人工水晶 ■ 人工水晶の標準規格 ● 結晶の右左 ● 種子結晶の方位、寸法 方位 特に指定のあるもの以外は右水晶です。 用途により次の 4 種類があります。 ● 0° 00' ± 30'、1° 00'±30' 品質 1° 30' ± 30'、2° 00'±30' 寸法 単位:mm 双晶 電気的、光学的双晶は含みません。 Z板 外観 方 位 有効長内に電気的特性に影響を及ぼす割れ、気泡はありません。 X 軸方向 41.0 ± 1.0 89.0 ± 1.0 43.0 ± 1.0 68.0 ± 1.0 異物 Z 軸方向 2.5 以下 0° 00' 1° 30' Z 領域に含まれる異物の許容個数は、IEC60758 により次の通り グレード分けをしています。 グレード 1cm3 における異物の大きさと許容含有個数 10 ~ 30 μ m 30 ~ 70 μ m 70 ~ 100 μ m 100 μ m ~ Ia 2 以下 1 以下 0 以下 0 以下 Ib 3 以下 2 以下 1 以下 1 以下 I 6 以下 4 以下 2 以下 2 以下 用 途 ● ランバード人工水晶の標準規格 加工面の角度 フォトリゾグラフ 工程用 II 9 以下 5 以下 4 以下 3 以下 高周波、高品質の振 動子用及び SAW 用 III 12 以下 8 以下 6 以下 4 以下 産業用水晶振動子用 Z面のY ' 軸方向の角度:0° 00' ± 30'、1° 00'±30' 1° 30' ± 30'、2° 00'±30' Z面のX軸方向の角度 :0° 00' ± 15' X面のZ ' 軸方向の角度:0° 00' ± 15' X面のY ' 軸方向の角度:0° 00' ± 15' 寸法公差 X軸方向 :± 0.1mm Z ' 軸方向:± 0.2mm 赤外線吸収係数α 赤外線吸収係数α(波数 3585cm-1 を使用)は、IEC60758 によ り次の通りグレード分けをしています。 赤外線吸収係数 α 3585 参 考 赤外Q値 Aa 0.015 以下 380 万以上 A 0.024 以下 300 万以上 B 0.050 以下 240 万以上 グレード C 0.069 以下 180 万以上 D 0.100 以下 140 万以上 E 0.160 以下 100 万以上 用 途 面仕上げ ダイヤモンドホイールで# 80 以上 種子結晶の位置 種子の位置は下図の斜線内に含まれます。 高品質の水晶振動子用 Y-cut cross section Y カット断面図 低いα値と同等の温度特性を要求さ れる高周波産業用水晶振動子用 Z Z/2 低価格品の低周波水晶振動子用 種子結晶 : Seed crystal 3.5mm 3.5 mm 以下 max. エッチチャンネル密度ρ エッチチャンネル密度ρは、IEC60758 により次の通りグレード 分けをしています。 グレード 1aa ρ /cm2 の 用 途 最大数 2 長時間の化学エッチングが必要な厚い水晶のセンサ 1a 5 1 10 2 30 3 100 産業用水晶振動子 4 300 一般用振動子 高周波基本波水晶振動子 化学エッチング、SAW デバイス ●表示 -X面に下記の表示をしております。 種子結晶の方位 結晶の右左(RH 又は LH) 製造ロット番号 製造業者名(NDK) sq08_100909_standard1_j