QFET ! " # ! ! ! "" " $ $ $ $ $ $ %&'(()*+( ,Ω-)+.() /0.1 2 3 /0.43 .((5! 6!!7" ! " ! " ! " " ! ) 6 '(( ) 0+8293 0+.((93 6 ) ;) < 6 < !7 : : ) % & '' & 8, & ±4( ) :&! < 41( = &! %( & *!&! < :?*!!7 : 0 +8293@ >, '2 4 .4 = )7 A >, ( %, 22B.2( A A79 9 4(( 9 : 0+8293 "!829 * C .7,2 *θ * = *θ * = &" @ *θ * = &" . 8, 9A '( 9A 18 2 9A ! '(( ) D) D? ) )+()6+82(µ& ∆D) 7∆ D? ) 6+82(µ&* 829 ( '4 )79 )+'(())+() . µ& )+48()+.829 6 E;) .( µ& 6 ;D/? )+4())+() .(( & 6 ;D/? *! )+4())+() .(( & 4( 2( ) ) ;) )+)6+82(µ& * * )+.()6+4 2& ( 18 (, Ω )+2()6+4 2& 2' 6 1(( %,( .(2 .42 )+82))+() +. (F# *! .4 .% 8( 2( %2 .1( 42 ,( 2( ..( .1 2 88 * G ; G ; G ; )+48()6+%& )+.() )+8(()6+%& *+82Ω '2 ,2 % & & 6 C 6 C: )+()6+%& ) 8, ) .2 ) *!*! 88( G *!*! .4 µ )+()6+%& 67+.((&7µ !" #$%#&##'(# )#*+,-./.Ω, 0 + ,-1 //-1µ. 2.0 " !" //µ3%(%( 4 5 %6 # ! ! " # ' %#& ! " #$ ! " " $%& " ! !" -.! #$ " / #$ " µ ! ! µ !"#$%# ! ()*$$"&+ ',)*$$ #$ " ''##$ ! # 01&$ /9 //8 . 70 //8 30 70 #- "!# 01&$ 30 7 ) 30 :/4 33 70 70 /4 2$3"!# 01&$ 30 300 -0 -0 300 33 300 -0 3 7 33 3 30 33 4. 5# 01&$ 30 ! 03 " 7 70 33 !" ########################## ; 03 33 4.50 ±0.20 9.90 ±0.20 +0.10 2.00 ±0.10 (0.75) 3° ~ 0° 0.80 ±0.10 1.27 ±0.10 2.54 TYP 2.54 ±0.30 15.30 ±0.30 0.10 ±0.15 2.40 ±0.20 4.90 ±0.20 9.20 ±0.20 1.30 –0.05 1.20 ±0.20 (0.40) 1.40 ±0.20 +0.10 0.50 –0.05 2.54 TYP 4.90 ±0.20 (2XR0.45) 9.20 ±0.20 10.00 ±0.20 (7.20) (1.75) 10.00 ±0.20 (8.00) (4.40) 15.30 ±0.30 0.80 ±0.10 4.50 ±0.20 (0.40) 9.90 ±0.20 +0.10 MAX13.40 9.20 ±0.20 (1.46) 1.20 ±0.20 1.30 –0.05 0.80 ±0.10 2.54 TYP 2.54 TYP 10.08 ±0.20 1.47 ±0.10 MAX 3.00 (0.94) 13.08 ±0.20 ) 5° (4 1.27 ±0.10 +0.10 0.50 –0.05 2.40 ±0.20 10.00 ±0.20 ? # " C!? 8 H ! " #$%&H '( ') '* +$% $+,% - . &6*F6/<6I**<<*)<F<*6;F&J<F&;<A6FII*F<*6<&K :*I F<*<6 6:*)< *</6&D6/6K I6 * <6; &6*F6/ < &I< &K /6&D6/6K &*66; I F< &::/6&6 * I< &K :*I * 6*I6 <*6D< F<*<6L <6F<*<6)<K&K/6<<I<*6:&<*6;F*F<*6;FF<* &6*F6/ :*I &*< &IF*6E< * I< & *66&/ :< 6 /6< I::* <)6< * K< A6FI F< <M:*< A*6< &::*)&/ &6*F6/ <6I* 6<*&6&/ & N . /!! 03 " 0"3 03 ! " " " C O 8 & ! " "C !! "!#$ !%$ % # &! 6 !6 ! : : "" !? ! 6 : !? ! " 6 : " " #$