ミニ分光器 TMシリーズ C10082CA/C10083CAシリーズ 高感度タイプ (裏面入射型CCDイメージセンサを 採用)、高分解能タイプ ミニ分光器 TMシリーズは、光学素子とイメージセンサと駆動回路をコンパクトにまとめた分光器 (ポリクロメータ)です。 測定光を光ファイバ経由で入光し、分光結果をUSB接続でPCに取り込むことにより、分光スペクトルの収集が可能です。 本製品は、裏面入射型CCDイメージセンサを採用した高感度タイプで、CMOS内蔵タイプに比べ感度が約2桁高く、より微 弱光領域での計測に適しています。なおC10082CAH・C10083CAHは、波長分解能1 nmを実現した高分解能タイプです。 本製品には、測定条件の設定、データの取得および保存、グラフの表示などの機能をもつ評価用ソフトウェアが付属されてい ます。また、DLLの関数仕様を公開しているため、ユーザーサイドで独自の計測ソフトウェアを作成することが可能です。 特長 用途 裏面入射型CCDイメージセンサを採用: CMOS内蔵タイプに比べ感度が2桁向上 蛍光計測などの微弱光計測 高分解能：1 nm (C10082CAH, C10083CAH) 光源 (LEDなど)の特性評価 半導体プロセスコントロール スリット幅とNAの選択により波長分解能の変更が可能 石英製透過型グレーティングの採用による高スループット 機器への組み込みも可能 波長変換係数*1を内蔵メモリに記録 外部トリガ入力対応*2 *1: イメージセンサの画素 No.を波長に変換する係数。A/D変換後のカウント値を入力光量に比例する値に変換する係数は用意していません。 *2: 外部トリガ入力用同軸ケーブルは別売。外部トリガの詳細については「ミニ分光器 セレクションガイド」を参照してください。 CCDタイプとCMOSタイプの比較 ミニ分光器の出力比較 測定可能な光ファイバ入射強度 C10082CA (CCDΗͼί) C10082CAH (CCDΗͼί) C10082MD (CMOSΗͼί) C10083CA (CCDΗͼί) C10083CAH (CCDΗͼί) C10083MD (CMOSΗͼί) C10082CAΏςȜΒ (CCDΗͼί) (Typ. Ta=25 °C) 101 C10082MD (CMOSΗͼί) 0 10 10-14 చۜഽ * 10-1 10-12 10-10 10-8 10-6 වৣޑഽ * (W) 10-2 * έͼΨͺࠂ: 600 μm έͼΨͥ͢ͅࡘଚ͉̞͈̳̈́͂ͥ͜ȃ KACCB0146JC 10-3 10-4 -5 10 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 ෨ ಿ (nm) * έͼΨͅවৣ̳ͥၾ̦͈֚ાࣣ͈A/D;ϋΠ (έͼΨͺࠂ: 600 μm, έͼΨͥ͢ͅࡘଚ͉̞͈̳̈́͂ͥ͜) KACCB0168JB 浜松ホトニクス株式会社 1 TMシリーズ ミニ分光器 C10082CA/C10083CAシリーズ 光学的特性 項目 感度波長範囲 波長分解能 (半値幅)*3 波長再現性*5 波長温度依存性 輝線迷光*3 *6 TM-UV/VIS-CCD TM-VIS/NIR-CCD C10082CA C10082CAH C10083CA C10083CAH 200 ～ 800 320 ～ 1000 6 max. 1 typ. 8*4 max. 1*4 typ. -0.2 ～ +0.2 -0.04 ～ +0.04 -33 max. -30 max. 単位 nm nm nm nm/°C dB *3:「 構成／絶対最大定格」の表中のスリット使用時。波長分解能はスリットに依存します。 *4: λ=320～900 nm *5: 入光条件などが一定の場合 *6: 以下の波長を入力したときに測定されるカウントと、その波長の±40 nmで測定されるカウントの比 C10082CA, 10082CAH: 500 nm, C10083CA, C10083CAH: 650 nm 電気的特性 項目 A/D変換 蓄積時間 インターフェース USBバスパワー消費電流 駆動用外部電源 外部電源消費電流 定格値 16 10～10000 USB 1.1 100 max. 5 0.8 max. 単位 ビット ms mA V A 構成／絶対最大定格 項目 外形寸法 (W × D × H) 質量 イメージセンサ 画素数 スリット*7 (H × V) NA*8 光ファイバ用コネクタ 動作温度*9 保存温度*9 C10082CA 70 × 800 0.22 C10082CAH C10083CA C10083CAH 95 × 92 × 76 685 裏面入射型 CCD イメージセンサ (S10420-1106-01) 2048 10 × 1000 70 × 800 10 × 1000 0.11 0.22 0.11 SMA905D +5 ～ +40 -20 ～ +70 単位 mm g 画素 μm °C °C *7: 入射開口部の大きさ *8: 開口数 (立体角) *9: 結露なきこと 高湿環境においては、製品とその周囲で温度差があると製品表面が結露しやすく、特性や信頼性に影響が及ぶことがあります。 注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 製品ラインアップ TM シリーズとして以下のタイプに対応しています。波長分解能は、スリット幅と NA によって変わります。 型名 感度波長範囲 200～800 nm C10082CA-2200 C10082CA-2100 C10082CA C10082CA-2050 C10082CA-1050 C10082CA-1025 C10082CAH 感度波長範囲 320～1000 nm C10083CA-2200 C10083CA-2100 C10083CA C10083CA-2050 C10083CA-1050 C10083CA-1025 C10083CAH NA スリット幅 0.22 0.22 0.22 0.22 0.11 0.11 0.11 200 μm 100 μm 70 μm 50 μm 50 μm 25 μm 10 μm 2 TMシリーズ ミニ分光器 C10082CA/C10083CAシリーズ 波長分解能－波長 C10082CAシリーズ C10083CAシリーズ (Typ. Ta=25 °C) 9 8 12 C10082CA-2200 7 (Typ. Ta=25 °C) 14 C10083CA-2200 C10082CA-2100 5 4 ෨ಿٜෝ (nm) ෨ಿٜෝ (nm) 10 6 C10082CA 3 C10082CA-2050 C10082CA-1050 C10083CA-2100 8 6 C10083CA C10083CA-2050 4 C10083CA-1050 2 2 1 0 200 C10082CAH C10082CA-1025 300 400 500 600 700 0 300 800 C10083CA-1025 C10083CAH 400 500 600 700 800 900 1000 ෨ಿ (nm) ෨ಿ (nm) KACCB0194JA KACCB0195JA 出力特性 C10082CAシリーズ C10083CAシリーズ (Typ. Ta=25 °C) 100 (Typ. Ta=25 °C) 100 C10083CA-2200 C10082CA-2200 80 C10082CA-2100 C10082CA C10083CA-2100 80 చۜഽ (%) చۜഽ (%) C10083CA 60 C10082CA-2050 40 C10082CA-1050 C10082CA-1025 20 0 200 60 C10083CA-2050 C10083CA-1050 40 C10083CA-1025 20 C10082CAH 300 400 500 600 700 800 ෨ಿ (nm) 0 300 C10083CAH 400 500 600 700 800 900 1000 ෨ಿ (nm) KACCB0196JA KACCB0197JA 3 TMシリーズ ミニ分光器 C10082CA/C10083CAシリーズ 直線性 (代表例) 100000 暗出力ー周囲温度 (代表例) 8 60000 2 1000 0 -2 -4 100 -6 100 40000 30000 20000 0 -10 10000 1000 50000 10000 -8 10 10 A/Dႁ (ْள) 4 ၑே͂యນ႕͈ओ (%) 6 10000 A/Dႁ (ಇୟশ ۼ1 s) 70000 10 A/Dႁ͈యນ႕ A/Dႁ͈ၑே ၑே͂యນ႕͈ओ 0 10 20 30 40 50 ਔսأഽ (°C) ಇୟশ( ۼms) KACCB0235JA KACCB0237JA A/D出力は、光入射時の出力から暗出力を減算 したものです。理想値と代表例の差には、測定 誤差が含まれます。A/D出力が小さいときは、 測定誤差が大きくなります。 A/D出力は、センサおよび回路のオフセット出力 とセンサ暗出力が加算されたものです。 光学系配置図 ミニ分光器 TMシリーズは、石英製の透過型ホログラフィックグレーティングを採用し、光学系を堅牢な光学ベース上に配置することによ り、高いスループットと高精度な光学特性を実現しています。 වৣΑςΛΠ ςιȜΠηρȜ ൫ًΈτȜΞͻϋΈ έȜΑηρȜ ͼιȜΐΓϋ ΚΑCCC0287JΑ 4 TMシリーズ ミニ分光器 C10082CA/C10083CAシリーズ 接続例 (透過光計測) 測定光を光ファイバ経由で入光し、分光結果をUSB接続でPCに取り組むことにより、分光スペクトルの収集ができます。装置内部に可動 部分がないため、常に安定した測定が期待できます。また、導光部に光ファイバを用いているため、測定物へのフレキシブルなセッティ ングが可能です。 PC ັ௺AC ͺΘίΗ টخٸণέͼΨ࡙ (ਹକள + ΧυΊϋρϋί) L10290 USB ΉȜήσ ηΣܕ έͼΨ םΓσ (סఘ͈௶ϋίσͬවͦͥ) KACCC0317JB 5 TMシリーズ ミニ分光器 C10082CA/C10083CAシリーズ 評価用ソフトウェア (付属品) 評価用ソフトウェア (Spec Evaluation.exe)*10をPCにインストー ルすることにより、以下のような基本的な操作を行うことがで きます。 ・測定データの取得、保存 ・測定条件の設定 ・モジュール情報 (波長変換係数、分光器タイプなど)の取得 ・グラフ表示 ・演算機能 画素No.から波長への変換 参照データとの比較演算（透過率、反射率） ダーク減算 ガウス近似 (ピークの位置とカウント、半値幅) 注) ・1台のPCに複数台のミニ分光器を接続して使用する ことも可能です。 ・外部トリガ入力機能は評価ソフトウェアでは対応していません。 外部トリガ入力機能を使用する場合や独自でアプリケーション ソフトウェアを作成したい場合は、ユーザーサイドで構築する ソフトウェア上で対応する必要があります。 *10: 対応OS Microsoft® Windows® 7 Professional SP1 (32-bit, 64-bit) Microsoft® Windows® 8 Professional (32-bit, 64-bit) ハードウェアを制御するためのDLLを用意しています。 以下の開発環境を用いて、ユーザーサイドにて独自の測定プログラムを開発することが可能です。 Microsoft® Visual Studio® 2008 (SP1) Visual C++® Microsoft® Visual Studio® 2008 (SP1) Visual Basic® 注) Microsoft、Windows、Visual Studio、Visual C++、Visual Basicは、米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 測定例 (C10083CA) キニーネ溶液 (1000 ppm)の蛍光測定 2500 A/D;ϋΠ 2000 1500 1000 500 0 300 400 500 600 700 800 900 1000 ෨ಿ (nm) KACCB0145JA 6 ミニ分光器 C10082CA/C10083CAシリーズ TMシリーズ 外形寸法図 (単位: mm) +2.0 95 0 17 ± 0.2 31 +2.0 92 0 76 17 40 ± 0.2 ၔ࿂ͤ͢ (2 ×) M3ΗΛίġ૬̯5 ঐা̧̈́ओ: ±0.5 ৗၾ: 685 g KACCA0188JF 付属品 ● USBケーブル ● 専用ソフトウェア (評価用ソフトウェア、サンプルソフトウェア、DLL) ● ACアダプタ (駆動用外部電源) オプション (別売) ・入力用光ファイバ 型名 A9762-01 製品名 紫外／可視域用ファイバ (耐紫外線) 対応ミニ分光器 コア径 (μm) 仕様 C10082CAシリーズ (TM-UV/VIS-CCD) NA=0.22 600 長さ1.5 m、両端SMA905Dコネクタ付 C10083CAシリーズ (TM-VIS/NIR-CCD) ・外部トリガ入力用同軸ケーブル A10670 外形寸法図 (単位: mm) 26.0 LEMOΥ·Η FFA.00.250 (LEMOୋ) ϕ14.5 ϕ6.4 ΉȜήσಿ: 1.5 m ΉȜήσॽအ: 1.5QEV 31.7 BNCΥ·Η BNC-P-1.5 (40) (HIROSEୋ)൚ KACCA0220JB 7 TMシリーズ ミニ分光器 C10082CA/C10083CAシリーズ ミニ分光器のラインアップ ߿ྴ Ηͼί C10082CA TM-UV/VIS-CCD ࣞۜഽ C10082CAH TM-UV/VIS-CCD ٜࣞෝ C10082MD TM-UV/VIS-MOS ࢩΘͼηΛ·τϋΐ C10083CA C10083CAH ηΣ ܕ ŕŎ ΏςȜΒ C11697MB TM-VIS/NIR-MOS-II Πς΄చ؊ C9404CA TG-UV-CCD ࣞۜഽ C9404CAH TG-UV-CCD ٜࣞෝ C11713CA C11714CB TG-RAMAN-II ٜࣞෝ C11482GA ႖߿ݕ C9914GB C13054MA C11007MA C11008MA 1* 6 ηΣ ܕ Ňŕ ΏςȜΒ ͼιȜΐΓϋ ၔ࿂වৣ߿CCD ͼιȜΐΓϋ ńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ 8 (෨ಿ 320ȡ900 nm) ၔ࿂වৣ߿ńńŅ ͼιȜΐΓϋ 1* (෨ಿ 320ȡ900 nm) ńŎŐŔςΣͺ 8 ͼιȜΐΓϋ ࣞۜഽńŎŐŔςΣͺ 8 ͼιȜΐΓϋ ၔ࿂වৣ߿ńńŅ 3 ͼιȜΐΓϋ ၔ࿂වৣ߿ńńŅ 1* ͼιȜΐΓϋ ۜࣞٸഽ 5 ၔ࿂වৣ߿ńńŅ ĩ෨ಿġĶĶıȡĺııġůŮĪ ͼιȜΐΓϋ ၔ࿂වৣ߿ńńŅ 0.3* ͼιȜΐΓϋ 320ȡ1000 200ȡ400 500ȡ1100 500ȡ600 0.3* 790ȡ920 ۜࣞٸഽ ၔ࿂වৣ߿ńńŅ ͼιȜΐΓϋ 7 900ȡ1700 TG-cooled NIR-I ೩ΦͼΒ (႖)߿ݕ 7 TG-cooled NIR-II ೩ΦͼΒ (႖)߿ݕ 1100ȡ2200 TG-cooled NIR-III ೩ΦͼΒ (႖)߿ݕ C11118GA C13053MA 200ȡ800 TG2-NIR ηΣ ܕ ŕň ΏςȜΒ ෨ಿٜෝ max. (nm) 6 TG-SWNIR-CCD-II ۜࣞٸഽ TG-RAMAN-I ٜࣞෝ C9913GC ۜഽ෨ಿํս (nm) 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600 600 TM-VIS/NIR-CCD ٜࣞෝ TM-VIS/NIR-MOS ࢩΘͼηΛ·τϋΐ ηΣ ܕ ŕň ΏςȜΒ 400 TM-VIS/NIR-CCD ࣞۜഽ C10083MD C9405CB 200 900ȡ2550 FT-SWIR-MOS-II 500ȡ1100 ߿Ȇถ߿ FT2-RAMAN 790ȡ920 ߿Ȇถ߿ RC-VIS-MOS ηΣ ܕκΐνȜσ ܕ RC RC-SWNIR-MOS ΏςȜΒ ܕκΐνȜσ 340ȡ780 640ȡ1050 8 ŊůňŢłŴςΣͺ ͼιȜΐΓϋ 20 0.4* ࣞۜഽ ńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ 9 ńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ 8 ۜࣞٸഽ ńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ ෨ಿٜෝ max. (nm) ͼιȜΐΓϋ 9 ńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ 8 ۜࣞٸഽ ńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ ෨ಿٜෝ max. (nm) ͼιȜΐΓϋ 3.5 * Typ. κΨͼσ௶͈͒ܕܥழ͙ࣺ͙ဥ ߿ྴ C11009MA C11010MA Ηͼί ηΣ ܕ RC ΏςȜΒ 200 RC-VIS-MOS 400 ۜഽ෨ಿํս (nm) 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600 600 340ȡ780 ܕΰΛΡ RC-SWNIR-MOS 640ȡ1050 ܕΰΛΡ κΨͼσ௶͈͒ܕܥழ͙ࣺ͙ဥ (಼߿) ߿ྴ C11708MA C12666MA C12880MA Ηͼί ηΣܕ MSΏςȜΒ MS-SWNIR-MOS ܕΰΛΡ ܕΰΛΡ ζͼ·υ ܕ ܕΰΛΡ 200 400 600 ۜഽ෨ಿํս (nm) 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2600 ķĵıȡIJıĶı 340ȡ780 340ȡ850 20 15 15 ńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ ńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ ࣞۜഽńŎŐŔςΣͺ ͼιȜΐΓϋ 8 ミニ分光器 TMシリーズ C10082CA/C10083CAシリーズ 関連情報 http://www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・ 注意事項とお願い ・ミニ分光器／使用上の注意 技術情報 ・ ミニ分光器／技術資料 本資料の記載内容は、平成27年10月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪĶĮIJijĮIJıġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KACC1126J14 Oct. 2015 DN 9