フォトセンサアンプ C9329 デジタル出力機能付き、微弱光用低ノイズ電流－ 電圧変換アンプ C9329 は、フォトダイオードの微弱な光電流を極めて低ノイズで検出できる電流－電圧変換アンプです。光電流検出感 度は、H・M・Lの3段階から選択できます。乾電池による動作も可能なため、どこでも手軽に使用できます。また、RS232C通信でPCと直結でき、高分解能デジタル出力 (16ビット) の取得やデータロガー機能が使用可能です。 特長 用途 検出感度は3レンジ切り替え 精密測光一般 109 H: 1 × (V/A) M: 1 × 107 (V/A) L : 1 × 105 (V/A) レーザモニタ 光パワーメータ アナログ出力またはデジタル出力の動作モードを選択 微弱電流用プリアンプ PCとのシリアル接続可能 (RS-232C) データロガー機能、ローバッテリー機能 乾電池またはACアダプタ動作 絶対最大定格 (指定のない場合は Ta=25 °C) 項目 最大電源電圧 動作温度 (本体)*1 保存温度 (本体)*1 記号 Vcc max Topr Tstg 定格値 +14 0 ～ +50 -10 ～ +60 単位 V °C °C *1: 結露なきこと 高湿環境においては、製品とその周囲で温度差があると製品表面が結露しやすく、特性や信頼性に影響が及ぶことがあります。 注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 浜松ホトニクス株式会社 1 フォトセンサアンプ C9329 電気的および光学的特性 (Ta=25 °C) Min. Typ. Max. 1 × 109 変換インピーダンス Rf 1 × 107 1 × 105 ±5 0 入力光電流範囲 ±500 Isc 0 ±50000 0 DC 16 周波数帯域 (-3 dB) fc DC 1.6 k DC 1.6 k *2 オフセットドリフト ±0.5 温度ドリフト 25 最大出力振幅 ±5 VFS RL =2 kΩ アナログ 出力ノイズ 周波数帯域内*3 Vn 0.5 出力 出力抵抗 Ro 100 (Manual オーバーシュート 30%以内 最大入力容量 5000 Ct mode) 最大容量性負荷 CL 1000 RS-232C, 19200 bps, 8ビット, パリティなし, デジタル インターフェース 出力 2-stopビット (Remote ±5 A/D変換電圧範囲 mode) A/D読み込みサイクル 50 消費電流 20 Is *4 電池寿命 50 RL > 10 kΩ*4 *2: フォトダイオード未接続。電源ONから10分間のウォーミングアップ後の値。1日当たりの変動範囲。 *3: 出力に10倍アンプ (1.6 kHzローパスフィルタ付き)を接続して測定。 *4: フォトダイオード未接続。アナログ出力でアルカリ乾電池 6LR61 (006P, 9 V)1個使用時。 項目 記号 H M L H M L H M L 条件 単位 V/A nA Hz mV/day μV/°C V mVp-p Ω pF pF V ms mA hr フォトダイオードの取り付け例 右図は、カソードがメタルパッケージに接続されたフォトダイ ͉̺ͭັ̫ έΠΘͼȜΡ オードを使用した例です。 メタルパッケージのフォトダイオードを使う場合は、絶縁物で ͺΦȜΡ パッケージを電気的に絶縁して保持し、外部シールドケースと C9329͈ঊ͒୪ アノードを接続します。 端子間容量 5000 pF以下の単素子のフォトダイオードは、基 本的にすべて使用可能です。 ΕȜΡ フォトダイオードをアノード接地で使用すること推奨します。 BNCίρΈັ൳ΉȜήσ なお、BNC付フォトダイオード (S2281シリーズ)を使用すれ ୲ ٸ໐ΏȜσΡΉȜΑ ば、BNC-BNCプラグ付同軸ケーブルでC9329に接続でき、 KACCC0221JA 簡単に測定ができます。 アノード: ケーブルシールド戦およびシールドケースと接続 カソード: ケーブル芯線と接続 2 C9329 フォトセンサアンプ 接続例 デジタル出力 (Remote mode)での使用例 RS-232CΉȜήσ BNCΉȜήσġE2573 PC έΠΘͼȜΡ (S2281ΏςȜΒ) RS-232Cঊ͒ INঊ͒ DCঊ͒ κȜΡ୨ͤఢ̢ ΑͼΛΙ ACͺΘίΗ* (ഩ౻൲ै͈ાࣣȂ ୪ະါ) * ັ௺ RfτϋΐΑͼΛΙ KACCC0222JC 注) 検出感度切り替えは、Rfレンジスイッチで行ってください。 (PCから検出感度切り替えはできません。) 付属サンプルソフトウェア画面表示例 データロガー設定可能範囲 測定間隔: 50 ms～1 min (50 ms間隔) 測定回数: 32000回 max. 測定間隔 × 測定回数: 20時間 max. Microsoft ® Windows® 7 Professional SPI (32-bit, 64-bit) Microsoft Windows 8 Professional (32-bit, 64-bit) 注) Microsoft、Windowsは米国Microsoft Corporationの米国お よびその他の国における登録商標です。 3 C9329 フォトセンサアンプ 外形寸法図 (単位: mm) 90 ± 1 ୃ࿂ Rf RANGE ZERO ADJ. DATA LOG. POWER AUTO ZERO H ON M L PUSH START 115 ± 1 PHOTOSENSOR AMPLIFIER C9329 40 ± 1 ࿂ MANUAL MODE DC JACK DC12V EIAJ REMOTE MODE OUT ષ࿂ IN RS232C ONLY FOR REMOTE MODES KACCA0137JA 付属品 ・ 取扱説明書 ・ サンプルソフトウェアCD-ROM ・ ACアダプタ ・ 乾電池 (本体に内蔵) フォトダイオード、BNC-BNCプラグ付同軸ケーブル、RS-232Cケーブルは付属していません。なお、RS-232Cケーブルは別途、 市販品 9ピン D-subコネクタケーブル (メス－メス、ストレート)を用意してください。 オプション (別売, 単位: mm) ・ BNCケーブル E2573 ケーブル: 1.5D-QEV +50 1000 - 0 KACCA0334EA 4 C9329 フォトセンサアンプ BNCコネクタ付Siフォトダイオード S2281シリーズ S2281シリーズは、BNCコネクタ付パッケージのフォトダイオードです。フォト センサアンプ C9329と簡単に接続して使うことができます。S2281シリーズ は、2種類の分光感度特性のタイプを用意しています。また、受光面サイズが大 きいため、パワーメータ用に最適です。視感度補正フィルタ内蔵のS9219も用 意しています。なお、BNCケーブル (長さ 1 m) E2573もオプションとして用意 しています。 構成 項目 受光面サイズ 受光面積 パッケージ 窓材 S2281 ϕ11.3 100 S2281-01 ϕ11.3 100 BNC コネクタ付メタル 石英ガラス S2281-04 ϕ7.98 50 単位 mm mm2 - S2281 S2281-01 5 -10 ～ +60 -20 ～ +70 S2281-04 単位 V °C °C 絶対最大定格 項目 記号 VR max Topr Tstg 逆電圧 動作温度 保存温度 注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 電気的および光学的特性 (指定のない場合はTa=25 °C) 感度波長範囲 λ - 最大感度波長 λp 0.10 64 20 S2281 Typ. 190 ~ 1100 960 0.12 0.5 80 50 200 - 3 - - 7 - - 3 - μs - 1300 - - 3200 - - 1300 - pF - 1.8 × 10 -14 - - 8.6 × 10-15 - - 1.8 × 10-14 - W/Hz1/2 項目 受光感度 短絡電流 暗電流 並列抵抗 上昇時間 端子間容量 雑音等価電力 記号 条件 λ=200 nm S λ=λp Isc 100 lx ID VR=10 mV Rsh VR=10 mV VR=0 V tr RL=1 kΩ VR=0 V Ct f=10 kHz NEP VR=0 V, λ=λp Min. Max. 500 - S2281-01 Typ. Max. 190 ~ 1000 720 0.10 0.12 0.36 32 40 6 300 30 1700 Min. S2281-04 Typ. Max. 190 ~ 1100 960 0.10 0.12 0.5 32 40 50 500 20 200 Min. 単位 nm nm A/W μA pA MΩ 5 C9329 フォトセンサアンプ 分光感度特性 (Typ. Ta=25 °C) 0.7 0.6 S2281/-04 ۜഽ (A/W) 0.5 0.4 0.3 S2281-01 0.2 0.1 190 400 600 800 1000 ෨ಿ (nm) KSPDB0090JA 外形寸法図 (単位: mm) S2281, S2281-01 ࿂ (100 mm2) +0 - 0.1 ɸ17.5 ± 0.1 ȁɸ16.0 ɸ11.3 10.0 ± 0.1 ɸ25.0 ± 0.1 ɸ25.0 ± 0.1 ɸ17.5 ± 0.1 5.0 ± 0.2 S2281-04 ΄ρΑௗ ɸ7.98 ࿂ (50 mm2) ( BNC: UG-625B/U ȁĻġΕȜΡ ΉȜΑĻġͺΦȜΡ ) KSPDB0080JA 6 フォトセンサアンプ C9329 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・ 製品に関する注意事項とお願い 本資料の記載内容は、平成28年6月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııijIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊಎ؇ĴĮijĮIJġĩဩίρΎIJIJٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪĶĮIJijĮIJıġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KACC1100J06 Jun. 2016 DN 7