s11212 series kmpd1127j

16素子Siフォトダイオードアレイ
S11212-421
S11212シリーズ
S11212-321
S11212-121
S11212-021
X線非破壊検査用の裏面入射型
フォトダイオードアレイ
裏面入射型構造を採用したＸ線非破壊検査用の16素子Siフォトダイオードアレイです。当社従来品 (S5668シリーズ)に比
べ感度均一性が改善され、素子間のバラツキが小さくなりました。裏面入射型フォトダイオードアレイは、入射面側にボ
ンディングワイヤと受光部がないため取り扱いが容易で、ワイヤへのダメージを気にすることなくシンチレータを実装す
ることができます。なおS11212シリーズは、従来品のS5668シリーズとパッケージサイズ・ピン接続が同じため置き換え
が可能です。
特長
用途
感度波長範囲: 340～1100 nm (S11212-021)
X線非破壊検査など
素子サイズ: 1.175 (W) × 2.0 (H) mm／1素子
素子間ピッチ: 1.575 mm × 16素子
25.4 (W) × 20.0 (H) mmの基板に実装
複数配列により長尺化が可能
デュアルエナジーイメージングに対応
(上下2層に組み合わせて使用、7ページを参照)
セレクションガイド
S11212-021
タイプ
なし*1
シンチレータ
残光
-
クロストーク
-
S11212-121
CsI(Tl)
長
小
S11212-321
GOSセラミック
短
小
S11212-421
蛍光紙
短
あり
型名
応用例
一般測光
対象物の移動速度が遅いX線非破壊検査
(手荷物検査など)
対象物の移動が速いX線非破壊検査
(手荷物検査など)
X線が低エネルギーの場合のX線非破壊検査
*1: 購入したままの状態ではX線検出器として使用できません。お客様側で任意のシンチレータまたは蛍光紙を実装して使用してください。
使用上の注意
S11212-121のCsl(TI)シンチレータには潮解性があります。高湿環境で保管または使用しないでください。
浜松ホトニクス株式会社
1
16素子Siフォトダイオードアレイ
特　長
S11212シリーズ
01 裏面入射型
S11212シリーズは、裏面入射型構造を採用したフォトダイオードアレイです。構造上デリケートなボンディングワイヤを使用せず、フォトダ
イオードアレイの出力端子と基板電極をバンプボンディングによって直接接続しています。これによって、基板の配線は基板内部に納められ
ているため、堅牢な構造となっています。また、シンチレータの実装面にボンディングワイヤと受光部がないため、フォトダイオードアレイ
などを損傷する危険性が少なく、温度変化の影響も受けにくいなど高い信頼性を確保することが可能となりました。
断面図 (表面入射型と裏面入射型の比較)
ນ࿂වৣ߿
(ਲြ຦)
X஌
ၔ࿂වৣ߿
(૧ୋ຦)
ΏϋΙτȜΗ
X஌
ΏϋΙτȜΗ
༗ࢌਏড
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ
δϋΟͻϋΈ
χͼμ
਋࢕໐
਋࢕໐
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ
Ψϋίഩޭ
KMPDA0280JA
特　長
02 広い用途
特　長
03 優れた感度均一性
S11212 シリーズはデュアルエナジーイメージングに対応してお
り、高エネルギー X 線と低エネルギー X 線を同時に検出するため
独自のセンサ設計により、素子間の感度バラツキを最小に抑え、セ
に、2種類のシンチレータ付フォトダイオードアレイを上下2層に組
較して感度均一性が大幅に改善されているため、良好なX線出力が
み合わせて使用できる構造になっています。また、複数配列してラ
得られます。
ンサ端の感度変動を解消しています。従来品(S5668シリーズ)と比
インセンサとして使用できるように近接配置が可能な構造も実現し
ています。これにより長尺の対象物の計測も可能になります。
感度均一性
(Typ. Ta=25 °C)
110
センサの構造例
௖చۜഽ (%)
105
S11212ΏςȜΒ
100
95
ਲြ຦
90
85
2 層に組み合わせた例
複数配列の例
80
1
2
3
4
5
6
7
8 9 10 11 12 13 14 15 16
ளঊ
2
S11212シリーズ
16素子Siフォトダイオードアレイ
絶対最大定格
項目
S11212-021
10
-20 ～ +60
-20 ～ +80
記号
VR max
Topr
Tstg
逆電圧
動作温度*2
保存温度*2
S11212-121/-321/-421
10
-10 ～ +60
-20 ～ +70
単位
V
°C
°C
*2: 結露なきこと
高湿環境においては、製品とその周囲で温度差があると製品表面が結露しやすく、特性や信頼性に影響が及ぶことがあります。
電気的および光学的特性 [Ta=25 °C, 1素子当たり, X線感度以外はS11212-021 (シンチレータなし)]
項目
感度波長範囲
最大感度波長
記号
λ
λp
受光感度
S
短絡電流
Isc
X 線感度
IscX
暗電流
ID
上昇時間
tr
端子間容量
Ct
条件
λ=540 nm
λ=λp
*3
S11212-021
S11212-121
*4
S11212-321
S11212-421
VR=10 mV
VR=0 V, RL=1 kΩ
10 ～ 90 %, λ=658 nm
VR=0 V, f=10 kHz
Min.
380
550
2.7
-
Typ.
340 ～ 1100
920
420
610
3.4
6.0
3.5
3.0
5
Max.
460
670
30
-
6.5
-
μs
30
40
50
pF
単位
nm
nm
mA/W
μA
nA
pA
*3: 100 lx, 2856 K
*4: 参考値 (X線管電圧 120 kV、管電流 1.0 mA、アルミフィルタ t=6 mm、距離=830 mm)。X線感度の値は、X線照射条件などによっ
て異なります。
分光感度特性 [センサ自体の特性 (シンチレータは含まない)]
(Typ. Ta=25 °C)
0.8
0.7
S11212-021
਋࢕ۜഽ (A/W)
0.6
QE=100%
0.5
0.4
ਲြ຦
0.3
S11212-121
S11212-321
S11212-421
0.2
0.1
0
200
400
600
800
1000
1200
෨ಿ (nm)
S12362/S12363-121, -321, -421͉ΏϋΙτȜΗͬ୪಍̳ͥ
ਏড͈൫ًၚ͞฽ৣၚ̦‫̹̯ͦྙح‬අ଻̳́ȃ
KMPDB0350JA
3
S11212シリーズ
16素子Siフォトダイオードアレイ
シンチレータの発光特性と分光感度特性
S11212-121
S11212-321
(Typ.)
100
(Typ.)
100
໦࢕ۜഽඅ଻
໦࢕ۜഽඅ଻
80
60
40
40
20
20
0
0
200
400
600
800
1000
0
1200
௖చ࢕੄ႁ (%)
CsI(TI)
ΏϋΙτȜΗ
อ࢕අ଻
60
80
ၾঊ࢘ၚġĩĦĪ
௖చ࢕੄ႁġ(%)
80
100
80
ΓρηΛ·
ΏϋΙτȜΗ
อ࢕අ଻
60
60
40
40
20
20
0
0
෨ಿġ(nm)
200
400
600
800
1000
ၾঊ࢘ၚ (%)
100
0
1200
෨ಿġ(nm)
KSPDB0282JB
KSPDB0281JB
シンチレータの仕様
項目
ピーク発光波長
X線吸収係数
屈折率
減衰定数
残光
密度
色調
発光強度のバラツキ
条件
100 keV
ピーク発光波長時
100 ms後
CsI(TI)
560
10
1.7
1
0.3
4.51
透明
±10
GOSセラミック
512
7
2.2
3
0.01
7.34
薄黄緑
±5
単位
nm
cm-1
μs
%
g/cm3
%
4
S11212シリーズ
16素子Siフォトダイオードアレイ
外形寸法図 (単位: mm, 指定のない場合の公差: ±0.1 mm)
S11212-021
+0
25.4 -0.3
P1.575 × 15 = 23.625
(18 ×) 0.45
Fe Ni Co άϋ
1.0 ± 0.15
1.575
+0.3
1.2 -0.2
਋࢕໐
1.175 × 2.0
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
4.0
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡΙΛί
2.0
15.24 ± 0.1
20.0 ± 0.2
KC
΄ρΑ΀ε΅Ώ‫ܖ‬โ
KC
3.5 ± 0.5
2.54
P 2.54 × 8 = 20.32
KMPDA0269JB
S11212-121
+0
25.4 -0.3
+0.3
1.2 -0.2
1.575
4.0
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
KC
2.54
CsI(Tl) 3.0t
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡΙΛί
2.0
਋࢕໐
1.175 × 2.0
3.1 [CsI(Tl)]
15.24 ± 0.1
20.0 ± 0.2
KC
(18 ×) 0.45
Fe Ni Co άϋ
1.0 ± 0.15
P1.575 × 15 = 23.625
΄ρΑ΀ε΅Ώ‫ܖ‬โ
3.5 ± 0.5
P 2.54 × 8 = 20.32
KMPDA0273JA
5
S11212シリーズ
16素子Siフォトダイオードアレイ
S11212-321
+0
25.4 -0.3
+0.3
1.2 -0.2
1.575
1.36
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡΙΛί
΄ρΑ΀ε΅Ώ‫ܖ‬โ
3.1 (GOSΓρηΛ·)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
GOSΓρηΛ·
1.3t
2.0
15.24 ± 0.1
਋࢕໐
1.175 × 2.0
KC
2.54
P 2.54 × 8 = 20.32
3.5 ± 0.5
KMPDA0274JA
S11212-421
+0
25.4 -0.3
+0.3
1.2 -0.2
1.575
0.75
਋࢕໐
1.175 × 2.0
3.0 (ࠖ࢕ঞ)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
KC
2.54
ࠖ࢕ঞ 0.5t
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡΙΛί
2.0
15.24 ± 0.1
KC
(18 ×) 0.45
Fe Ni Co άϋ
1.0 ± 0.15
P1.575 × 15 = 23.625
20.0 ± 0.2
20.0 ± 0.2
KC
(18 ×) 0.45
Fe Ni Co άϋ
1.0 ± 0.15
P1.575 × 15 = 23.625
΄ρΑ΀ε΅Ώ‫ܖ‬โ
3.5 ± 0.5
P 2.54 × 8 = 20.32
KMPDA0275JB
6
S11212シリーズ
16素子Siフォトダイオードアレイ
X線非破壊検査用Siフォトダイオードアレイのラインアップ
シンチレータ
型名
素子数
素子ピッチ
(mm)
素子サイズ
(mm)
S11212-021*5
基板サイズ
(mm)
対応X線エネルギー
写真
25.4 (W) × 20.0 (H)
-
なし
S11299-021*5
25.4 (W) × 10.2 (H)
S11212-121
25.4 (W) × 20.0 (H)
Csl(TI)
S11299-121
25.4 (W) × 10.2 (H)
16
1.575
高エネルギー
1.175 (W) × 2.0 (H)
S11212-321
25.4 (W) × 20.0 (H)
S11299-321
25.4 (W) × 10.2 (H)
S11212-421
25.4 (W) × 20.0 (H)
GOS
セラミック
低エネルギー
蛍光紙
S11299-421
25.4 (W) × 10.2 (H)
*5: 購入したままの状態ではX線検出器として使用できません。お客様側で任意のシンチレータまたは蛍光紙を実装して使用してください。
上記の表に掲載されていないシンチレータのタイプにも対応が可能です (特注品)。
営業にご相談ください。
組み合わせ例 (デュアルエナジーイメージング対応)
デュアルエナジーイメージングとは、高エネルギーと低エネルギーの2 つの異なるX 線エネルギーを利用して、1 回のスキャンで2 種の
データを取得し重ね合わせる撮像方式のことです。上段には低エネルギー用、下段には高エネルギー用のシンチレータ付フォトダイオー
ドアレイを配置します。複数配列することによりデュアルエナジー用ラインセンサとしても利用できます。
①上段、下段にS11212シリーズを用いる場合
・【上段】S11212-421 ＋【下段】S11212-121
ષ౲Ļ
೩΀ΥσΆȜဥ
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼġ
X஌
・【上段】S11212-421 ＋【下段】S11212-321
②上段にS11212シリーズ、下段にS11299シリーズを
‫ئ‬౲Ļ
ࣞ΀ΥσΆȜဥ
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼġ
用いる場合
・【上段】S11212-421 ＋【下段】S11299-121
・【上段】S11212-421 ＋【下段】S11299-321
ષ౲Ļ
೩΀ΥσΆȜဥ
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼġ
X஌
‫ئ‬౲Ļ
ࣞ΀ΥσΆȜဥ
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼġ
注) S11299シリーズについての詳細は、S11299シリーズデータシートを参照してください。
7
16素子Siフォトダイオードアレイ
S11212シリーズ
関連情報
www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html
注意事項
・ 製品に関する注意事項とお願い
本資料の記載内容は、平成28年3月現在のものです。
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ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ‫͉̞̀̾ͅٺ‬Ȃ໺২̷͉͈ୣͬ໅̵̞ͭ͘ȃ
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ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ
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໛‫ؖ‬ঌฎఉߊฎఉ‫פ‬൐IJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶ‫ٴ‬Ī
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ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ
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Cat. No. KMPD1127J04 Mar. 2016 DN
8