光ビーム測定システム 多彩な光ビームのパラメータを 高感度・高分解能で解析。 赤外レーザにも対応！ 光ビーム測定システム 光ビーム測定システムは、LEPAS-12 レーザビームプロファイラをシステムの核として 測定対象に合わせた光学系とデジタルカメラを組み合わせ、高性能・高機能なビーム解析 を実現しました。 基 本構 成 各種光学系 LEPAS-12 ＋ デジタルカメラ ＋ レーザビーム ＋ （当社製品） プロファイラ 光学系を選択し、多彩な アプリケーションに対応！ 解析用PC 半導体/赤外レーザのFFPを測定 半導体/赤外レーザのNFPを測定 LEDのパルス発光を評価 光ピックアップビームを測定・評価 空間ビームを測定 ファイバのN.A.を測定 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ 特 長 ＬＥＰＡＳ‐12 レーザビームプロファイラは、光ビーム測定システム 構築の核となる製品です。高性能デジタルカメラに対応し、高空間分 解能で高ダイナミックレンジなビーム測定を実現しました。解析結果 は、測定画像の表示以外にも、等輝度線表示や3D表示、XYプロファイ ル表示、ビームパラメータ表示など、多彩な表示機能で測定結果を検 証することが可能です。 基本構成 最小5 nm ※1 の読み取り分解能 高ダイナミックレンジによる高精度測定（1:1000以上 ※2 ） パルス光測定可能 減光量を微調整可能 ※3 ※1 2000倍NFP光学系/レーザ計測用デジタルCCDカメラ組み合わせ時 ※2 積算処理、各種平滑処理 実行時 ※3 レーザ計測用デジタルCCDカメラの露光時間において LEPAS-12 レーザビームプロファイラ C9334-01 減光フィルタセット 位置合わせ用 デジタルカメラ 対物レンズ 被測定ビーム 各種光学系 ケーブル レーザ計測用 デジタル CCDカメラ 解析ソフトウエア IEEE1394 I/Fボード ハードウエア プロテクトキー C9334-03 解析ソフトウエア ハードウエア プロテクトキー ※C9334-03は、InGaAsカメラ C10633-50を使用の場合 2 データ解析装置 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ C9334-01、-03 機能 ●高分解能測定 ●ユーザーアプリケーションから制御が可能 高分解能デジタルカメラとの組み合わせにより、高い空間分解能 でビーム測定が行えます。 アプリケーションから簡単にビーム測定を実行・制御可能です。 ●高ダイナミックレンジ測定 ● Windows 7による容易な操作 オプションのDLLソフトウエアを使用することにより、ユーザー R 各種平滑処理を実行することにより、1:1000以上の高ダイナミ ックレンジ測定が可能です。 専用ソフトウエアは、Windows 7上で動作し、容易な操作性を実 現しました。取得画像は、TIFF 形式で保存できます。Photoshop やPaintshop など市販の画像処理ソフトで加工することができま ●外部トリガ機能 す。 パルス発光に同期した電気的なトリガを入力することにより、発 光タイミングに同期して画像を取り込み解析することができます。 ビームパラメータ等数値データは、TEXT形式で保存できます。 Excel 等市販の表計算ソフトで統計処理することも容易です。ま ●複数のカメラ入力 た、数値データを自動的にExcelに転送する機能も有しています。 複数台のカメラ接続が可能です。ソフト操作により、入力画像を 任意に切り替えることができます。 ●ビーム輝度値調整機能 露光時間を微調整することにより、計 測されるビームの輝度値を細かく調整す ることができます。常にビーム最大輝度 値を最適にすることにより、正確な解析 を行うことができます。 ●自動測定機能 同種のビームを連続して計測する場合、測定条件や解析手順をあ らかじめ登録することにより、1回のマウス操作で一連の測定・解 析を行うことができます。 仕様 ■ LEPAS-12 C9334-01 C9334-03 IEEE1394対応（当社製デジタルカメラ） USB対応（当社製デジタルカメラ） 12 bit 14 bit 型 名 カメラ入力 A/Dコンバータ TTLレベル／680 Ω ー 画像平滑化機能1回∼16回、ダーク減算：オン／オフ 画像平滑化機能1回∼4回、ダーク減算：オン／オフ 外部トリガ 画像入力機能 ピーク輝度、ピーク座標、半値幅、1/e2幅、トータル輝度、XYプロファイル リアルタイムモニタ機能 録画、再生、コマ送り、ポーズ、リバース 録画機能 操作手順登録により自動測定 自動測定機能 半値幅、1/e幅、1/e2幅、任意％幅、ピーク強度、ピーク座標、重心座標、面積、 解析機能 相対エネルギー、平均輝度、輝度分散、ビーム傾き、楕円率、重心間距離、任意2点間距離、N.A. サブピクセル処理（半値幅、1/e幅、1/e2幅、任意幅） 補間機能 XY軸原点、XY軸回転、矩形または楕円領域、領域回転 領域設定機能 ライブ画像、取得画像、XYプロファイル、ガウシアンフィットXYプロファイル、 表示機能 二次元プロファイル、三次元プロファイル 絶対長、絶対角度、ガンマ補正 校正機能 数値データ、グラフデータ、画像データ、二次元データ、三次元データ プリンタ出力機能 数値データ、グラフデータ、画像データをExcelに自動転送 データ転送機能 数値データ/XYプロファイルデータ：TEXT 保存機能 画像データ：TIFF、TEXT すべてのウインドウ：クリップボードにコピー 計測条件、解析条件、領域設定条件 設定機能 ※NFP測定システムに構成品を追加することでFFP測定にも対応可能です。C9334-01とC9334-03の同時使用はできません。 ■ 対応PC CPU インテル(R) Celeron(R)プロセッサ 1.8 GHz 以上 OS Windows 7 32 bit、64 bit メインメモリ 2 GB 以上 ハードディスク 160 GB 以上 光ディスク DVD-ROM が読めること スロット フルハイトPCIe が実装できること 3 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ C9334-01、-03 表示例 測定画像 ●等輝度線表示・3D表示 設定した領域に対して二次元・三次元のプロファ イルを擬似カラーで表示します。3D表示は、見 る角度を変えることができます。 表示機能 1 等輝度線表示 表示機能 2 表示機能 3 4 ●XYプロファイル表示 設定した領域に対してXYプロファイルを表示しま す。測定データだけでなく、ガウシアンフィット カーブ（赤線）を重ね書きすることもできます。 グラフにはカーソルがあり、任意位置のデータを 拡大表示して直読することも可能です。 ガウシアン フィットカーブ ●ビームパラメータ表示 設定領域に対して各種ビームパラメータを解析して表示 します。解析するスライスレベルは、FWHM,1/e,1/e2 およびユーザーが任意に設定した2点です。 ピーク値（counts） ピーク位置（μm） トータルビームカウント（counts） 重心座標（μm） ビーム幅（μm） ビームガウス幅（μm） ビーム面積（μm2） ビーム総カウント（counts） ビーム平均値（counts） ビーム標準偏差（％） 主軸傾き（°） 楕円近似比較（％） 3D表示 FWHM 0.63、0.47 1.04、4.30 1.02、4.22 3.83 3 715 586 659.03 19.12 86.91 428.92 1/e 894 0.65、1.25 8 361 730 0.63、0.47 1.25、4.79 1.24、4.97 5.17 4 480 638 588.09 27.62 86.92 399.09 計測データ 1/e2 0.63、0.44 1.84、6.16 1.93、6.64 9.60 5 813 300 410.89 55.77 86.83 360.18 アプリケーション 半導体レーザFFP測定システム 半導体レーザのFFPを測定するシステムです。 半導体レーザのビーム広がり角、 Ｎ.Ａ.等を高速に二次元解析。 半導体レーザFFP測定システムでは、独自の専用光学系とデジタルCCDカメラにより 半導体レーザのビーム広がり角を二次元画像として取得します。画像中心が光学系光軸 に対して0 °の光強度であり、端に行くに従って広がった角度の光強度となります。 FFP：Far Field Patternの略。遠視野像と訳し、半導体レーザの発光面から十分遠方に放射された場所での 光強度分布を示します。角度で表し、通常の半導体レーザで±10 °∼±30 °(半値幅) 程度です。 構 成図 構成 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ FFP 光学系 A3267-11/A3267-12/A3267-14 C9334-01 減光フィルタセット A7659-01/A7659-03 デジタルCCDカメラ C9664-01G02 半導体レーザ IEEE1394ケーブル 6P-6P 4.5 m A11328-04 IEEE1394 I/Fボード 駆動回路 解析ソフトウエア ハードウエア プロテクトキー カメラ用ベース C9664、C8484用 A9968-04 データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 仕 様 ■ システム 仕様 A3267-11 光学系型名 A3267-14 A3267-12 400 nm∼800 nm 波長範囲（1） 630 nm∼1100 nm φ1.5 mm以内 許容光束径 測定角度範囲 測定分解能（2） ±45 ° ±30 ° 0.1 ° 0.07 ° 2.8 mm ワーキングディスタンス 対応減光フィルタ A7659-03 A7659-01 （1）注文時に使用波長をご指定ください。 （2）C9664-01G02使用時、測定波長により若干変動します。 ※上記以外の仕様をご希望の場合は、ご相談ください。 測定画像 ビーム像の境界線が45° 画像中心が0° ●XYプロファイル 設定した領域に対してXYプロファイルを 表示します。測定データだけでなく、ガウ シアンフィットカーブ（赤線）を重ね書き することもできます。 中心から離れる程 広がったビームの 強度を示します。 ●ビームパラメータ解析 設定領域に対して各種ビームパラメータ を解析して表示します。解析するスライ スレベルは、FWHM、1/e、1/e2 およ びユーザーが任意に設定した2点です。 ビームパラメータ項目 ピーク位置（°） 重心座標（°） ビーム角度（°） ビームガウス角度（°） 開口数：N.A. 等輝度線表示 三次元表示 ●二次元等輝度線表示・三次元表示 設定した領域に対して二次元・三次元の プロファイルを擬似カラーで表示しま す。三次元表示は、見る角度を変えるこ とができます。 ガウシアン フィットカーブ 計測データ 5 アプリケーション 赤外レーザFFP測定システム 赤外レーザのFFPを測定するシステムです。 赤外レーザのビーム広がり角、 Ｎ.Ａ.等を高速に二次元解析。 赤外レーザFFP測定システムでは、独自の専用光学系と赤外に感度を有するInGaAs カメラを用いて赤外レーザのビーム広がり角を二次元画像として取得します。画像中心 が光学系光軸に対して0 °の光強度であり、端に行くに従って広がった角度の光強度と なります。解析を実行すると以下に示すようなプロファイルデータ、等高線表示、３Ｄ 表示およびビームパラメータが表示されます。 構成 図 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ FFP 光学系 A3267-14 赤外カメラ用光学系 A6502-10 減光フィルタセット A7659-02 C9334-03 InGaAsカメラ C10633-50 C10633-50 付属ケーブル 半導体レーザ 解析ソフトウエア InGaAs CAMERA C10633 駆動回路 ハードウエア プロテクトキー カメラ用ベース A6502-10、C10633-50用 A9968-07 データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 仕 様 ■ システム 仕様 光学系型名 波長範囲（1） A3267-14 900 nm∼1550 nm 許容光束径 φ1.5 mm以内 測定角度範囲 ±39 ° 測定分解能 0.4 °（2） ワーキングディスタンス 2.8 mm 対応減光フィルタ A7659-02 （1）注文時に使用波長をご指定ください。 （2）C10633-50使用時、測定波長により若干変動します。 ※上記以外の仕様をご希望の場合は、ご相談ください。 測定画像 画像中心が0° ビーム像の境界線が39° ●XYプロファイル 設定した領域に対してXYプロファイルを 表示します。測定データだけでなく、ガウ シアンフィットカーブ（赤線）を重ね書き することもできます。 中心から離れる程 広がったビームの 強度を示します。 ●ビームパラメータ解析 設定領域に対して各種ビームパラメータ を解析して表示します。解析するスライ スレベルは、FWHM、1/e、1/e2 およ びユーザーが任意に設定した2点です。 ビームパラメータ項目 ピーク位置（°） 重心座標（°） ビーム角度（°） ビームガウス角度（°） 開口数：N.A. 等輝度線表示 三次元表示 ●二次元等輝度線表示・三次元表示 設定した領域に対して二次元・三次元の プロファイルを擬似カラーで表示しま す。三次元表示は、見る角度を変えるこ とができます。 6 ガウシアン フィットカーブ 計測データ アプリケーション 半導体レーザNFP測定システム 半導体レーザのNFPを測定するシステムです。 半導体レーザのビーム径、強度分布、楕円率、ビーム位置等を解析。 半導体レーザNFP測定システムでは、高倍率の拡大光学系とデジタルCCDカメラを用 いて半導体レーザの発光点に焦点を合わせNFP画像を取得します。測定・解析の結果と しては、XYプロファイルデータ、二次元等輝度線表示、三次元表示およびビームパラメ ータが表示されます。 NFP：Near Field Patternの略。近視野像と訳し、半導体レーザの発光面上での光強度分布を表します。 通常の半導体レーザで数μmのオーダーです。 構成図 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ IEEE1394ケーブル 6P-6P 4.5 m A11328-04 ORCA-05G デジタルCCDカメラ C8484-05Ｇ02 （位置合わせ用） 減光フィルタセット A7659-01/A7659-03 NFP 光学系 A4859-01/A4859-06 半導体 レーザ 駆動回路 IEEE1394変換ケーブル A11889 デジタルCCDカメラ C9664-01G02 （測定用） IEEE1394ケーブル 6P-6P 4.5 m A11328-04 C9334-01 IEEE1394 I/Fボード 解析ソフトウエア ハードウエア プロテクトキー カメラ用ベース C9664、C8484用 A9968-04 対物レンズ (オプション) 20×∼100× データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 仕 様 ■ システム 仕様 光学系型名 ■ 光学系 仕様 使用対物レンズ（1） A4859-06 A4859-01 波長範囲 400 nm∼800 nm 635 nm∼1100 nm 測定倍率 フィルタ A7659-03 A7659-01 測定視野 カメラ C9664-01G02 入射N.A. 20倍 50倍 100倍 200倍 500倍 1000倍 43.4 μm × 33.0 μm 17.3 μm × 13.2 μm 8.67 μm × 6.60 μm 0.46 0.55 0.73 ワーキングディスタンス 3.1 mm 8.7 mm 4.7 mm 読み取り分解能 32.3 nm 12.9 nm 6.45 nm （1）対物レンズ（オプション）により選択可能です。 ※ 上記以外の仕様をご希望の場合は、ご相談ください。 測定画像 ●XYプロファイル 設定した領域に対してXYプロファイルを 表示します。測定データだけでなく、ガウ シアンフィットカーブ（赤線）を重ね書き することもできます。 等輝度線表示 三次元表示 ●二次元等輝度線表示・三次元表示 設定した領域に対して二次元・三次元の プロファイルを擬似カラーで表示しま す。三次元表示は、見る角度を変えるこ とができます。 ガウシアン フィットカーブ 計測データ ●ビームパラメータ解析 設定領域に対して各種ビームパラメータ を解析して表示します。解析するスライ スレベルは、FWHM、1/e、1/e2 およ びユーザーが任意に設定した2点です。 ビームパラメータ項目 ピーク値（counts） ピーク位置（μm） トータルビームカウント（counts） 重心座標（μm） ビーム幅（μm） ビームガウス幅（μm） ビーム面積（μm2） ビーム総カウント（counts） ビーム平均値（counts） ビーム標準偏差（％） 主軸傾き（°） 楕円近似比較（％） 7 アプリケーション 赤外レーザNFP測定システム 赤外レーザのNFPを測定するシステムです。 ビーム径、強度分布、楕円率、 ビーム位置等を解析。 赤外レーザNFP測定システムでは、高倍率の拡大光学系と赤外に感度を有する InGaAsカメラを用いて赤外レーザの発光点に焦点を合わせNFP画像を取得します。測 定・解析の結果としては、XYプロファイルデータ、二次元等輝度線表示、三次元表示お よびビームパラメータが表示されます。 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ 構成 図 C10633-50付属ケーブル InGaAsカメラ C10633-50 （位置合わせ用） 赤外カメラ用光学系 A6502-10 InGaAsカメラ C10633-50 （測定用） InGaAs CAMERA C10633 減光フィルタセット A7659-02 C9334-03 NFP 光学系 A4859-01 半導体 レーザ 解析ソフトウエア InGaAs CAMERA C10633 ハードウエア プロテクトキー C10633-50 付属ケーブル 駆動回路 対物レンズ (オプション) 20×∼100× データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 カメラ用ベース A6502-10、C10633-50用 A9968-07 仕 様 ■ システム 仕様 光学系型名 波長範囲 フィルタ カメラ ■ 光学系 仕様 A4859-01 使用対物レンズ（1） 900 nm∼1550 nm 測定倍率 A7659-02 測定視野 C10633-50 入射N.A. ワーキングディスタンス 読み取り分解能 20倍 50倍 100倍 200倍 500倍 1000倍 48 μm × 38.4 μm 19.2 μm × 15.3 μm 9.6 μm × 7.68 μm 0.46 0.55 0.73 3.1 mm 8.7 mm 4.7 mm 0.15 μm 60 nm 30 nm （1）対物レンズ（オプション）により選択可能です。 ※ 上記以外の仕様をご希望の場合は、ご相談ください。 測定画像 ●XYプロファイル 設定した領域に対してXYプロファイルを 表示します。測定データだけでなく、ガウ シアンフィットカーブ（赤線）を重ね書き することもできます。 等輝度線表示 三次元表示 ●二次元等輝度線表示・三次元表示 設定した領域に対して二次元・三次元の プロファイルを擬似カラーで表示しま す。三次元表示は、見る角度を変えるこ とができます。 8 ガウシアン フィットカーブ 計測データ ●ビームパラメータ解析 設定領域に対して各種ビームパラメータ を解析して表示します。解析するスライ スレベルは、FWHM、1/e、1/e2 およ びユーザーが任意に設定した2点です。 ビームパラメータ項目 ピーク値（counts） ピーク位置（μm） トータルビームカウント（counts） 重心座標（μm） ビーム幅（μm） ビームガウス幅（μm） ビーム面積（μm2） ビーム総カウント（counts） ビーム平均値（counts） ビーム標準偏差（％） 主軸傾き（°） 楕円近似比較（％） アプリケーション LEDパルス発光評価システム LEDのパルス点灯時の発光状態を１パルスごとに測定、 さらに1パルス内を時間分解しての測定も可能です。 最近のLEDは、エネルギー効率の高さから照明用としても用いられ始め、高出力タイ プが開発されています。この照明用の高出力LEDは、基本的なDC点灯だけでなくイン バータ回路によるパルス点灯も行っています。浜松ホトニクス製のLEPAS-12 レーザ ビームプロファイラを用いたLEDパルス発光評価システムは、外部トリガ同期機能およ び露光時間調整機能を用いることにより、LEDのパルス発光時における瞬時の発光強度 分布を測定し、各種解析が可能です。 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ 減光フィルタセット A7659-01/A7659-03 構成 構 成図 対物レンズ （オプション） 5×∼20× NFP光学系 A6501-03 外部トリガコネクタ A9879 タイミング I/O LED IEEE1394 I/Fボード IEEE1394ケーブル 6P-6P 4.5 m A11328-04 カメラ用ベース C9664、C8484用 A9968-04 LED駆動回路 C9334-01 ORCA-05G デジタルCCDカメラ C8484-05G02 分周回路 パルス光に同期した （パルスジェネレータなど） トリガ信号 解析ソフトウエア データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 ハードウエア プロテクトキー BNCケーブル 3m A3746-03 8 Hz以下に分周されたトリガ信号 仕 様 ■ システム 仕様 ■ 電気的仕様 光学系型名 最大繰り返し周波数（3） A6501-03 波長範囲 拡大倍率（1） 5倍 視野 振幅 20 倍 10 倍 1.73 mm × 1.32 mm 867 μm × 660 μm 433 μm × 330 μm 入射N.A.（2） 0.13 8.5 Hz 10 μs ∼ 1 s 対応パルス幅 400 nm ∼1100 nm 0.3 0.46 トリガ信号仕様（4） TTLレベル 終端インピーダンス 検出エッジ トリガパルス幅 ワーキングディスタンス 22.5 mm 16.5 mm 3.1 mm 読み取り分解能 1.29 μm 0.645 μm 0.323 μm （1）対物レンズ（オプション）により選択可能です。 （2）正確な輝度分布を測定するためには、LEDの配光特性に対して十分なN.A.が必要です。 ※上記以外の仕様をご希望の場合は、ご相談ください。 680 Ω 立ち上がりエッジ 10 μs以上 （3）LED発光の繰り返し周波数がシステムの最大繰り返し周波数よりも大きい 場合、パルスジェネレータ等を使って分周していただく必要があります。 （4）測定にはLEDの発光タイミングに同期したトリガ信号が必要です。 ※自己発振型のLEDを測定する際には、発光信号より電気トリガ信号を 生成する必要があります。 LEDパルス点灯時のビーム発光強度を発光タイミングに同期させ、測定・評価 非点灯時 立ち上がり時 ▲ 三次元表示 ▲ 測定画像 ▲ 三次元表示 点灯時 ▲ 測定画像 ▲ 三次元表示 ▲ 測定画像 50 μs パルス 波形 118 ms (8.5 Hz) 露光時間10 μs 露光時間10 μs 露光時間10 μs 9 アプリケーション 光ピックアップビーム測定システム DVDやCDピックアップLDのビーム径、強度分布、楕円率等を 高分解能で解析。発光LDの裾の部分のリング測定も可能。 CDやDVD装置に用いられるピックアップからのビームは、集光位置でφ0.3 μm程度に まで絞られ、測定には高倍率の拡大光学系が必要です。光ピックアップビーム測定システム は、拡大倍率2000倍の光学系（NFP光学系 A4859-02）を用いてピックアップからの 微小ビームを正確に測定するシステムです。対応波長範囲は、400 nmから800 nmで す。従来のCD・DVDピックアップだけでなく、青色LDを用いたピックアップまで測定が 可能です。高拡大倍率の光学系で生じる位置合わせの困難さは、計測光路と同軸上に倍率 25倍の位置合わせ光路を設けることにより解決し、迅速な測定が可能となりました。 構成 図 構成図 IEEE1394ケーブル 6P-6P 4.5 m A11328-04 カメラ用ベース C9664、C8484用 A9968-04 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ IEEE1394変換ケーブル A11889 C9334-01 デジタルCCDカメラ C9664-01G02 （測定用） NFP光学系 A4859-02 測定画像 IEEE1394 I/Fボード 解析ソフトウエア ハードウエア プロテクトキー 三次元表示 減光フィルタセット A7659-03/A7659-01 1 ＤＶＤピックアップ プロファイル像 LEPAS-12システム アナログカメラシステム ORCA-05G デジタルCCDカメラ C8484-05G02 （位置合わせ用） 対物レンズ （オプション） 100× データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 カバーガラス ピックアップXYZ ステージ 駆動回路 相対強度 0.1 0.01 0.001 0.0001 -3 -2 -1 0 1 2 3 位置（μm） ▲ 上図は、DVDピックアップからのスポット光をアナログカメ 仕 様 ラシステムとLEPAS-12システムで計測した比較例です。 LEPAS-12システムで測定したプロファイル像は、1:1000以上 ■ システム 仕様 のダイナミックレンジがあることがわかります。これにより1次 光学系 A4859-02 測定対象 ピックアップ 波長範囲 400 nm ∼ 800 nm 拡大倍率（1） 測定用光路：2000倍 位置合わせ光路：25倍 視野 測定用：4.34 μm × 3.30 μm 位置合わせ用：330 μm × 250 μm 読み取り分解能 入射N.A. （2） ワーキングディスタンス （1）100倍対物レンズ使用時 （2）100倍対物レンズで組み合わせた場合です。 10 5 nm以内 0.95 0.3 mm リング、2次リングの解析精度も向上します。 アプリケーション 空間ビーム測定システム スクリーン投影法を用いて空間ビームを瞬時に測定。 広い計測面積と均一なスクリーン特性を有しています。 空間ビーム測定システムは、可視域の空間ビーム分布などのビーム特性を測定するシステ ムです。数ミクロンの光ファイバを束にした光学デバイスであるFOPを仮想スクリーンとし て可視域の空間光ビームを投影させ、その透過像をデジタルCCDカメラで測定します。 構成図 減光フィルタセット A7659-06 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ ORCA-05G デジタルCCDカメラ C8484-05G02 C9334-01 空間ビーム IEEE1394 I/Fボード FOPスクリーン光学系 A6502 IEEE1394ケーブル 6P-6P 4.5 m A11328-04 解析ソフトウエア ハードウエア プロテクトキー データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 仕 様 ■ システム 仕様 光学系型名 主な用途 測定視野（ズーム機能） 空間分解能 波長範囲 スクリーン不均一性 レンズマウント 光軸高さ ビームパラメータ項目 （FOPスクリーン） スライスレベル ピーク値（counts） ピーク位置（μm） トータルビームカウント（counts） 重心座標（μm） ビーム幅（cm） ビームガウス幅（cm） ビーム面積（cm2） ビーム総カウント（counts） ビーム平均値（counts） ビーム標準偏差（％） 主軸傾き（°） 楕円近似比較（％） A6502 可視光ビーム（空間光ビーム） φ13 ∼ φ65 mm 約100 μm 400 nm ∼ 800 nm ＜5 % Cマウント 70 mm±2 mm FOPスクリーン光学系システム測定例 測定画像 等輝度線表示 三次元表示 11 アプリケーション ファイバN.A.測定システム 光ファイバの基本パラメータであるN.A.を二次元的に瞬時に 測定。マルチモードファイバに対応。 ファイバの基本的パラメータの一つにN.A.があります。ファイバN.A.測定システム は、ファイバ出射ビームの角度分布をFFP光学系により位置分布データに変換し、解析 することにより、ファイバのN.A.を二次元的に瞬時に求めるシステムです。プラスチッ クファイバのようなマルチモードファイバに対応します。 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ 構成 図 ファイバ FFP 光学系 A3267-12 光源 C9334-01 デジタルCCDカメラ C9664-01G02 IEEE1394ケーブル 6P-6P 4.5 m A11328-04 IEEE1394 I/Fボード 解析ソフトウエア 減光フィルタセット A7659-01 カメラ用ベース C9664、C8484用 A9968-04 仕 様 ハードウエア プロテクトキー データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 ■ システム 仕様 光学系型名 測定角度範囲 角度分解能（1） 波長範囲（2） ワーキングディスタンス 入射開口 レンズマウント 光軸高さ 質量 A3267-12 ±45 °（0.7） 0.1 ° 630 nm ∼1100 nm 2.8 mm φ1.5 mm以内 Cマウント 80 mm±2 mm 3.4 kg （1）C9664-01G02使用時、測定波長により若干変動します。 （2）較正波長をご指定下さい。 測定画像 ●XYプロファイル 設定した領域に対してXYプロファイルを 表示します。測定データだけでなく、ガウ シアンフィットカーブ（赤線）を重ね書き することもできます。 等輝度線表示 三次元表示 ●二次元等輝度線表示・三次元表示 設定した領域に対して二次元・三次元の プロファイルを擬似カラーで表示しま す。三次元表示は、見る角度を変えるこ とができます。 12 ガウシアン フィットカーブ 計測データ ●ビームパラメータ解析 設定領域に対して各種ビームパラメータ を解析して表示します。解析するスライ スレベルは、FWHM、1/e、1/e2 およ びユーザーが任意に設定した2点です。 ビームパラメータ項目 ピーク値（counts） ピーク位置（°） トータルビームカウント（counts） 重心座標（°） ビーム角度（°） ビームガラス角度（°） ビーム総カウント（counts） ビーム平均値（counts） ビーム標準偏差（％） 主軸傾き（°） 楕円近似比較（％） 開口数：N.A. ビーム計測用カメラ デジタルCCDカメラ C9664-01G02 C9664-01Ｇ02は、レーザビーム測定専用に開発された2/3型デジタルCCDカメ ラです。基本性能は、C8484-05G02と同等ですが、CCD素子に特殊な加工を施すこ とにより、レーザビーム測定時に干渉縞を生じません。これにより高精度なレーザ測定が 可能となります。 ●外形寸法図（単位：mm） 1-32UN Cマウント D=7 7.4 135 32.5 2.35 65 2-M3、 Ｄ＝8 60 8 C9664-01G02 2/3型全画素読み出しインターラインCCD 1344（H）×1024 （V） 6.45 μm×6.45 μm 8.67 mm×6.60 mm 12 bit Cマウント 10 μs∼1s レーザ光干渉縞対策 65 型 名 撮像素子 有効画素数 画素サイズ 撮像面積 A/Dコンバータ レンズマウント 露光時間 その他 22 ●干渉縞対策処理の原理 通常のCCDカメラにレーザビームを入射し撮像すると、画像に干渉縞が現れ正確にビーム 画像観測することができません。これはレーザがコヒーレントなため、入射ビームとCCD素 子保護膜やガラスフィルタ部分で反射したビームが干渉を起こすからです。 C9664-01G02は、この問題を解決するために、CCD素子から保護膜やフィルタを取り外 し、代わりにFOP（ファイバオプティクスプレート）を窓材としてCCD素子上に直接装着し ています。 FOPはガラスファイバを数百万本束ねて薄くスライスしたガラス板で、入射イメージを歪 みなく出力面へ伝送する光学デバイスです。入射したレーザビームは、各ファイバ内を伝播 して出力されますが、ファイバごとに伝播モードが異なりますので、FOP出力面ではコヒー レンシーは失われています。したがって、CCDで撮像しても干渉縞が発生することはありま せん。FOPのピッチはCCDピクセルサイズに比べて十分に微小なため、空間分解能が低下す ることもありません。 入射光 干渉が発生 保護膜 CCDチップ 入射光 FOP CCDチップ ORCA-05G デジタルCCDカメラ C8484-05G02 C8484-05G02は、130万画素の2/3型全画素読み出しインターラインCCDを採 用した高解像度・高感度デジタルCCDカメラです。広いダイナミックレンジを有し、可 視∼1100 nmの近赤外域まで幅広い波長域の光を高感度に撮影することができます。 ●外形寸法図（単位：mm) 1-32UN Cマウント D=7 2.35 135 7.4 32.5 C8484-05G02 2/3型全画素読み出しインターラインCCD 1344（H）×1024 （V） 6.45 μm×6.45 μm 8.67 mm×6.60 mm 12 bit Cマウント 10 μs∼1 s 65 型 名 撮像素子 有効画素数 画素サイズ 撮像面積 A/Dコンバータ レンズマウント 露光時間 65 2-M3、 Ｄ＝8 60 22 13 赤外ビーム計測用カメラ InGaAsカメラ C10633-50 C10633-50は、LEPAS-12システム専用の赤外カメラです。USBインターフェース を採用したInGaAsカメラで、14 bitの広いダイナミックレンジを有し、900 nm∼ 1700 nmの近赤外領域で高い感度を有します。赤外カメラ用光学系A6502-10と組み 合わせて干渉縞対策用測定カメラとしても使用することができます。 ●外形寸法図（単位：mm) 4 44 50 4 C10633-50 InGaAs 320（H）× 256（V） 30 μm × 30 μm 9.60 mm × 7.68 ｍｍ 14 bit Cマウント 100 μs ∼15 ms 54.5 2-M6x5 28 型 名 撮像素子 有効画素数 画素サイズ 撮像面積 A/Dコンバータ レンズマウント 露光時間 1-32UNx14 C-MOUNT 50 1/4-20UNCx6 28 3.5 3.5 2-6x5 赤外カメラ用光学系A6502-10、カメラ用ベース A6502、C10633-50用 A9968-07との組み合わせ例 ●外形寸法図（単位：mm) 10 50 120 130 4-φ3.5×4.5長穴 φ6.5×7.5長ザグリ深さ2 A6502-10 C10633-50 55.5 70 99 145 A9968-07 ビーム計測用カメラ分光感度特性※ (typ.) 100 90 C8484-05Ｇ02 量子効率 (%) 80 C10633-50 70 60 50 40 30 C9664-01G02 20 10 0 14 400 600 800 1000 波長 (nm) 1200 1400 1600 1800 ※分光感度特性値およびグラフは代表値です。 ビーム光学系 FFP 光学系シリーズ A3267-11、-12、-14 ビーム広がり角 測定項目 N.A. FFP光学系 A3267シリーズは、f-θレンズ系により、被測定ビームの角度広がり分布を 位置の分布に変換する光学系です。本光学系にカメラを接続するだけで、光ビームの放射 角度の二次元分布を直接測定することができます。従来方式のようにフォトダイオードを 円弧状にスキャンする方式ではありませんので、再現性に優れた測定を瞬時に行うことが できます。 A3267-11、-12 ●仕様 A3267-11 青色LD、赤色 LD A3267-12 A3267-14 赤色 LD、通信用LD プラスチックファイバ ±30 °（±39 °(3)） ±45 ° 0.07 °（0.4 °(3)） 0.1 ° 630 nm ∼1550 nm 400 nm ∼800 nm 2.8 mm φ1.5 mm Cマウント 80 mm±2 mm 3.7 kg 3.4 kg 型 名 主な用途 測定角度範囲（1） 角度分解能（1） 波長範囲（2） ワーキングディスタンス 入射アパーチャサイズ レンズマウント 光軸高さ 質量 （1）C8484-05G02、C9664-01G02接続時、測定波長により若干変動します。 （2）波長をご指定下さい。 （3）InGaAsカメラC10633-50を使用の場合 ●外形寸法図（単位：mm） （記載型名以外の外形寸法は、お問い合わせ下さい。） ○A3267-11、-12 ○A3267-14 6-φ5.5 130 120 130 120 6-φ 5.5 185 390 185 185 10 390 185 50 100 300 25 25 100 300 9-φ4.5 50 6 ﾍﾞｰｽｾﾝﾀ φ6 100 50 50 100 φ6 10 9-φ 4.5 25 25 6 121.5 80 121.5 80 10 10 ●FFP光学系の原理 FFP光学系は、f-θレンズ系・フィールドレンズ系・リレーレンズ系の 3群で構成されています。f-θレンズ系はFFP光学系の核となる部分で、 入射ビームの角度θを位置の情報y(=fθ)に変換する働きをします。した がってf-θレンズの焦点面（カメラ撮像面）上の照度分布は光源の角度分 布になり、光源のFFPそのものが焦点面上にできていることになります。 FFP光学系によって結像された像は発光点を中心とした半球面上のスクリーン に投影された放射角度分布と相似となり、従来のフォトダイオードによる 機械走査方式を二次元的に行ったことと等価となります。 y θ f-θレンズ フィールドレンズ リレーレンズ 検出器 15 ビーム光学系 ＮFP 光学系 A4859-01、-02、-06 ビーム径 測定項目 楕円率 ビーム位置 強度分布 NFP光学系 A4859シリーズは、半導体レーザやシングルモードファイバなどの出射 端でのNFPを測定するための光学系です。微小な光ビームを用途に応じた倍率に拡大 し、後続のカメラに結像します。計測開始時の位置合わせ用に測定用主光路と同軸上に 位置合わせ光路が設けてあります。 A4859-01、-06 ●仕様 位置合わせポート付き（ビーム径、強度分布測定用） A4859-06 青色 ∼ 赤色LD 400 nm ∼ 800 nm 型 名 測定対象 波長範囲 A4859-01 赤色 ∼ 近赤外LD 630 nm ∼ 1550 nm 50倍 500倍 12.5倍 0.55 8.7 mm 10倍 対物レンズ倍率 測定倍率 推奨仕様 位置合わせ倍率 （1） 入射N.A. ワーキングディスタンス リレーレンズ倍率 レンズマウント 光軸高さ 質量（光学系部分のみ） A4859-02 光ピックアップ 400 nm ∼ 800 nm 100倍 2000倍 25倍 0.95 0.3 mm 20倍 Cマウント 80 mm ±1 mm 4.8 kg 5.3 kg （1）対物レンズの選択により様々な測定が可能です。P17の対物レンズ仕様をご参照ください。 ●外形寸法図（単位：mm) A4859-01、-06 A4859-02 位置決めカメラ用Cマウント 位置決めカメラ用Cマウント フィルタ挿入口（2枚） フィルタ挿入口（2枚） 計測カメラ用Cマウント 122 80 80 100 100 500 185 300 6-φ6 R 3 10 4 5 位置決め用 レンズ 位置決めポート 検出器 -C 5 ●NFP光学系の構成 NFP光学系は、対物レンズ・ビームスプリッタ・倍率補正レンズ系・拡大リレーレンズ 系の各群により構成されます。 対物レンズによって拡大された像は、ビームスプリッタにより二光束に分割されます。 一方は拡大リレーレンズによりさらに拡大され、後続の計測用カメラに結像されます。 他方は1/4 倍の倍率補正レンズで縮小され、位置合わせカメラに結像されます。分割され た二光束の光軸は一致していますので、視野の広い位置合わせカメラでビーム位置合わせ を行うことにより、高倍率の計測用カメラで容易にビーム検出が可能です。 6-φ6 9-φ4.5 -C 9-φ4.5 φ6 4 4-M5 25 25 50 R 120 3 10 φ6 571 185 300 185 250 130 50 130 120 25 25 154.4 150.4 10 10 50 154.4 150.4 50 185 6 10 10 6 122 計測カメラ用Cマウント 主ポート 検出器 対物レンズ 16 結像レンズ リレーレンズ ビーム光学系 NFP光学系 A6501-03、-04 測定項目 ビーム径 楕円率 ビーム位置 強度分布 NFP光学系Ａ6501シリーズは、LEDやマルチモードファイバなどの出射端での NFP像を測定するための光学系です。微小な光ビームをA6501-03では50倍に、 A6501-04では12.5倍に拡大し、後続のカメラに結像します。 ●仕様 型 名 測定対象 波長範囲 A6501-03 推奨仕様（１） 対物レンズ倍率 測定倍率 入射N.A. ワーキングディスタンス リレーレンズ倍率 レンズマウント 光軸高さ 質量（光学系部分のみ） A6501-03 A6501-04 LD、LED、光ファイバ、導波路 400 nm ∼ 1550 nm 400 nm ∼ 800 nm 50 倍 50 倍 12.5 倍 0.55 8.7 mm 1倍 1/4 倍 Cマウント 80 mm±1 mm 2.3 kg 1.5 kg （1）対物レンズの選択により変更が可能です。下記対物レンズ仕様をご確認ください。 ●外形寸法図（単位：mm） A6501-04 10 185 390 試料面 185 121.5 80 12-φ4.5 25 25 25 50 300 6 6 100 50 φ 150 100 6 150 185 220 10 試料面 6-φ5.5 50 4-φ5.5 120 130 120 130 A6501-03 80 A6501-04 10 φ6 10 【 各光学系と対物レンズを組み合わせた時の総合倍率、視野、分解能 】 計測カメラ：C8484-05G02、C9664-01G02の場合、（緑文字)は、InGaAsカメラC10633-50を使用の場合 リレーレンズ倍率：1/4 倍 対応機種：A6501-04 対物レンズ倍率 総合倍率 有効視野範囲 読み取り分解能 5 1.25 φ4.4 mm 5.16 μm 10 2.5 φ2.2 mm 2.58 μm 20 5 φ1.1 mm 1.29 μm 50 12.5 φ0.44 mm 0.516 μm 100 25 φ0.22 mm 0.258 μm 10 10 867 μm×660 μm （960 μm×768 μm） 0.645 μm（3.0 μm） 20 20 434 μm×330 μm （480μm×384 μm） 0.323 μm（1.5 μm） 50 50 173 μm×132 μm （192 μm×153 μm） 0.129 μm（0.6μm） 100 100 86.7 μm×66.0 μm （96.0 μm×76.8 μm） 64.5 nm（0.3 μm） 20 200 43.4 μm×33.0 μm （48.0 μm×38.4 μm） 32.3 nm（0.15 μm） 50 500 17.3 μm×13.2 μm （19.2 μm×15.3 μm） 12.9 nm（60 nm） 100 1000 8.67 μm×6.60 μm （9.60 μm×7.68 μm） 6.45 nm（30.0 nm） 20 400 21.7 μm×16.5 μm (24.0μm×19.2 μm） 16.1 nm（75.0 nm） 50 1000 8.67 μm×6.60 μm （9.6 μm×7.68 μm） 6.45 nm（30 nm） 100 2000 4.34 μm×3.30 μm （4.8 μm×3.84 μm） 3.23 nm（15.0 nm） リレーレンズ倍率：1倍 対応機種：A6501-03 対物レンズ倍率 総合倍率 有効視野範囲 読み取り分解能 5 5 1.73 mm×1.32 mm （1.92 mm×1.53 mm） 1.29 μm（6.0 μm） リレーレンズ倍率：10倍 対応機種：A4859-01、A4859-06 対物レンズ倍率 総合倍率 有効視野範囲 読み取り分解能 5 50 173 μm×132 μm （192 μm×153 μm） 0.129 μm（0.6 μm） 10 100 86.7 μm×66.0 μm （96.0 μm×76.8 μm） 64.5 nm（0.3 μm） リレーレンズ倍率：20倍 対応機種：A4859-02 対物レンズ倍率 総合倍率 有効視野範囲 読み取り分解能 5 100 86.7 μm×66.0 μm （96.0 μm×76.8 μm） 64.5 nm（0.3 μm） 10 200 43.4 μm×33.0 μm （48.0μm×38.4 μm） 32.3 nm（0.15 μm） 17 ビーム光学系 FOPスクリーン光学系 A6502 空間ビーム分布 測定項目 ビーム幅 ビーム安定性 FOPスクリーン光学系 A6502は、大口径の空間光ビームを初段のFOPスクリーン に投影させ、その透過像を後続のカメラに結像する光学系です。広い計測面積と均一な スクリーン特性を有しています。 ●外形寸法図（単位：mm） フィルタ挿入口 110 125 ●仕様 A6502 空間光ビーム、LED放射光 φ13 ∼ φ65 mm 約100 μm 400 nm ∼800 nm ＜5 % Cマウント 70 mm±2 mm 3.3 kg 82 63 4-φ4.5 4-M6 40 160 40 4-φ7 100 144.7 50 型 名 主な用途 測定視野（ズーム機能） 空間分解能 波長範囲 スクリーン不均一性 レンズマウント 光軸高さ 質量 70 340.2 精密ラボジャッキ底面図 50 70 70 減光フィルタセット A7659-06 Ａ7659-06は、FOPスクリーン光学系に挿入して用いられます。 光学系に接続するカメラの出力が飽和しないように被測定ビームの強 型 名 使用波長域 度に合わせ、本減光フィルタを挿入して下さい。なお、仕様以外の減 透過率 A7659-06 400 nm∼800 nm 1/2、1/4、1/8、1/16、1/32、1/64、1/400、 1/800、1/1600、1/3200 光フィルタをご要望の際はご相談ください。 等倍光学系 A6216 測定項目 ビーム径 楕円率 ビーム位置 強度分布 等倍光学系 A6216は、画像を1:1で後続のカメラにリレーする光学系です。LD、 LEDパッケージやファイバ、導波路端面の観察に用いられます。 ●仕様 赤外カメラ用光学系 A6502-10 10 240 4‐φ5.5 130 120 A6216 大口径集光ビーム 1倍 400 nm ∼1100 nm 0.35 39 mm Cマウント 80 mm±1 mm 3.0 kg 270 フィルタ挿入口 計測面 80 型 名 主な用途 拡大倍率 波長範囲 入射N.A. ワーキングディスタンス レンズマウント 光軸高さ 質量 ●外形寸法図（単位：mm） 50 赤外カメラ用光学系 A6502-10は、C10633-50と組み合わせて、赤外レーザの 干渉縞対策した計測を行うことが可能です。 ●仕様 18 145 4 Cマウント 57 A6502-10 9.6 mm×7.6 mm 900 nm ∼1550 nm Cマウント 0.6 kg Cマウント 型 名 計測視野 波長範囲 レンズマウント 質量 ●外形寸法図（単位：mm） アクセサリ 減光フィルタセット A7659-01、-02、-03 A7659-01、-02、-03は、FFP光学系シリーズ A3267、NFP光学系シリーズ A4859、A6501シリーズ、減光フィルタアダプタA7624に挿入して用いられます。接続 するカメラの出力が飽和しないように被測定ビームの強度に合わせ、減光フィルタを挿入し てください。なお、下記仕様以外の減光フィルタをご要望の際はご相談ください。 A7659-01 A7659-03 600 nm∼1000 nm (1100 nm) 400 nm∼650 nm (800 nm) 1/5、1/10、1/25、1/50、1/100、1/250、1/500、1/1000、1/2000、 1/2500、1/5000、1/10 000、1/25 000、1/50 000、1/100 000 A7659-01 A7659-02 1310 nm∼1550 nm 1/5、1/10、1/25、1/50、1/100、 1/250、1/500、1/1000、1/2000 5 4 A7659-01 A7659-03 3 2 1 A7659-02 0 400 1000 1200 波長［nm］ ※1/1000フィルタ使用時 ※透過率は、波長域 1310 nm∼1550 nmにおけるおおよその値です。 減光フィルタアダプタ A7624 A7659-03 6 ※透過率は、A7659-01の場合は、波長域 650 nm∼850 nmにおけるおおよその値です。 また、A7659-03では、波長域 460 nm∼650 nmにおけるおおよその値です。 型 名 使用波長 透過率※ A7659-02 7 透過率［％］ 型 名 使用波長 透過率※ 600 800 1400 架台 LEPAS用 手動XYZステージ A5477-05 A7624は、カメラにCマウ A5477-05は、A4859や ントで取り付けることのでき カ フォー る減光フィルタアダプタで す。減光フィルタセット A6501、A3267光学系シリ ス方向 高さ 横 軸 ーズ用XYZステージです。 光学系本体を搭載し、横軸± A7659-01、-02、-03の減 12.5 mm、高さ±4 mm、フ 光フィルタを同時に2枚まで ォーカス方向に±12.5 mm移 挿入できます。 動可能です。 対物レンズ その他 対物レンズは、NFP光学系 A4859シリーズおよび A6501シリーズに用いられます。各光学系には、対物レ ンズが付属されていません。以下の表より必要な対物レン ズを選択し、ご購入ください。 A4859シリーズ、A6501シリーズ用 倍率 N.A. 2.5 5 10 10 20 20 20 50 50 50 100 100 100 0.08 0.13 0.30 0.21 0.46 0.40 0.35 0.80 0.55 0.45 0.95 0.80 0.73 ワーキングディスタンス （mm） 8.80 22.50 16.50 20.30 3.10 11.00 20.50 0.54 8.70 13.80 0.30 2.20 4.70 ●IEEE1394ケーブル 6P-6P 4.5 ｍ A11328-04 ORCA-05G デジタルCCDカメラ C8484-05Ｇ02、レーザ計 測用デジタルCCDカメラ C9664-01G02とLEPAS-12を接続す るケーブルです。 ●IEEE1394変換ケーブル A11889 A11328-04のコネクタをb仕様に変換するケーブルです。 ●データ解析装置 LEPAS用 C7914-01 LEPAS-12を格納するためのPCです。 19 【用語の説明】 ● NFP Near Field Patternの略。近視野像と訳し、半導体レーザの発光面上での光 強度分布を示す。その大きさは通常の半導体レーザで1 μm(半値幅)のオーダ です。 ● FOP Fiber Optics Plateの略。コア系数μmのファイバを数十万本束ねた厚さ数 mmのガラス板で、入射光イメージを入力面から出力面へ歪みなく効率よく伝 送する光学デバイスです。 ● FFP Far Field Patternの略。遠視野像と訳し、半導体レーザの発光面から十分遠 方に放射された場所で光強度分布を示します。角度で表し、通常の半導体レー ザで±10 °∼±30 °(半値幅)程度です。 ● Cマウント カメラに取り付ける交換レンズのネジマウントの規格。直径1インチ、ネジ山 が1インチあたり32を標準としたネジ込みマウントです。 ● f-θレンズ 光ビームの角度分布を位置の分布に変換するレンズである。像高yが入射角度 θの時、y=fθと表されます。 ● シェーディング カメラに空間的に均一な光を入射しても、カメラ感度が位置によってばらつい ているため、出力画像に若干凹凸が生じる。この「程度」をシェーディングと 言われています。 ● N.A. Numerical Apertureの略。開口数と訳す。ファイバのビーム拡がり角やレ ンズの受光角をθとした時、N.A.=sinθと表されます。 ● ワーキングディスタンス Working Distance。作動距離と訳します。顕微鏡などの対物レンズの先端か ら、焦点が合う物体面までの距離です。 ★ LEPASは、浜松ホトニクス（株）の登録商標です。 ★ ORCAは、浜松ホトニクス（株）の登録商標です。 Windowsは、米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他 記載商品名・ソフト名は、該当商品製造各社の商標および登録商標であることを明記し、カタログ上での記載は省略させて頂きました。 ※本カタログの掲載内容は、2016年5月現在のものです。改良のため予告なく変更する場合があります。 www.hamamatsu.com □ □ □ □ □ □ 仙台営業所 筑波営業所 東京営業所 中部営業所 大阪営業所 西日本営業所 〒980-0021 仙台市青葉区中央3-2-1 青葉通プラザ 11階 〒305-0817 つくば市研究学園5-12-10 （研究学園スクウェアビル7階） 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21 （虎ノ門33森ビル5階） 〒430-8587 浜松市中区砂山町325-6 （日本生命浜松駅前ビル4階） 〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13 （大阪国際ビル10階） 〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-13-6 （竹山博多ビル5階） TEL TEL TEL TEL TEL TEL (022)267-0121 (029)848-5080 (03)3436-0491 (053)459-1112 (06)6271-0441 (092)482-0390 □ システム営業推進部 〒431-3196 浜松市東区常光町812 TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031 FAX FAX FAX FAX FAX FAX (022)267-0135 (029)855-1135 (03)3433-6997 (053)459-1114 (06)6271-0450 (092)482-0550 Cat. No. SOCS0013J09 MAY/2016 HPK