s8865-64 etc kmpd1071j

アンプ付フォトダイオードアレイ
S8865-64/-128/-256
S8866-64-02/-128-02
フォトダイオードアレイと信号処理ICの組み合わせ
アンプ付フォトダイオードアレイは、 Si フォトダイオードアレイと信号処理 IC を組み合わせたセンサです。信号処理 IC
チップは CMOS プロセスで形成され、タイミング発生回路、シフトレジスタ、チャージアンプアレイ、クランプ回路、
ホールド回路が内蔵されているため、外付け回路の構成を簡略化できます。また本製品を複数配列することにより、長尺
イメージセンサを構成することができます。なお、X線検出用に受光部上に蛍光紙を貼ったタイプも用意しています。
専用の駆動回路としてC9118シリーズ (別売)を用意しています。(S8865-256, S8866-64-02は対応していません)
特長
用途
素子間ピッチが大きい: 5タイプを用意
S8865-64: 0.8 mmピッチ × 64 ch
S8865-128: 0.4 mmピッチ × 128 ch
S8865-256: 0.2 mmピッチ × 256 ch
S8866-64-02: 1.6 mmピッチ × 64 ch
S8866-128-02: 0.8 mmピッチ × 128 ch
5 V電圧駆動
長尺ラインセンサ
X線検出用ラインセンサ
積分アンプアレイによる同時蓄積方式
シフトレジスタによる時系列信号読み出し
(データレート: 500 kHz max.)
低暗電流 (フォトダイオードをゼロバイアス駆動)
クランプ回路内蔵により低ノイズ、広ダイナミックレンジ
タイミング発生回路を内蔵し、2種類のパルスで動作
受光部上に蛍光紙を貼ったタイプ (X線検出用)も用意
(S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02)
構成
項目
素子間ピッチ
素子幅
素子高さ
素子数
有効エリア長
基板材料
記号*1
P
W
H
-
S8865-64
0.8
0.7
0.8
64
51.2
S8865-128
0.4
0.3
0.6
128
51.2
S8865-256 S8866-64-02 S8866-128-02
0.2
1.6
0.8
0.1
1.5
0.7
0.3
1.6
0.8
256
64
128
51.2
102.4
102.4
ガラスエポキシ
単位
mm
mm
mm
mm
-
*1: 下図参照
受光部拡大図
KMPDC0072JA
浜松ホトニクス株式会社
1
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
絶対最大定格
項目
電源電圧
基準電圧
フォトダイオード電圧
ゲイン選択端子電圧
マスター／スレイブ選択電圧
クロックパルス電圧
リセットパルス電圧
外部スタートパルス電圧
動作温度*2
保存温度*2
記号
Vdd
Vref
Vpd
Vgain
Vms
V(CLK)
V(RESET)
V(EXTSP)
Topr
Tstg
定格値
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-0.3 ～ +6
-5 ～ +60
-10 ～ +70
単位
V
V
V
V
V
V
V
V
°C
°C
*2: 結露なきこと
推奨端子電圧
項目
電源電圧
基準電圧
フォトダイオード電圧
Highゲイン
Lowゲイン
Highレベル*3
マスター／スレイブ選択電圧
Lowレベル*4
Highレベル
クロックパルス電圧
Lowレベル
Highレベル
リセットパルス電圧
Lowレベル
Highレベル
外部スタートパルス電圧
Lowレベル
ゲイン選択端子電圧
記号
Vdd
Vref
Vpd
Vgain
Vms
V(CLK)
V(RESET)
V(EXTSP)
Min.
4.75
4
Vdd - 0.25
0
Vdd - 0.25
0
3.3
0
3.3
0
Vdd - 0.25
0
Typ.
5
4.5
Vref
Vdd
Vdd
Vdd
Vdd
Vdd
-
Max.
5.25
4.6
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
単位
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
Max.
2000
-
単位
kHz
*3: パラレル
*4: シリアル2段目以降
電気的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(RESET)=5 V]
項目
クロックパルス周波数*5
S8865-64
S8865-128, S8866-128-02
ラインレート
S8865-256
S8866-64-02
出力インピーダンス
S8865-64, S8866-64-02
消費電力
S8865-128, S8866-128-02
S8865-256
Highゲイン
チャージアンプ帰還容量
Lowゲイン
記号
f(CLK)
LR
Zo
P
Cf
Min.
40
-
Typ.
7339
3784
1922
6838
3
100
180
360
0.5
1
ライン/s
kΩ
mW
pF
*5: ビデオデータレートはf(CLK)の1/4です。
2
アンプ付フォトダイオードアレイ
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
電気的特性および光学的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(RESET)=5 V, Vgain=5 V (High ゲイン ), 0 V (Low ゲイン )]
S8865-64/-128/-256
項目
λ
λp
感度波長範囲
最大感度波長
暗出力電圧*6
Highゲイン
Lowゲイン
受光感度
Vd
Vsat
飽和出力電圧
飽和露光量*7
記号
Highゲイン
Lowゲイン
Highゲイン
Lowゲイン
感度不均一性*8
Esat
S
PRNU
Highゲイン
ノイズ*9
Lowゲイン
出力オフセット電圧*10
N
Vo
S8865-64
Min.
Typ.
Max.
200 ～ 1000
720
0.01
0.2
0.005
0.1
3.0
3.5
0.8
1.0
1.6
2.0
3520 4400
1760 2200
±10
1.3
2.0
0.7
1.1
Vref
-
S8865-128
Min.
Typ.
Max.
200 ～ 1000
720
0.01
0.2
0.005
0.1
3.0
3.5
2.4
3.0
4.8
6.0
1200 1500
600
750
±10
1.0
1.5
0.6
0.9
Vref
-
S8865-256
Min.
Typ.
Max.
200 ～ 1000
720
0.01
0.2
0.005
0.1
3.0
3.5
15
19
30
37.5
200
250
100
125
±10
0.8
1.2
0.5
0.75
Vref
-
単位
nm
nm
mV
V
mlxăs
V/lxăs
%
mV rms
V
S8866-64-02/-128-02
項目
λ
λp
感度波長範囲
最大感度波長
暗出力電圧*6
Highゲイン
Lowゲイン
受光感度
Highゲイン
Lowゲイン
Highゲイン
Lowゲイン
感度不均一性*8
Highゲイン
ノイズ*
Lowゲイン
出力オフセット電圧*10
9
Vd
Vsat
飽和出力電圧
飽和露光量*7
記号
Esat
S
PRNU
N
Vo
Min.
3
14400
7200
-
S8866-64-02
Typ.
200 ～ 1000
720
0.01
0.005
3.5
0.2
0.4
18000
9000
2.0
1.1
Vref
Max.
Min.
0.2
0.1
0.25
0.5
±10
3.0
1.7
-
3
3520
1760
-
S8866-128-02
Typ.
200 ～ 1000
720
0.01
0.005
3.5
0.8
1.6
4400
2200
1.3
0.7
Vref
Max.
0.2
0.1
1.0
2.0
±10
2.0
1.1
-
単位
nm
nm
mV
V
mlxăs
V/lxăs
%
mV rms
V
*6: 蓄積時間 Ts=1 ms
*7: 2856 Kタングステンランプで測定
*8: 感度不均一性は飽和の50 %の露光量の均一光を入射した場合に、次のように定義します。
PRNU = ΔX/X × 100 (%)
X: 全画素の出力の平均、ΔX: 最大または最小出力とXとの差の大きい方の値
*9: ビデオデータレート50 kHz、暗状態、Ts=1 msで測定
*10: ビデオ出力は、出力オフセット電圧から負極性に出力されます。
3
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
1素子の出力波形
分光感度特性 (測定例)
出力オフセット電圧－周囲温度 (測定例)
KMPDB0220JA
KMPDB0288JA
4
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
暗出力電圧－周囲温度 (測定例)
KMPDB0289JB
ブロック図
RESET
1
CLK
2
Vref
10
Vgain
11
Vpd
12
EXTSP
Vms
Vdd
GND
4
5
6
7
1
2
3
4
5
N-1
3
TRIG
8
EOS
9
Video
N
KMPDC0153JA
5
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
タイミングチャート
S8865-64/-128/-256, S8866-128-02
1 2 3
16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30
1 2 3
CLK
tpw(RESET1)
RESET
8·υΛ·
tpw(RESET2)
8·υΛ·
ಇୟশ‫ۼ‬
ΫΟ΂੄ႁ‫ۼܢ‬
1
Video
2
3
n-1
n
Trig
EOS
tf(CLK)
tr(CLK)
t2
tpw(CLK)
t1
tpw(RESET1)
tpw(RESET2)
KMPD
tf(RESET)
tr(RESET)
KMPDC0289JC
項目
クロックパルス幅
クロックパルス上昇／下降時間
リセットパルス幅 1
リセットパルス幅 2
リセットパルス上昇／下降時間
クロックパルス－リセットパルスタイミング 1
クロックパルス－リセットパルスタイミング 2
記号
tpw(CLK)
tr(CLK), tf(CLK)
tpw(RESET1)
tpw(RESET2)
tr(RESET), tf(RESET)
t1
t2
Min.
500
0
21
20
0
-20
-20
Typ.
20
20
0
0
Max.
25000
30
30
20
20
単位
ns
ns
CLK
CLK
ns
ns
ns
1. RESETがLowになった直後のCLK の立ち下がりで内蔵タイミング回路が動作を開始します。
2. このCLKの立ち下がりを “1クロック” とすると、1 ch目のビデオ信号は “18.5クロック～ 20.5クロック” に現れます。その後、4ク
ロックおきにビデオ信号は現れます。
3. 1 chのトリガパルスは “19.5クロック” で立ち上がり、その後、４クロックおきに立ち上がります。このトリガパルスの立ち上がり
が推奨データ取り込みタイミングです。
4. 信号電荷蓄積時間はRESETのHigh期間に相当します。ただし蓄積時刻は異なり、RESETの立ち上がり8クロック目から蓄積が開
始し、RESETの立ち下がりから8クロック目に蓄積が終了します。この期間に蓄積された信号は、次にRESETがHighからLowにな
った後、シフトレジスト動作によって順次時系列信号として読み出されます。RESETの立ち上がり・立ち下がりはCLKの立ち上
がりに同期させてください。ただし、RESETの立ち上がりはビデオ出力期間を避けて設定してください。RESETの1周期は、“16.5
+ 4 × N (画素数)” クロックより短く設定することはできません。
5. EOS信号が出力された後のビデオ信号は、Highインピーダンス状態になりビデオ出力は不定となります。
6
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
S8866-64-02
1 2 3
4 5
20·υΛ·
16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30
1 2 3
CLK
tpw(RESET1)
RESET
8·υΛ·
tpw(RESET2)
8·υΛ·
ಇୟশ‫ۼ‬
ΫΟ΂੄ႁ‫ۼܢ‬
1
Video
2
3
n-1
n
Trig
EOS
tf(CLK)
tr(CLK)
t2
tpw(CLK)
t1
tpw(RESET1)
tpw(RESET2)
KMPDC0
tf(RESET)
tr(RESET)
KMPDC0278JC
項目
クロックパルス幅
クロックパルス上昇／下降時間
リセットパルス幅 1
リセットパルス幅 2
リセットパルス上昇／下降時間
クロックパルス－リセットパルスタイミング 1
クロックパルス－リセットパルスタイミング 2
記号
tpw(CLK)
tr(CLK), tf(CLK)
tpw(RESET1)
tpw(RESET2)
tr(RESET), tf(RESET)
t1
t2
Min.
500
0
21
20
0
-20
-20
Typ.
20
20
0
0
Max.
25000
30
30
20
20
単位
ns
ns
CLK
CLK
ns
ns
ns
1. RESETがLowになった直後のCLK の立ち下がりで内蔵タイミング回路が動作を開始します。
2. このCLKの立ち下がりを “1クロック” とすると、1 ch目のビデオ信号は “18.5クロック～20.5クロック” に現れます。その後、4ク
ロックおきにビデオ信号は現れます。
3. 安定したビデオ信号を得るために、RESETがLowになった直後のCLKの立ち上がりから3クロック目のHigh期間を20クロック分延
ばしてください。
4. 1 ch目のトリガパルスは、“19.5クロック” で立ち上がり、その後、４クロックおきに立ち上がります。このトリガパルスの立ち上
がりが推奨データ取りこみタイミングです。
5. 信号電荷蓄積時間はRESETのHigh期間に相当します。ただし蓄積時刻は異なり、RESETの立ち上がり8クロック目から蓄積が開
始し、RESETの立ち下がりから8クロック目に蓄積が終了します。この期間に蓄積された信号は、次にRESETがHighからLowに
なった後、シフトレジスト動作によって順次時系列信号として読み出されます。RESETの立ち上がり・立ち下がりはCLKの立ち
上がりに同期させてください。ただし、RESETの立ち上がりはビデオ出力期間を避けて設定してください。RESETの1周期は、
“36.5 + 4 × N (画素数)”クロックより短く設定することはできません。
6. EOS信号が出力された後のビデオ信号は、Highインピーダンス状態になりビデオ出力は不定となります。
7
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
外形寸法図 (単位: mm)
S8865-64/-128
+0.2
51.2 -0
(× 12)
P
2.54 × 11 = 27.94
0.76
1.27
5.0
IC
12
12.0
2.54
5.6
3.0
8.0*
40.0
1.6
(× 4)
1 ch
2.2
*
: G10
: PRECI-DIP DURTAL 800-10-012-20-001101
KMPDA0164JD
S8865-256
+0.2
51.2-0
(× 26) 0.64 × 0.64
34.02
2.54
2.28
2.54
1
25
2
26
(× 4)
2.2
6.9
10.0
6.0
P2.54 × 12 = 30.48
6.6
CMOS2
17.0
CMOS1
3.0
8.0*
40.0 ± 0.15
25.0 ± 0.1
1
40.0
1 ch
1.6
IC
*
: G10
:
PS-26PE-D4LT1-PN1
KMPDA0191JD
8
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
S8866-64-02/-128-02
*
" " *
! KMPDA0267JD
ピン接続
S8865-64/-128, S8866-64-02/-128-02
ピンNo.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
記号
RESET
CLK
Trig
EXTSP
Vms
Vdd
GND
EOS
Video
Vref
Vgain
Vpd
名称
リセットパルス
クロックパルス
トリガパルス
外部スタートパルス
マスター／スレイブ選択電圧
電源電圧
グランド
エンドオブスキャン
ビデオ出力
基準電圧
ゲイン選択端子電圧
フォトダイオード電圧
備考
パルス入力
パルス入力
正極性パルス出力
パルス入力
電圧入力
電圧入力
負極性パルス出力
Vrefからの負極性出力
電圧入力
電圧入力
電圧入力
S8865-256
ピンNo.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
CMOS1
Vpd
RESET
CLK
Trig
EXTSP
Vms
Vdd
GND
EOS
Video
Vref
Vgain
Vpd
ピンNo.
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
CMOS2
Vpd
RESET
CLK
Trig
EXTSP
Vms
Vdd
GND
EOS
Video
Vref
Vgain
Vpd
名称
フォトダイオード電圧
リセットパルス
クロックパルス
トリガパルス
外部スタートパルス
マスター／スレイブ選択電圧
電源電圧
グランド
エンドオブスキャン
ビデオ出力
リファレンス電圧
ゲイン選択電圧
フォトダイオード電圧
備考
電圧入力
パルス入力
パルス入力
正極性パルス出力
パルス入力
電圧入力
電圧入力
負極性パルス出力
Vrefからの負極性出力
電圧入力
電圧入力
電圧入力
9
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
ゲイン選択端子電圧の設定方法
Vdd: Highゲイン (Cf=0.5 pF) GND: Lowゲイン (Cf=1 pF)
読み出し方式ごとの設定方法
S8865-64/-128, S8866-64-02/-128-02
通常は、下表のAの設定をしてください。
複数個のセンサをシリアルに読み出す場合は、1段目はA、2段目以降はBの設定をしてください。
各センサのCLKとRESETは共通とし、各センサのビデオ出力端子は1本に接続してください。
Vms
Vdd
GND
設定
読み出し方式
A パラレル読み出しの全段、シリアル読み出しの1段目
B シリアル読み出しの2段目以降
EXTSP
Vdd
前段のEOSを入力
[図1] 接続図 (パラレル読み出し)
$
%
&
'
(
!
"#
)
$
µ
µ
KMPDC0288JB
10
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
アンプ付フォトダイオードアレイ
S8865-256
CMOS1からは1～128 chの信号が出力され、CMOS2からは129～256 chの信号が出力されます。読み出し方式には以下の2つがあります。
(1) シリアル読み出し方式
CMOS1・CMOS2をシリアルに接続し、1本の出力線から1～256 chの信号を順次読み出す方法です。CMOS1は下表のA、CMOS2はBの設
定をしてください。CMOS1・CMOS2のCLKとRESETは共通とし、ビデオ出力端子は1本に接続してください。
(2) パラレル読み出し方式
CMOS1・CMOS2のそれぞれの出力線から128 chずつパラレルに信号を読み出す方式です。CMOS1・CMOS2とも下表のAの設定をしてく
ださい。
[図2] 接続図
シリアル読み出し方式
パラレル読み出し方式
CMOS1
CMOS1
1
Vpd
RESET
2
RESET (1)
RESET
2 RESET (1)
CLK
3
CLK (1)
CLK
3 CLK (1)
4
Trig (1)
Trig (1)
4 Trig (1)
5
EXTSP (1)
6
Vms (1)
Vdd
7
Vdd
Vdd
7 Vdd
GND
8
GND
GND
8 GND
9
EOS (1)
EOS (1)
1 Vpd
5 EXTSP (1)
6 Vms (1)
9 EOS (1)
10 Video (1)
Video (1)
10 Video (1)
Vref
11 Vref
Vref
11 Vref
Vgain
12 Vgain
Vgain
12 Vgain
13 Vpd
13 Vpd
CMOS2
14 Vpd
Trig
CMOS2
15 RESET (2)
14 Vpd
16 CLK (2)
15 RESET (2)
OR Logic IC
17 Trig (2)
74HC32
18 EXTSP (2)
16 CLK (2)
17 Trig (2)
Trig (2)
19 Vms (2)
18 EXTSP (2)
20 Vdd
19 Vms (2)
21 GND
20 Vdd
EOS
22 EOS (2)
Video
23 Video (2)
EOS (2)
22 EOS (2)
24 Vref
Video (2)
23 Video (2)
21 GND
25 Vgain
24 Vref
26 Vpd
25 Vgain
26 Vpd
KMPDC0222JA
KMPDC0223JB
設定
A
B
Vms
Vdd
GND
EXTSP
Vdd
前段のEOSを入力
読み出し回路
パルス信号を、入力端子にてパルス条件を満たした上で入力してください。
ビデオ出力はセンサに近い箇所でオペアンプにて増幅してください。
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アンプ付フォトダイオードアレイ
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
使用上の注意
(1) 信号処理ICチップには静電気に対する保護がなされていますが、静電気による破壊を未然に防ぐために作業者、作業台、作業工具
の接地などの静電気対策を実施してください。
また周辺装置からのサージ電圧の印加を防いでください。
(2) ワイヤボンディングに用いられる金ワイヤは非常に細く、機械的なストレスで容易に断線に至ります。信号処理ICチップとワイヤ
ボンディング部は樹脂によって保護されていますが、この部分に余分な力がかかると断線などの故障の原因となるため、絶対に触
れないようにしてください。
保護樹脂上に汚れや異物が付着した場合は、エアブローで取り除いてください。溶剤による洗浄は絶対に行わないでください。保
護樹脂上に汚れや傷がついたり、信号処理ICチップやフォトダイオードアレイチップにかけが生じると信号が得られなくなる場合
があります。
(3) 高湿動作時には諸特性が劣化する恐れがありますので、筺体側で気密封止を行ってください。
また基板取り付け時には、基板に反りが生じないように注意してください。
アンプ付フォトダイオードアレイ用駆動回路 C9118シリーズ (別売)
C9118シリーズは、アンプ付フォトダイオードアレイS8865-64/-128, S8866-128-02用に設計されたCMOS駆動回路です。M-CLK、
M-RESETの2信号の入力と単一+5 V電源で動作します。シングルおよびパラレル接続用にはC9118、シリアル接続用にはC9118-01を
ご利用ください。
特長
+5 V単一電源動作
M-CLK, M-RESETの2信号入力で動作
小型・薄型: 46 × 56 × 5.2 t mm
ブロック図
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KACCC0187JE
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アンプ付フォトダイオードアレイ
S8865-64/-128/-256, S8866-64-02/-128-02
接続例
シングル・パラレル読み出し例 (C9118)
シリアル読み出し例 (C9118-01)
同時蓄積／出力 (高速処理に有効)
同時蓄積／シリアル出力
(外部処理部の簡素化に有効)
KACCC0189JD
KACCC0190JD
本資料の記載内容は、平成26年2月現在のものです。
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Cat. No. KMPD1071J09 Feb. 2014 DN
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