PSD 2次元PSD S1880, S2044 フォトダイオードの表面抵抗を利用した非分割型位置センサ PSD (位置検出素子)は、フォトダイオードの表面抵抗を利用した光スポットの位置センサです。CCDなどと異なり非分割型 のため、連続した電気信号 (X/Y座標信号)が得られ、位置分解能、応答性に優れています。 特長 用途 l 優れた位置分解能 l 広い感度波長範囲 l 高速応答 l 光強度と位置を同時測定できる l 光点の大きさに関係なく位置を測定 l 高信頼性 l 光学装置における位置、角度の測定 l 光学的なリモートコントロール装置 l 測距装置 l 歪み、振動の測定 l レーザ装置 l 医用機器 ■ 一般定格/絶対最大定格 項目 パッケージ 受光面サイズ 逆電圧 動作温度 保存温度 記号 VR Max. Topr Tstg S1880 セラミック 12 × 12 単位 mm V °C °C S2044 メタル 4.7 × 4.7 20 -10 ∼ +60 -20 ∼ +80 ■ 電気的および光学的特性 (指定のない場合は Typ. Ta= 25 °C) 項目 記号 感度波長範囲 λ 最大感度波長 受光感度 電極間抵抗 *1 λp S Rie 位置検出誤差 *2 飽和電流 ZONE A ZONE B 上昇時間 ID TCID tr 端子間容量 Ct 5 - S1880 Typ. 320∼ 1060 920 0.6 10 ±80 ±150 - nm 5 - S2044 Typ. 320∼ 1060 920 0.6 10 ±40 ±70 15 ±100 ±150 nm A/W kΩ - - - 0.5 - mA 1.0 1.15 500 - - 0.5 1.15 5 - nA 倍/°C - 1.5 - - 0.3 - µs - 300 - - 45 - pF 0.6 - µm Min. Max. Min. - - 15 ±150 ±250 0.5 - λ=λp Vb=0.1 V E Ist 暗電流 暗電流の温度係数 条件 VR=5 V RL=1 kΩ VR=5 V VR=5 V RL=1 kΩ VR=5 V f=10 kHz 3 位置分解能 * 1.5 *1: 一組の対向する電極の出力端子間で測定します。測定時には他の出力端子は開放しています。 *2: ZONE A/B の半径 r は型名により、次のように定められています。 型名 ZONE A (mm) ZONE B (mm) S1880 2.5 5 S2044 0.9 4 × 4 (正方形) ZONE A Max. 単位 µm ZONE B 受光面 KPSDC0063JA 1 2次元 次元PSD S1880, S2044 *3: 位置分解能 検出可能な光点変位分。検出限界を受光面上の距離で表しています。 PSD を用いた位置検出器の分解能の数値は、PSD の長さと測定系の雑音に比例し (分解能としては低下)、PSD の光電流 (入 射エネルギー)に逆比例 (分解能は向上)します。 ・光源: LED (900 nm) ・光電流: 1 µA ・スポット光サイズ: φ200 µm ・回路系入力雑音: 1 µV (1 kHz) ・周波数帯域: 1 kHz ・電極間抵抗: 標準値 (特性表参照) ■ 分光感度特性 ■ 感度の温度特性 0.8 +2.0 QE=100 % 0.7 +1.5 温度係数 (%/˚C) 受光感度 (A/W) 0.6 0.5 0.4 QE=50 % 0.3 +1.0 +0.5 0.2 0 0.1 0 200 400 600 800 1000 1200 波 長 (nm) KPSDB0013JB ■ 端子間容量−逆電圧 (Typ. Ta=25 °C, f=10 kHz) 10 nF 端子間容量 1 nF S1880 100 pF S2044 10 pF 1 pF 0.1 1 10 100 逆電圧 (V) KPSDB0074JB 2 -0.5 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 波長 (nm) KPSDB0015JB 2次元 次元PSD S1880, S2044 ■ 位置検出特性例 (Ta=25 °C, λ=900 nm, スポット光サイズ: φ200 µm) S1880 S2044 ライン間隔: 1 mm ライン間隔: 0.5 mm KPSDC0019JA KPSDC0020JA ■ DC 動作回路例 R1 Rf + + + VR R9 R2 U1 Rf + R3 + R5 R6 U3 Rf R19 R14 R4 U2 Rf R13 U5 R10 + R7 R16 + + U4 Σ1 R24 R21 U10 + + U13 R25 U12 ∆X R17 U7 R12 ∆Y Σ1 U9 R20 R15 U6 R11 R8 + ∆Y Y0 + R22 ∆X X0 Σ1 U11 R18 U14 R23 U8 R1 - R25: 同抵抗 Rf: 入力レベルに応じて決定 U1 - U4: 低ドリフト型ヘッドアンプ,TL071など U13, U14: アナログ割算器,Analog Devices社製AD538など KPSDC0026JB ■ AC 動作回路例 C2 Rb Rf + + C3 VR Rb + C4 Rb + U1 Rf U2 Rf R1 R2 R3 R4 + R7 R8 U4 + R5 R6 U3 Rf R9 + R13 U5 R10 U6 R11 R14 R15 R16 + R17 U7 R12 + + R18 U8 ∆Y R19 + ∆Y Σ1 U12 U9 Σ1 R20 R21 U10 R22 ∆X 直流再生回路 C1 Rb Y0 ∆X Σ1 U13 U11 R23 X0 P1 P2 直流再生回路 R1 - R24: 同抵抗 Rf: 入力レベルに応じて決定 U1 - U4: 低ドリフト型ヘッドアンプ、TL071など U12, U13: アナログ割算器、Analog Devices社製AD538など ∆ X, ∆ Y, Σ 1 0V P1 P2 R1 R3 S/H A S/H B R2 P2 P1 R4 *R1 = R2 = R3 = R4 KPSDC0029JB 3 2次元 次元PSD S1880, S2044 ■ 外形寸法図 (単位: mm) S1880 S2044 5.7 14 Y Y 5.7 (3 ×) R 0.2 14 X X 受光部 4.7 × 4.7 15.6 ± 0.25 14.0 ± 0.2 4.2 1.8 0.5 MAX. 5.0 ± 0.2 受光面 10.0 0.7 t ガラス 28.0 ± 0.3 1.25 受光面 5.1 ± 0.3 受光部 12 × 12 5.08 5.08 9.0 9.0 0.75 リード線 0.75 リード線 5.08 5.08 アノード (X2) アノード (Y2) カソード (ケース) アノード (X1) アノード (Y1) 9.0 9.0 アノード (Y2) アノード (X1) アノード (Y1) アノード (X2) カソード (共通) 2.54 1.2 MAX. KPSDA0013JB ■ 受光面 KPSDA0012JC ■ 入射位置換算式 (IX2 + IY1) - (IX1 + IY2) 2x = IX1 + IX2 + IY1 + IY2 LX LX Y2 LY (IX2 + IY2) - (IX1 + IY1) 2y = IX1 + IX2 + IY1 + IY2 LY X1 S1880: LX=14 mm LY=14 mm S2044: LX=5.7 mm LY=5.7 mm X2 y x 受光面 * Y1 * 受光面は内接する四角形で規定しています。 KPSDC0012EA 4 2次元 次元PSD S1880, S2044 本資料の記載内容は、平成23年2月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。製品を使用する際には、仕様書をご用命の上、 最新の内容をご確認ください。 仕様書およびサンプル提供の際、型名の末尾に暫定仕様を意味する(X)、開発仕様を意味する(Z)が付く場合があります。 本製品の保証は、納入後1年以内に瑕疵が発見され、 かつ弊社に通知された場合、本製品の修理または代品の納入を限度とします。ただし、保証期間内であっても、 天災および不適切な使用に起因する損害については、弊社はその責を負いません。 本資料の記載内容について、弊社の許諾なしに転載または複製することを禁じます。 仙台営業所 筑波営業所 東京営業所 中部営業所 大阪営業所 〒980-0011 〒300-2635 〒105-0001 〒430-8587 〒541-0052 仙台市青葉区上杉1-6-11 (日本生命仙台勾当台ビル2階) 茨城県つくば市東光台5-9-2 東京都港区虎ノ門3-8-21 (虎ノ門33森ビル5階) 浜松市中区砂山町325-6 (日本生命浜松駅前ビル4階) 大阪市中央区安土町2-3-13 (大阪国際ビル10階) TEL (022) 267-0121 TEL (029) 847-3821 TEL (03) 3436-0491 TEL (053) 459-1112 TEL (06) 6271-0441 FAX (022) 267-0135 FAX (029) 847-8654 FAX (03) 3433-6997 FAX (053) 459-1114 FAX (06) 6271-0450 固体営業推進部 〒435-8558 浜松市東区市野町1126-1 TEL (053) 434-3311 FAX (053) 434-5184 Cat. No. KPSD1015J06 Feb. 2011 DN jp.hamamatsu.com 5