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人工水晶
■ 人工水晶の標準規格
● 結晶の右左
● 種子結晶の方位、寸法
方位
特に指定のあるもの以外は右水晶です。
用途により次の 4 種類があります。
●
0° 00' ± 30'、1° 00'±30'
品質
1° 30' ± 30'、2° 00'±30'
寸法 単位:mm
双晶
電気的、光学的双晶は含みません。
Z板
外観
方 位
有効長内に電気的特性に影響を及ぼす割れ、気泡はありません。
X 軸方向
41.0 ± 1.0 89.0 ± 1.0 43.0 ± 1.0 68.0 ± 1.0
異物
Z 軸方向
2.5 以下
0° 00'
1° 30'
Z 領域に含まれる異物の許容個数は、IEC60758 により次の通り
グレード分けをしています。
グレード
1cm3 における異物の大きさと許容含有個数
10 ~ 30 μ m 30 ~ 70 μ m 70 ~ 100 μ m 100 μ m ~
Ia
2 以下
1 以下
0 以下
0 以下
Ib
3 以下
2 以下
1 以下
1 以下
I
6 以下
4 以下
2 以下
2 以下
用 途
● ランバード人工水晶の標準規格
加工面の角度
フォトリゾグラフ
工程用
II
9 以下
5 以下
4 以下
3 以下
高周波、高品質の振
動子用及び SAW 用
III
12 以下
8 以下
6 以下
4 以下
産業用水晶振動子用
Z面のY ' 軸方向の角度:0° 00' ± 30'、1° 00'±30'
1° 30' ± 30'、2° 00'±30'
Z面のX軸方向の角度 :0° 00' ± 15'
X面のZ ' 軸方向の角度:0° 00' ± 15'
X面のY ' 軸方向の角度:0° 00' ± 15'
寸法公差
X軸方向 :± 0.1mm
Z ' 軸方向:± 0.2mm
赤外線吸収係数α
赤外線吸収係数α(波数 3585cm-1 を使用)は、IEC60758 によ
り次の通りグレード分けをしています。
赤外線吸収係数
α 3585
参 考
赤外Q値
Aa
0.015 以下
380 万以上
A
0.024 以下
300 万以上
B
0.050 以下
240 万以上
グレード
C
0.069 以下
180 万以上
D
0.100 以下
140 万以上
E
0.160 以下
100 万以上
用 途
面仕上げ
ダイヤモンドホイールで# 80 以上
種子結晶の位置
種子の位置は下図の斜線内に含まれます。
高品質の水晶振動子用
Y-cut
cross section
Y カット断面図
低いα値と同等の温度特性を要求さ
れる高周波産業用水晶振動子用
Z
Z/2
低価格品の低周波水晶振動子用
種子結晶
: Seed
crystal
3.5mm
3.5 mm 以下
max.
エッチチャンネル密度ρ
エッチチャンネル密度ρは、IEC60758 により次の通りグレード
分けをしています。
グレード
1aa
ρ /cm2 の
用 途
最大数
2
長時間の化学エッチングが必要な厚い水晶のセンサ
1a
5
1
10
2
30
3
100
産業用水晶振動子
4
300
一般用振動子
高周波基本波水晶振動子
化学エッチング、SAW デバイス
●表示
-X面に下記の表示をしております。
種子結晶の方位
結晶の右左(RH 又は LH)
製造ロット番号
製造業者名(NDK)
sq08_100909_standard1_j