c10988ma-01 etc kacc1169j

ミニ分光器
MSシリーズ
C10988MA-01
C11708MA
MEMS技術とイメージセンサ技術を融合した
超小型のミニ分光器
ミニ分光器 MSシリーズは、MEMS技術とイメージセンサ技術を融合し、親指大の超小型サイズ (27.6 × 16.8 × 13 mm)を
実現したモバイル測定機器組み込み用の分光器ヘッドです。
入射スリットと一体のCMOSイメージセンサを使用し、光学系として凸面レンズにナノインプリントでグレーティングを
形成することで従来のRCシリーズに比べて1/3以下の体積を実現しています。
特長
用途
親指大サイズ: 27.6 × 16.8 × 13 mm
C10988MA-01
質量: 9 g
プリンタ、印刷機などの色モニタ
感度波長範囲: 340 ~ 750 nm (C10988MA-01)
640 ~ 1050 nm (C11708MA)
各種大型ディスプレイへの組み込み (色管理用デバイス)
C11708MA
波長分解能: 14 nm (C10988MA-01)
20 nm (C11708MA)
果物の糖度測定/穀物のうまみ評価
モバイル測定機器への組み込み用
成分分析
波長変換係数*1を検査成績書に添付
*1: イメージセンサの画素 No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。
光学的特性
項目
感度波長範囲
波長分解能 (半値幅)*2
波長再現性*3
波長温度依存性
輝線迷光*2 *4
C10988MA-01
340 ~ 750
14 max.
C11708MA
640 ~ 1050
20 max.
-0.5 ~ +0.5
-0.05 ~ +0.05
-25 max.
単位
nm
nm
nm
nm/°C
dB
*2:「 構成/絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。
*3: 入光条件などが一定の場合
*4: 以下の波長の光を入射したときに測定されるカウントと、その波長の±40 nmにて測定されるカウントの比
C10988MA-01: 550 nm, C11708MA: 850 nm
電気的特性
項目
電源電圧
消費電力
ビデオレート
出力インピーダンス
Min.
4.75
0.25
-
Typ.
5
30
150*5
Max.
5.25
200
-
単位
V
mW
kHz
Ω
*5: ビデオ出力端子の消費電流の増大は、チップ温度の上昇によって暗電流の増加をもたらします。そのため、ビデオ出力端子にはインピ
ーダンス変換用のバッファアンプを接続して、できるだけ消費電流を流さないようにしてください。バッファアンプには、JFETまたは
CMOS入力の光入力インピーダンスのオペアンプを使用してください。
浜松ホトニクス株式会社
1
C10988MA-01, C11708MA
MSシリーズ
ミニ分光器
構成/絶対最大定格
項目
外形寸法 (W × D × H)
質量
画素数
画素サイズ (H × V)
イメージセンサ (H × V)
スリット*6
NA*7
動作温度*8
保存温度*8
定格値
27.6 × 16.8 × 13
9
256
12.5 × 1000
CMOSリニアイメージセンサ
75 × 750
0.22
+5 ~ +50
-20 ~ +70
単位
mm
g
画素
μm
μm
°C
°C
*6: 入射開口部の大きさ
*7: 開口数 (立体角)
*8: 結露なきこと
高湿環境においては、製品とその周囲で温度差があると製品表面が結露しやすく、特性や信頼性に影響が及ぶことがあります。
注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。
光学系配置図 (C10988MA-01)
エッチング技術によりスリットを一体化したCMOSイメージセンサに加えて、ナノインプリントで凸面レンズに形成したグレー
ティングを採用しました。これにより小型化を実現しています。
ͼιȜΐΓϋ΍
වৣ࢕
CMOSチップ裏面
වৣΑςΛΠ
Ψϋίഩޭ
ΑςΛΠ
΄ρΑ෻஌‫ܖ‬โ
τϋΒ
ٝ୬࢕
΢ΦͼϋίςϋΠͥ͢ͅΈτȜΞͻϋΈ
KACCC0458JA
ńŎŐŔΙΛί
分光感度特性 (代表例)
C10988MA-01
C11708MA
(Ta=25 °C)
100
80
௖చۜഽ (%)
80
௖చۜഽ (%)
(Ta=25 °C)
100
60
40
60
40
20
20
0
300 350 400 450 500 550 600 650 700 750
0
600
700
800
900
1000
1100
෨ಿ (nm)
෨ಿ (nm)
KACCB0209JC
KACCB0225JB
2
MSシリーズ
ミニ分光器
C10988MA-01, C11708MA
波長分解能-波長 (代表例)
直線性 (C11351使用, 代表例)
(Ta=25 °C)
20
(LowΊͼϋ)
100000
A/D੄ႁ͈యນ႕
A/D੄ႁ͈ၑே౵
ၑே౵͂యນ႕͈ओ
18
10
8
16
ၑே౵͂యນ႕͈ओ (%)
6
14
4
12
C11708MA
A/D੄ႁ
෨ಿ໦ٜෝ (nm)
10000
10
C10988MA-01
8
2
1000
0
-2
6
-4
100
4
-6
2
-8
0
300
400
500
600
700
800
900
1000 1100
෨ಿ (nm)
100
1000
-10
10000
ಇୟশ‫( ۼ‬ms)
KACCB0211JD
暗出力-周囲温度 (C11351使用, 代表例)
(ಇୟশ‫ ۼ‬10 s, LowΊͼϋ)
70000
10
10
KACCB0230JA
A/D 出力は、光入射時の出力から暗出力を減
算したものです。理想値と代表例の差には、
測定誤差が含まれます。A/D出力が小さいとき
は、測定誤差が大きくなります。
A/D੄ႁ (஠ْள໹޳)
60000
50000
40000
30000
20000
10000
0
0
10
20
30
40
50
ਔս‫أ‬ഽ (°C)
KACCB0233JB
A/D出力は、センサおよび回路のオフセット出力
とセンサ暗出力が加算されたものです。
3
C10988MA-01, C11708MA
MSシリーズ
ミニ分光器
測定可能な入射強度
C10988MA-01
C11708MA
-12
-10
10
-8
10
-6
10
10
වৣ‫ޑ‬ഽ* (W)
* වৣΑεΛΠࠂͬ800 μm̱̹͂ાࣣ (C10988MA-01: λ=550 nm, C11708MA: λ=850 nm)
KACCB0210JD
外形寸法図 (単位: mm, 指示なき公差: ±0.2)
ͼϋΟΛ·Α
ζȜ·
ł
1.0
5.0
ΑςΛΠ
0.51
2.54
16.8
1.5
0.075 × 0.75
13
B
27.6
ΑςΛΠպ౾
16
13
2.6
CLK
GND
NC
ST
NC
Gain
EOS
NC
Vdd
Video
1.0
ৗၾ: 9g
0.2
29.6
A
B
C10988MA-01
ϕ3
0.75
C11708MA
ϕ2.8
0.5
KACCA0257JC
4
MSシリーズ
ミニ分光器
C10988MA-01, C11708MA
外部回路との電気的接続
リードピンを用いて外部回路への電気的接続を行います。
ピンNo.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
記号
CLK
GND
NC
ST
NC
Gain
EOS
NC
Vdd
Video
ピン名称
クロックパルス
グランド
I/O
I
スタートパルス
I
ゲイン
エンドオブスキャン
I
O
電源電圧
ビデオ出力
I
O
説明
センサスキャン同期信号
センサGND
無接続
スタートパルス
無接続
イメージセンサ: ゲイン設定
センサスキャン終了信号
無接続
イメージセンサ用電源: 5 V
ビデオ出力信号
使用上の注意
· リードピンへ外力が繰り返し加わると、損傷の原因になります。
振動が発生する場所に設置する場合には、本製品を樹脂またはホルダなどで固定した上で取り付けてください。
[推奨樹脂: 信越化学工業 (株)製 KE347Bなど]
· はんだ付けにより損傷する場合があるため、はんだ温度、はんだ付け時間にご注意ください。
目安として、手はんだの場合は370 °C以下、3.5秒以内、はんだ槽の場合は、260 °C以下、10秒以内で行ってください。
CMOSイメージセンサ
推奨端子電圧
項目
記号
Vdd
電源電圧
ゲイン選択端子電圧
クロックパルス電圧
スタートパルス電圧
Highゲイン
Lowゲイン
Highレベル
Lowレベル
Highレベル
Lowレベル
Gain
V(CLK)
V(ST)
Min.
4.75
0
Vdd - 0.25
Vdd - 0.25
0
Vdd - 0.25
0
Typ.
5
Vdd
Vdd
Vdd
-
Max.
5.25
0.4
Vdd + 0.25
Vdd + 0.25
0.4
Vdd + 0.25
0.4
単位
V
V
V
V
V
V
V
Typ.
-
Max.
800
60
60
単位
kHz
Typ.
0.02
0.02
0.35
0.35
1.4
4.8
2.8
1.7
0.3
0.2
Max.
0.08
0.08
0.55
0.55
3.3
2.0
0.5
0.4
単位
電気的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(ST)=5 V]
項目
クロックパルス周波数
記号
f(CLK)
Highゲイン
Lowゲイン
消費電力
P
Min.
1
-
mW
電気的および光学的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(ST)=5 V]
項目
記号
Highゲイン
暗電流
ID
Lowゲイン
Highゲイン
出力オフセット電圧
Vo
Lowゲイン
Highゲイン
チャージアンプ帰還容量*9
Cf
Lowゲイン
Highゲイン
飽和出力電圧*10
Vsat
Lowゲイン
Highゲイン
読み出しノイズ
Nr
Lowゲイン
*9: Gain=5 V (Lowゲイン), Vg=0 V (Highゲイン)
*10: Voとの電圧差
Min.
0.15
0.15
2.3
1.4
-
pA
V
pF
V
mV rms
5
MSシリーズ
ミニ分光器
C10988MA-01, C11708MA
タイミングチャート
ಇୟশ‫ۼ‬
CLK
thw (ST)
ST
Video
TRIG
EOS
tr(CLK)
tf(CLK)
CLK
tr(ST)
ST
tf(ST)
tvd
Video
KACCC0493JB
項目
記号
単位
Min.
Typ.
Max.
スタートパルスHigh期間
thw(ST)
1030/f(CLK)
s
スタートパルス上昇/下降時間
tr(ST), tf(ST)
0
20
30
ns
クロックパルスデューティ比
45
50
55
%
クロックパルス上昇/下降時間
tr(CLK), tf(CLK)
0
20
30
ns
ビデオ遅延時間
tvd
20
ns
注) スタートパルスがLowの期間中にクロックパルスを1度だけHighからLowに下げてください。このタイミングで内部シフトレジスタ
の動作が開始します。
蓄積時間はスタートパルス間隔で決まりますが、各画素の電荷蓄積はその画素の信号が読み出されてから次に信号が読み出され
るまでの間に行われるため、蓄積開始時間は画素ごとに異なります。また、全画素の読み出しが終了するまで次のスタートパルス
を入力することはできません。
ビデオ出力はクロックパルス周波数の1/4です。
6
MSシリーズ
ミニ分光器
C10988MA-01, C11708MA
推奨駆動回路例
Vdd
C10988MA-01, C11708MA
Gain 6
Gain
CLK
ST
EOS
ΗͼηϋΈ
อ୆ٝႹ
1
CLK
4
ST
7
EOS
ΟΐΗσΨΛέ͹
A/D་۟ٝႹ
̈́̓
Vdd
9
2
ͺ΢υΈ‫ॳ׵‬ٝႹ *
(ࡘॳ, ௩໙̈́̓)
+
Vdd
GND
10
Video
* ຈါ̈́ાࣣ
KACCC0502JD
ミニ分光器MSシリーズ評価回路 C11351
C11351はミニ分光器 C10988MA-01、C11708MAの特性を簡易的に評価するため
の回路です。分光器MSシリーズ (別売)とUSBケーブル A9160 (ABタイプ, 別売)
を合わせて使用することによって、MSシリーズの特性を評価用ソフトウェアで
評価することが可能です*11。
特長
ミニ分光器MSシリーズの初期評価回路
ミニ分光器MSシリーズの波長換算係数をPCから
入力可能*12
高A/D分解能 (16 ビット)
USBからの供給電源のみで駆動
*11: 対応OS:
Microsoft® Windows® 7 Professional SP1 (32-bit, 64-bit)
Microsoft® Windows® 8 Professional (32-bit, 64-bit)
*12: C11351出荷時には、代表的な波長換算係数が入力されています。高い波長精度で測定するためにはC10988MA-01またはC11708MAに
添付されている検査成績書に記載された製品ごとの波長換算係数を入力する必要があります。
注) C11351はMSシリーズの評価回路のため、DLL関数仕様を公開していません。
Microsoft、Windowsは、米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。
電気的特性
項目
インターフェース
A/D変換
クロックパルス周波数
ビデオレート
蓄積時間
仕様
USB 2.0
16
800
200
5 ~ 10000
単位
ビット
kHz
kHz
ms
7
ミニ分光器
MSシリーズ
C10988MA-01, C11708MA
構成/絶対最大定格
項目
仕様
C10988MA-01, C11708MA
80 × 60
30 × 44
+5 ~ +40
-20 ~ +70
対応分光器
外形寸法
コントロール基板
センサ基板
動作温度*13
保存温度*13
単位
mm
mm
°C
°C
*13: 結露なきこと
高湿環境においては、製品とその周囲で温度差があると製品表面が結露しやすく、特性や信頼性に影響が及ぶことがあります。
注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。
接続例
PC
USBΉȜήσ
A9160 (༆ค)
௶೰࢕
C11351
ηΣ໦࢕‫ܕ‬
MSΏςȜΒ (༆ค)
KACCC0494JC
評価用ソフトウェア
8
MSシリーズ
ミニ分光器
C10988MA-01, C11708MA
ミニ分光器のラインアップ
߿ྴ
Ηͼί
C10082CA
TM-UV/VIS-CCD
ࣞۜഽ
C10082CAH
TM-UV/VIS-CCD
ࣞ໦ٜෝ
C10082MD
TM-UV/VIS-MOS
ࢩΘͼ΢ηΛ·τϋΐ
C10083CA
C10083CAH
ηΣ
໦࢕‫ܕ‬
ŕŎ
ΏςȜΒ
C11697MB
TM-VIS/NIR-MOS-II
Πς΄చ؊
C9404CA
TG-UV-CCD
ࣞۜഽ
C9404CAH
TG-UV-CCD
ࣞ໦ٜෝ
C11713CA
C11714CB
TG-RAMAN-II
ࣞ໦ٜෝ
C11482GA
๱႖‫߿ݕ‬
C9914GB
ηΣ
໦࢕‫ܕ‬
ŕŇ
ΏςȜΒ
C13555MA
C11008MA
6
ͼιȜΐΓϋ΍
ၔ࿂වৣ߿CCD
ͼιȜΐΓϋ΍
ńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
8
(෨ಿ 320ȡ900 nm) ၔ࿂වৣ߿ńńŅ
ͼιȜΐΓϋ΍
1*
(෨ಿ 320ȡ900 nm)
ńŎŐŔςΣͺ
8
ͼιȜΐΓϋ΍
ࣞۜഽńŎŐŔςΣͺ
8
ͼιȜΐΓϋ΍
ၔ࿂වৣ߿ńńŅ
3
ͼιȜΐΓϋ΍
ၔ࿂වৣ߿ńńŅ
1*
ͼιȜΐΓϋ΍
୤‫ۜࣞٸ‬ഽ
5
ĩ෨ಿġĶĶıȡĺııġůŮĪ ၔ࿂වৣ߿ńńŅ
ͼιȜΐΓϋ΍
ၔ࿂වৣ߿ńńŅ
0.3*
ͼιȜΐΓϋ΍
320ȡ1000
200ȡ400
500ȡ1100
500ȡ600
0.3*
790ȡ920
୤‫ۜࣞٸ‬ഽ
ၔ࿂වৣ߿ńńŅ
ͼιȜΐΓϋ΍
7
900ȡ1700
TG-cooled NIR-I
೩ΦͼΒ (႖‫)߿ݕ‬
7
TG-cooled NIR-II
೩ΦͼΒ (႖‫)߿ݕ‬
1100ȡ2200
900ȡ2550
TF-SWIR-MOS-II
C13053MA
C11007MA
1*
TG-cooled NIR-III
೩ΦͼΒ (႖‫)߿ݕ‬
C11118GA
C13054MA
200ȡ800
TG2-NIR
ηΣ
໦࢕‫ܕ‬
ŕň
ΏςȜΒ
෨ಿ໦ٜෝ
max.
(nm)
6
TG-SWNIR-CCD-II
୤‫ۜࣞٸ‬ഽ
TG-RAMAN-I
ࣞ໦ٜෝ
C9913GC
ۜഽ෨ಿํս (nm)
800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
600
TM-VIS/NIR-CCD
ࣞ໦ٜෝ
TM-VIS/NIR-MOS
ࢩΘͼ΢ηΛ·τϋΐ
ηΣ
໦࢕‫ܕ‬
ŕň
ΏςȜΒ
400
TM-VIS/NIR-CCD
ࣞۜഽ
C10083MD
C9405CB
200
500ȡ1100
઀߿Ȇถ߿
TF2-RAMAN
790ȡ920
઀߿Ȇถ߿
TF-VIS-MOS-II
340ȡ830
઀߿Ȇถ߿
RC-VIS-MOS
ηΣ
໦࢕‫ܕ‬κΐνȜσ
໦࢕‫ܕ‬
RC
RC-SWNIR-MOS
ΏςȜΒ ໦࢕‫ܕ‬κΐνȜσ
340ȡ780
640ȡ1050
8
ŊůňŢłŴςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
20
3.5
0.4*
ࣞۜഽ
ńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
3
9
ńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
8
୤‫ۜࣞٸ‬ഽ
ńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
෨ಿ໦ٜෝ
max.
(nm)
ͼιȜΐΓϋ΍
9
ńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
8
୤‫ۜࣞٸ‬ഽ
ńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
෨ಿ໦ٜෝ
max.
(nm)
ͼιȜΐΓϋ΍
* Typ.౵
κΨͼσ௶೰‫͈͒ܕܥ‬ழ͙ࣺ͙ဥ
߿ྴ
C11009MA
C11010MA
Ηͼί
ηΣ
໦࢕‫ܕ‬
RC
ΏςȜΒ
200
RC-VIS-MOS
400
ۜഽ෨ಿํս (nm)
800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
600
340ȡ780
໦࢕‫ܕ‬ΰΛΡ
RC-SWNIR-MOS
640ȡ1050
໦࢕‫ܕ‬ΰΛΡ
κΨͼσ௶೰‫͈͒ܕܥ‬ழ͙ࣺ͙ဥ (಼઀߿)
߿ྴ
C11708MA
C12666MA
C12880MA
Ηͼί
ηΣ໦࢕‫ܕ‬
MSΏςȜΒ
MS-SWNIR-MOS
໦࢕‫ܕ‬ΰΛΡ
໦࢕‫ܕ‬ΰΛΡ
ζͼ·υ
໦࢕‫ܕ‬
໦࢕‫ܕ‬ΰΛΡ
200
400
600
ۜഽ෨ಿํս (nm)
800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600
ķĵıȡIJıĶı
340ȡ780
340ȡ850
20
15
15
ńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
ńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
ࣞۜഽńŎŐŔςΣͺ
ͼιȜΐΓϋ΍
9
ミニ分光器
MSシリーズ
C10988MA-01, C11708MA
関連情報
www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html
注意事項
・ 製品に関する注意事項とお願い
技術情報
・ ミニ分光器/技術資料
本資料の記載内容は、平成28年2月現在のものです。
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Cat. No. KACC1169J13 Feb. 2016 DN
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