s11865-64g etc kmpd1135j

アンプ付フォトダイオードアレイ
S11865-64G/-128G/-256G
S11866-64G-02/128G-02
X線検出用フォトダイオードアレイと信号処理ICの
組み合わせ
S11865/S11866シリーズは、受光部上に蛍光紙を貼った X 線検出用のアンプ付フォトダイオードアレイです。従来品 (S8865/
S8866シリーズ)よりもX線耐性を向上させたフォトダイオードを使用しています。信号処理ICチップはCMOSプロセスで形成され、
タイミング発生回路、シフトレジスタ、チャージアンプアレイ、クランプ回路、ホールド回路が内蔵されているため、外付け回路の構
成を簡略化できます。また本製品を複数配列することにより、長尺イメージセンサを構成することができます。
なお、専用の駆動回路としてC9118シリーズ (別売)を用意しています (S11865-256Gには対応していません)。
特長
用途
データレート: 1 MHz max.
X線検出用ラインセンサ
素子間ピッチ: 5タイプを用意
S11865-64G: 0.8 mmピッチ × 64 ch
S11865-128G: 0.4 mmピッチ × 128 ch
S11865-256G: 0.2 mmピッチ × 256 ch
S11866-64G-02: 1.6 mmピッチ × 64 ch
S11866-128G-02: 0.8 mmピッチ × 128 ch
長尺ラインセンサ
5 V電圧駆動
積分アンプアレイによる同時蓄積方式
低暗電流 (フォトダイオードをゼロバイアス駆動)
クランプ回路内蔵により低ノイズ、広いダイナミックレンジ
タイミング発生回路を内蔵し、2種類のパルスで動作
検出エネルギー領域: 30 k～100 keV
構成
記号*1
P
W
H
-
項目
素子間ピッチ
素子幅
素子高さ
素子数
有効エリア長
基板材料
S11865-64G
0.8
0.7
0.8
64
51.2
S11865-128G
0.4
0.3
0.6
128
51.2
S11865-256G
0.2
0.1
0.3
256
51.2
ガラスエポキシ
S11866-64G-02
1.6
1.5
1.6
64
102.4
S11866-128G-02
0.8
0.7
0.8
128
102.4
単位
mm
mm
mm
mm
-
*1: 下図参照
ʼn
受光部拡大図
Ř
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ
ő
KMPDC0072JA
浜松ホトニクス株式会社
1
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
絶対最大定格 (指定のない場合はTa=25 °C)
項目
電源電圧
基準電圧
フォトダイオード電圧
ゲイン選択端子電圧
マスター／スレイブ選択電圧
クロックパルス電圧
リセットパルス電圧
外部スタートパルス電圧
動作温度*2
保存温度*2
記号
Vdd
Vref
Vpd
Vgain
Vms
V(CLK)
V(RESET)
V(EXTSP)
Topr
Tstg
定格値
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-5 ～ +60
-10 ～ +70
単位
V
V
V
V
V
V
V
V
°C
°C
*2: 結露なきこと
注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。
推奨端子電圧 (Ta=25 °C)
項目
電源電圧
基準電圧
フォトダイオード電圧
Highゲイン
Lowゲイン
Highレベル*3
マスター／スレイブ選択電圧
Lowレベル*4
Highレベル
クロックパルス電圧
Lowレベル
Highレベル
リセットパルス電圧
Lowレベル
Highレベル
外部スタートパルス電圧
Lowレベル
ゲイン選択端子電圧
記号
Vdd
Vref
Vpd
Vgain
Vms
V(CLK)
V(RESET)
V(EXTSP)
Min.
4.75
4
Vdd - 0.25
0
Vdd - 0.25
0
3.3
0
3.3
0
Vdd - 0.25
0
Typ.
5
4.5
Vref
Vdd
Vdd
Vdd
Vdd
Vdd
-
Max.
5.25
4.6
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
単位
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
Max.
4000
14678
7568
3844
-
単位
kHz
*3: パラレル
*4: シリアル2段目以降
電気的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(RESET)=5 V]
項目
クロックパルス周波数*5
S11865-64G, S11866-64G-02
ラインレート*6
S11865-128G, S11866-128G-02
S11865-256G
出力インピーダンス
S11865-64G, S11866-64G-02
消費電流
S11865-128G, S11866-128G-02
S11865-256G
Highゲイン
チャージアンプ帰還容量
Lowゲイン
記号
f(CLK)
LR
Zo
I
Cf
Min.
40
-
Typ.
3
16
30
60
0.5
1
ライン/s
kΩ
mA
pF
*5: ビデオデータレートはf(CLK)の1/4です。
*6: クロックパルス周波数により変わります。
2
アンプ付フォトダイオードアレイ
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
電気的特性および光学的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(RESET)=5 V, Vgain=5 V(High ゲイン ), 0 V (Low ゲイン )]
S11865-64G/-128G/-256G
項目
λp
最大感度波長*7
Highゲイン
Lowゲイン
暗出力電圧*8
飽和出力電圧
Vd
Vsat
Highゲイン
飽和露光量* *
Lowゲイン
Highゲイン
受光感度*7 *9
Lowゲイン
両端3 ch
感度不均一性*10
両端3 chを除いた部分
Highゲイン
ノイズ*11
Lowゲイン
出力オフセット電圧*12
7
記号
9
Esat
S
PRNU
N
Vos
S11865-64G
S11865-128G
Min.
Typ.
Max.
Min.
Typ.
Max.
720
720
0.01
0.2
0.01
0.2
0.005
0.1
0.005
0.1
3.0
3.5
3.0
3.5
0.8
1.0
2.4
3.0
1.6
2.0
4.8
6.0
3520 4400
1200 1500
1760 2200
600
750
-35, +10
-55, +10
±10
±10
1.3
2.0
1.0
1.5
0.7
1.1
0.6
0.9
Vref
Vref
-
S11865-256G
単位
Min.
Typ.
Max.
720
nm
0.01
0.2
mV
0.005
0.1
3.0
3.5
V
15
19
mlx･s
30
37.5
200
250
V/lx･s
100
125
-70, +10
%
±10
0.8
1.2
mV rms
0.5
0.75
Vref
V
S11866-64G-02/-128G-02
項目
λp
最大感度波長*7
High ゲイン
Low ゲイン
暗出力電圧*8
飽和出力電圧
記号
Vd
Min.
3
14400
7200
-
S11866-64G-02
Typ.
Max.
720
0.01
0.2
0.005
0.1
3.5
0.2
0.25
0.4
0.5
18000
9000
-25, +10
±10
2.0
3.0
1.1
1.7
Vref
-
Min.
3
3520
1760
-
S11866-128G-02
Typ.
Max.
720
0.01
0.2
0.005
0.1
3.5
0.8
1.0
1.6
2.0
4400
2200
-35, +10
±10
1.3
2.0
0.7
1.1
Vref
-
単位
nm
mV
Vsat
V
High ゲイン
飽和露光量* *
Esat
mlx･s
Low ゲイン
High ゲイン
受光感度*7 *9
S
V/lx･s
Low ゲイン
両端3 ch
感度不均一性*10
PRNU
%
両端3 chを除いた部分
High ゲイン
ノイズ*11
N
mV rms
Low ゲイン
出力オフセット電圧*12
Vos
V
*7: 蛍光紙なしで測定
*8: 蓄積時間 ts=1 ms
*9: 2856 Kタングステンランプで測定
*10: 感度不均一性は飽和の50%のX線 (管電圧 70 kV)を受光部全体に入射した場合の出力不均一性で、次のように定義します。
PRNU = ∆X/X × 100 (%)
X: 全画素の出力の平均、∆X: 最大または最小出力とXとの差の大きい方の値
*11: ビデオデータレート50 kHz、暗状態、ts=1 msで測定。
*12: ビデオ出力は、出力オフセット電圧から負極性に出力されます。
7
9
3
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
1素子の出力波形
ճેఠ
཈გ੄ႁഩգ
Vsat=3.5 V typ.
੄ႁ΂έΓΛΠ
ഩգ
Vref=4.5 V typ.
1 V typ.
1 V/div.
཈გેఠ
GND
10 V/div.
Trigger
GND
CLK
GND
100 ns/div.
X線出力例 (S11865-64G)
3.5
X線出力のユニフォミティ例 (S11865-64G)
(X஌࡙̥ͣΓϋ΍͈́͘‫ݻ‬ၗ: 300 mm, LowΊͼϋ, Ts=1.5 ms)
20
3.0
0
ξΣέ΁ηΞͻ (%)
2.5
੄ႁഩգ (V)
(X஌‫ۯ‬ഩգ: 70 kV, X஌‫ۯ‬ഩၠ: 8 mA, X஌࡙̥ͣΓϋ΍͈́͘‫ݻ‬ၗ: 300 mm)
X஌‫ۯ‬ഩգ: 70 kV
2.0
X஌‫ۯ‬ഩգ: 50 kV
1.5
1.0
X஌‫ۯ‬ഩգ: 30 kV
-20
-40
-60
-80
0.5
-100
0
0
1
2
3
0
X஌‫ۯ‬ഩၠ (mA)
10
20
30
40
50
60
70
ளঊତ
KMPDB0285JA
KMPDB0286JA
4
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
オフセット電圧－周囲温度 (測定例)
X線照射試験例 (S11865-128G)
1.0
(X஌‫ۯ‬ഩգ: 100 kV, X஌‫ۯ‬ഩၠ 3 mA, X஌࡙̥ͣΓϋ΍͈́͘‫ݻ‬ၗ: 165 mm)
4.505
4.504
0.9
S11865-128G
௖చۜഽ
0.7
4.503
੄ႁ΂έΓΛΠഩգ (V)
0.8
ਲြ຦
0.6
0.5
0.4
0.3
4.502
4.501
4.500
4.499
4.498
0.2
4.497
0.1
4.496
4.495
0
0
20
40
60
80
100
120
140
160
0
10
20
30
40
50
60
ਔս‫أ‬ഽ (°C)
X஌ચৣশ‫( ۼ‬h)
KMPDB0422JB
KMPDB0288JA
暗出力－周囲温度 (測定例)
(Ts=1000 ms)
1
ճ੄ႁ (V)
0.1
0.01
0.001
0
10
20
30
40
50
60
ਔս‫أ‬ഽ (°C)
KMPDB0289JA
5
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
ブロック図
S11865-64G/-128G, S11866-64G-02/-128G-02
RESET
1
CLK
2
EXTSP
Vms
Vdd
GND
4
5
6
7
3
Trig
ΏέΠτΐΑΗ
8
EOS
9
Video
ΗͼηϋΈอ୆ٝႹ
Vref
10
γȜσΡٝႹ
Vgain
11
ΙλȜΐͺϋίͺτͼ
Vpd
12
1
2
3
4
5
N-1
N
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼ
KMPDC0153JA
S11865-256G
RESET 2, 15
EXTSP
Vms
Vdd
GND
5, 18
6, 19
7, 20
8, 21
4, 17 Trig
ΗͼηϋΈอ୆ٝႹ
CLK 3, 16
9, 22 EOS
ΏέΠτΐΑΗ
ΙλȜΐͺϋίͺτͼ
Vgain 12, 25
Vpd
1, 13
14, 26
10, 23 Video
γȜσΡٝႹ
Vref 11, 24
1
2
3
4
5
255
256
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼ
KMPDC0506JA
6
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
タイミングチャート
1 2 3
16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30
1 2 3
CLK
tpw(RESET1)
RESET
8·υΛ·
tpw(RESET2)
8·υΛ·
ಇୟশ‫ۼ‬
ΫΟ΂੄ႁ‫ۼܢ‬
1
Video
2
3
n-1
n
Trig
EOS
tf(CLK)
tr(CLK)
t2
tpw(CLK)
t1
tpw(RESET1)
tpw(RESET2)
KMPD
tf(RESET)
tr(RESET)
KMPDC0289JC
項目
クロックパルス幅
クロックパルス上昇／下降時間
リセットパルス幅 1
リセットパルス幅 2
リセットパルス上昇／下降時間
クロックパルス－リセットパルスタイミング 1
クロックパルス－リセットパルスタイミング 2
記号
tpw(CLK)
tr(CLK), tf(CLK)
tpw(RESET1)
tpw(RESET2)
tr(RESET), tf(RESET)
t1
t2
Min.
250
0
21
20
0
-20
-20
Typ.
20
20
0
0
Max.
25000
30
30
20
20
単位
ns
ns
CLK
CLK
ns
ns
ns
1. RESETがLowになった直後のCLK の立ち下がりで内蔵タイミング回路が動作を開始します。
2. このCLKの立ち下がりを “1クロック” とすると、1 ch目のビデオ信号は “18.5クロック～ 20.5クロック” に現れます。その後、4ク
ロックおきにビデオ信号は現れます。
3. 1 chのトリガパルスは “19.5クロック” に立ち上がり、その後、４クロックおきに立ち上がります。このトリガパルスの立ち上がり
が推奨データ取り込みタイミングです。
4. 信号電荷蓄積時間はRESETのHigh期間に相当します。ただし蓄積時刻は異なり、RESETの立ち上がり8クロック目から蓄積が開
始し、RESETの立ち下がりから8クロック目に蓄積が終了します。この期間に蓄積された信号は、次にRESETがHighからLowにな
った後、シフトレジスト動作によって順次時系列信号として読み出されます。RESETの立ち上がり・立ち下がりはCLKの立ち上
がりに同期させてください。ただし、RESETの立ち上がりはビデオ出力期間を避けて設定してください。RESETの1周期は、“16.5
+ 4 × N (画素数)” クロックより短く設定することはできません。
5. EOS信号が出力された後のビデオ信号は、Highインピーダンス状態になりビデオ出力は不定となります。
7
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
外形寸法図 (単位: mm、指示なき公差: ±0.2)
S11865-64G/-128G
51.2
+0.2
-0
1.27
(× 12) ɸ0.76
1.6
P2.54 × 11 = 27.94
5.0
5.0
12
਋࢕໐
2.54
12.0
8.0*1
5.6
3.0
ࠖ࢕ঞ*2
40.0
1.6
(× 4) ɸ2.2
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ 1 ch
௢औ༷࢜
*1: ‫ܖ‬โ‫ئ‬౤ͤ͢਋࢕໐ಎ૤͈́͘଱༹
‫ܖ‬ȁȁโ: G10 ΄ρΑ΀ε΅Ώ
΋Υ·Η: PRECI-DIP DURTAL 800-10-012-20-001101
*2: ࠖ࢕ঞॽအ
· ऺȁȁৗ: Gd2O2S: Tb
· ࠖ࢕ఘ࢚: 300 µm typ.
· ࠿੄΀ΥσΆȜႀ֖: 30ȡ100 keV
KMPDA0292JA
S11865-256G
+0.2
51.2-0
(26 ×) 0.64 × 0.64
34.02
(× 4) ϕ2.2
1
25
2
26
2.28
6.9 6.0
2.54
ཷග㒊
6.6
CMOS1
CMOS2
17.0
2.54
40.0 ± 0.15
10.0
P2.54 × 12 = 30.48
8.0*1
ࠖ࢕ঞ*2
40.0
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ 1 ch
3.0
25.0 ± 0.1
1
2.95
૞࣢ੜၑICΙΛί
1.6
૞࣢ੜၑICΙΛί
௢औ༷࢜
*1: ‫ܖ‬โ‫ئ‬౤ͤ͢਋࢕໐ಎ૤͈́͘଱༹
ġ ‫ܖ‬ȁȁโ: G10 ΄ρΑ΀ε΅Ώ
ġ ΋Υ·Η: ඾ུ࣎ߗഩঊPS-26PE-D4LT1-PN1
*2: ࠖ࢕ঞॽအ
· ऺȁȁৗ: Gd2O2S: Tb
· ࠖ࢕ఘ࢚: 300 µm typ.
· ࠿੄΀ΥσΆȜႀ֖: 30ȡ100 keV
KMPDA0234JC
8
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
S11866-64G-02/-128G-02
+0.3
-0
1.27
1.6
(12 ×) ɸ0.76
2.95
P2.54 × 11 = 27.94
12
12.0
2.54
A*1
25.0 ± 0.1
5.0
૞࣢ੜၑICΙΛί
1
5.0
102.4
11.2
3.0
ࠖ࢕ঞ*2
80.0
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ 1 ch
਋࢕໐
1.6
(4 ×) ɸ2.2
௢औ༷࢜
߿ྴ
A
S11866-64G-02
S11866-128G-02
8.2
8.0
*1: ‫ܖ‬โ‫ئ‬౤ͤ͢਋࢕໐ಎ૤͈́͘଱༹
‫ܖ‬ȁȁโ: G10 ΄ρΑ΀ε΅Ώ
΋Υ·Η: PRECI-DIP DURTAL 800-10-012-20-001101
*2: ࠖ࢕ঞॽအ
· ऺȁȁৗ: Gd2O2S: Tb
· ࠖ࢕ఘ࢚: 300 μm typ.
· ࠿੄΀ΥσΆȜႀ֖: 30ȡ100 keV
KMPDA0293
KMPDA0293JA
ピン接続
S11865-64G/-128G, S11866-64G-02/-128G-02
ピン No.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
記号
RESET
CLK
Trig
EXTSP
Vms
Vdd
GND
EOS
Video
Vref
Vgain
Vpd
名称
リセットパルス
クロックパルス
トリガパルス
外部スタートパルス
マスター／スレイブ選択電圧
電源電圧
グランド
エンドオブスキャン
ビデオ出力
基準電圧
ゲイン選択端子電圧
フォトダイオード電圧
備考
パルス入力
パルス入力
正極性パルス出力
パルス入力
電圧入力
電圧入力
負極性パルス出力
Vref からの負極性出力
電圧入力
電圧入力
電圧入力
9
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
S11865-256G
ピンNo.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
CMOS1
Vpd
RESET
CLK
Trig
EXTSP
Vms
Vdd
GND
EOS
Video
Vref
Vgain
Vpd
ピンNo.
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
名称
フォトダイオード電圧
リセットパルス
クロックパルス
トリガパルス
外部スタートパルス
マスター／スレイブ選択電圧
電源電圧
グランド
エンドオブスキャン
ビデオ出力
リファレンス電圧
ゲイン選択電圧
フォトダイオード電圧
CMOS2
Vpd
RESET
CLK
Trig
EXTSP
Vms
Vdd
GND
EOS
Video
Vref
Vgain
Vpd
備考
電圧入力
パルス入力
パルス入力
正極性パルス出力
パルス入力
電圧入力
電圧入力
負極性パルス出力
Vrefからの負極性出力
電圧入力
電圧入力
電圧入力
ゲイン選択端子電圧の設定方法
Vdd: Highゲイン (Cf=0.5 pF) GND: Lowゲイン (Cf=1 pF)
読み出し方式ごとの設定方法
S11866-64G/-128G, S11866-64G-02/-128G-02
通常は、下表のAの設定をしてください。
複数個のセンサをシリアルに読み出す場合は、
1段目はA、2段目以降はBの設定をしてください。
各センサのCLKとRESETは共通とし、各センサのビデオ出力端子は1本に接続してください。
接続例 (パラレル読み出し)
12
Vpd
11
Vgain
10
Vref
9
Video
8
EOS
7
GND
6
Vdd
5
Vms
4
EXTSP
Trig
3
Trig
CLK
2
CLK
RESET
1
RESET
Vgain
+4.5 V
EOS
10 µF
0.1 µF
+5 V
+
Video
ࣞͼϋάȜΘϋΑͺϋί
KMPDC0288JB
設定
読み出し方式
A パラレル読み出しの全段、シリアル読み出しの1段目
B シリアル読み出しの2段目以降
Vms
Vdd
GND
EXTSP
Vdd
前段のEOSを入力
10
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
S11865-256G
CMOS1からは1～128 chの信号が出力され、CMOS2からは129～256 chの信号が出力されます。読み出し方式には以下の2つがあります。
(1) シリアル読み出し方式
CMOS1・CMOS2をシリアルに接続し、1本の出力線から1～256 chの信号を順次読み出す方法です。CMOS1は下表のA、CMOS2はBの設
定をしてください。CMOS1・CMOS2のCLKとRESETは共通とし、ビデオ出力端子は1本に接続してください。
(2) パラレル読み出し方式
CMOS1・CMOS2のそれぞれの出力線から128 chずつパラレルに信号を読み出す方式です。CMOS1・CMOS2とも下表のAの設定をしてく
ださい。
接続例
・シリアル読み出し方式
・パラレル読み出し方式
CMOS1
CMOS1
1 Vpd
1 Vpd
RESET
2 RESET (1)
RESET
2 RESET (1)
CLK
3 CLK (1)
CLK
3 CLK (1)
4 Trig (1)
Trig (1)
4 Trig (1)
5 EXTSP (1)
5 EXTSP (1)
6 Vms (1)
6 Vms (1)
Vdd
7 Vdd
Vdd
7 Vdd
GND
8 GND
GND
8 GND
9 EOS (1)
EOS (1)
10 Video (1)
Video (1)
10 Video (1)
Vref
11 Vref
Vref
11 Vref
Vgain
12 Vgain
Vgain
12 Vgain
9 EOS (1)
13 Vpd
13 Vpd
CMOS2
14 Vpd
Trig
OR Logic IC
74HC32
CMOS2
15 RESET (2)
14 Vpd
16 CLK (2)
15 RESET (2)
17 Trig (2)
18 EXTSP (2)
16 CLK (2)
17 Trig (2)
Trig (2)
19 Vms (2)
18 EXTSP (2)
20 Vdd
19 Vms (2)
21 GND
20 Vdd
EOS
22 EOS (2)
Video
23 Video (2)
EOS (2)
22 EOS (2)
24 Vref
Video (2)
23 Video (2)
21 GND
25 Vgain
24 Vref
26 Vpd
25 Vgain
26 Vpd
KMPDC0222JA
KMPDC0223JB
設定
A
B
Vms
Vdd
GND
EXTSP
Vdd
前段のEOSを入力
11
アンプ付フォトダイオードアレイ
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
読み出し回路
パルス信号を、入力端子にてパルス条件を満たした上で入力してください。
ビデオ出力はセンサに近い箇所でオペアンプにて増幅してください。
使用上の注意
(1) 信号処理ICチップには静電気に対する保護がなされていますが、静電気による破壊を未然に防ぐために作業者、作業台、作業工具
の接地などの静電気対策を実施してください。
また周辺装置からのサージ電圧の印加を防いでください。
(2) ワイヤボンディングに用いられる金ワイヤは非常に細く、機械的なストレスで容易に断線に至ります。
信号処理ICチップとワイヤボンディング部は樹脂により保護されていますが、汚れや傷が付かないようにしてください。
また、この部分や蛍光紙が貼られたフォトダイオードアレイチップに余分な力がかかると断線などの故障の原因となりますので、
絶対に触れないでください。保護樹脂上に汚れや異物が付着した場合は、エアブローにて取り除いてください。なお、溶剤による
洗浄は絶対に行わないでください。
汚れや傷がついたり、かけが生じると信号が得られなくなる場合があります。
(3) 高湿動作時には諸特性が劣化する恐れがあるため、筺体側で気密封止を行ってください。
また基板取り付け時には、基板に反りが生じないように注意してください。
(4) 信号処理ICチップにX線が照射されると特性劣化が生じるため、信号処理ICチップの周囲1 mm以上を鉛遮へいをしてください。な
お、X線入射角度によっては1 mmでは不足する場合があります。鉛遮へいはフォトダイオードの受光面にはかからないようにした
上で、十分な遮へい範囲となるように設計をしてください。鉛の厚さは使用条件によって異なるため、鉛の減弱係数を考慮して算
出してください。
(5) フォトダイオードアレイチップにX線を照射し続けると感度劣化が生じます。X線照射条件によって度合いは異なりますが、ご承知
願います。
関連情報
www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html
注意事項
・ 注意事項とお願い
・ イメージセンサ／使用上の注意
12
アンプ付フォトダイオードアレイ
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
アンプ付フォトダイオードアレイ用駆動回路 C9118シリーズ (別売)
C9118シ リ ー ズ は、 ア ン プ 付 フ ォ ト ダ イ オ ー ド ア レ イS11865/S11866シ リ ー ズ 用 に 設 計 さ れ たCMOS駆 動 回 路 で す。M-CLK、
M-RESETの2信号の入力と単一+5 V電源で動作します。シングルおよびパラレル接続用にはC9118、シリアル接続用にはC9118-01を
ご利用ください。
特長
+5 V単一電源動作
M-CLK、M-RESETの2信号入力で動作
小型・薄型: 46 × 56 × 5.2 t mm
ブロック図
S11865/
S11866
ΏςȜΒ
+Vcc
+Vcc
SW1
CN1
CLK
RESET
Trig
EOS
EXTSP
Vms
Vg
Vdd
GND
Video
Vref
Vp
1: TOP
2: END
1
+Vcc
CN2
M-CLK
M-RESET
TRIGGER
L-EOS
IN-START
GAIN
+5 V
GND
VIDEO
GND
2
΋ϋΠυȜρ
+Vcc
+Vp
VR1
SW2
CN3
+Vcc
+
+Vp
+
+
+
+Vcc
REF
M-CLK
M-RESET
TRIGGER
L-EOS
EXTSP2
GAIN
+5 V
GND
VIDEO
GND
C9118-01͈͙
KACCC0643JA
13
アンプ付フォトダイオードアレイ
S11865-64G/-128G/-256G, S11866-64G-02/-128G-02
接続例
シングル・パラレル読み出し例 (C9118)
シリアル読み出し例 (C9118-01)
同時蓄積／出力 (高速処理に有効)
同時蓄積／シリアル出力 (外部処理部の簡素化に有効)
S11865/
S11866
ΏςȜΒ
S11865/
S11866
ΏςȜΒ
C9118
CN2
‫ٸ‬໐΋ϋΠυȜρ
C9118-01
CN2
‫ٸ‬໐΋ϋΠυȜρ
CN3
Α΅λϋ
༷࢜
S11865/
S11866
ΏςȜΒ
S11865/
S11866
ΏςȜΒ
C9118
CN2
ັ௺ΉȜήσ
C9118-01
‫ٸ‬໐΋ϋΠυȜρ
CN2
Α΅λϋ
༷࢜
CN3
S11865/
S11866
ΏςȜΒ
S11865/
S11866
ΏςȜΒ
C9118
CN2
Α΅λϋ
༷࢜
‫ٸ‬໐΋ϋΠυȜρ
KACCC0644JA
Α΅λϋ
༷࢜
C9118-01
CN2
CN3
KACCC0645JA
本資料の記載内容は、平成27年2月現在のものです。
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ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ
ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ
ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ
ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ
ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı
ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı
ࡥఘ‫ުא‬ଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌ൐ߊঌ࿤಴IJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ
Cat. No. KMPD1135J04 Feb. 2015 DN
14