QFET ! " # ! ! ! $ $ $ $ $ $ % &%'&(()*+, -Ω.)+,() / 0 1( 2 /0 ,-2 ,((3 ! 4 !!5 " ! " ! " ! ) 4 " " ! ) 0+6-72 0+,((72 4 8 ) : ) ; 4 8 '! ; *!'! !5 8 8 ?* !!5 8 0+6-72 '! ; ; &(( ) % &% ' 1( ' ,9 ' ±1( ) <(( % &% >1 %- "!6-7 * B ,5> - = ' = >1 ( >& --A,-( ) @ @57 7 1(( 7 *θ * = *θ * = ' " ,- 7@ %( 7@ &(( ) ( &> )57 )+&(())+() ,( µ' )+-<()+,6-7 C) C ? ) )+()4+6-(µ' ∆C) 5∆ C ? ) 4+6-(µ'* 4 D: ) 6-7 ,(( µ' 4 : C/ ? )+1())+() ,(( ' 4 : C/ ? *! )+1())+() ,(( ' 1( -( ) , ,< ,- Ω %> ) : ) )+)4+6-(µ' * * )+,()4+6 1&' )+-()4+6 1&' 4 *! )+6-))+() +, (E# * F : F : F : ,,(( ,%(( ,6- ,-( ,- ,6( 6- <( )+1-()4+< 6' *+6-Ω )+-<()4+< 6' )+,() &( ,-( -- ,6( -( ,,( 1( %( <- ,1 % &% ' 4 B 4 B 8 )+()4+% &%' ) ,9 ' ) ,% ) *!* ! 1%( F *!* ! 6& µ )+()4+< 6' 45+,(('5µ !" # $%#&##' ( # )*+#,-./010Ω, 2 - +/3 11/3µ 0402 " !" 11µ 5%(%( 6 7 % 8 # !" ' % # & ! " #$ ! "#$% ! !" ! $ % - .! #$ / #$ µ µ ! "#! ( ) *$$" & + ', ) *$$ #$ & ! ' ( # ) * + , - ) . / + ' 0 1 2 & ! " ! ! '' # #$ # 01 &$ 1; 11 : 0 92 11 : 52 92 #/ "! # 01 &$ 52 9 ) 52 *16 55 92 92 16 2 $ 3 "! # 01 &$ 52 522 /2 /2 522 55 522 /2 5 9 5 52 55 55 4 . 5# 01 &$ 52 ! 25 " 9 92 ! "# 55 !" ########################## < 25 55 4.50 ±0.20 5.50 ±0.20 15.50 ±0.20 2.00 ±0.20 22.00 ±0.20 1.50 ±0.20 16.50 ±0.20 23.00 ±0.20 10 ° 10.00 ±0.20 2.00 ±0.20 2.00 ±0.20 2.50 ±0.20 0.85 ±0.03 2.00 ±0.20 4.00 ±0.20 3.30 ±0.20 +0.20 0.75 –0.10 5.45TYP [5.45 ±0.30] +0.20 0.90 –0.10 5.50 ±0.20 2.00 ±0.20 3.30 ±0.20 5.45TYP [5.45 ±0.30] 3.00 ±0.20 ø3.60 ±0.20 (1.50) 2.00 ±0.20 14.50 ±0.20 16.50 ±0.20 26.50 ±0.20 14.80 ±0.20 ? # " B ! ? 6 G ! " #$%&G '( ') +$% $+,% - . '* '4*E4/;4H**;;*);E;*4:E'I;E':;@4EHH*E;*4;'J 8*H E;*;4 48*); *;/4'C4/4J H4 * ;4: '4*E4/ ; 'H; 'J /4'C4/4J '*44: H E; '88/4'4 * H; 'J 8*H * 4*H4 ;*4C; E;*;4K ;4E;*;4);J'J/4;;H;*48';*4:E*E;*4:EE;* '4*E4/ 8*H '*; 'HE*4D; * H; ' *44'/ 8; 4 /4; H88* ;)4; * J; @4EH E; ;L8*; @*4; '88*)'/ '4*E4/ ;4H* 4;*'4'/ ' M , /! ! 0 2 " 0"2 0 2 ! " " " B N 6 ' ! " " B ! ! '! ! "# 4 8 ! 4 " $# $ " !4 ! 8 "" ! ? ! 8 ! ? ! 4 8 " "