1.50MB

装 置 用 F F U
Field 1 装置用FFU
機能と特長、また風量で最適な答えを探せる
装置用FFUは製造装置に付帯するため、製造装置の一部として様々な機能が求められます。
当社の装置用FFUはお客様の様々な要望を具現化します。
機能・特長から選ぶ
WLFG
F-Stage
WLFH
厚 さ
規 格
1φ200V・3φ200V
即納対応※1
フィルタ選択可能
115mm※2
RoHS
CE ※3
1φ100V
即納対応※1
通信機能
F-Cube-N
0.9
0.8
RoHS
(オプション)
CE
(オプション)
150mm
0.7
P.25
WLFI
高温環境
(50℃)
アウトガス対策
RoHS
P.27
0.5
0.4
0.2
0.1
WLFJ
0
高温環境
(50℃)
アウトガス対策
風速0.65m/s
190mm
RoHS
P.27
ケミカルフィルタ搭載
アウトガス対策
通信機能
230mm
-
P.28
0
1.2
2.4
3.6
4.4
5.6
6.8
8.0
9.2
10.4
11.6
12.8
14.0
15.2
16.4
17.6
18.8
20
21.2
風量[CMM]
WLFK
ケミカルFFU
1
0.6
0.3
105mm
耐熱FFU(超薄型)
耐熱FFU(高風速型)
Field
製造
中止
機能・特長
風速[m/s]
シリーズ
風量・風速から選ぶ
耐熱
(超薄型)
F-Stage
(HEPA t=50mm)
F-Cube-N
(ULPA)
耐熱
(高風速型)
F-Stage
(HEPA t=40mm)
F-Cube-N
(HEPA)
製造
中止
ケミカル
WLFL
F-Adjust
NEW
1φ220V
風量30CMM
通信機能
-
170mm※2
P.29 ※1 即納とは注文後、1週間程度です ※2 フィルター高さ含まず
装置用FFUの特長
特長
1
23
CLEANROOM
薄型
限られたスペースへの設置を考慮
して業界最高レベルの薄型を実現
(MIN115mm)
特長
2
特長
3
省エネ・風量可変
全シリーズDCブラシレスモータを採用、
モータ
の可変速により最適風量で省エネ運転が可能。
従来型FFUと比較して約30%の消費電力低減
(当社比)
を実現
RoHS・CE・SEMI準拠
海外への輸出対応のため各種規格に準拠。
また輸出貿易管理令該非判定(自主判定書)
も発行可能
特長
4
特長
5
アウトガス対策
本 体 、吹 出 口 、フィルタ、シー ル 材など構 成
部材を厳選しアウトガス発生を低減
通信機能
DCブラシレスモータの優れた制御性を最大限
に引き出すため、通信によりモータを可変速
し風量制御が可能
CLEANROOM
24
装 置 用 F F U
F-Cube-N
仕様表
1Φ100V 一般コンセントで使用可能なコンパクトFFU
WLFH
品 名
F-Cube-N-30U
F-Cube-N-40U
F-Cube-N-50U
型 式
WLFH-30U□
WLFH-40U□
WLFH-50U□
フィルタ
99.999%以上(0.1μm)
610
610
610
610
寸法[mm] W
300
400
500
610
1220
610
1220
270
370
470
580
580
580
580
270
370
470
580
1190
580
1190
150
電 源
1Φ100V 50/60Hz / 1Φ200V
(オプション)
/ DC24V
(オプション)
風量[m3/min]
2.2
4.1
6.6
10.1
16.6
10.1
16.6
風 速[m/s]
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
消費電力[W]
24
37
63
87
103
68
76
騒 音[dB(A)]
50
55
55
58
59
51
57
13.5
20.5
5
RoHS
(オプション)
/CE
(オプション)
環境規制・CEマーキング
外形寸法図
電源SW
風量調節つまみ
外部信号端子
電源ソケット
サイズ
300×300
400×400
500×500
610×610
610×1220
×
正常時
○
※1 HEPA仕様はサイズ61 および122のみ対応
P
D
K
A
C
H
T
V
7.5 150
X
40
40
オプション
標準付属品
WLF H 40 U D
フィルタ
ULPA
(標準)
HEPA※1
Y
■
本体
■
電源コード
(2.0m)
4- 7
40
(カッコ内はオプション識別番号)
■
プレフィルタ
(P)
■
異常信号出力
(A)
■
差圧計+ピトー管
(D)
■
天吊金具
(C)
■
オプション※2
なし
プレフィルタ
差圧計+ピトー管
ピトー管のみ
異常信号出力
天吊金具
(4個)
水平金具
FFU監視システム※3
■
H
Y
30
×
異常時
40
電源OFF
●設置・開口寸法
30
7
出力
X
[○: 導通 ,×: 非導通]
記号
-
記号
U
H
状態
30
●設置・開口寸法
脱落防止金具
(据え付け型or吊下げ型)
4- 異常信号出力ケーブル
(オプション)
を使用
すると故障信号の出力が可能です。
W
H
7.5 150
異常信号出力
D
電源SW
風量調節つまみ
外部信号端子
電源ソケット
W
脱落防止金具
(据え付け型or吊下げ型)
FMC200 接続台数 : max.254台(4ポート)
識別
30
40
50
61
122
F-Cube-N-122
30
D
※F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。
例
有り
(オプション)
F-Cube-N-30∼61
FMC100 接続台数 : max.100台(1ポート)
20.5
13.5
11.5
6.4
無し
小規模FFU監視システムを組合せることにより、
FFU風量可変・故障監視が可能です。
FFU監視システム
FMC100/200
1
アルミ
(側面)
+SUS
(インレット部)
通信機能
通信機能(個別制御/グループ制御/高速・低速切替/一括故障出力)
型式説明例
DCブラシレスモータ100W
DCブラシレスモータ87W
モータ
(オプションで調整ダイヤルの外部設置も可能)
CAN
99.99%以上(0.3μm)
500
重 量[kg]
風量は調整ダイヤルにより連続的に調整が可能。
運転状態を表示ランプで確認できます。
WLFH-122H□
HEPA
400
本体材質
風量簡単調整
F-Cube-N-122H
WLFH-61H□
Field
一般コンセント電源(1φ100V)で運転でき、面倒な
電気工事は一切必要ありません。運転はコンセント
から電源を供給し、
スイッチを入れるだけという簡単
(オプションで1φ200VまたはDC24Vも可能)
さです。
F-Cube-N-61H
300
H
電源工事不要
WLFH-122U□
D
X
設置・ 開口寸法[mm] Y
高性能ULPAフィルタを内蔵し
ており高 精 度なクリーン環 境を
実 現 。フィルタ面は保 護 網 付な
ので、据付時にフィルタを傷つけ
る心配がありません。
WLFH-61U□
ULPA
集塵効率
フィルタ内蔵構造
F-Cube-N-61U F-Cube-N-122U
FFU監視システム
FMC100/200
(T)
固定金具
(4個)
■
水平金具
(H)
■
ピトー管
(K)
1φ200V
※2 オプションを複数選択時は並記ください。
※3 F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。
25
CLEANROOM
CLEANROOM
26
装 置 用 F F U
ケミカルFFU
耐熱FFU
WLFI
WLFK
WLFJ
高温
(50℃)
環境で使用可能
装置への収納を考慮した薄型
(本体H=230mm + ケミカルH=150mm)
適合規格 RoHS・SEMI(準拠)
コータ・デベロッパなどの製造装置のケミカル汚染対策に最適
アウトガス対策
アウトガス対策
ボリュームによる風量可変・故障出力リレー付
通信機能による風量可変・故障監視が可能
ケミカルフィルタ
薄型230mm
薄型ファンの開発により、
高さ230mmを実現しました。
Field
ケミカル汚染物質を除去するケミカル
フィルタは、短時間で容易に交換できる
鯛焼き構造を採用しています。
鯛焼き構造
アウトガス対策
230mm
超薄型タイプ
本体材質:SUS430BA
F i l t e r:ボロンフリーフィルター
(PTFE)
シール材:低シロキ酸タイプ
高風速タイプ
(0.65m/s)
通信機能(個別制御/グループ制御/高速・低速切替/一括故障出力)
RoHS・SEMI(準拠)
高温環境で使用可能
小規模FFU監視システムを組合せることにより、
FFU風量可変・故障監視が可能です。
EU圏への輸出を考慮してRoHS規格(準拠)
に対応。
また生産装置の規格であるSEMIにも適合。
拡散炉などの高温環境(50℃)
での使用
に耐えうる設計。
CAN
超薄型タイプ
FFU監視システム
FMC100/200
高静圧ファンの採用により高さ105∼
120mmの超薄型を実現しました。
アウトガス対策
FMC200 接続台数 : max.254台(4ポート)
本体材質:ポリエステル樹脂塗装
吹 出 口:SUS3
04 BA(パンチング板)
F i l t e r:
ボロンフリーフィルタ
(PTFE)
シール材:低シロキ酸タ
イプ。
FMC100 接続台数 : max.100台(1ポート)
高風速タイプ
高静圧ファンを複数台使用することにより
吹出し風速0.65m/s を実現しました。
ケミカルFFU P-Q 特性
仕様表
200.00
160.00
仕様表
型 式
フィルタ
集塵効率
FFU外形寸法[mm]
電 源
風 量[m3/min]
機外静圧[Pa]
騒 音[dB(A)]
本体材質
重 量[kg]
27
CLEANROOM
耐熱FFU
(超薄型タイプ)
WLFI
ULPAフィルタ ろ材:PTFE 99.9999%以上 0.1μm
1453W×481D×105H
(ファン部160mm)
WLFJ
ULPAフィルタ ろ材:PTFE 1φ115V 50/60Hz
0
0
6.0
(0.32m/s)
70
鋼板
(ポリエステル樹脂塗装)
38
11.3
(0.65m/s)
73
鋼板
(ポリエステル樹脂塗装)
全静圧[Pa]
最大消費電力[W]
騒 音[dB(A)]
60.00
20.00
1φ115V 50/60Hz
風 量[m3/min]
80.00
1000W×350D×190H
ULPAフィルタ ろ材:PTFE 電 源
100.00
40.00
フィルタ
FFU外形寸法[mm]
120.00
99.9999%以上 0.1μm
内 容
ケミカルFFU
集塵効率
140.00
内 容
耐熱FFU
(高風速タイプ)
項 目
品 名
型 式
180.00
項 目
品 名
1
本体材質
重 量[kg]
0.00
0.00
5.00
10.00
15.00
空気量
(CMM)
20.00
WLFK
99.9999%以上 0.1μm
1050W×750D×230H
3φ200V 50/60Hz
16.0
(0.45m/s)
160
140
65±2
SUS430BA
65
25.00
N=1420rpm N=1300rpm N=1200rpm N=1100rpm N=1000rpm N=900rpm
N=800rpm N=700rpm N=600rpm N=500rpm N=ケミカルフィルタ圧損
24
CLEANROOM
28
装 置 用 F F U
F-Adjust
薄型対応ファンモジュール
NEW
WLFL
狭いスペースにも設置可能
斜流ファン採用により超薄型コンパクト設計を実現(本体300⇒70mm)
狭所での風路を確保し、
圧力損失を低減
水平・垂直を問わず設置可能
設備運用のままFFUのリプレイスが可能
ファン・モータ・コントローラのモジュール化により、
既存FFUのフレームとフィルタを再利用
FFUを取り外すことなく、
天井裏での交換作業が可能
省エネ
断面形状比較
P.57
or
ファンモジュール
撤去
ターミナルユニット
(オプション)
既設ファンモータ撤去
シロッコファン
④ 通信接続
ターボファン
③ 電源接続
通信ケーブル接続
(RJ45コネクタ)
Field
既存インダクションモータ
(ACモータ)
を
F-Adjustに置き換えることで省エネが実現
①
CCC認証取得
CCC認証(中国強制認証制度)
取得モータを使用
斜流ファン
300mm
電源ケーブル接続
(端子台)
1
170mm
70mm
従 来 品
F-Adjust
既存ACファン
取付
ファンモジュール取付
(ターミナルユニット付)
既存FFUフレーム
既存フィルタ
ROTATION
97.6 70
538
260
260
260
①
電源入力端子台
単相 200-220V 入力
M4端子に接続
②
LED表示灯
運転・停止時
(緑点灯)
異常時
(赤点灯)
③
通信接続コネクタ
RJ45コネクタ
ストレートLANケーブル
④
ローダ接続コネクタ
※取付のための開口寸法は、40x120mm
260
監視システム
F-SITE-FMR500
Ethernet
全静圧
︵
350
1500
300
1300
250
1100
200
900
︶
700
内 容
1φ220V 50/60Hz
50
フ
ァ
斜流ファン 0
全
静
500
100
モ
風
0
5
10 15 20 25 30 35 40 45 50
風量
(CMM)
Modbus
ファンモジュール 仕様表
項 目
電 源
150
①
140
ローダにより回転数等設定
【ローダ別売】
400
CLEANROOM
④
通信接続方法
P-Q特性カーブ
29
②
※サイズ一例
10
Pa
③
130
538
AIR
441
AIR
③
内 容
名 称
FFU外形寸法図
ターミナルユニット外形寸法図
ターミナルユニット仕様
50
②
通
重
ー
タ
量
信
ン
圧
量
LS I
BLDC 280W
FFU 1
FFU 2
FFU 3
30CMM
180Pa
Modbus
13kg
Modbus
CLEANROOM
30
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