s7170-0909 etc kmpd1028j

CCDエリアイメージセンサ
S7170-0909
S7171-0909-01
512 × 512画素、裏面入射型FFT-CCD
S7170-0909、S7171-0909-01は、微弱光検出用に開発された計測用FFT-CCDエリアイメージセンサです。裏面入射型のため
紫外～近赤外光に高い感度をもつ上、MPP (multi-pinned phase)モードで動作するため、低暗電流と広いダイナミックレンジ
を達成しています。さらに、分光感度特性も非常に安定しているため、高精度の測光が可能です。
１段または2段電子冷却素子を同一パッケージに内蔵したタイプも用意しています。常温で使用した場合、1段冷却型は-10 °C
まで、また2段冷却型は-30 °CまでCCDを冷却することができます。CCDチップと電子冷却素子は気密封止されおり、乾燥エ
アなどは不要なため、取り扱いが容易です。
特長
用途
有効画素数: 512 × 512
科学計測機器
量子効率: ピーク時90%以上
半導体検査
広い分光感度特性
紫外イメージング
低読み出しノイズ
バイオフォトン観測
広いダイナミックレンジ
MPP動作
常温型: S7170-0909
1段電子冷却型: S7171-0909-01
セレクションガイド
型名
S7170-0909
S7171-0909-01
冷却
全画素数
有効画素数
非冷却
段電子冷却
1
532 × 520
532 × 520
512 × 512
512 × 512
イメージサイズ
[mm (H) × mm (V)]
12.288 × 12.288
12.288 × 12.288
適合マルチチャンネル
検出器ヘッド
C7180
C7181
注) 2 段電子冷却型のS7172-0909 も用意しています。
構成
項目
画素サイズ
垂直クロック
水平クロック
出力回路
パッケージ
窓材
S7170-0909
S7171-0909-01
24 (H) × 24 (V) μm
2相
2相
1 段 MOSFET ソースフォロワ
24 ピン セラミック DIP ( 外形寸法図を参照 )
反射防止コーティングサファイア
サファイア*1
*1: 仮付け窓タイプ (例: S7170-0909N) も対応が可能です。
仮付け窓タイプは、CCD チップとワイヤを保護するため、仮付け窓をテープで固定しています。
浜松ホトニクス株式会社
1
S7170-0909, S7171-0909-01
CCDエリアイメージセンサ
絶対最大定格 (Ta=25 °C)
項目
動作温度*2
保存温度
出力トランジスタドレイン電圧
リセットドレイン電圧
垂直入力ソース電圧
水平入力ソース電圧
垂直入力ゲート電圧
水平入力ゲート電圧
サミングゲート電圧
出力ゲート電圧
リセットゲート電圧
トランスファーゲート電圧
垂直シフトレジスタクロック電圧
水平シフトレジスタクロック電圧
記号
Topr
Tstg
VOD
VRD
VISV
VISH
VIG1V, VIG2V
VIG1H, VIG2H
VSG
VOG
VRG
VTG
VP1V, VP2V
VP1H, VP2H
Min.
-50
-50
-0.5
-0.5
-0.5
-0.5
-10
-10
-10
-10
-10
-10
-10
-10
Typ.
-
Max.
+50
+70
+25
+18
+18
+18
+15
+15
+15
+15
+15
+15
+15
+15
単位
°C
°C
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
*2: パッケージ温度 (S7170-0909)、チップ温度 (S7171-0909-01)
注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。
動作条件 (MPPモード, Ta=25 °C)
項目
出力トランジスタドレイン電圧
リセットドレイン電圧
出力ゲート電圧
基板電圧
テストポイント
垂直シフトレジスタクロック電圧
水平シフトレジスタクロック電圧
サミングゲート電圧
リセットゲート電圧
トランスファーゲート電圧
外部負荷抵抗
垂直入力ソース
水平入力ソース
垂直入力ゲート
水平入力ゲート
High
Low
High
Low
High
Low
High
Low
High
Low
記号
VOD
VRD
VOG
VSS
VISV
VISH
VIG1V, VIG2V
VIG1H, VIG2H
VP1VH, VP2VH
VP1VL, VP2VL
VP1HH, VP2HH
VP1HL, VP2HL
VSGH
VSGL
VRGH
VRGL
VTGH
VTGL
RL
Min.
18
11.5
1
-9
-9
4
-9
4
-9
4
-9
4
-9
4
-9
20
Typ.
20
12
3
0
VRD
VRD
-8
-8
6
-8
6
-8
6
-8
6
-8
6
-8
22
Max.
22
12.5
5
8
-7
8
-7
8
-7
8
-7
8
-7
24
単位
V
V
V
V
V
V
V
V
記号
fc
CP1V, CP2V
CP1H, CP2H
CSG
CRG
CTG
CTE
Vout
Zo
P
Min.
0.99995
14
-
Typ.
6400
120
30
30
70
0.99999
16
3
13
Max.
1
18
4
14
単位
MHz
pF
pF
pF
pF
pF
V
kΩ
mW
V
V
V
V
V
kΩ
電気的特性 (Ta=25 °C)
項目
信号出力周波数
垂直シフトレジスタ容量
水平シフトレジスタ容量
サミングゲート容量
リセットゲート容量
トランスファーゲート容量
電荷転送効率*3
DC出力レベル
出力インピーダンス
消費電力*4
*3: 飽和電荷量の半分のときに測定した、1画素当たりの転送効率
*4: オンチップアンプと負荷抵抗を合わせた消費電力
2
S7170-0909, S7171-0909-01
CCDエリアイメージセンサ
電気的および光学的特性 (指定のない場合は Ta=25 °C)
項目
記号
Vsat
飽和出力電圧
垂直
水平*5
飽和電荷量
Fw
Sv
CCD変換効率
25 °C
0 °C
暗電流*6 (MPPモード)
DS
読み出しノイズ*7
Nr
ラインビニング
エリアスキャン
ダイナミックレンジ*8
DR
感度不均一性*9
PRNU
λ
感度波長範囲
白キズ
黒キズ
ポイント欠陥*10
キズ
-
クラスタ欠陥*11
コラム欠陥*12
Min.
240
300
1.8
37500
30000
-
Typ.
Fw × Sv
320
600
2.2
100
10
8
75000
40000
±3
200 ∼ 1100
-
Max.
1000
100
16
±10
0
10
3
0
単位
V
ke μV/e e-/pixel/s
e - rms
%
nm
-
*5: 直線性=±1.5%
*6: 暗電流は温度が5～7 °C上昇すると約2倍になります。
*7: 当社製デジタルCCDカメラ C4880を使用 (CDS回路付, 素子温度: -40 °C, 動作周波数: 150 kHz)
*8: ダイナミックレンジ = 飽和電荷量／読み出しノイズ
*9: LED光 (ピーク波長: 560 nm)を用いて飽和出力の半分のときに測定
ۜഽະ޳֚଻ =
ࡥ೰ΩΗȜϋΦͼΒ (peak to peak)
૞࣢
× 100 [%]
*10: 白キズ=冷却温度 0 °Cで1秒間蓄積したときに、暗電流が1 ke-を超える画素
黒キズ=平均出力画素に比べて感度が半分以下の画素 (測定条件: 飽和電荷量の1/2の出力になる均一光)
*11: 2～9個の連続した画像欠陥
*12: 10個以上の連続した画像欠陥
分光感度特性 (窓なし時)*13
(Typ. Ta=25 °C)
100
90
ၔ࿂වৣ߿CCD
80
ၾঊ࢘ၚ (%)
70
60
50
40
30
20
ນ࿂වৣ߿CCD
(UV΋ȜΠ)
ນ࿂වৣ߿CCD
10
0
200
400
600
800
1000
1200
෨ಿ (nm)
KMPDB0058JB
*13: 窓材の透過率特性により分光感度は低下します。
3
S7170-0909, S7171-0909-01
CCDエリアイメージセンサ
窓材の分光透過特性
(Typ. Ta=25 °C)
100
90
80
70
฽ৣཡগ΋ȜΞͻϋΈ΍έ͹ͼͺ
൫ًၚ (%)
΍έ͹ͼͺ
60
50
40
30
20
10
0
100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
෨ಿ (nm)
KMPDB0102JB
窓材
S7171-0909-01
*14: 気密封止
窓材
(Typ.)
1000
サファイア*14
( オプション: 窓なし )
反射防止コーティング
サファイア*14
( オプション: 窓なし )
100
ճഩၠ (e-/pixel/s)
型名
S7170-0909
S7172-0909
(2 段電子冷却型 )
暗電流ー温度
10
1
0.1
0.01
-50
-40
-30
-20
-10
0
10
20
30
‫أ‬ഽ (°C)
KMPDB0256JA
4
S7170-0909, S7171-0909-01
CCDエリアイメージセンサ
デバイス構造 (外形寸法図において上面からみた概念図)
ခْ࢘ள
Thinning
ခْ࢘ள
23
21
15
20
13
14
4-bevel
22
24
512 ૞࣢੄ႁ
5
4
3
2
12345
H
1
12
କ໹ΏέΠ
τΐΑΗ
2
3
4
5
8
10
9
512 ૞࣢੄ႁ
ήρϋ· (4ْள)
11
4-bevel
Thinning
V
V=512
H=512
ήρϋ· (4ْள)
କ໹ΏέΠτΐΑΗ
8-bevel
4-bevel
ಕ) ࢕වৣ༷̥࢜ͣࡉ̹ાࣣȂକ໹ΏέΠτΐΑΗ͉Si͈࢚̞໐໦ (ະۜ໐໦)́
ໞ̞̳̦ͩͦ̀͘Ȃಿ෨ಿ͈࢕͉ະۜ໐໦͈Siͬ൫ً̱Ȃକ໹ΏέΠτΐΑΉ
਋࢕̯ͦͥ‫خ‬ෝ଻̦̜̳ͤ͘ȃຈါͅ؊̲̀৭࢕͈̈́̓చॐ࣐̩̺̯̞ͬ̽̀ȃ
KMPDC0075JC
5
S7170-0909, S7171-0909-01
CCDエリアイメージセンサ
タイミングチャート
エリアスキャン (大飽和電荷量モード)
ಇୟ‫ۼܢ‬
(ΏλΛΗ‫)ٳ‬
උ͙੄̱‫( ۼܢ‬ΏλΛΗ໾)
Tpwv
1
2
3
4..519 520←512 + 8 (bevel)
P1V
P2V, TG
P1H
P2H, SG
RG
OS
Tovr
P2V, TG
‫ڐ‬ఱ଎
Tpwh, Tpws
P1H
P2H, SG
Tpwr
RG
OS
D1
D2
D3
D4
D18
D5..D12, S1..S512, D13..D17
D19
D20
KMPDC0120JA
15
P1V, P2V, TG*
P1H, P2H*15
SG
RG
TG – P1H
項目
パルス幅
上昇／下降時間
パルス幅
上昇／下降時間
デューティ比
パルス幅
上昇／下降時間
デューティ比
パルス幅
上昇／下降時間
オーバーラップ時間
記号
Tpwv
Tprv, Tpfv
Tpwh
Tprh, Tpfh
Tpws
Tprs, Tpfs
Tpwr
Tprr, Tpfr
Tovr
Min.
6
200
500
10
40
500
10
40
100
5
3
Typ.
8
2000
50
2000
50
-
Max.
60
60
-
単位
μs
ns
ns
ns
%
ns
ns
%
ns
ns
μs
*15: 最大パルス振幅の50%のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。
6
CCDエリアイメージセンサ
S7170-0909, S7171-0909-01
外形寸法図 (単位: mm)
S7170-0909
වৣௗ 14.8*
਋࢕໐
12.288
1
22.9 ± 0.3
22.4 ± 0.3
13
12.288
12.8*
24
12
2.54 ± 0.13
4.8 ± 0.49
4.0 ± 0.44
3.4 ± 0.44
਋࢕࿂
3.0
ͼϋΟΛ·ΑζȜ·
άϋNo. 1
2.4 ± 0.15
34.0 ± 0.34
(24 ×) 0.5 ± 0.05
*ȶௗऺ͈໦࢕൫ًඅ଻ȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥ΀ςͺ
KMPDA0084JB
7
S7170-0909, S7171-0909-01
CCDエリアイメージセンサ
S7171-0909-01
50 ± 0.3
(42)
34.0 ± 0.34
වৣௗ 19.1 ± 0.13
0.6 ± 0.1 7.78 ± 0.79
22.9 ± 0.3
2.0 ± 0.3
਋࢕࿂
(4)
19 ± 0.2
13
1
12
19 ± 0.4
ഩঊ႖‫ݕ‬ளঊ
1 ± 0.2
5.0 ± 0.4
ͼϋΟΛ·ΑζȜ·
άϋNo.1
*ȶௗऺ͈໦࢕൫ًඅ଻ȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥ΀ςͺ
(ȁ)ඤ͉४ࣉ౵
3.0 ± 0.2
22.4 ± 0.3
24
0.5 -0.03
਋࢕໐
12.288
+0.05
16 ± 0.13*
2.54 ± 0.13
0.5 ± 0.07
27.94 ± 0.13
KMPDA0279JA
KMPDA0279JA
8
CCDエリアイメージセンサ
S7170-0909, S7171-0909-01
ピン接続
ピン
No.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
記号
RD
OS
OD
OG
SG
P2H
P1H
IG2H
IG1H
ISH
TG*16
P2V
P1V
SS
ISV
IG2V
IG1V
RG
S7170-0909
機能
リセットドレイン
出力トランジスタソース
出力トランジスタドレイン
出力ゲート
サミングゲート
水平シフトレジスタ クロック-2
水平シフトレジスタ クロック-1
テストポイント (水平入力ゲート-2）
テストポイント (水平入力ゲート-1）
テストポイント (水平入力ソース)
トランスファーゲート
垂直シフトレジスタ クロック-2
垂直シフトレジスタ クロック-1
基板 (GND)
テストポイント (垂直入力ソース)
テストポイント (垂直入力ゲート-2)
テストポイント (垂直入力ゲート-1)
リセットゲート
記号
RD
OS
OD
OG
SG
P2H
P1H
IG2H
IG1H
ISH
TG*16
P2V
P1V
Th1
Th2
PP+
SS
ISV
IG2V
IG1V
RG
S7171-0909-01
機能
リセットドレイン
出力トランジスタソース
出力トランジスタドレイン
出力ゲート
サミングゲート
水平シフトレジスタ クロック-2
水平シフトレジスタ クロック-1
テストポイント (水平入力ゲート-2)
テストポイント (水平入力ゲート-1)
テストポイント (水平入力ソース)
トランスファーゲート
垂直シフトレジスタ クロック-2
垂直シフトレジスタ クロック-1
サーミスタ
サーミスタ
電子冷却素子 (-)
電子冷却素子 (+)
基板 (GND）
テストポイント (垂直入力ソース)
テストポイント (垂直入力ゲート-2)
テストポイント (垂直入力ゲート-1)
リセットゲート
備考
（標準動作）
+12 V
RL=22 kΩ
+20 V
+3 V
P2Hと同タイミング
-8 V
-8 V
RDに接続
P2Vと同タイミング
GND
RDに接続
-8 V
-8 V
*16: 垂直レジスタと水平レジスタ間の分離ゲート。標準動作ではTGにP2Vと同じパルスを入力してください。
内蔵電子冷却素子の仕様 (S7171-0909-01)
項目
内部抵抗
最大電流*17
最大電圧
最大熱吸収*20
放熱側の最大温度
記号
条件
Rint Ta=25 °C
Imax Tc*18=Th*19=25 °C
Vmax Tc*18=Th*19=25 °C
Qmax
-
Min.
-
Typ.
2.1
-
Max.
2.0
4.2
4.5
70
単位
Ω
A
V
W
°C
この最大電流 Imaxは冷却器を損なわないためのしきい値
*17: 電流値がImax以上になると、ジュール熱によって熱吸収率が低下し始めます。
ではありませんので注意してください。電子冷却素子を保護し、安定した動作を維持するために、
供給電流をこの最大電流の60%以下に
設定してください。
*18: 電子冷却素子の冷却側の温度
*19: 電子冷却素子の放熱側の温度
*20: 最大電流をセンサに供給したときに、電子冷却素子に生じる温度差を補正する理論的な熱吸収レベルです。
9
S7170-0909, S7171-0909-01
CCDエリアイメージセンサ
(Typ. Ta=25 °C)
6
30
5
20
4
10
3
0
2
-10
1
-20
0
0
0.5
1.0
1.5
CCD ‫أ‬ഽ (°C)
ഩգ (V)
ഩգȽഩၠ
CCD ‫أ‬ഽȽഩၠ
-30
2.0
ഩၠ (A)
KMPDB0180JA
内蔵温度センサの仕様 (S7171-0909)
CCDチップと同じパッケージにサーミスタチップが内蔵されており、動作中のCCDチップ温度をモニタします。
このサーミスタの抵抗値と絶対温度の関係は次式で表されます。
RT1 = RT2 × exp BT1/ T2 (1/T1 - 1/T2)
(Typ. Ta=25 °C)
1 MΩ
使用しているサーミスタの特性は以下のとおりです。
R298=10 kΩ
B298/323=3450 K
೷ࢯ
RT1: 絶対温度 T1 [K]のときの抵抗値
RT2: 絶対温度 T2 [K]のときの抵抗値
BT1/ T2: B定数 [K]
100 kΩ
10 kΩ
220
240
260
280
300
‫أ‬ഽ (K)
KMPDB0111JA
10
CCDエリアイメージセンサ
S7170-0909, S7171-0909-01
使用上の注意 (静電対策)
O 素手あるいは綿の手袋をはめてセンサを扱うようにしてください。さらに、摩擦で生じる静電気によるダメージを避けるため、静
電防止服やアース付きリストバンドを身に着けてセンサを取り扱ってください。
O 静電気を帯びる可能性のある作業台やフロアの上にセンサを直接置かないでください。
O 作業台や作業フロアには、静電気を放電させるためのアース線を接続してください。
O センサを取り扱うピンセットやはんだごてなどの道具にもアース線を接続してください。
上記の静電対策は必ずしもすべて行う必要はありません。発生する障害の程度に応じて対策を施してください。
素子の冷却・昇温時の温度勾配速度
外付け冷却器で冷却する場合は、素子の冷却・昇温時の温度勾配速度を、5 K/min以下になるように設定してください。
マルチチャンネル検出ヘッド　C7180, C7181
特長
裏面入射型CCDエリアイメージセンサ専用ヘッド
C7180: 非冷却型 (S7170-0909)用
C7181: 電子冷却型 (S7171-0909-01)用
ラインビニング動作／エリアスキャニング動作
の選択が可能
専用駆動回路を内蔵
高安定温度制御方式を採用 (C7181)
制御温度: Ts=-10 ± 0.05 °C固定
簡単な信号入力で動作
高紫外感度、高量子効率
コンパクトな外形
11
S7170-0909, S7171-0909-01
CCDエリアイメージセンサ
マルチチャンネル検出器ヘッド用コントローラ　C7557-01
特長
マルチチャンネル検出器ヘッドの制御とデータ収集を
行うためのコントローラ
付属のソフトウェアを使用することにより、USBイン
ターフェースを通して簡易に制御およびデータ収集が可能
接続図
ΏλΛΗ *
ΗͼηϋΈΩσΑ
ACΉȜήσ (100ȡ240 V; C7557-01ͅັ௺)
Trig.
POWER
୺ဥΉȜήσ
(C7557-01ͅັ௺)
SIGNAL I/O
USB
ΉȜήσ
(C7557-01ͅັ௺)
TE CONTROL I/O
ͼιȜΐΓϋ΍
+
ζσΙΙλϋΥσ
࠿੄‫ܕ‬ΰΛΡ
C7557-01
PC (Windows 2000/XP/Vista)
(USB2.0)
* ΏλΛΗ͉̈́̓ဥփ̵̱̞̀ͭ͘ȃ
KACCC0402JA
本資料の記載内容は、平成26年2月現在のものです。
ୋ຦͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུ঩ၳ͉ୃ‫̹̳͛ͥܢͬږ‬૥ਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ
̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋ຦ͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ੥̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮ͬ‫̞̯̺̩෇ږ‬ȃ
ොවॽအ੥̹͉͘΍ϋίσ೹‫̞̤̀ͅރ‬Ȃ߿ྴ͈ྎ๶ͅॻ೰ॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂ‫ٳ‬อॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ
ུୋ຦͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤͅ᜺᝿̦อࡉ̯ͦḀ̑̾໺২ͅ೒౶̯̹ͦાࣣȂུୋ຦͈ਘၑ̹͉͘య຦͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બ‫ۼܢ‬ඤ̜́̽̀͜Ȃ
ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ‫͉̞̀̾ͅٺ‬Ȃ໺২̷͉͈ୣͬ໅̵̞ͭ͘ȃ
ུ঩ၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ໺২͈‫ݺ‬ౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭ͥ͂ͬ޺̲̳͘ȃ
ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ
୵ర‫ުא‬ਫ਼
ಆ෨‫ުא‬ਫ਼
൐‫ުאނ‬ਫ਼
ಎ໐‫ުא‬ਫ਼
ఱि‫ުא‬ਫ਼
ୌ඾ུ‫ުא‬ਫ਼
ɧĺĹıĮııIJIJ
ɧĴıĶĮıĹIJĸ
ɧIJıĶĮıııIJ
ɧĵĴıĮĹĶĹĸ
ɧĶĵIJĮııĶij
ɧĹIJijĮııIJĴ
୵రঌ୒ဩߊષ଩IJĮķĮIJIJġĩ඾ུ୆ྵ୵ర࢙൚రΫσij‫ٴ‬Ī
֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄ‫׬ڠݪ‬Ņķ‫ߊځ‬Ĺْ౷ġĩࡄ‫׬ڠݪ‬Α·;ͿͺΫσĸ‫ٴ‬Ī
൐‫ނ‬സࢽߊࡵΦ࿝ĴĮĹĮijIJġĩࡵΦ࿝ĴĴ૩ΫσĶ‫ٴ‬Ī
ຩઐঌಎߊग५಴ĴijĶĮķġĩ඾ུ୆ྵຩઐ‫פ‬ஜΫσĵ‫ٴ‬Ī
ఱिঌಎ؇ߊհാ಴ijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJı‫ٴ‬Ī
໛‫ؖ‬ঌฎఉߊฎఉ‫פ‬൐IJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶ‫ٴ‬Ī
ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ
ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ
ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ
ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ
ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı
ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı
ࡥఘ‫ުא‬ଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌ൐ߊঌ࿤಴IJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ
Cat. No. KMPD1028J08 Feb. 2014 DN
12