速度設定に対して±4% キャリア周波数 約15kHz 約16kHz 速度設定方法 上位通信指令またはハンディローダ 内部可変抵抗器、外部可変抵抗器または外部設定電圧 速度設定分解能 上位通信指令:1min-1 最大速度設定に対して1/256 ハンディローダ:10min-1 正弦波PWM制御、磁極位置検出センサーなし、 V/F速度一定制御、4台個別運転制御 制御方式 パラメータにて設定 (工場出荷時:20秒) 電気的仕様 EIA RS-485 − 通信方式 2線式 半2重通信 − 同期方式 調歩同期式 − 通信仕様 38400bps − コントローラ接続台数 最大31台 (モータ最大124台) − 故障出力 (外部I / O) 外部 I/OコネクタへLEDを接続することで、故障表示灯として使用可能 リレーのC接点 (直流中間電圧が約50V以上で点灯) チャージランプ (電源基板) 赤色:LED1 緑色:LED1 (受信中:点灯、受信信号無し:消灯) − 通信応答 緑色:LED2 (送信中:点灯、送信信号無し:消灯) − 通信確立 赤色:LED3 (正常時:消灯、異常時:点灯) − 加工点検 橙色:LED9 (正常時:消灯、異常時:点滅) 橙色:LED2-4 (正常時:点滅、異常時:点灯) 電 源 緑色:LED8 (自動モード:点灯、手動モード:点滅) 赤色:LED5 (通電時:点灯) 運 転 緑色:LED4-7 (インバータ出力中:点灯、インバータ停止中:消灯、故障中:点滅) 緑色:LED1 (正常時:点灯、異常時:消灯) SW1 プッシュスイッチg SW2 プッシュスイッチ 故障リセットスイッチ 保護 過電流、過電圧、低電圧、 コントローラ過熱、 過電流、過電圧、低電圧、 コントローラ過熱、 コントローラ過熱、 過電流、過電圧、低電圧、 過負荷、電源欠相、モータ脱調、通信異常、 過負荷、モータ脱調、通信異常、 過負荷、ホールセンサ異常、速度異常、 メモリ異常、CPU異常 メモリ異常、CPU異常 メモリ異常、CPU異常 EMCフィルタ 内 蔵 RoHS指令 対 応 高調波含有率 コントローラ効率 Max 12m 250W 500W(250W×2台) 750W 1000W(250W×4台) 1.0Arms THD:35%以下 (電源電圧200V、定格出力 運転時、高調波次数40次以内) 95%(電源電圧200V、最大定格出力運転時) 95%(電源電圧220V、最大定格出力運転時) 95%(電源電圧200V、最大定格出力運転時) 10年以上 (周囲温度40℃にて) 突入電流 6A0-peak以下 15A0-peak以下 7A0-peak以下 重量 約2.1kg 約1.3kg (リアクトル含まず) 約0.9kg 3相200V (公称) 1.0Arms 1.0Arms×2台 電圧:±10% 周波数:±5% 2%以内 − 1.17Arms以下 1.07Arms以下 2.14Arms以下 165V未満−15msec以内 (165V以上では運転継続) 1450min-1 1260min-1 1100min-1 500∼1100min-1 設定速度 (回転数) ±1% 制御方式 上位通信指令 ハンディローダ 有り (センサレス方式による速度検出) 3相120度通電−矩形波PWM制御 速度一定制御 センサレス方式 軸端側から見て反時計回転 無し 加速:設定値まで60秒 (停止状態から) 、減速:フリーラン CAN (ISO 11898)Ver. 2.0B Active 通信規格 2線式差動電圧方式 通信方式 非同期 同期方式 125 kbps 通信速度 有り (LED:黄点灯) 電源 (通電) 有り (LED:緑点灯/消灯) 運転 (動作/停止) 有り (LED:赤点灯) 故障 (エラー) 直接操作 ON-OFFスイッチ 速度調整ボリューム※ ON-OFFスイッチ ハンディローダ 遠隔操作 上位装置間通信による操作(CAN) High / Low速度切替スイッチ※ 上位装置間通信による 操作(CAN) 高調波含有率 35%以下 漏れ電流 0.5mA以下 (モータ1台当たり) 3.5Vpeak以下 (期待値) 軸電圧 耐電圧 2.0mA以下 (モータ4台当たり) 3.5Vpeak以下 (期待値) AC1500V 1分間 入力:2kV IEC61000-4-5 準拠 基準:EN61000-6-2 第4表 ライン−アース間:2kV ライン−ライン間:1kV 絶縁抵抗 10MΩ以上 (DC500Vメガー) イミュニティ:EN61800-3 : 2004 2nd Env/エミッション:EN61800-3:2004 C3 10万時間以上 (電解コンデンサ寿命@30℃) 過電流、過電圧、低電圧、IGBT過熱、IGBT内部短絡、過負荷、電源欠相、モーターケーブル断線、速度異常、起動失敗、モータ地絡、DSP異常、設定パラメータ異常 基板IDごとの時間差起動 運転情報メモリ機能 重量 5.0Vpeak以下(期待値) AC1800V 1秒間 サージ耐圧 寸法 (W×D×H) mm 最高回転数±1%以下 10kHz 回転方向 CE 1 500∼1300min-1 最高回転速度:1min-1 回転速度制御:1% 3相120度通電− 矩形波PWM制御 速度一定制御 RoHS 1260min-1 500∼1450min-1 500∼1260min-1 上位通信指令 ハンディローダ 速度調整ボリューム※ High / Low 速度切替スイッチ※ 有り(ホールセンサによる速度検出) 突入電流抑制機能 4.3Arms以下 3.51Arms以下 6%以下 (定格運転時) 速度検知 保護 1.0Arms×4台 3相 200/220V, 50/60Hz 1相 200/220V, 50/60Hz キャリア周波数 速度設定方法 3.3Arms 定格電流の150%−1分間 期待寿命 THD:39.1% (電源電圧220V、定格出力 運転時、高調波次数40次以内) 10万時間以上 (周囲温度30℃にて) − EMC THD:35%以下 (電源電圧200V、定格出力 運転時、高調波次数40次以内) コントローラ計算寿命 Max 9m 起動特性 (加減速) 信頼性 通信要求 1∼4台 (切替可) − 停止ブレーキ 操作 制御基板 表示・操作 橙色:LED2∼4(正常時:回転速度を表示、異常時:異常内容を表示) 状態表示 UGBTEF-12SKMK07/GCG21155-TL8FE21 1台 速度設定分解能 赤色:LED5(直流中間回路電圧が約50V以上で点灯) − 定格入力電流 速度精度 表示 通信速度 電圧相間アンバランス 速度制御範囲 上位通信 停止状態からの起動で60s以内 (実機組合せ時) 運転状態からの停止はフリーラン停止 加速・減速時間 電圧・周波数許容変動 定格速度 (回転数) 運転制御 運転制御 瞬時電圧低下耐量 UGBTEF-12MKMK05A 1∼2台 (切替可) 瞬時電圧低下耐量 正弦波PWM制御 165V以上で運転継続 定格電圧状態から165V未満に低下の場合、15ms運転継続 (85%負荷相当) 主電源 BFFU1000(1C4M) BFFU1000(4C4M) 4台同期運転 4台個別運転 1台 損失 正転方向のみ 回転方向 定格電流 BFFU750(1C1M) 1台運転 Field 1相 220V∼240V, 50/60Hz 電圧:±10% 周波数:±5% 定格電圧 BFFU500(1C2M) 2台同期運転 UGBTEF-12SKMK07/GCG21155-TL8FE21 定格電力 許容過負荷電流 速度制御 速度制御 3相 200∼230V, 50/60Hz 電圧・周波数許容変動 BFFU250-1P(1C1M) BFFU250(1C1M) 1台運転 1台運転 モータ許容配線長 定格入力 入力電源 主電源 型 式 定格出力 出力定格 モータ許容配線長 コントローラ仕様表 CAN通信タイプ 停電→復電時には、停電前の運転状態に自動復帰 対応 − − 240×145×50 約0.8kg 240×145×63 約0.8kg 260×190×63 約1.5kg 対応 240×145×50 約1.9kg 340×190×65 260×220×65 約1.8kg ※別途モジュール部品が必要となります。 21 CLEANROOM CLEANROOM 22