TDI-CCDイメージセンサ S10200-02-01 S10201-04-01 S10202-08-01 S10202-16-01 裏面入射型CCDをTDI動作させることで高感度を実現 高速撮像時などの低照度下においても十分な明るさの画像が得られるTDI-CCDイメージセンサです。TDI (time delay integration)動作により、移動する対象物を積分露光することで、飛躍的に高い感度を得ることができます。裏面入射型構 造を採用し、紫外～近赤外の幅広い波長域 (200 ～ 1100 nm)で高い量子効率を実現しています。 特長 用途 TDI動作により高い感度が得られる 高速連続画像の取得が可能 高速移動サンプルの連続撮像 裏面入射型構造により、紫外～近赤外域で高感度 半導体検査 マルチポート化の採用により、高速ラインレートを実現 フローサイトメータ 電子部品の製造ラインにおける検査機器 低ノイズ TDI 動作 FFT型CCDは、電荷読み出しの際、列単位で電荷の垂直転送を行います。その転送のタイミングと被写体の移動タイミングを合わせ、 CCD画素の垂直段数分の積分露光をする方式がTDI動作です。 TDI動作においては、被写体と同じ方向に同じ速度で電荷転送を行う必要があります。その速度は、以下の式で表されます。 TDI動作による積分露光の模式図 v=f×d 右図の1段目の電荷が2段目に転送されると、2段目においても光 電変換により電荷の蓄積が行われます。この動作を M 段 ( 垂直段 数)まで連続して行った場合には、M倍の電荷が蓄積されます。蓄 ৢఘ֊൲ Ȇ ഩكഢ v : ৢఘ֊൲௸ഽȂഩكഢ௸ഽ f : ೄ͈ഢਔ෨ତ d : ْளͼΒ Time1 Time2 Time3 1࿒ Ȇ Ȇ Ȇ Ȇ Ȇ M࿒ ഩكၾ 積された電荷は CCD の水平シフトレジスタから列ごとに出力さ れ、とぎれがない2次元の画像が得られます。以上によって、TDI 動作では、リニアイメージセンサと比べてM倍の感度が実現され KMPDC0139JA ます (S/Nは M 倍に改善されます)。また、TDI動作では、フレー ムモード時よりも感度のバラツキが改善されます。 セレクションガイド 型名 S10200-02-01*2*3 S10201-04-01*2*3 S10202-08-01 S10202-16-01 全画素数 (H) × (V) 有効画素数 (H) × (V) ポート数 1040 × 128 2080 × 128 4160 × 128 4224 × 128 1024 × 128 2048 × 128 4096 × 128 4096 × 128 2 4 8 16 ピクセル レート (MHz/ポート) ライン レート (kHz) 50 30 100 垂直転送 適合カメラ*1 双方向 C10000-801/-A01 - *1: C10000シリーズは当社システム事業部の製品です (P. 14参照)。 *2: 仮付け窓タイプ (S10200-02N-01, S10201-04N-01)にも対応が可能です。 *3: 水平レジスタの遮光用として、遮光マスク付タイプ (S10200-02M-01, S10201-04M-01)にも対応が可能です [デバイス構造 (P.7)参照]。遮 光マスクの垂直方向の開口サイズは96画素です。遮光マスクの効果は、使用する光源の波長、光の入射角度により変わることがあります。 浜松ホトニクス株式会社 1 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ 構成 項目 仕様 12 × 12 μm 128 FW × 100 (min.) 3相 2相 3段MOSFETソースフォロワ セラミックDIP (外形寸法図を参照) 石英ガラス*4 画素サイズ (H × V) TDI段数 アンチブルーミング 垂直クロック 水平クロック 出力回路 パッケージ 窓材 *4: 樹脂封止 絶対最大定格 (指定のない場合は Ta=25 °C) 項目 動作温度*5 *6 *7 保存温度*7 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 オーバーフロードレイン電圧 オーバーフローゲート電圧 サミングゲート電圧 出力ゲート電圧 リセットゲート電圧 トランスファーゲート電圧 垂直クロック電圧 水平クロック電圧 記号 Topr Tstg VOD VRD VOFD VOFG VSG VOG VRG VTG VP1V, VP2V, VP3V VP1H, VP2H Min. -50 -50 -0.5 -0.5 -0.5 -10 -10 -10 -10 -10 -8 -10 Typ. - Max. 60 70 25 18 18 15 15 15 15 15 +8 15 単位 °C °C V V V V V V V V V V *5: パッケージ温度 *6: 高速動作時には、センサの温度が上昇する可能性があります。必要に応じて放熱対策を行うことを推奨します。 *7: 結露なきこと 注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 動作条件 (TDI 動作 , Ta=25 °C) 項目 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 出力ゲート電圧 基板電圧 オーバーフロードレイン電圧 オーバーフローゲート電圧 垂直シフトレジスタクロック電圧 水平シフトレジスタクロック電圧 サミングゲート電圧 リセットゲート電圧 トランスファーゲート電圧 負荷抵抗 High Low High Low High Low High Low High Low 記号 VOD VRD VOG VDGND, VAGND VOFD VOFG VP1VH, VP2VH, VP3VH VP1VL, VP2VL, VP3VL VP1HH, VP2HH VP1HL, VP2HL VSGH VSHL VRGH VRGL VTGH VTGL RL Min. 12 12 4 7 3 4 -6 4 -6 4 -6 7 -6 4 -6 2.0 Typ. 15 14 6 0 9 5 6 -5 6 -5 6 -5 8 0 6 -5 2.2 Max. 18 16 8 11 7 8 -4 8 -4 8 -4 9 8 -4 2.4 単位 V V V V V V V V V V V kΩ 2 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ 電気的特性 [指定のない場合はTa=25 °C、fc=30 MHz、動作条件の表 (P.2)のTyp.値] 項目 記号 fc 出力信号周波数 垂直シフトレジスタ容量 ラインレート 水平シフトレジスタ容量 トランスファーゲート容量 サミングゲート容量 リセットゲート容量 S10200-02-01 S10201-04-01 S10202-08-01/-16-01 S10200-02-01 S10201-04-01 S10202-08-01 S10202-16-01 S10200-02-01 S10201-04-01 S10202-08-01/-16-01 S10200-02-01 S10201-04-01 S10202-08-01/-16-01 S10200-02-01 S10201-04-01 S10202-08-01/-16-01 S10200-02-01 S10201-04-01 S10202-08-01/-16-01 CP1V, CP2V, CP3V LR CP1H, CP2H 電荷転送効率*8 DC出力レベル*9 出力インピーダンス*10 出力MOSFET供給電流／ノード 消費電力*9 *10 CTG CSG CRG CTE Vout Zo Ido P Min. 0.99995 - Typ. 30 250 400 650 50 50 50 100 50 90 90 40 60 100 20 40 40 20 40 40 0.99999 11 150 8 120 Max. 40 12 - 単位 MHz pF kHz pF pF pF pF V Ω mA mW/ポート *8: 飽和出力の半分のときに測定した、1 画素当たりの転送効率 *9: 負荷抵抗により変わります (VOD=15 V, 負荷抵抗=2.2 kΩ) *10: オンチップアンプと負荷抵抗を合わせた消費電力 電気的および光学的特性 [指定のない場合はTa=25 °C、fc=30 MHz、動作条件の表 (P.2)のTyp.値] 項目 記号 Vsat FW Sv DS Nr DR PRNU λ 飽和出力電圧 飽和電荷量*11 CCD変換効率 暗電流*11 *12 読み出しノイズ ダイナミックレンジ 感度不均一性*13 感度波長範囲 Min. 80 8.5 1777 - Typ. FW × Sv 100 9.5 30 35 2857 ±3 200 ～ 1100 Max. 120 10.5 100 45 ±10 - 単位 V keμV/ee-/pixel e- rms % nm *11: TDI動作時 *12: ラインレート 50 kHz、128段蓄積後 *13: LED光 (ピーク波長 660 nm)を用いて飽和出力の半分のときに測定。TDIモード。 ۜഽະ֚ = ࡥΩΗȜϋΦͼΒ (peak to peak) × 100 [%] 3 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ 分光感度特性 (窓なし時)*14 (Typ. Ta=25 °C) 7000 (Typ. Ta=25 °C) 100 ၔ࿂වৣ߿TDI-CCD S10200-02-01 S10201-04-01 S10202-08-01 S10202-16-01 90 6000 5000 70 ၾঊ࢘ၚ (%) ۜഽ [V/(µJ · cm2)] 80 4000 3000 60 50 40 30 2000 20 1000 10 0 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 ෨ಿ (nm) 0 200 ນ࿂වৣ߿CCD 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 ෨ಿ (nm) KMPDB0268JB KMPDB0269JC *14: 石英ガラスの透過率特性により分光感度は低下します。 窓材の分光透過特性 (Typ. Ta=25 °C) 100 ൫ًၚ (%) 80 60 40 20 0 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 ෨ಿ (nm) KMPDB0303JA 4 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ センサ構造図 S10200-02-01 OFD OFG DGND OSb2 TGb P3V P2V P1V TGa ༷࢜ഢ OSa2 OSa1 RG RD OD AGND OG SG P2H P1H 512ْள 128ْள OSb1 BεȜΠ௰ AεȜΠ௰ KMPDC0251JA S10201-04-01 OFD OFG DGND OSb4 OSb3 OSb2 TGb P3V P2V P1V TGa ༷࢜ഢ OSa4 OSa3 OSa2 OSa1 RG RD OD AGND OG SG P2H P1H 512ْள 128ْள OSb1 BεȜΠ௰ AεȜΠ௰ KMPDC0260JA 5 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ S10202-08-01 OFD OFG DGND OSb5 OSb4 OSb3 OSb2 OSb8 ༷࢜ഢ OSa8 OSa5 OSa4 OSa3 OSa2 OSa1 RG RD OD AGND OG SG P2H P1H 512ْள TGb P3V P2V P1V TGa 128ْள OSb1 BεȜΠ௰ AεȜΠ௰ KMPDC0261JA S10202-16-01 OFD OFG DGND OSb16 OSb15 OSb9 OSb8 OSb7 OSb6 OSb5 OSb4 OSb3 OSb2 TGb P3V P2V P1V TGa ༷࢜ഢ OSa16 OSa15 OSa9 OSa8 OSa7 OSa6 OSa5 OSa4 OSa3 OSa2 OSa1 RG RD OD AGND OG SG P2H P1H 256ْள 128ْள OSb1 BεȜΠ௰ AεȜΠ௰ KMPDC0262JA 6 TDI-CCDイメージセンサ S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 デバイス構造 (代表例: S10202-08-01, 外形寸法図において上面からみたCCDチップ概念図) OSb1 OSb2 OSb3 OSb6 OSb7 OSb8 OSa2 OSa3 OSa6 OSa7 OSa8 128 Thinning OSa1 Thinning 8 ήρϋ· 512ْள V=128 H=512 × 8 (εȜΠତ) ಕ) වৣ༷̥࢜ͣࡉ̹ાࣣȂକΏέΠτΐΑΗ͉Si͈࢚̞໐ (ະۜ໐)́ໞ̞̳̦ͩͦ̀͘Ȃಿ෨ಿ͈͉ະۜ໐͈ Siͬ൫ً̱ȂକΏέΠτΐΑΉ̯ͦͥخෝ̦̜̳ͤ͘ȃຈါͅ؊̲̀৭͈̈́̓చॐ࣐̩̺̯̞ͬ̽̀ȃ KMPDC0252JB KMPDC0252JB 7 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ タイミングチャート Aポート側読み出し OSb RGb HL P2Hb, SGb HL P1Hb HL Tprv, Tpwv, Tpfv Tovrv TGb HL Tovrv P1V HL Tprh, Tpwh, Tpfh P2V HL P3V HL Tovr Tprs, Tpws, Tpfs TGa HL S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01: 518 S10202-16-01: 262 P1Ha HL 519 263 520 264 1 3 3 2 4..517 4..261 P2Ha, SGa HL Tprr, Tpwr, Tpfr RGa H L OSa S510 S254 S511 S255 S512 : S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01 S256 : S10202-16-01 D1 D2 D3..D8, S1..S509 D3..D8, S1..S253 KMPDC0254EG Bポート側読み出し OSb S510 S254 S511 S255 D1 S512 : S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01 S256 : S10202-16-01 D2 D3..D8, S1..S509 D3..D8, S1..S253 Tprr, Tpwr, Tpfr RGb H L Tprs, Tpws, Tpfs P2Hb, SGb H L Tovr S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01: S10202-16-01: P1Hb HL 518 262 519 263 520 264 Tprh, Tpwh, Tpfh 1 2 3 3 4 ..517 4 ..261 Tprv, Tpwv, Tpfv TGb H L P1V H L P2V H L P3V H L TGa H L P1Ha H L P2Ha, SGa H L RGa H L Tovrv Tovrv OSa KMPDC0253EH 8 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ 項目 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 パルス幅*15 上昇／下降時間*15 デューティ比*15 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 P1V, P2V, P3V, TG P1H, P2H SG RG TG - P1H 記号 Tpwv Tprv, Tpfv Tovrv Tpwh Tprh, Tpfh Tpws Tprs, Tpfs Tpwr Tprr, Tpfr Tovr Min. 120 2 30 12.5 3 12.5 2 5 1 30 Typ. 770 10 300 16.5 6 50 16.5 4 50 6 2 1000 Max. - 単位 ns ns ns ns ns % ns ns % ns ns ns *15: 最大パルス振幅の50%のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。 外形寸法図 (単位: mm) S10200-02-01 30.48 ± 0.35 3.44 ± 0.35 ໐ 12.288 2.84 ± 0.3 21 1 20 1.48 ± 0.15* 10.16 ± 0.25 3 ± 0.1 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· +0.05 C0.5 0.25 -0.03 40 ௗऺ 9.66 ± 0.1 ໐ 1.536 ௗऺ 23.84 ± 0.1 9.91 ± 0.25 2.5 ± 0.1 27.94 ± 0.33 0.457 ± 0.05 1.27 ± 0.1 * ΄ρΑນ࿂̥ͣ࿂༹͈́͘ KMPDA0218JC 9 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ S10201-04-01 40.64 ± 0.45 3.44 ± 0.35 ໐ 24.576 2.84 ± 0.3 21 C0.5 +0.05 20 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 0.25 -0.03 1 10.16 ± 0.25 40 ௗऺ 9.66 ± 0.1 ໐ 1.536 ௗऺ 33 ± 0.1 9.91 ± 0.25 2.5 ± 0.1 38.1 ± 0.43 3 ± 0.1 1.48 ± 0.15* 0.457 ± 0.05 1.27 ± 0.1 * ΄ρΑນ࿂̥ͣ࿂༹͈́͘ KMPDA0219JC S10202-08-01, S10202-16-01 0.8 ± 0.05 51 C0.5 1 50 10.16 ± 0.25 2.4 ± 0.24 +0.05 ௗऺ 55 ± 0.1 ໐ 49.152 0.25 -0.03 3.8 ± 0.38 ௗऺ 6.5 ± 0.1 ໐ 1.536 100 63.5 ± 0.64 9.91 ± 0.25 2.5 ± 0.25 66.04 ± 0.66 2.42 ± 0.2* 3 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 1.27 ± 0.13 0.42 ± 0.25 * ΄ρΑນ࿂̥ͣ࿂༹͈́͘ KMPDA0220JC 10 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 TDI-CCDイメージセンサ ピン接続 ピンNo. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 記号 P2V P3V P1V TGa SSD NC SSA OSa1 OD1 OSa2 NC NC OG RD OFD SSD RGa SGa 19 P1Ha 20 P2Ha 21 P2Hb 22 P1Hb 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 SGb RGb SSD OFG RD OG NC NC OSb2 OD2 OSb1 SSA NC SSD TGb P1V P3V P2V S10200-02-01 機能 垂直レジスタ クロック2 CCD CCD垂直レジスタ クロック3 CCD垂直レジスタ クロック1 トランスファーゲート-a デジタル GND 無接続 アナログGND 出力トランジスタソース-a1 出力ドレイン1 出力トランジスタソース-a2 無接続 無接続 出力ゲート リセットドレイン オーバーフロードレイン デジタル GND リセットゲート-a サミングゲート-a CCD水平レジスタ-a クロック１ CCD水平レジスタ-a クロック2 CCD水平レジスタ-b クロック2 CCD水平レジスタ-b クロック1 サミングゲート-b リセットゲート-b デジタル GND オーバーフローゲート リセットドレイン 出力ゲート 無接続 無接続 出力トランジスタソース-b2 出力ドレイン 出力トランジスタソース-b1 アナログGND 無接続 デジタル GND トランスファーゲート-b CCD垂直レジスタ クロック1 CCD垂直レジスタ クロック3 CCD垂直レジスタ クロック2 ピンNo. 1 2 3 4 GND 5 6 GND 7 8 RL=2.2 kΩ +15 V 9 RL=2.2 kΩ 10 11 12 +6 V 13 +14 V 14 +9 V 15 GND 16 17 18 備考 GND +5 V +14 V +6 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ GND GND 記号 P2V P3V P1V TGa SSD OSa1 SSA OSa2 OD1 OSa3 OD3 OSa4 OG RD OFD SSD RGa SGa 19 P1Ha 20 P2Ha 21 P2Hb 22 P1Hb 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 SGb RGb SSD OFG RD OG OSb4 OD4 OSb3 OD2 OSb2 SSA OSb1 SSD TGb P1V P3V P2V S10201-04-01 機能 垂直レジスタ クロック2 CCD CCD垂直レジスタ クロック3 CCD垂直レジスタ クロック1 トランスファーゲート-a デジタル GND 出力トランジスタソース-a1 アナログ GND 出力トランジスタソース-a2 出力ドレイン1 出力トランジスタソース-a3 出力ドレイン3 出力トランジスタソース-a4 出力ゲート リセットドレイン オーバーフロードレイン デジタル GND リセットゲート-a サミングゲート-a CCD水平レジスタ-a クロック１ CCD水平レジスタ-a クロック2 CCD水平レジスタ-b クロック2 CCD水平レジスタ-b クロック1 サミングゲート-b リセットゲート-b デジタル GND オーバーフローゲート リセットドレイン 出力ゲート 出力トランジスタソース-b4 出力ドレイン4 出力トランジスタソース-b3 出力ドレイン2 出力トランジスタソース-b2 アナログ GND 出力トランジスタソース-b1 デジタル GND トランスファーゲート-b CCD垂直レジスタ クロック1 CCD垂直レジスタ クロック3 CCD垂直レジスタ クロック2 備考 GND RL=2.2 kΩ GND RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +6 V +14 V +9 V GND GND +5 V +14 V +6 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ GND RL=2.2 kΩ GND 11 TDI-CCDイメージセンサ ピンNo. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 記号 P1Ha1 P2Ha1 SGa1 RGa1 SSD SSA OFG OSa1 OFD NC RD OSa2 OG NC OD1 OSa3 NC NC OD3 OSa4 NC NC SSD TGa P2V P3V P1V SSD OSa5 OD5 NC NC OSa6 OD7 NC NC OSa7 OG NC RD OSa8 OFD NC OFG SSA SSD RGa2 SGa2 P2Ha2 P1Ha2 機能 CCD水平レジスタ-a1 クロック1 CCD水平レジスタ-a1 クロック2 サミングゲート-a1 リセットゲート-a1 デジタルGND アナログGND オーバーフローゲート 出力トランジスタソース-a1 オーバーフロードレイン 無接続 リセットドレイン 出力トランジスタソース-a2 出力ゲート 無接続 出力ドレイン1 出力トランジスタソース-a3 無接続 無接続 出力ドレイン3 出力トランジスタソース-a4 無接続 無接続 デジタルGND トランスファーゲート-a CCD垂直レジスタ クロック2 CCD垂直レジスタ クロック3 CCD垂直レジスタ クロック1 デジタルGND 出力トランジスタソース-a5 出力ドレイン5 無接続 無接続 出力トランジスタソース-a6 出力ドレイン7 無接続 無接続 出力トランジスタソース-a7 出力ゲート 無接続 リセットドレイン 出力トランジスタソース-a8 オーバーフロードレイン 無接続 オーバーフローゲート アナログGND デジタルGND リセットゲート-a2 サミングゲート-a2 CCD水平レジスタ-a2 クロック2 CCD水平レジスタ-a2 クロック2 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 S10202-08-01 備考 ピンNo. 51 52 53 54 GND 55 GND 56 +6 V 57 RL=2.2 kΩ 58 +9 V 59 60 +14 V 61 RL=2.2 kΩ 62 +6 V 63 64 +15 V 65 RL=2.2 kΩ 66 67 68 +15 V 69 RL=2.2 kΩ 70 71 72 GND 73 74 75 76 77 GND 78 RL=2.2 kΩ 79 +15 V 80 81 82 RL=2.2 kΩ 83 +15 V 84 85 86 RL=2.2 kΩ 87 +6 V 88 89 +14 V 90 RL=2.2 kΩ 91 +9 V 92 93 +5 V 94 GND 95 GND 96 97 98 99 100 記号 P1Hb2 P2Hb2 SGb2 RGb2 SSD SSA OFG NC OFD OSb8 RD NC OG OSb7 NC NC OD8 OSb6 NC NC OD6 OSb5 SSD P1V P3V P2V TGb SSD NC NC OSb4 OD4 NC NC OSb3 OD2 NC OG OSb2 RD NC OFD OSb1 OFG SSA SSD RGb1 SGb1 P2Hb1 P1Hb1 機能 CCD水平レジスタ-b2 クロック1 CCD水平レジスタ-b2 クロック2 サミングゲート-b2 リセットゲート-b2 デジタルGND アナログGND オーバーフローゲート 無接続 オーバーフロードレイン 出力トランジスタソース-b8 リセットドレイン 無接続 出力ゲート 出力トランジスタソース-b7 無接続 無接続 出力ドレイン8 出力トランジスタソース-b6 無接続 無接続 出力ドレイン6 出力トランジスタソース-b5 デジタルGND CCD垂直レジスタ クロック1 CCD垂直レジスタ クロック3 CCD垂直レジスタ クロック2 トランスファーゲート-b デジタルGND 無接続 無接続 出力トランジスタソース-b4 出力ドレイン4 無接続 無接続 出力トランジスタソース-b3 出力ドレイン2 無接続 出力ゲート 出力トランジスタソース-b2 リセットドレイン 無接続 オーバーフロードレイン 出力トランジスタソース-b1 オーバーフローゲート アナログGND デジタルGND リセットゲート-b1 サミングゲート-b1 CCD水平レジスタ-b1 クロック2 CCD水平レジスタ-b1 クロック1 備考 GND GND +5 V +9 V RL=2.2 kΩ +14 V +6 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ GND GND RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V +6 V RL=2.2 kΩ +14 V +9 V RL=2.2 kΩ +5 V GND GND 12 TDI-CCDイメージセンサ ピンNo. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 記号 P1Ha1 P2Ha1 SGa1 RGa1 SSD SSA OFG OSa1 OFD OSa2 RD OSa3 OG OSa4 OD1 OSa5 OD2 OSa6 OD5 OSa7 OD6 OSa8 SSD TGa P2V P3V P1V SSD OSa9 OD9 OSa10 OD10 OSa11 OD13 OSa12 OD14 OSa13 OG OSa14 RD OSa15 OFD OSa16 OFG SSA SSD RGa2 SGa2 P2Ha2 P1Ha2 機能 CCD水平レジスタ-a1 クロック1 CCD水平レジスタ-a1 クロック2 サミングゲート-a1 リセットゲート-a1 デジタルGND アナログGND オーバーフローゲート 出力トランジスタソース-a1 オーバーフロードレイン 出力トランジスタソース-a2 リセットドレイン 出力トランジスタソース-a3 出力ゲート 出力トランジスタソース-a4 出力ドレイン1 出力トランジスタソース-a5 出力ドレイン2 出力トランジスタソース-a6 出力ドレイン5 出力トランジスタソース-a7 出力ドレイン6 出力トランジスタソース-a8 デジタルGND トランスファーゲート-a CCD垂直レジスタ クロック2 CCD垂直レジスタ クロック3 CCD垂直レジスタ クロック1 デジタルGND 出力トランジスタソース-a9 出力ドレイン9 出力トランジスタソース-a10 出力ドレイン10 出力トランジスタソース-a11 出力ドレイン13 出力トランジスタソース-a12 出力ドレイン14 出力トランジスタソース-a13 出力ゲート 出力トランジスタソース-a14 リセットドレイン 出力トランジスタソース-a15 オーバーフロードレイン 出力トランジスタソース-a16 オーバーフローゲート アナログGND デジタルGND リセットゲート-a2 サミングゲート-a2 CCD水平レジスタ-a2 クロック2 CCD水平レジスタ-a2 クロック2 S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 S10202-16-01 備考 ピンNo. 51 52 53 54 GND 55 GND 56 +5 V 57 RL=2.2 kΩ 58 +9 V 59 RL=2.2 kΩ 60 +14 V 61 RL=2.2 kΩ 62 +6 V 63 RL=2.2 kΩ 64 +15 V 65 RL=2.2 kΩ 66 +15 V 67 RL=2.2 kΩ 68 +15 V 69 RL=2.2 kΩ 70 +15 V 71 RL=2.2 kΩ 72 GND 73 74 75 76 77 GND 78 RL=2.2 kΩ 79 +15 V 80 RL=2.2 kΩ 81 +15 V 82 RL=2.2 kΩ 83 +15 V 84 RL=2.2 kΩ 85 +15 V 86 RL=2.2 kΩ 87 +6 V 88 RL=2.2 kΩ 89 +14 V 90 RL=2.2 kΩ 91 +9 V 92 93 L R =2.2 kΩ +5 V 94 GND 95 GND 96 97 98 99 100 記号 P1Hb2 P2Hb2 SGb2 RGb2 SSD SSA OFG OSb16 OFD OSb15 RD OSb14 OG OSb13 OD16 OSb12 OD15 OSb11 OD12 OSb10 OD11 OSb9 SSD P1V P3V P2V TGb SSD OSb8 OD8 OSb7 OD7 OSb6 OD4 OSb5 OD3 OSb4 OG OSb3 RD OSb2 OFD OSb1 OFG SSA SSD RGb1 SGb1 P2Hb1 P1Hb1 機能 CCD水平レジスタ-b2 クロック1 CCD水平レジスタ-b2 クロック2 サミングゲート-b2 リセットゲート-b2 デジタルGND アナログGND オーバーフローゲート 出力トランジスタソース-b16 オーバーフロードレイン 出力トランジスタソース-b15 リセットドレイン 出力トランジスタソース-b14 出力ゲート 出力トランジスタソース-b13 出力ドレイン16 出力トランジスタソース-b12 出力ドレイン15 出力トランジスタソース-b11 出力ドレイン12 出力トランジスタソース-b10 出力ドレイン11 出力トランジスタソース-b9 デジタルGND CCD垂直レジスタ クロック1 CCD垂直レジスタ クロック3 CCD垂直レジスタ クロック2 トランスファーゲート-b デジタルGND 出力トランジスタソース-b8 出力ドレイン8 出力トランジスタソース-b7 出力ドレイン7 出力トランジスタソース-b6 出力ドレイン4 出力トランジスタソース-b5 出力ドレイン3 出力トランジスタソース-b4 出力ゲート 出力トランジスタソース-b3 リセットドレイン 出力トランジスタソース-b2 オーバーフロードレイン 出力トランジスタソース-b1 オーバーフローゲート アナログGND デジタルGND リセットゲート-b1 サミングゲート-b1 CCD水平レジスタ-b1 クロック2 CCD水平レジスタ-b1 クロック1 備考 GND GND +5 V RL=2.2 kΩ +9 V RL=2.2 kΩ +14 V RL=2.2 kΩ +6 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ GND GND RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +15 V RL=2.2 kΩ +6 V RL=2.2 kΩ +14 V RL=2.2 kΩ +9 V RL=2.2 kΩ +5 V GND GND 13 TDI-CCDイメージセンサ S10200-02-01, S10201-04-01, S10202-08-01, S10202-16-01 使用上の注意 (静電対策) ・ センサは、素手あるいは綿の手袋をはめて扱ってください。さらに、摩擦で生じる静電気によるダメージを避けるため、静電防止 服やアース付きリストバンドを身に着けてセンサを取り扱ってください。 ・ 静電気を帯びる可能性のある作業台などの上に、センサを直接置かないでください。 ・ 作業台や作業フロアには、静電気を放電させるためのアース線を接続してください。 ・ センサを取り扱うピンセットやはんだごてなどの道具にもアース線を接続してください。 上記の静電対策については、必ずしもすべてを行う必要はありません。発生する障害の程度に応じて、対策を施してください。 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・製品に関する注意事項とお願い ・イメージセンサ／使用上の注意 技術情報 ・イメージセンサ／用語の説明 TDIカメラ C10000シリーズ 浜松ホトニクスは、裏面入射型TDI-CCDイメージセンサと駆動回 路を内蔵したTDIカメラC10000シリーズを製品化しています。 製品情報 www.hamamatsu.com/jp/ja/C10000-801.html C10000-801 (S10201-04-01 内蔵) C10000-A01 (S10201-04-01 内蔵) 本データシートに掲載された電気的および光学的特性は、動作条件 Typ.で使用した場合の値です。基本的には動作条件のTyp.値で使用することを推奨します。 製品の諸特性は動作条件により変動します。データシートに記載された動作条件は調整可能範囲を示しています。必要に応じて調整をしてください。 本資料の記載内容は、平成27年12月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪĶĮIJijĮIJıġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı 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No. KMPD1098J10 Dec. 2015 DN 14