装 置 用 F F U Field 1 装置用FFU 機能と特長、また風量で最適な答えを探せる 装置用FFUは製造装置に付帯するため、製造装置の一部として様々な機能が求められます。 当社の装置用FFUはお客様の様々な要望を具現化します。 機能・特長から選ぶ WLFG F-Stage WLFH 厚 さ 規 格 1φ200V・3φ200V 即納対応※1 フィルタ選択可能 115mm※2 RoHS CE ※3 1φ100V 即納対応※1 通信機能 F-Cube-N 0.9 0.8 RoHS (オプション) CE (オプション) 150mm 0.7 P.25 WLFI 高温環境 (50℃) アウトガス対策 RoHS P.27 0.5 0.4 0.2 0.1 WLFJ 0 高温環境 (50℃) アウトガス対策 風速0.65m/s 190mm RoHS P.27 ケミカルフィルタ搭載 アウトガス対策 通信機能 230mm - P.28 0 1.2 2.4 3.6 4.4 5.6 6.8 8.0 9.2 10.4 11.6 12.8 14.0 15.2 16.4 17.6 18.8 20 21.2 風量[CMM] WLFK ケミカルFFU 1 0.6 0.3 105mm 耐熱FFU(超薄型) 耐熱FFU(高風速型) Field 製造 中止 機能・特長 風速[m/s] シリーズ 風量・風速から選ぶ 耐熱 (超薄型) F-Stage (HEPA t=50mm) F-Cube-N (ULPA) 耐熱 (高風速型) F-Stage (HEPA t=40mm) F-Cube-N (HEPA) 製造 中止 ケミカル WLFL F-Adjust NEW 1φ220V 風量30CMM 通信機能 - 170mm※2 P.29 ※1 即納とは注文後、1週間程度です ※2 フィルター高さ含まず 装置用FFUの特長 特長 1 23 CLEANROOM 薄型 限られたスペースへの設置を考慮 して業界最高レベルの薄型を実現 (MIN115mm) 特長 2 特長 3 省エネ・風量可変 全シリーズDCブラシレスモータを採用、 モータ の可変速により最適風量で省エネ運転が可能。 従来型FFUと比較して約30%の消費電力低減 (当社比) を実現 RoHS・CE・SEMI準拠 海外への輸出対応のため各種規格に準拠。 また輸出貿易管理令該非判定(自主判定書) も発行可能 特長 4 特長 5 アウトガス対策 本 体 、吹 出 口 、フィルタ、シー ル 材など構 成 部材を厳選しアウトガス発生を低減 通信機能 DCブラシレスモータの優れた制御性を最大限 に引き出すため、通信によりモータを可変速 し風量制御が可能 CLEANROOM 24 装 置 用 F F U F-Cube-N 仕様表 1Φ100V 一般コンセントで使用可能なコンパクトFFU WLFH 品 名 F-Cube-N-30U F-Cube-N-40U F-Cube-N-50U 型 式 WLFH-30U□ WLFH-40U□ WLFH-50U□ フィルタ 99.999%以上(0.1μm) 610 610 610 610 寸法[mm] W 300 400 500 610 1220 610 1220 270 370 470 580 580 580 580 270 370 470 580 1190 580 1190 150 電 源 1Φ100V 50/60Hz / 1Φ200V (オプション) / DC24V (オプション) 風量[m3/min] 2.2 4.1 6.6 10.1 16.6 10.1 16.6 風 速[m/s] 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 消費電力[W] 24 37 63 87 103 68 76 騒 音[dB(A)] 50 55 55 58 59 51 57 13.5 20.5 5 RoHS (オプション) /CE (オプション) 環境規制・CEマーキング 外形寸法図 電源SW 風量調節つまみ 外部信号端子 電源ソケット サイズ 300×300 400×400 500×500 610×610 610×1220 × 正常時 ○ ※1 HEPA仕様はサイズ61 および122のみ対応 P D K A C H T V 7.5 150 X 40 40 オプション 標準付属品 WLF H 40 U D フィルタ ULPA (標準) HEPA※1 Y ■ 本体 ■ 電源コード (2.0m) 4- 7 40 (カッコ内はオプション識別番号) ■ プレフィルタ (P) ■ 異常信号出力 (A) ■ 差圧計+ピトー管 (D) ■ 天吊金具 (C) ■ オプション※2 なし プレフィルタ 差圧計+ピトー管 ピトー管のみ 異常信号出力 天吊金具 (4個) 水平金具 FFU監視システム※3 ■ H Y 30 × 異常時 40 電源OFF ●設置・開口寸法 30 7 出力 X [○: 導通 ,×: 非導通] 記号 - 記号 U H 状態 30 ●設置・開口寸法 脱落防止金具 (据え付け型or吊下げ型) 4- 異常信号出力ケーブル (オプション) を使用 すると故障信号の出力が可能です。 W H 7.5 150 異常信号出力 D 電源SW 風量調節つまみ 外部信号端子 電源ソケット W 脱落防止金具 (据え付け型or吊下げ型) FMC200 接続台数 : max.254台(4ポート) 識別 30 40 50 61 122 F-Cube-N-122 30 D ※F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。 例 有り (オプション) F-Cube-N-30∼61 FMC100 接続台数 : max.100台(1ポート) 20.5 13.5 11.5 6.4 無し 小規模FFU監視システムを組合せることにより、 FFU風量可変・故障監視が可能です。 FFU監視システム FMC100/200 1 アルミ (側面) +SUS (インレット部) 通信機能 通信機能(個別制御/グループ制御/高速・低速切替/一括故障出力) 型式説明例 DCブラシレスモータ100W DCブラシレスモータ87W モータ (オプションで調整ダイヤルの外部設置も可能) CAN 99.99%以上(0.3μm) 500 重 量[kg] 風量は調整ダイヤルにより連続的に調整が可能。 運転状態を表示ランプで確認できます。 WLFH-122H□ HEPA 400 本体材質 風量簡単調整 F-Cube-N-122H WLFH-61H□ Field 一般コンセント電源(1φ100V)で運転でき、面倒な 電気工事は一切必要ありません。運転はコンセント から電源を供給し、 スイッチを入れるだけという簡単 (オプションで1φ200VまたはDC24Vも可能) さです。 F-Cube-N-61H 300 H 電源工事不要 WLFH-122U□ D X 設置・ 開口寸法[mm] Y 高性能ULPAフィルタを内蔵し ており高 精 度なクリーン環 境を 実 現 。フィルタ面は保 護 網 付な ので、据付時にフィルタを傷つけ る心配がありません。 WLFH-61U□ ULPA 集塵効率 フィルタ内蔵構造 F-Cube-N-61U F-Cube-N-122U FFU監視システム FMC100/200 (T) 固定金具 (4個) ■ 水平金具 (H) ■ ピトー管 (K) 1φ200V ※2 オプションを複数選択時は並記ください。 ※3 F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。 25 CLEANROOM CLEANROOM 26 装 置 用 F F U ケミカルFFU 耐熱FFU WLFI WLFK WLFJ 高温 (50℃) 環境で使用可能 装置への収納を考慮した薄型 (本体H=230mm + ケミカルH=150mm) 適合規格 RoHS・SEMI(準拠) コータ・デベロッパなどの製造装置のケミカル汚染対策に最適 アウトガス対策 アウトガス対策 ボリュームによる風量可変・故障出力リレー付 通信機能による風量可変・故障監視が可能 ケミカルフィルタ 薄型230mm 薄型ファンの開発により、 高さ230mmを実現しました。 Field ケミカル汚染物質を除去するケミカル フィルタは、短時間で容易に交換できる 鯛焼き構造を採用しています。 鯛焼き構造 アウトガス対策 230mm 超薄型タイプ 本体材質:SUS430BA F i l t e r:ボロンフリーフィルター (PTFE) シール材:低シロキ酸タイプ 高風速タイプ (0.65m/s) 通信機能(個別制御/グループ制御/高速・低速切替/一括故障出力) RoHS・SEMI(準拠) 高温環境で使用可能 小規模FFU監視システムを組合せることにより、 FFU風量可変・故障監視が可能です。 EU圏への輸出を考慮してRoHS規格(準拠) に対応。 また生産装置の規格であるSEMIにも適合。 拡散炉などの高温環境(50℃) での使用 に耐えうる設計。 CAN 超薄型タイプ FFU監視システム FMC100/200 高静圧ファンの採用により高さ105∼ 120mmの超薄型を実現しました。 アウトガス対策 FMC200 接続台数 : max.254台(4ポート) 本体材質:ポリエステル樹脂塗装 吹 出 口:SUS3 04 BA(パンチング板) F i l t e r: ボロンフリーフィルタ (PTFE) シール材:低シロキ酸タ イプ。 FMC100 接続台数 : max.100台(1ポート) 高風速タイプ 高静圧ファンを複数台使用することにより 吹出し風速0.65m/s を実現しました。 ケミカルFFU P-Q 特性 仕様表 200.00 160.00 仕様表 型 式 フィルタ 集塵効率 FFU外形寸法[mm] 電 源 風 量[m3/min] 機外静圧[Pa] 騒 音[dB(A)] 本体材質 重 量[kg] 27 CLEANROOM 耐熱FFU (超薄型タイプ) WLFI ULPAフィルタ ろ材:PTFE 99.9999%以上 0.1μm 1453W×481D×105H (ファン部160mm) WLFJ ULPAフィルタ ろ材:PTFE 1φ115V 50/60Hz 0 0 6.0 (0.32m/s) 70 鋼板 (ポリエステル樹脂塗装) 38 11.3 (0.65m/s) 73 鋼板 (ポリエステル樹脂塗装) 全静圧[Pa] 最大消費電力[W] 騒 音[dB(A)] 60.00 20.00 1φ115V 50/60Hz 風 量[m3/min] 80.00 1000W×350D×190H ULPAフィルタ ろ材:PTFE 電 源 100.00 40.00 フィルタ FFU外形寸法[mm] 120.00 99.9999%以上 0.1μm 内 容 ケミカルFFU 集塵効率 140.00 内 容 耐熱FFU (高風速タイプ) 項 目 品 名 型 式 180.00 項 目 品 名 1 本体材質 重 量[kg] 0.00 0.00 5.00 10.00 15.00 空気量 (CMM) 20.00 WLFK 99.9999%以上 0.1μm 1050W×750D×230H 3φ200V 50/60Hz 16.0 (0.45m/s) 160 140 65±2 SUS430BA 65 25.00 N=1420rpm N=1300rpm N=1200rpm N=1100rpm N=1000rpm N=900rpm N=800rpm N=700rpm N=600rpm N=500rpm N=ケミカルフィルタ圧損 24 CLEANROOM 28 装 置 用 F F U F-Adjust 薄型対応ファンモジュール NEW WLFL 狭いスペースにも設置可能 斜流ファン採用により超薄型コンパクト設計を実現(本体300⇒70mm) 狭所での風路を確保し、 圧力損失を低減 水平・垂直を問わず設置可能 設備運用のままFFUのリプレイスが可能 ファン・モータ・コントローラのモジュール化により、 既存FFUのフレームとフィルタを再利用 FFUを取り外すことなく、 天井裏での交換作業が可能 省エネ 断面形状比較 P.57 or ファンモジュール 撤去 ターミナルユニット (オプション) 既設ファンモータ撤去 シロッコファン ④ 通信接続 ターボファン ③ 電源接続 通信ケーブル接続 (RJ45コネクタ) Field 既存インダクションモータ (ACモータ) を F-Adjustに置き換えることで省エネが実現 ① CCC認証取得 CCC認証(中国強制認証制度) 取得モータを使用 斜流ファン 300mm 電源ケーブル接続 (端子台) 1 170mm 70mm 従 来 品 F-Adjust 既存ACファン 取付 ファンモジュール取付 (ターミナルユニット付) 既存FFUフレーム 既存フィルタ ROTATION 97.6 70 538 260 260 260 ① 電源入力端子台 単相 200-220V 入力 M4端子に接続 ② LED表示灯 運転・停止時 (緑点灯) 異常時 (赤点灯) ③ 通信接続コネクタ RJ45コネクタ ストレートLANケーブル ④ ローダ接続コネクタ ※取付のための開口寸法は、40x120mm 260 監視システム F-SITE-FMR500 Ethernet 全静圧 ︵ 350 1500 300 1300 250 1100 200 900 ︶ 700 内 容 1φ220V 50/60Hz 50 フ ァ 斜流ファン 0 全 静 500 100 モ 風 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 風量 (CMM) Modbus ファンモジュール 仕様表 項 目 電 源 150 ① 140 ローダにより回転数等設定 【ローダ別売】 400 CLEANROOM ④ 通信接続方法 P-Q特性カーブ 29 ② ※サイズ一例 10 Pa ③ 130 538 AIR 441 AIR ③ 内 容 名 称 FFU外形寸法図 ターミナルユニット外形寸法図 ターミナルユニット仕様 50 ② 通 重 ー タ 量 信 ン 圧 量 LS I BLDC 280W FFU 1 FFU 2 FFU 3 30CMM 180Pa Modbus 13kg Modbus CLEANROOM 30