カタログ

近赤外CCDカメラ
C3077-80
分光感度特性
900 nmでは
映像出力信号(相対値)
100
C3077-80
90
感度
当社従来品
80
2倍以上!
(当社従来品比)
70
60
50
40
30
20
10
0
400
500
600
700
800
900
1000
波長(nm)
※レンズはオプションです。
特 長
近赤外領域で高感度
近赤外CCDカメラ C3077-80は、近赤外領域に高い感
度を持つカメラです。当社CCD素子を採用し、近赤外の波長
域に高い感度を有しています。従来お使いいただいている当
社近赤外用CCDカメラと寸法、出力仕様はそのままに、感度
を向上させました。
EIA出力
用 途
Siウェーハ/デバイス位置合わせ
COG位置合わせ
Siデバイス内部検査
セラミック基板検査
撮像例
ICに赤外光を当てて内部パターンを撮像しました。
(対物レンズ:50倍/1100 nmバンドパスフィルタ使用)
Siウェーハ
カメラ
赤外光
赤外光
光源
反射
チップ裏面
切削
赤外顕微鏡
ミラー研磨
リードフレーム
Si
プラスチック
モールド
測定パターン
【当社従来品】
ノイズが多く、パターンが不鮮明
【C3077-80】
ノイズが少なく、パターンが鮮明
1100
仕 様
システム構成例
型名
C3077-80
撮像素子
12PINケーブル 5 m
BNCケーブル 3 m
A3194-01
A3746-03
モニタ
近赤外CCDカメラ
カメラアダプタ
A13206-02
C3077-80
2/3型 フレームトランスファCCD
有効画素数
648 (H) × 484 (V)
画素サイズ
14 μm (H) × 14 μm (V)
有効素子サイズ
9.0 mm (H) × 6.8 mm (V)
映像出力信号
Cマウント
レンズ
1.0 V p-p、負同期、75 Ω不平衡
水平/垂直周波数
12PINケーブル 5 m
A3194-01
15.734 Hz/59.94 Hz
走査方式
カメラコントローラ
C2741-63
2:1インターレース
レンズマウント
標準構成品
オプション
Cマウント
同期方式
内部同期/外部同期
外部同期入出力
HD/VD(信号レベル:TTLレベル)
アナログゲイン設定
AGC/標準/可変
電源
オプション
DC +12 V
消費電力
カメラアダプタ:A13206-02
約 4.5 VA
動作周囲温度
0 ℃ ∼ + 40 ℃
動作周囲湿度
70 % 以下 (ただし結露しないこと)
保存周囲温度
− 10 ℃ ∼ + 50 ℃
12PINケーブル 5 m:A3194-01
BNCケーブル 3 m:A3746-03
カメラコントローラ:C2741-63
外形寸法図
■ カメラ
カメラコントローラ C2741-63
(単位:mm)
●コントラスト強調
●自動コントラスト調整
●シェーディング補正
●ノイズリダクション機能
●輪郭強調
●γ補正
(約0.23 kg)
(5)調整式
44
(111)
87
6
12.2
12.6
32
16
27
48
φ40
CCD CAMERA
11.5
4
●コントラスト強調例
79
1/4-20UNC 有効深さ 4.5
30
Cマウント
C2741-63は、
スタンドアローンの画像処理装置でC3077-80からの映像信号を
強調・改善することができます。
17 28
31
4-M2.6 有効深さ 4.5
2-M4 有効深さ 4.5
▲処理前
▲コントラスト強調
※カタログに記載の分光感度特性グラフは代表例を示すもので、保証するものではありません。
※その他の記載商品名、ソフト名等は該当商品製造会社の商標または登録商標です。
※カタログの記載内容は2016年5月現在のものです。 本内容は改良のため予告なく変更する場合があります。
www.hamamatsu.com
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MAY/2016 HPK