QFET ! " # ! ! ! $ ! % ! & & & & & & '' (%)**+,-* ).Ω/+-'*+ 01'. 2 01'.2 '**3! 4!!$" ! " ! " ! " " ! + 4 + 1-)562 )** + '' ( % 1-'**62 4 9 + ;+ < 4 < !$ 9 7 85 % :( : % ±8* + 9%! < )'* = %! '' ( % ,!%! < 9?,!!$ 9 1 -)562@ >* 55 8 '8 = +$ A >* * 7) 55B'5* A A$6 6 8** 6 9 1-)562 "!)56 , C '$.5 ,θ , = ,θ , = %" @ ,θ , = %" ' 8> 6A :* 6A () 5 6A ! )** + D+ D? + +-*+4-)5*µ% ∆D+ $∆ D? + 4-)5*µ%, )56 * ': +$6 +-)**++-*+ ' µ% +-'(*+-')56 4 E;+ '* µ% 4 ;D0? +-8*++-*+ '** % 4 ;D0? ,! +-8*++-*+ '** % 8* 5* + + ;+ +-+4-)5*µ% , , +-'*+4-5 .% * )' * ). Ω +-:*+4-5 .% 7( 4 7** >'* ')5 '(* +-)5++-*+ -' *F# ,! '. )5 '8 85 , G ; G ; G ; +-'(*+4-'' (% +-'*+ +-'**+4-'' (% ,-)5Ω ')* )5* 8* 7* 55 ')* '. )8 5 . 4 C '' ( % 4 C9 +-*+4-'' (% + :( : % + '5 + ,!,! '8* G ,!,! * (8 µ +-*+4-'' (% 4$-'**%$µ !" #$%#&##'(# )#*+,-./.Ω, 0 + ,-1 //-1µ. 2.0 " !" //µ3%(%( 4 5 %6 # ! " " # $ ' %#& Ω ! " #$ ! # !$% 1 ) # " -.! #$ / #$ %& '('(')& '*'$' +,- µ ./'(0 ! " ()*$$"&+ ',)*$$ #$ " ! " # $ % & ' ! " ! ! ''##$ ! # 01&$ /9 //8 . 70 //8 30 70 #- "!# 01&$ 30 7 ) 30 :/4 33 70 70 /4 2$3"!# 01&$ 30 300 -0 -0 300 33 300 -0 3 7 33 3 30 33 4. 5# 01&$ 30 ! 03 " 7 70 33 !" ########################## ; 03 33 4.50 ±0.20 9.90 ±0.20 +0.10 2.00 ±0.10 (0.75) 3° ~ 0° 0.80 ±0.10 1.27 ±0.10 2.54 TYP 2.54 ±0.30 15.30 ±0.30 0.10 ±0.15 2.40 ±0.20 4.90 ±0.20 9.20 ±0.20 1.30 –0.05 1.20 ±0.20 (0.40) 1.40 ±0.20 +0.10 0.50 –0.05 2.54 TYP 4.90 ±0.20 (2XR0.45) 9.20 ±0.20 10.00 ±0.20 (7.20) (1.75) 10.00 ±0.20 (8.00) (4.40) 15.30 ±0.30 0.80 ±0.10 4.50 ±0.20 (0.40) 9.90 ±0.20 +0.10 MAX13.40 9.20 ±0.20 (1.46) 1.20 ±0.20 1.30 –0.05 0.80 ±0.10 2.54 TYP 2.54 TYP 10.08 ±0.20 1.47 ±0.10 MAX 3.00 (0.94) 13.08 ±0.20 ) 5° (4 1.27 ±0.10 +0.10 0.50 –0.05 2.40 ±0.20 10.00 ±0.20 ? # " C!? ) H ! " #$%&H '( ') '* +$% $+,% - . %4,F40<4I,,<<,+<F<,4;F%J<F%;<A4FII,F<,4<%K 9,I F<,<4 49,+< ,<04%D404K I4 , <4; %4,F40 < %I< %K 04%D404K %,44; I F< %9904%4 , I< %K 9,I , 4,I4 <,4D< F<,<4L <4F<,<4+<K%K04<<I<,49%<,4;F,F<,4;FF<, %4,F40 9,I %,< %IF,4E< , I< % ,44%0 9< 4 04< I99, <+4< , K< A4FI F< <M9,< A,4< %99,+%0 %4,F40 <4I, 4<,%4%0 % N ' 0!! 12 " 1"2 12 ! " " " C O ) % ! " "C !! "!#$ !%$ % # %! 4 !4 ! 9 9 "" !? ! 4 9 !? ! " 4 9 " "