アンプ付フォトダイオードアレイ S11865-64/-128/-256 S11866-64-02/-128-02 フォトダイオードアレイと信号処理ICの組み合わせ S11865/S11866シリーズは、Siフォトダイオードアレイと信号処理ICを組み合わせたラインセンサです。従来品 (S8865/S8866 シリーズ)に比べX線耐性を向上させています。信号処理ICチップはCMOSプロセスで形成され、タイミング発生回路、シフトレジ スタ、チャージアンプアレイ、クランプ回路、ホールド回路が内蔵されているため、外付け回路の構成を簡略化できます。また本 製品を複数配列することにより、長尺イメージセンサを構成することができます。なお、X 線検出用に受光部上に蛍光紙を貼った タイプも用意しています。 専用の駆動回路としてC9118シリーズ (別売)を用意しています (S11865-256には対応していません)。 特長 用途 データレート: 1 MHz max. 長尺ラインセンサ 素子間ピッチ: 5タイプを用意 S11865-64: 0.8 mmピッチ × 64 ch S11865-128: 0.4 mmピッチ × 128 ch S11865-256: 0.2 mmピッチ × 256 ch S11866-64-02: 1.6 mmピッチ × 64 ch S11866-128-02: 0.8 mmピッチ × 128 ch X線検出用ラインセンサ 5 V電圧駆動 積分アンプアレイによる同時蓄積方式 シフトレジスタによる時系列信号読み出し 低暗電流 (フォトダイオードをゼロバイアス駆動) クランプ回路内蔵により低ノイズ、広ダイナミックレンジ タイミング発生回路を内蔵し、2種類のパルスで動作 受光部上に蛍光紙を貼ったタイプ (X線検出用)も用意 (S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02) 構成 項目 素子間ピッチ 素子幅 素子高さ 素子数 有効エリア長 基板材料 記号*1 P W H - S11865-64 0.8 0.7 0.8 64 51.2 S11865-128 0.4 0.3 0.6 128 51.2 S11865-256 S11866-64-02 S11866-128-02 0.2 1.6 0.8 0.1 1.5 0.7 0.3 1.6 0.8 256 64 128 51.2 102.4 102.4 ガラスエポキシ 単位 mm mm mm mm - *1: 下図参照 ʼn 受光部拡大図 Ř έΠΘͼȜΡ ő KMPDC0072JA 浜松ホトニクス株式会社 1 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ 絶対最大定格 (指定のない場合はTa=25 °C) 項目 電源電圧 基準電圧 フォトダイオード電圧 ゲイン選択端子電圧 マスター／スレイブ選択電圧 クロックパルス電圧 リセットパルス電圧 外部スタートパルス電圧 動作温度*2 保存温度*2 記号 Vdd Vref Vpd Vgain Vms V(CLK) V(RESET) V(EXTSP) Topr Tstg 定格値 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -5 ～ +60 -10 ～ +70 単位 V V V V V V V V °C °C *2: 結露なきこと 注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 推奨端子電圧 (Ta=25 °C) 項目 電源電圧 基準電圧 フォトダイオード電圧 Highゲイン Lowゲイン Highレベル*3 マスター／スレイブ選択電圧 Lowレベル*4 Highレベル クロックパルス電圧 Lowレベル Highレベル リセットパルス電圧 Lowレベル Highレベル 外部スタートパルス電圧 Lowレベル ゲイン選択端子電圧 記号 Vdd Vref Vpd Vgain Vms V(CLK) V(RESET) V(EXTSP) Min. 4.75 4 Vdd - 0.25 0 Vdd - 0.25 0 3.3 0 3.3 0 Vdd - 0.25 0 Typ. 5 4.5 Vref Vdd Vdd Vdd Vdd Vdd - Max. 5.25 4.6 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 単位 V V V V V V V V V V V V V Typ. 3 16 30 60 0.5 1 Max. 4000 14678 7568 3844 - 単位 kHz *3: パラレル *4: シリアル2段目以降 電気的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(RESET)=5 V] 項目 クロックパルス周波数*5 S11865-64, S11866-64-02 ラインレート*6 S11865-128, S11866-128-02 S11865-256 出力インピーダンス S11865-64, S11866-64-02 消費電流 S11865-128, S11866-128-02 S11865-256 Highゲイン チャージアンプ帰還容量 Lowゲイン 記号 f(CLK) LR Zo I Cf Min. 40 - ライン/s kΩ mA pF *5: ビデオデータレートはf(CLK)の1/4です。 *6: クロックパルス周波数により変わります。 2 アンプ付フォトダイオードアレイ S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 電気的特性および光学的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(RESET)=5 V, Vgain=5 V (High ゲイン ), 0 V (Low ゲイン )] S11865-64/-128/-256 項目 λ λp 感度波長範囲 最大感度波長 暗出力電圧*7 Highゲイン Lowゲイン 飽和出力電圧 飽和露光量*8 受光感度 記号 Vd Vsat Highゲイン Lowゲイン Highゲイン Lowゲイン 感度不均一性*9 Esat S PRNU Highゲイン ノイズ*10 Lowゲイン 出力オフセット電圧*11 N Vo S11865-64 Min. Typ. Max. 200 ～ 1000 720 0.01 0.2 0.005 0.1 3.0 3.5 0.8 1.0 1.6 2.0 3520 4400 1760 2200 ±10 1.3 2.0 0.7 1.1 Vref - S11865-128 Min. Typ. Max. 200 ～ 1000 720 0.01 0.2 0.005 0.1 3.0 3.5 2.4 3.0 4.8 6.0 1200 1500 600 750 ±10 1.0 1.5 0.6 0.9 Vref - S11865-256 Min. Typ. Max. 200 ～ 1000 720 0.01 0.2 0.005 0.1 3.0 3.5 15 19 30 37.5 200 250 100 125 ±10 0.8 1.2 0.5 0.75 Vref - 単位 nm nm mV V mlx･s V/lx･s % mV rms V S11866-64-02/-128-02 項目 λ λp 感度波長範囲 最大感度波長 暗出力電圧*7 Highゲイン Lowゲイン 飽和出力電圧 飽和露光量*8 受光感度 記号 Vd Vsat Highゲイン Lowゲイン Highゲイン Lowゲイン 感度不均一性*9 Highゲイン ノイズ*10 Lowゲイン 出力オフセット電圧*11 Esat S PRNU N Vo S11866-64-02 Typ. 200 ～ 1000 720 0.01 0.005 3 3.5 0.2 0.4 14400 18000 7200 9000 2.0 1.1 Vref Min. Max. 0.2 0.1 0.25 0.5 ±10 3.0 1.7 - S11866-128-02 Typ. Max. 200 ～ 1000 720 0.01 0.2 0.005 0.1 3 3.5 0.8 1.0 1.6 2.0 3520 4400 1760 2200 ±10 1.3 2.0 0.7 1.1 Vref Min. 単位 nm nm mV V mlx･s V/lx･s % mV rms V *7: 蓄積時間 Ts=1 ms *8: 2856 Kタングステンランプで測定 *9: 感度不均一性は、飽和の50%の露光量の均一光を受光部全体に入射した場合の出力不均一性で、次のように定義します。 PRNU = ∆X/X × 100 (%) X: 全画素の出力の平均、∆X: 最大または最小出力とXとの差の大きい方の値 *10: ビデオデータレート50 kHz、暗状態、Ts=1 msで測定 *11: ビデオ出力は、出力オフセット電圧から負極性に出力されます。 3 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ 1画素の出力波形 ճેఠ გႁഩգ Vsat=3.5 V typ. ႁέΓΛΠ ഩգ Vref=4.5 V typ. 1 V typ. 1 V/div. გેఠ GND Trigger 10 V/div. GND CLK GND 100 ns/div. 分光感度特性 (代表例) シリコーン樹脂塗布 (Ta=25 °C) 0.5 0.4 ۜഽ (A/W) 0.4 ۜഽ (A/W) (Ta=25 °C) 0.5 0.3 0.2 0.1 0.3 0.2 0.1 0 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 0 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 ෨ಿ (nm) ෨ಿ (nm) KMPDB0220JB KMPDB0421JA 蛍光板を接着する場合は、接着樹脂の影響によって分光感度特性 はなめらかになります。 4 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ 出力オフセット電圧－周囲温度 (測定例) 暗出力電圧－周囲温度 (測定例) (Ts=1 ms) 1 4.505 4.504 4.502 ճႁഩգ (mV) ႁέΓΛΠഩգ (V) 4.503 4.501 4.500 4.499 0.1 0.01 4.498 4.497 4.496 0.001 4.495 0 10 20 30 40 50 60 0 10 20 30 40 50 60 ਔսأഽ (°C) ਔսأഽ (°C) KMPDB0288JA KMPDB0289JB 5 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ ブロック図 S11865-64/-128, S11866-64-02/-128-02 RESET 1 CLK 2 EXTSP Vms Vdd GND 4 5 6 7 3 Trig ΏέΠτΐΑΗ 8 EOS 9 Video ΗͼηϋΈอٝႹ Vref 10 γȜσΡٝႹ Vgain 11 ΙλȜΐͺϋίͺτͼ Vpd 12 1 2 3 4 5 N-1 N έΠΘͼȜΡͺτͼ KMPDC0153JA S11865-256 RESET 2, 15 EXTSP Vms Vdd GND 5, 18 6, 19 7, 20 8, 21 4, 17 Trig ΗͼηϋΈอٝႹ CLK 3, 16 9, 22 EOS ΏέΠτΐΑΗ ΙλȜΐͺϋίͺτͼ Vgain 12, 25 Vpd 1, 13 14, 26 10, 23 Video γȜσΡٝႹ Vref 11, 24 1 2 3 4 5 255 256 έΠΘͼȜΡͺτͼ KMPDC0506JA 6 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ タイミングチャート 1 2 3 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 1 2 3 CLK tpw(RESET1) RESET 8·υΛ· tpw(RESET2) 8·υΛ· ಇୟশۼ ΫΟႁۼܢ 1 Video 2 3 n-1 n Trig EOS tf(CLK) tr(CLK) t2 tpw(CLK) t1 tpw(RESET1) tpw(RESET2) KMPD tf(RESET) tr(RESET) KMPDC0289JC 項目 クロックパルス幅 クロックパルス上昇／下降時間 リセットパルス幅 1 リセットパルス幅 2 リセットパルス上昇／下降時間 クロックパルス－リセットパルスタイミング 1 クロックパルス－リセットパルスタイミング 2 記号 tpw(CLK) tr(CLK), tf(CLK) tpw(RESET1) tpw(RESET2) tr(RESET), tf(RESET) t1 t2 Min. 250 0 21 20 0 -20 -20 Typ. 20 20 0 0 Max. 25000 30 30 20 20 単位 ns ns CLK CLK ns ns ns 1. RESETがLowになった直後のCLK の立ち下がりで内蔵タイミング回路が動作を開始します。 2. このCLKの立ち下がりを “1クロック” とすると、1 ch目のビデオ信号は “18.5クロック～ 20.5クロック” に現れます。その後、4ク ロックおきにビデオ信号は現れます。 3. 1 chのトリガパルスは “19.5クロック” で立ち上がり、その後、４クロックおきに立ち上がります。このトリガパルスの立ち上がり が推奨データ取り込みタイミングです。 4. 信号電荷蓄積時間はRESETのHigh期間に相当します。ただし蓄積時刻は異なり、RESETの立ち上がり8クロック目から蓄積が開 始し、RESETの立ち下がりから8クロック目に蓄積が終了します。この期間に蓄積された信号は、次にRESETがHighからLowにな った後、シフトレジスト動作によって順次時系列信号として読み出されます。RESETの立ち上がり・立ち下がりはCLKの立ち上 がりに同期させてください。ただし、RESETの立ち上がりはビデオ出力期間を避けて設定してください。RESETの1周期は、“16.5 + 4 × N (画素数)” クロックより短く設定することはできません。 5. EOS信号が出力された後のビデオ信号は、Highインピーダンス状態になりビデオ出力は不定となります。 7 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ 外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.2) S11865-64/-128 +0.2 51.2 -0 1.27 (× 12) ɸ0.76 12 ໐ 12.0 2.54 3.0 8.0* 40.0 5.6 1.6 (× 4) ɸ2.2 έΠΘͼȜΡ 1 ch औ༷࢜ * ܖโئͤ͢໐ಎ༹͈́͘ ܖȁȁโ: G10 ΄ρΑε΅Ώ Υ·Η: PRECI-DIP DURTAL 800-10-012-20-001101 KMPDA0164JE S11865-256 +0.2 51.2-0 (× 26) 0.64 × 0.64 34.02 1 25 2 26 CMOS2 ໐ 6.6 40.0 3.0 8.0* CMOS1 (× 4) ϕ2.2 2.28 6.9 6.0 2.54 17.0 2.54 10.0 P2.54 × 12 = 30.48 40.0 ± 0.15 25.0 ± 0.1 1 5.0 ੜၑICΙΛί 5.0 1.6 2.95 P2.54 × 11 = 27.94 έΠΘͼȜΡ 1 ch 1.6 ੜၑICΙΛί औ༷࢜ * ܖโئͤ͢໐ಎ༹͈́͘ ܖȁȁโ: G10 ΄ρΑε΅Ώ Υ·Η: ུ࣎ߗഩঊPS-26PE-D4LT1-PN1 KMPDA0191JD 8 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ S11866-64-02/-128-02 +0.3 -0 1.27 P2.54 × 11 = 27.94 1.6 1 5.0 ੜၑICΙΛί 5.0 (× 12) ɸ0.76 2.95 102.4 12 3.0 A* 12.0 25.0 ± 0.1 2.54 80.0 11.2 έΠΘͼȜΡ 1 ch ໐ 1.6 (4 ×) ɸ2.2 औ༷࢜ ߿ྴ A S11866-64-02 8.2 S11866-128-02 8.0 * ܖโئͤ͢໐ಎ༹͈́͘ ܖȁȁโ: G10 ΄ρΑε΅Ώ Υ·Η: PRECI-DIP DURTAL 800-10-012-20-001101 KMPDA0291JA ピン接続 S11865-64/-128, S11866-64-02/-128-02 ピンNo. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 記号 RESET CLK Trig EXTSP Vms Vdd GND EOS Video Vref Vgain Vpd 名称 リセットパルス クロックパルス トリガパルス 外部スタートパルス マスター／スレイブ選択電圧 電源電圧 グランド エンドオブスキャン ビデオ出力 基準電圧 ゲイン選択端子電圧 フォトダイオード電圧 備考 パルス入力 パルス入力 正極性パルス出力 パルス入力 電圧入力 電圧入力 負極性パルス出力 Vrefからの負極性出力 電圧入力 電圧入力 電圧入力 S11865-256 ピンNo. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 CMOS1 Vpd RESET CLK Trig EXTSP Vms Vdd GND EOS Video Vref Vgain Vpd ピンNo. 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 CMOS2 Vpd RESET CLK Trig EXTSP Vms Vdd GND EOS Video Vref Vgain Vpd 名称 フォトダイオード電圧 リセットパルス クロックパルス トリガパルス 外部スタートパルス マスター／スレイブ選択電圧 電源電圧 グランド エンドオブスキャン ビデオ出力 リファレンス電圧 ゲイン選択電圧 フォトダイオード電圧 備考 電圧入力 パルス入力 パルス入力 正極性パルス出力 パルス入力 電圧入力 電圧入力 負極性パルス出力 Vrefからの負極性出力 電圧入力 電圧入力 電圧入力 9 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ ゲイン選択端子電圧の設定方法 Vdd: Highゲイン (Cf=0.5 pF) GND: Lowゲイン (Cf=1 pF) 読み出し方式ごとの設定方法 S11865-64/-128, S11866-64-02/-128-02 通常は、下表のAの設定をしてください。 複数個のセンサをシリアルに読み出す場合は、1段目はA、2段目以降はBの設定をしてください。 各センサのCLKとRESETは共通とし、各センサのビデオ出力端子は1本に接続してください。 接続例 (パラレル読み出し) 12 Vpd 11 Vgain 10 Vref 9 Video 8 EOS 7 GND 6 Vdd 5 Vms 4 EXTSP Trig 3 Trig CLK 2 CLK RESET 1 RESET Vgain +4.5 V EOS 10 µF 0.1 µF +5 V + Video ࣞͼϋάȜΘϋΑͺϋί KMPDC0288JB 設定 読み出し方式 A パラレル読み出しの全段、シリアル読み出しの1段目 B シリアル読み出しの2段目以降 Vms Vdd GND EXTSP Vdd 前段のEOSを入力 10 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ S11865-256 CMOS1からは1～128 chの信号が出力され、CMOS2からは129～256 chの信号が出力されます。読み出し方式には以下の2つがあります。 (1) シリアル読み出し方式 CMOS1・CMOS2をシリアルに接続し、1本の出力線から1～256 chの信号を順次読み出す方法です。CMOS1は下表のA、CMOS2はBの設 定をしてください。CMOS1・CMOS2のCLKとRESETは共通とし、ビデオ出力端子は1本に接続してください。 (2) パラレル読み出し方式 CMOS1・CMOS2のそれぞれの出力線から128 chずつパラレルに信号を読み出す方式です。CMOS1・CMOS2とも下表のAの設定をしてく ださい。 接続例 ・シリアル読み出し方式 ・パラレル読み出し方式 CMOS1 1 Vpd CMOS1 1 Vpd RESET 2 RESET (1) RESET 2 RESET (1) CLK 3 CLK (1) CLK 3 CLK (1) 4 Trig (1) Trig (1) 4 Trig (1) 5 EXTSP (1) 5 EXTSP (1) 6 Vms (1) 6 Vms (1) Vdd 7 Vdd Vdd 7 Vdd GND 8 GND GND 8 GND 9 EOS (1) EOS (1) 10 Video (1) Video (1) 10 Video (1) Vref 11 Vref Vref 11 Vref Vgain 12 Vgain Vgain 12 Vgain 9 EOS (1) 13 Vpd 13 Vpd CMOS2 14 Vpd Trig OR Logic IC 74HC32 CMOS2 15 RESET (2) 14 Vpd 16 CLK (2) 15 RESET (2) 17 Trig (2) 18 EXTSP (2) 16 CLK (2) 17 Trig (2) Trig (2) 19 Vms (2) 18 EXTSP (2) 20 Vdd 19 Vms (2) 21 GND 20 Vdd EOS 22 EOS (2) Video 23 Video (2) EOS (2) 22 EOS (2) 24 Vref Video (2) 23 Video (2) 21 GND 25 Vgain 24 Vref 26 Vpd 25 Vgain 26 Vpd KMPDC0222JA KMPDC0223JB 設定 A B Vms Vdd GND EXTSP Vdd 前段のEOSを入力 11 アンプ付フォトダイオードアレイ S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 読み出し回路 パルス信号を、入力端子にてパルス条件を満たした上で入力してください。 ビデオ出力はセンサに近い箇所でオペアンプにて増幅してください。 使用上の注意 (1) 信号処理ICチップには静電気に対する保護がなされていますが、静電気による破壊を未然に防ぐために作業者、作業台、作業工具 の接地などの静電気対策を実施してください。 また周辺装置からのサージ電圧の印加を防いでください。 (2) ワイヤボンディングに用いられる金ワイヤは非常に細く、機械的なストレスで容易に断線に至ります。信号処理ICチップとワイヤ ボンディング部は樹脂によって保護されていますが、この部分に余分な力がかかると断線などの故障の原因となるため、絶対に触 れないようにしてください。 保護樹脂上に汚れや異物が付着した場合は、エアブローで取り除いてください。溶剤による洗浄は絶対に行わないでください。保 護樹脂上に汚れや傷がついたり、信号処理ICチップやフォトダイオードアレイチップにかけが生じると信号が得られなくなる場合 があります。 (3) 高湿動作時には諸特性が劣化する恐れがありますので、筺体側で気密封止を行ってください。 また基板取り付け時には、基板に反りが生じないように注意してください。 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・ 注意事項とお願い ・ イメージセンサ／使用上の注意 12 S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 アンプ付フォトダイオードアレイ アンプ付フォトダイオードアレイ用駆動回路 C9118シリーズ (別売) C9118シ リ ー ズ は、 ア ン プ 付 フ ォ ト ダ イ オ ー ド ア レ イ S11865/S11866シ リ ー ズ 用 に 設 計 さ れ たCMOS駆 動 回 路 で す。M-CLK、 M-RESETの2信号の入力と単一+5 V電源で動作します。シングルおよびパラレル接続用にはC9118、シリアル接続用にはC9118-01を ご利用ください。 特長 +5 V単一電源動作 M-CLK, M-RESETの2信号入力で動作 小型・薄型: 46 × 56 × 5.2 t mm ブロック図 S11865/ S11866 ΏςȜΒ +Vcc +Vcc SW1 CN1 CLK RESET Trig EOS EXTSP Vms Vg Vdd GND Video Vref Vp 1: TOP 2: END 1 +Vcc CN2 M-CLK M-RESET TRIGGER L-EOS IN-START GAIN +5 V GND VIDEO GND 2 ϋΠυȜρ +Vcc +Vp VR1 SW2 CN3 +Vcc + +Vp + + + +Vcc REF M-CLK M-RESET TRIGGER L-EOS EXTSP2 GAIN +5 V GND VIDEO GND C9118-01͈͙ KACCC0643JA 13 アンプ付フォトダイオードアレイ S11865-64/-128/-256, S11866-64-02/-128-02 接続例 シングル・パラレル読み出し例 (C9118) シリアル読み出し例 (C9118-01) 同時蓄積／出力 (高速処理に有効) 同時蓄積／シリアル出力 (外部処理部の簡素化に有効) S11865/ S11866 ΏςȜΒ S11865/ S11866 ΏςȜΒ C9118 CN2 C9118-01 CN2 ٸ໐ϋΠυȜρ ٸ໐ϋΠυȜρ CN3 Α΅λϋ ༷࢜ S11865/ S11866 ΏςȜΒ S11865/ S11866 ΏςȜΒ C9118 CN2 ٸ໐ϋΠυȜρ ັ௺ΉȜήσ C9118-01 CN2 Α΅λϋ ༷࢜ CN3 S11865/ S11866 ΏςȜΒ S11865/ S11866 ΏςȜΒ C9118 CN2 ٸ໐ϋΠυȜρ Α΅λϋ ༷࢜ Α΅λϋ ༷࢜ KACCC0644JA C9118-01 CN2 CN3 KACCC0645JA 本資料の記載内容は、平成26年11月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ොවॽအ̹͉͘ϋίσ̞̤̀ͅރȂ߿ྴ͈ྎͅॻॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂٳอॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪĶĮIJijĮIJıġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KMPD1134J04 Nov. 2014 DN 14