VUV 光 源 高輝度真空紫外(VUV) 光源ユニット L10366シリーズ 概要 新しい真空紫外光源ユニットです。 「MgF2窓付き高輝度重水素ランプ」を内蔵し、輝 度は約4倍高くなりました。（当社従来品比） 空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したこと により、使い易さが格段に向上しました。 左：電源部、右：光源部 用途 特長 ●高輝度：約4倍 (当社従来品比) ●115 nmからの高い真空紫外線強度 ●空冷（冷却水不要） ●外部制御可能 (ランプのON/OFF、ランプ点灯ステータスシグナル) ●光軸調整不要 ●分光光度計、蛍光光度計 ●半導体ウエハ、液晶パネルなどの静電気除去* ●光イオン化検出器（PID） ●紫外線による材料耐性評価 ●光CVD（光気相成長） ●励起用光源 輝度分布 （at 230 nm） L10366シリーズ （アパーチャサイズ: φ0.5 mm) TLSZF0004 高輝度 4倍 （当社従来品比） 当社従来品 （アパーチャサイズ: φ1 mm) 構成品 型名 L10366 L10366-10 L10366-11 L10366-12 真空フランジ 1 ― ○(E3444) ○(E3444-01) ○(E3444-02) 光源 ○ ○ ○ ○ 電源 ○ ○ ○ ○ 光源・電源接続ケーブル ○ ○ ○ ○ ACケーブル ○ ○ ○ ○ 1真空フランジのみの販売もいたします。 仕様 ●一般定格 内容・値 115 ∼ 400 MgF2 φ0.5 空冷式 +10 ∼ +35 80 %以下（結露しないこと） 単位 nm ― mm ― ℃ ― 内容・値 25±5 0.05 ±0.3 2000（保証） 500（推定） 100 V ∼ 240 V（100 V/200 V自動切替）、単相50 Hz / 60 Hz 140 単位 秒 % %/h 項目 放射波長範囲 窓材質 アパーチャサイズ（発光点） 冷却方式 動作温度範囲 動作湿度範囲 ●標準動作条件および特性 (at 25 ℃) 項目 予熱時間 フラツキ (p-p) ドリフト (Max.) 230 nm 160 nm 出力変動 光源部寿命 2 入力電圧 (AC) 消費電力 (Max.) 時間 ― VA 2弊社測定条件で、光出力が初期値の50 %に低下した時点としています。光出力の減衰は真空装置の環境に大きく左右されます。 ●真空フランジ 項目 E3444 気密方法 フランジ 適合フランジ リーク量 一般用 ― 1.33 × 10-4 点灯初期における発光波長分布（真空紫外領域） 100 相対出力 (%) 80 60 40 20 120 リプレイス光源 型名 L10388 L10388-10 L10388-11 L10388-12 TLSOB0079JB 0 100 E3444-01 E3444-02 Oリング ICF114 JIS VF50 ICF114 JIS VG50 Pa L/s以下 (1 × 10-6 Torr L/s) 140 160 180 波長 (nm) 200 220 240 400 光源 ○ ○ ○ ○ 真空フランジ ― ○(E3444) ○(E3444-01) ○(E3444-02) 外形寸法図 （単位：mm） ●光源部（質量：約1 kg) 122 77 冷却ファン 上面図 発光点 0.3 A 真空フランジ 取付部 81.5 ± 0.5 発光点 30 62 115 48 h7 A 77 94 メタルコネクタ （電源接続部） 正面図 メタルコネクタ （電源接続部） 側面図 TLSOA0094JC ●電源部（質量：約2.8 kg) 外部制御端子（D-SUBコネクタ） ランプステータスシグナル+ ランプステータスシグナル– +5 V dc(+) +5 V dcリターン(–) 上面図 CONT 145 POWER LINE INPUT OUTPUT 310 110 正面図 メタルコネクタ （光源接続部） 側面図 付属ケーブル長: 2000±50 背面図 TLSOA0095JB 外形寸法図 （単位：mm） ●真空フランジ E3444 40 4- 8.4 10 Oリング 70.0 ± 0.3 P.C.D. 106 40 120 7 20 TLSOA0097JA E3444-01 40 4- 10 10 Oリング 70.0 ± 0.3 P.C.D. 100 40 120 7 20 TLSOA0098JA E3444-02 47.5 17.5 8- 8.4 Oリング 70.0 ± 0.3 114 P.C.D. 92.2 40 7 20 TLSOA0053JB ●本資料の記載内容は平成26年3月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。 □仙台営業所 〒980-0011 □筑波営業所 〒305-0817 □東京営業所 〒105-0001 □中部営業所 〒430-8587 □大阪営業所 〒541-0052 □西日本営業所 〒812-0013 WEB SITE www.hamamatsu.com 仙台市青葉区上杉1-6-11（日本生命仙台勾当台ビル2階） TEL (022)267-0121 つくば市研究学園D6街区8画地（研究学園スクウェアビル7階） TEL (029)848-5080 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階） TEL (03)3436-0491 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル4階） TEL (053)459-1112 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階） TEL (06)6271-0441 福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階） TEL (092)482-0390 □電子管営業推進部 〒438-0193 静岡県磐田市下神増314-5 TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205 FAX (022)267-0135 FAX (029)855-1135 FAX (03)3433-6997 FAX (053)459-1114 FAX (06)6271-0450 FAX (092)482-0550 TLSZ1011J02 MAR. 2014 IP