Siフォトダイオードアレイ S4111/S4114シリーズ 紫外~近赤外域用、16, 35, 46素子Siフォトダイ オードアレイ DIP型セラミックパッケージの、1次元Siフォトダイオードアレイです。分光光度計など微弱な光信号の検出用に開発さ れ、紫外から近赤外までの広い感度波長範囲を有しています。すべての素子に逆バイアスを加えて使用することが可能な ため、入射光量を蓄積読み出し方式で高感度に検出することができます。また素子間クロストークが小さいため、信号の 純度を低下させることがありません。 なお、受光窓に特殊フィルタを付けることも可能です (特注品)。 特長 用途 大面積受光面 マルチチャンネル分光光度計 低クロストーク カラーアナライザ S4111シリーズ: 赤外高感度, 低暗電流 S4114シリーズ: 赤外感度抑制タイプ, 低端子間容量, 高速応答 光スペクトルアナライザ 光位置検出器 構成/絶対最大定格 受光面 素子間 素子間 (1素子当たり) 寸法 ピッチ パッケージ 型名 窓材 (mm) S4111-16R S4111-16Q* S4111-35Q* S4111-46Q* S4114-35Q* S4114-46Q* 樹脂ポッティング 18ピンDIP サイズ 有効面積 (mm) (mm) (mm2) (mm) 1.45 × 0.9 1.305 40ピンDIP 48ピンDIP 40ピンDIP 48ピンDIP 石英 素子数 絶対最大定格 動作温度 保存温度 Topr Tstg (V) (°C) (°C) 15 -20 ~ +60 -20 ~ +80 16 0.1 4.4 × 0.9 逆電圧 VR max 1.0 3.96 35 46 35 46 * 「紫外線照射時の注意」を参照してください。 注) 絶対最大定格の範囲内で必ず使用してください。絶対最大定格を超えると、1項目だけで瞬時であっても製品の品質を損なう恐れが あります。 電気的および光学的特性 (1素子あたり, 指定のない場合はTyp. Ta=25 °C) 型名 S4111-16R S4111-16Q S4111-35Q S4111-46Q S4114-35Q S4114-46Q 上昇時間 tr NEP RL=1 kΩ λ=λp λ=655 nm 200 nm 633 nm V R =10 mV V R =10 V V R =0 V V R =10 V V R =0 V VR=10 V VR=0 V VR=10 V Min Typ. λp (nm) (nm) (A/W) (A/W) (A/W) (pA) (pA) (GΩ) (GΩ) (pF) (pF) (μs) (μs) (W/Hz1/2) (W/Hz1/2) 340~1100 0.39 2.0 250 200 50 0.5 0.1 4.4 × 10-16 1.7 × 10-15 5 25 0.08 0.43 960 0.58 190~1100 1.0 30 550 120 1.2 0.3 1.3 × 10-15 3.1 × 10-15 10 50 0.08 0.43 0.50 60 300 0.15 2 35 20 0.1 0.05 5.7 × 10-15 8.0 × 10-15 190~1000 800 感度波長 範囲 λ 最大 感度 波長 λp 受光感度 S 暗電流 ID Max. 並列抵抗 Rsh VR=10 mV 浜松ホトニクス株式会社 端子間容量 Ct 1 S4111/S4114シリーズ Siフォトダイオードアレイ 分光感度特性 感度の温度特性 (Typ. Ta=25 °C) 0.8 (Typ. ) +1.4 +1.2 0.7 S4111-16Q/-35Q/-46Q S4111ΏςȜΒ +1.0 S4111-16R أഽ߸ତ (%İ°C) ۜഽ (A/W) 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 S4114ΏςȜΒ +0.6 +0.4 +0.2 S4114ΏςȜΒ 0 0.1 0 190 +0.8 400 600 800 1000 -0.2 190 1200 600 400 ෨ ಿ (nm) 800 ෨ ಿ (nm) KMPDB0112JB KMPDB0113JA 暗電流-逆電圧 ճഩၠ 10 pA 端子間容量-逆電圧 (Typ. Ta=25 °C) (Typ. Ta=25 °C) 1 nF S4114-35Q/-46Q S4111-35Q/-46Q S4111-35Q/-46Q ঊۼယၾ 100 pA 1 pA S4111-16Q/-16R 100 pF S4111-16Q/-16R 100 fA 10 fA 0.01 1000 1100 S4114-35Q/-46Q 0.1 1 10 100 10 pF 0.1 1 10 100 ݙഩգ (V) ݙഩգ (V) KMPDB0114JA KMPDB0115JA 2 S4111/S4114シリーズ Siフォトダイオードアレイ クロストーク例 S4111シリーズ S4114シリーズ (Ta=25 °C, λ=655 mm, VR=0 V) (Ta=25 °C, λ=655 mm, VR=0 V) IJıı చۜഽ (%) చۜഽ (%) 100 10 IJı 1 IJ 0.1 ıįIJ ࿂ષ͈වৣպ౾ (500 µm/div.) ࿂ષ͈වৣպ౾ (500 µm/div.) KMPDB0015JA KMPDB0018JB 外形寸法図 (単位: mm) S4111-16R S4111-16Q 22.86 ± 0.3 0.46 7.62 ± 0.3 6.5 7.87 ± 0.3 0.9 ± 0.3 (4.5) ࿂ 8 9 22.0 םௗ 2.2 ± 0.3 ࿂ ਏড 7 7.49 ± 0.2 1.45 7.62 ± 0.3 0.25 1 2 3 4 5 6 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 9 0.5 8 0.5 ± 0.2 0.9 ± 0.3 7 ࿂ ໐ ch 16 15.9 18 17 16 15 14 13 12 11 10 (4.5) 6 7.87 ± 0.3 7.49 ± 0.2 1 2 3 4 5 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· ch 1 0.5 ± 0.2 ໐ ch 16 15.9 18 17 16 15 14 13 12 11 10 2.2 ± 0.3 1.45 ch 1 18.8 ࿂ 18.8 0.25 22.86 ± 0.3 0.46 2.54 2.54 P 2.54 × 8 = 20.32 KMPDA0136JB P 2.54 × 8 = 20.32 KMPDA0135JB 3 S4111/S4114シリーズ Siフォトダイオードアレイ S4111-35Q, S4114-35Q S4111-46Q, S4114-46Q 50.8 ± 0.6 2.8 ± 0.3 ࿂ 0.46 2.54 ߿ྴ A S4111-35Q 1.45 S4114-35Q 1.35 םௗ (4.5) (4.5) םௗ ch 46 ࿂ 23 24 2.54 P 2.54 × 23 = 58.42 KMPDA0019JD 15.24 ± 0.25* A 0.46 P 2.54 × 19 = 48.26 0.25 26 25 15.11 ± 0.25 12 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· A ࿂ 48 47 4.4 15.24 ± 0.25* 19 20 άϋNo. 1 2 ໐ 45.9 15.5 ± 0.3 ch 1 3.0 ± 0.3 0.25 ࿂ 22 21 ch 35 15.5 ± 0.3 ໐ 34.9 40 39 15.11 ± 0.25 4.4 ch 1 65.0 ± 0.8 ߿ྴ A S4111-46Q 1.65 S4114-46Q 1.55 KMPDA0021JD A 素子拡大図 C B A B C S4111-16Q/16R 1.45 0.9 0.1 S4111-35Q/46Q S4114-35Q/46Q 4.4 0.9 0.1 C KMPDA0112JA 4 Siフォトダイオードアレイ ピン接続 ピンNo. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 S4111/S4114シリーズ 動作回路 16素子型 35素子型 46素子型 KC KC KC 2 2 2 4 4 4 6 8 10 12 14 16 KC 15 13 11 9 7 5 3 1 6 8 10 12 14 16 18 NC 20 22 24 26 28 30 32 34 NC KC 35 33 31 29 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 32 34 36 38 40 42 44 46 KC 26 27 45 27 25 43 28 23 41 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 21 19 17 15 13 11 9 7 5 3 1 NC 39 37 35 33 31 29 27 25 23 21 19 17 15 13 11 9 7 5 3 1 ①最も一般的な回路は、各チャンネルにオペアンプを接続し、各 チャンネルの出力をリアルタイムで読み出す方法です。オペア ンプの出力は低インピーダンスのため、マルチプレクスが容易 に行えます。 έΠΘͼȜΡͺτͼ ζσΙίτ·Α KMPDC0001JA ②蓄積読み出し方式は、入射光に比例して各チャンネルの端子間 容量に積分された電荷量をマルチプレクスで順次読み出す方法 です。この方法はフォトダイオードに逆バイアスを加える必 要があるため、耐圧の優れたS4111/S4114シリーズは最適で す。アンプは1個で済みますが、雑音対策、ダイナミックレン ジなどを考慮する必要があります。 ͺΡτΑ έΠΘͼȜΡͺτͼ ΨͼͺΑ ζσΙίτ·Α KMPDC0002JA S4111-16Q/Rを基板に直接実装できるSiフォトダイオードアレイ用駆動回路 C9004を用意しています。 5 Siフォトダイオードアレイ S4111/S4114シリーズ 紫外線照射時の注意 ・紫外線照射により、製品の紫外感度の低下、暗電流の増加といった特性の劣化が生じることがあります。この現象は、照射量・照射 強度・使用時間・使用環境によって異なり、製品種によっても違います。製品を採用する前に、使用する紫外線環境下で耐性確認を することを推奨します。 ・紫外線の照射により、製品の構成材料の接着に使用されている樹脂からガスが発生して特性が劣化する場合があります。このためア パーチャなどを用いて紫外線を樹脂へ直接照射することを避け、受光部の内側にだけ紫外線を照射することを推奨します。 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・ 製品に関する注意事項とお願い ・ メタル・セラミック・プラスチックパッケージ製品/使用上の注意 技術情報 ・ Siフォトダイオード/技術資料 ・ Siフォトダイオード/用語の説明 ・ Siフォトダイオード/信頼性 ・ Siフォトダイオード/応用回路例 本資料の記載内容は、平成27年10月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ൝͈̹͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ඤယ̮̞̯̺̩ͬږȃ ॽအ̹͉͘ϋίσ̞̤̀ͅރȂ߿ྴ͈ྎͅॻॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂٳอॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ūűįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ಆ෨ުאਫ਼ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪĶĮIJijĮIJıġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ުאނਫ਼ ɧIJıĶĮıııIJ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ಎ໐ުאਫ਼ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ఱिުאਫ਼ ɧĶĵIJĮııĶij ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶıġ ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KMPD1002J08 Oct. 2015 DN 6