g9211-256s etc kmir1011j

InGaAsリニアイメージセンサ
G9211～G9214シリーズ
G9205～G9208シリーズ
近赤外イメージセンサ (0.9 ～ 1.67 μm/2.55 μm)
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズは、近赤外マルチチャンネル分光測光用に設計されたInGaAsリニアイメージセン
サです。これらのリニアイメージセンサは、InGaAsフォトダイオードアレイとCMOSチップ上に形成されたチャージアン
プ、オフセット補償回路、シフトレジスタ、およびタイミング発生回路で構成されています。チャージアンプはCMOSトラ
ンジスターアレイで構成され、InGaAsフォトダイオードアレイの各画素に接続されています。各画素からの信号は電荷蓄
積モードで読み出されるため，近赤外域で高い感度と安定した動作が得られます。パッケージは気密封止されており信頼性
に優れています。
CMOSチップ上の信号処理回路は、外部電圧によって2種類の変換効率 (CE: conversion efficiency)から選択できます。イメージ
センサをCE=16 nV/e-で動作させたときは広いダイナミックレンジが得られ、CE=320 nV/e-のときは高いゲインが得られます。
特長
用途
広いダイナミックレンジ
近赤外マルチチャンネル分光測光
低ノイズ、低暗電流
放射温度計
2種類の変換効率から選択可能
非破壊検査装置
飽和対策回路を内蔵
関連製品
CDS回路 *1を内蔵
オフセット補償回路を内蔵
簡単動作 (タイミング発生回路を内蔵 *2)
InGaAsマルチチャンネル検出ヘッド C8061-01, C8062-01
高分解能: 25 μmピッチ (512画素の場合)
マルチチャンネル検出器ヘッド用コントローラ C7557-01
低クロストーク
256画素: 1ビデオライン
512画素: 2ビデオライン
*1: チャージアンプでは積分容量をリセットする際に発生するリセットノイズが支配的になります。しかし、リセット直後の信号を
ホールドして差をとるCDS回路により、大幅に低減しています。
*2: シフトレジスタを動作させる際に、従来はイメージセンサの外部からPLD (programmable logic device)などにより、複数のタイミ
ングを入力していました。本イメージセンサは、タイミング発生用のCMOS回路を内蔵しています。CLKとRESETを入力するだけ
で、すべてのタイミングをイメージセンサ内部で発生します。
浜松ホトニクス株式会社
1
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
セレクションガイド
型　名
イメージサイズ
(mm)
冷却
G9211-256S
G9212-512S
G9213-256S
G9214-512S
G9205-256W
G9205-512W
G9206-02
G9206-256W
G9206-512W
G9207-256W
G9208-256W
G9208-512W
総画素数
有効画素数
256
512
256
512
256
512
256
256
512
256
256
512
256
512
256
512
256
512
256
256
512
256
256
512
12.8 × 0.25
1段電子冷却
12.8 × 0.50
2段電子冷却
12.8 × 0.25
適合マルチチャンネル
検出器ヘッド
C8061-01
C8062-01
形状仕様
画素サイズ
[μm (H) × μm (V)]
50 × 250
25 × 250
50 × 500
25 × 500
50 × 250
25 × 250
50 × 250
50 × 250
25 × 250
50 × 250
50 × 250
25 × 250
型　名
G9211-256S
G9212-512S
G9213-256S
G9214-512S
G9205-256W
G9205-512W
G9206-02
G9206-256W
G9206-512W
G9207-256W
G9208-256W
G9208-512W
受光部拡大図
画素間ピッチ
(μm)
50
25
50
25
50
25
50
50
25
50
50
25
パッケージ
窓材
28ピンメタル
(外形寸法図を参照)
反射防止コーティング
サファイア
ブロック図
CLK
RESET
V
ΗͼηϋΈอ୆ٝႹ
Vdd
Vss
INP
Vref
Cf SELECT
ΨͼͺΑอ୆ٝႹ
AD-TRIG
ΏέΠτΐΑΗ
ͺΡτΑΑͼΛΙ
උ͙੄̱ٝႹ
ΙλȜΐͺϋί + ΍ϋίσ&γȜσΡٝႹ
CMOS IC
VIDEO
x
H
InGaAsέ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼ
ْளତ
256
512
x
30
10
H
50
25
V
250
ഩঊ႖‫ݕ‬ளঊ+
500
ഩঊ႖‫ݕ‬ளঊ-
‫أ‬ഽκΣΗ
KMIRC0033JC
250
500
KMIRC0040JA
2
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
絶対最大定格
項目
記号
動作温度
保存温度
供給電圧
クロックパルス電圧
リセットパルス電圧
ゲイン選択端子電圧
条件
チップ温度
Topr
結露なきこと
チップ温度
Tstg
結露なきこと
Vdd, INP, Vref Ta=25 °C
Ta=25 °C
Vφ
V(RES)
Ta=25 °C
Vcsel
Ta=25 °C
Min.
Typ.
Max.
単位
-40
-
+70
°C
-40
-
+85
°C
-0.3
-0.3
-0.3
-0.3
-
+6
+6
+6
+6
V
V
V
V
注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。
推奨端子電圧
項目
記号
Vdd
Vref
INP
Vss
電源電圧
素子バイアス
グランド
クロック
パルス電圧
リセット
パルス電圧
High
Low
High
Low
Vφ
V(RES)
Min.
4.9
1.0
3.5
Vdd - 0.5
0
Vdd - 0.5
0
Typ.
5.0
1.26
4.5
0
Vdd
0
Vdd
0
Max.
5.1
1.3
4.6
Vdd + 0.5
0.4
Vdd + 0.5
0.4
単位
V
V
V
V
Min.
0.1
0.0125
Vref
-
Typ.
45
90
f/8
4.5
1.26
Vref
Vdd
GND
Max.
50
100
1
1
4
0.5
INP
-
単位
V
V
電気的特性 (Ta=25 °C)
項目
消費電流
クロック周波数
ビデオデータレート
ビデオ出力
High
電圧
Low
出力オフセット電圧
High
A/Dトリガ電圧
Low
記号
256画素
I(Vdd)
512画素
I(Vref)
I(INP)
f
fV
VH
VL
Vos
VtrigH
VtrigL
mA
mA
mA
MHz
MHz
V
V
V
V
V
3
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
電気的および光学的特性 (Ta=25 °C, Vdd=5 V, INP=4.5 V, Vref=1.26 V, Vf=5 V, CE=16 nV/e-, f=250 kHz)
項目
記号
G9211～G9214 シリーズ*3
Min.
Typ.
Max.
感度波長範囲
λ
-
0.9 ~ 1.7
-
最大感度波長
λp
-
1.55
-
受光感度 (λ=λp)
S
0.85
0.95
-
CE
PRNU
Vsat
Qsat
N
D
-
3
10000
-
16
±3
3.2
187.5
180
16666
-
±5
-
変換効率
感度不均一性*6
飽和出力電圧
飽和電荷量
読み出しノイズ*7
ダイナミックレンジ
不良画素*8
-
300
-
1
G9205～G9208 シリーズ*4
型名
Min.
Typ.
Max.
0.9 ～ 1.85
G9205
G9206
0.9 ～ 2.05*5
0.9 ～ 2.25
G9207
0.9 ～ 2.55
G9208
G9205
1.75
G9206
1.95
G9207
2.05
G9208
2.3
G9205
0.9
1.1
G9206
1.0
1.2
G9207
1.0
1.2
G9208
0.9
1.3
16
±5
±10
3
3.2
187.5
180
300
10000
16666
5
単位
μm
μm
A/W
nV/e%
V
MeμV rms
%
*3: Td=25 °C
*4: Td=-20 °C
*5: G9206-02, G9206-512W=2.15
*6: 飽和の50%, ダーク出力を減算後に測定, 先頭画素と最終画素は除く
G9211～G9214シリーズ: 積分時間 10 ms, G9205～G9208シリーズ: 積分時間 3 ms
*7: G9211～G9214シリーズ: 積分時間 10 ms, G9205～G9208-256W, G9206-02: 積分時間 0.8 ms, G9205～G9208-512W: 積分時間 0.5 ms
*8: 感度不均一性・読み出しノイズ・暗電流が規格外の画素
暗出力特性 (CE=16 nV/e-, G9211～G9214シリーズ: Td=25 °C, G9205～G9208シリーズ: Td=-20 °C)
項目
暗出力
(暗出力不均一性)
暗電流
記号
G9211-256S
G9212-512S
G9213-256S
G9214-512S
G9205-256W
G9205-512W
G9206-02
G9206-256W
G9206-512W
G9207-256W
G9208-256W
G9208-512W
G9211-256S
G9212-512S
G9213-256S
G9214-512S
G9205-256W
G9205-512W
G9206-02
G9206-256W
G9206-512W
G9207-256W
G9208-256W
G9208-512W
VD
ID
Min.
-1
-0.5
-2
-0.5
-6
-6
-7
-12
-12
-80
-200
-200
-10
-5
-20
-5
-60
-60
-70
-120
-120
-800
-2000
-2000
Typ.
0.2
0.1
0.4
0.1
1.5
1.5
3
3
3
20
50
50
2
1
4
1
15
15
30
30
30
200
500
500
Max.
1
0.5
2
0.5
6
6
7
12
12
80
200
200
10
5
20
5
60
60
70
120
120
800
2000
2000
単位
V/s
pA
4
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
等価回路
൝‫ث‬ٝႹ
1 ْள
LowΊͼϋ
HighΊͼϋ
ΏέΠτΐΑΗ
΂έΓΛΠ
༞ੲٝႹ
CDS
VIDEO
έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ
AD-TRIG
ΗͼηϋΈอ୆ٝႹ
Vdd
INP Vss
CLK
RESET
Vref
‫ٸ‬໐වႁ
KMIRC0010JC
5
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
タイミングチャート
CLK
(වႁ)
Reset
(වႁ)
8 × N ·υΛ· (උ੄̱শ‫)ۼ‬
2 ·υΛ·
ୟॳশ‫ۼ‬
8 ·υΛ·
8 ·υΛ·
1 ch
2 ch
10 ·υΛ·ոષ
AD_trig
Video
(੄ႁ)
tr (clk)
(n-1) ch
n ch
tf (clk)
CLK
t1
tr (RES)
Reset
t2
ήρϋ·‫ۼܢ‬
(10·υΛ·ոષ)
tf (RES)
୭೰ಇୟশ‫ۼ‬
৘ष͈ಇୟশ‫ۼ‬
AD_trig
ςΓΛΠ
੄ႁ
t3
Video
1 ch උ͙੄̱শ‫ۼ‬
2 ch
උ͙੄̱শ‫ۼ‬
डਞch උ͙੄̱শ‫ۼ‬
KMIRC0066JB
項目
クロックパルス周波数
クロックパルス幅
クロックパルス上昇／下降時間
リセットパルス幅
リセットパルス上昇／下降時間
リセット (上昇)タイミング
リセット (下降)タイミング
出力セトリング時間
記号
tpw(clk)
tr(clk), tf(clk)
tpw(RES)
tr(RES), tf(RES)
t1
t2
t3
Min.
0.1
100
0
6000
0
50
50
-
Typ.
20
20
-
Max.
4
100
100
600
単位
MHz
ns
ns
ns
ns
ns
ns
ns
6
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
分光感度特性
(Typ.)
1.5
Td=25 °C
Td=-10 °C
Td=-20 °C
G9206-02
G9206-512W
G9207-256W
G9208ΏςȜΒ
G9206-256W
਋࢕ۜഽ (A/W)
1.0 G9211ȡ
G9214ΏςȜΒ
G9205ΏςȜΒ
0.5
0
0.5
2.5
2.0
1.5
1.0
3.0
෨ಿ (µm)
KMIRB0071JB
窓材の分光透過特性 (代表例)
直線性変動率 (G9213-256S)
(Ta=25 °C)
100
20
10
ೄ஌଻་൲ၚ (%)
95
൫ًၚ (%)
90
85
80
75
70
0.5
(Typ. Td=-10 °C, Vdd=5 V, INP=4.5 V, Vref=1.26 V, CE=16 nV/e-, f=250 kHz)
0
-10
-20
-30
-40
-50
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
1
10
100
1000
10000
੄ႁഩգ (mV)
෨ಿ (µm)
KMIRB0070JA
KMIRB0069JA
7
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
ピン接続 (上面図)
256ْள
512ْள
Cf SELECT
RESET
TE -
TE +
AD-TRIG
Vdd
Vss
INP
CLK
THERM
THERM
CASE
Cf SELECT
RESET-ODD
TE -
RESET-EVEN
TE +
AD-TRIG-ODD
Vdd
Vss
INP
CLK-ODD
AD-TRIG-EVEN
THERM
THERM
CASE
CLK-EVEN
Vref
Vref
VIDEO
VIDEO-ODD
VIDEO-EVEN
KMIRC0013JA
端子名
CLK
入力／出力
入力 (CMOSロジック)
RESET
入力 (CMOSロジック)
Vdd
Vss
INP
入力
入力
入力
Cf SELECT
入力
CASE
THERM
TE+, TEAD-TRIG
VIDEO
Vref
出力
入力
出力
出力
入力
機能と推奨接続
CMOSシフトレジスタを動作するためのクロックパルス
CMOSチップ内のチャージアンプのフィードバック容量を初期化するた
めのリセットパルス。パルス幅によって積分時間が決まります。
CMOSチップ内の信号処理回路を動作するための供給電圧
CMOSチップ内の信号処理回路用グランド
CMOSチップ内のチャージアンプアレイ用のリセット電圧
CMOSチップ内の変換効率を決める電圧。0 VのときはLowゲイン
(CE=16 nV/e-)、5 VのときはHighゲイン (CE=320 nV/e-)となります。
この端子はパッケージに接続されています。
パッケージ内の温度をモニタするためのサーミスタ用端子
フォトダイオードアレイを冷却するための電子冷却素子用電源端子
A/D変換用のデジタル信号。正極性
アナログビデオ信号。正極性
CMOSチップ内のオフセット補償回路用のリセット電圧
接続例
CLK
Reset
ΨΛέ͹ͺϋί
Vref
Video
Vdd
Cf_select
INP
AD_trig
Vss
ΨΛέ͹ͺϋί
KMIRC0012JA
8
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
電子冷却素子の仕様 (Ta=25 °C, Vdd=5 V, INP=4.5 V)
項目
条件
電子冷却素子／許容電流
電子冷却素子／許容電圧
温度差*9
サーミスタ抵抗
サーミスタ許容損失
記号
Ic max.
Vc max.
ΔT
Rth
Pth
*10
G9211～G9214シリーズ G9205～G9208シリーズ
Min.
Typ.
Max.
Min.
Typ.
Max.
1.8
2.8
5.0
4.0
40
50
4.85
5.00
5.15
4.85
5.00
5.15
0.2
0.2
単位
A
V
°C
kΩ
mW
*9: 受光部とパッケージ放熱部分の温度差
*10: 1段電子冷却素子: Ic=1.4 A, 2段電子冷却素子: Ic=2.6 A
電子冷却素子の温度特性 (Ta=25 °C, Vdd=5 V, INP=4.5 V)
(Typ. ༶෎‫ ܕ‬0.5 °C/W)
4.0
ഩգ
‫أ‬ഽओ
70
60
3.0
50
2.5
40
2.0
30
1.5
20
1.0
10
0.5
0
0
1
(Typ. ༶෎‫ ܕ‬0.4 °C/W)
7
ഩգ
‫أ‬ഽओ
6
60
50
40
4
30
3
20
2
10
0
1
0
-10
0
2
ഩգ (V)
5
‫أ‬ഽओ (°C)
3.5
-10
0
ഩၠ (A)
1
2
3
ഩၠ (A)
KMIRB0031JC
KMIRB0032JC
サーミスタの温度特性
5
10
΍ȜηΑΗ೷ࢯġĩΩĪ
ഩգ (V)
G9205～G9208シリーズ
‫أ‬ഽओ (°C)
G9211～G9214シリーズ
104
サーミスタ抵抗と絶対温度には以下の
関係があります。
R1=R2 × exp B (1/T1-1/T2)
103
240
R1: T1 (K)における抵抗値
R2: T2 (K)における抵抗値
B : B定数 (B=3200 K ± 2%)
サーミスタ抵抗 = 5 kΩ ± 3% (298 K)
250
260
270
280
290
300
୲చ‫أ‬ഽ (K)
KMIRB0041JB
9
InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
外形寸法図 (単位: mm)
63.5 ± 0.15
53.3 ± 0.15
38.1 ± 0.15
2.54 ± 0.15
35.6 ± 0.15
R 1.59
27.2 ± 0.15
15
20.3 ± 0.15
3.0 ± 0.15
10.2 ± 0.15
22.9 ± 0.15
25.4 ± 0.15
28
14
਋࢕໐ ऒ௰: 1 ch
B
1 2
6.4 ± 1
1.0 ± 0.2
C
A
ͼϋΟΛ·ΑζȜ·
2.54 ± 0.15
0.45 ± 0.05
਋࢕࿂
B
C
5.8 ± 0.2
3.4 ± 0.3
G9205ȡG9208ΏςȜΒ 7.25 ± 0.2 6.85 ± 0.2
4.3 ± 0.3
߿ྴ
A
G9211ȡG9214ΏςȜΒ 6.15 ± 0.2
਋࢕໐ಎ૤ୈഽ: ±0.3 mmո‫ئ‬ġ(ΩΛΉȜΐಎ૤ͬ‫ܖ‬੔)
਋࢕໐ٝഢୈഽ: ±2°ո‫ئ‬ġ(ΩΛΉȜΐಎ૤ͬ‫ܖ‬੔)
ΙΛίऺৗ: InGaAs
ΩΛΉȜΐऺৗ: FeNiࣣ߄
ςȜΡੜၑ: Ni/AuιΛ΅
ςȜΡऺৗ: FeNiCoࣣ߄
ௗऺऺৗ: ΍έ͹ͼͺ
ௗऺߠ୬ၚ: n=1.76
ௗऺ࢚̯: 0.66 mm
AR΋ȜΠ: ̜ͤ (1.55 µmάȜ·)
ௗऺ໑গ༹: ̠ͧັ̫
΅λΛί໑গ: ဣ୪
KMIRA0011JC
マルチチャンネル検出ヘッド C8061-01, C8062-01 (別売)
C8061/C8062-01は、従来のイメージセンサでは測定困難だった近赤外光領域での分光測光用として開発された高感度マルチチャン
ネル検出器ヘッドです。受光部にはInGaAsフォトダイオードアレイとCMOS信号処理回路を1パッケージに内蔵したInGaAsリニア
イメージセンサを使用しています。 1 段電子冷却型 InGaAs イメージセンサに対応する C8061-01 、および 2 段電子冷却型に対応する
C8062-01の2タイプを用意しています。いずれも低ノイズ駆動回路を内蔵しており、外部から簡単な信号を入力するだけで動作させる
ことができます。
C8061/C8062-01には高安定温度制御回路が内蔵されており、電源を入力すると同時にセンサはあらかじめ設定された温度 (C8061-01:
Ts= -10 °C, C8062-01: Ts= -20 °C)まで冷却されます。なお、冷却器の故障により万一過熱した場合でも保護回路により自動的に電源
をオフする安全設計が施されています。
本体は、コンパクトな外形でありながら優れた放熱効果をもった構造となっており、本体正面には分光器やそのほかの装置の取り付け
用の止め穴が付いています。なお、マルチチャンネル検出器ヘッド用コントローラ C7557-01を別途用意しています。専用ソフトウェ
アを用いることによって、パソコンからマルチチャンネル検出器ヘッドの制御とデータ収集を行うことができます。
特長
InGaAsリニアイメージセンサを使用するためのヘッド
C8061-01: 1段電子冷却型
C8062-01: 2段電子冷却型
専用駆動回路を内蔵
高感度制御方式を採用
制御温度 C8061-01: Ts= -10 ± 0.1 °C固定 (Ta=10～30 °C)
C8062-01: Ts= -20 ± 0.1 °C固定 (Ta=10～30 °C)
簡単な信号入力で動作
コンパクトな外形
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InGaAs リニアイメージセンサ
G9211～G9214/G9205～G9208シリーズ
関連製品との接続図
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[Windows 7 (32-bit, 64-bit)/
Windows 8 (64-bit)/
Windows 8.1 (64-bit)]
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静電気対策
本製品は静電気に対する保護回路を内蔵していますが、静電気による破壊を未然に防ぐために、作業者・作業台・作業工具の接地などの静電
気対策を実施してください。また、周辺機器からのサージ電圧を防ぐようにしてください。
関連情報
www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html
注意事項
・ 製品に関する注意事項とお願い
・ 安全上の注意
・ イメージセンサ／使用上の注意
技術情報　・ イメージセンサ／用語の説明
本資料の記載内容は、平成27年7月現在のものです。
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Cat. No. KMIR1011J15 Jul. 2015 DN
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