s11071-1004 etc kmpd1120j

CCDイメージセンサ
S11071/S10420-01シリーズ
エタロニング特性を改善、
高速タイプと低ノイズタイプを用意
S11071/S10420-01シリーズは、分光器用に設計された裏面入射型CCDイメージセンサです。エタロニング特性の改善を
行い、高速タイプ (S11071シリーズ)と低ノイズタイプ (S10420-01シリーズ)を用意しました。紫外から近赤外域において
高い量子効率とともに、フラットに近い分光感度特性を実現しています。
特長
用途
エタロニング特性を改善
分光器など
広い波長範囲で高感度、フラットに近い分光感度特性
高いCCD変換効率: 8 μV/e- (S11071シリーズ)
6.5 μV/e- (S10420-01シリーズ)
高い飽和電荷量で広いダイナミックレンジ
(アンチブルーミング機能付き)
画素サイズ：14 × 14 μm
セレクションガイド
型名
S11071-1004
S11071-1006
S11071-1104
S11071-1106
S10420-1004-01
S10420-1006-01
S10420-1104-01
S10420-1106-01
全画素数
有効画素数
1044
1044
2068
2068
1044
1044
2068
2068
1024
1024
2048
2048
1024
1024
2048
2048
×
×
×
×
×
×
×
×
22
70
22
70
22
70
22
70
×
×
×
×
×
×
×
×
16
64
16
64
16
64
16
64
イメージサイズ
[mm (H) × mm (V)]
14.336
14.336
28.672
28.672
14.336
14.336
28.672
28.672
×
×
×
×
×
×
×
×
0.224
0.896
0.224
0.896
0.224
0.896
0.224
0.896
読み出し速度
max.
(MHz)
適合駆動回路
10
C11288
0.5
C11287
エタロニング特性を改善
エタロニング特性 (代表例)
(Ta=25 °C)
110
100
΀ΗυΣϋΈ٨ၻ຦
90
80
௖చۜഽ (%)
エタロニングは、入射した光がCCDの表面と裏面で反射と減
衰を繰り返す間に、干渉により感度に強弱が現れる現象です。
裏面入射型CCDの場合、Si厚とSiの吸収長との関係から、入
射光が長波長の場合、エタロニングが発生します。当社では
干渉を起こしにくい独自の構造を採用することでエタロニン
グを大幅に軽減した裏面入射型CCD (S11071/S10420-01シ
リーズ)を実現しました。
70
ਲြ຦
60
50
40
30
20
10
0
900 910 920 930 940 950 960 970 980 990 1000
෨ಿ (nm)
KMPDB0284JB
浜松ホトニクス株式会社
1
CCDイメージセンサ
S11071/S10420-01シリーズ
構成
S11071シリーズ
項目
画素サイズ (H × V)
垂直クロック
水平クロック
出力回路
パッケージ
窓材*1
冷却
S10420-01シリーズ
14 × 14 μm
2相
4相
2段MOSFETソースフォロア
1段MOSFETソースフォロア
24ピン セラミックDIP (外形寸法図を参照)
石英ガラス*2
非冷却
*1: 仮付け窓タイプ (例: S11071-1106N, S10420-1106N-01)にも対応が可能です。
*2: 樹脂封止
絶対最大定格 (Ta=25 °C)
項目
動作温度*3
保存温度
出力トランジスタ
S11071シリーズ
ドレイン電圧
S10420-01シリーズ
リセットドレイン電圧
出力アンプ帰還電圧
オーバーフロードレイン電圧
垂直入力ソース電圧
水平入力ソース電圧
オーバーフローゲート電圧
垂直入力ゲート電圧
水平入力ゲート電圧
サミングゲート電圧
出力ゲート電圧
リセットゲート電圧
トランスファーゲート電圧
垂直シフトレジスタクロック電圧
水平シフトレジスタクロック電圧
記号
Topr
Tstg
VOD
VRD
Vret
VOFD
VISV
VISH
VOFG
VIG1V, VIG2V
VIG1H, VIG2H
VSG
VOG
VRG
VTG
VP1V, VP2V
VP1H, VP2H
VP3H, VP4H
Min.
-50
-50
-0.5
-0.5
-0.5
-0.5
-0.5
-0.5
-0.5
-10
-10
-10
-10
-10
-10
-10
-10
Typ.
-
Max.
+50
+70
+25
+30
+18
+18
+18
+18
+18
+15
+15
+15
+15
+15
+15
+15
+15
単位
°C
°C
-10
-
+15
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
*3: パッケージ温度
注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。
動作条件 (MPPモード, Ta=25 °C)
項目
記号
出力トランジスタドレイン電圧
リセットドレイン電圧
オーバーフロードレイン電圧
オーバーフローゲート電圧
出力ゲート電圧
基板電圧
出力アンプ帰還電圧*4
入力ソース
テストポイント
垂直入力ゲート
水平入力ゲート
High
垂直シフトレジスタクロック電圧
Low
High
水平シフトレジスタクロック電圧
Low
サミングゲート電圧
リセットゲート電圧
トランスファーゲート電圧
外部負荷抵抗
High
Low
High
Low
High
Low
VOD
VRD
VOFD
VOFG
VOG
VSS
Vret
VISV, VISH
VIG1V, VIG2V
VIG1H, VIG2H
VP1VH, VP2VH
VP1VL, VP2VL
VP1HH, VP2HH
VP3HH, VP4HH
VP1HL, VP2HL
VP3HL, VP4HL
VSGH
VSGL
VRGH
VRGL
VTGH
VTGL
RL
S11071シリーズ
Min.
Typ.
Max.
12
15
18
14
15
16
11
12
13
0
13
14
4
5
6
0
1
2
VRD
-9
-8
-9
-8
4
6
8
-9
-8
-7
S10420-01シリーズ
Min.
Typ.
Max.
23
24
25
11
12
13
11
12
13
0
12
13
4
5
6
0
-9
-9
4
-9
VRD
-8
-8
6
-8
8
-7
4
6
8
4
6
8
-6
-5
-4
-6
-5
-4
4
-6
4
-6
4
-9
2.0
6
-5
6
-5
6
-8
2.2
8
-4
8
-4
8
-7
2.4
4
-6
4
-6
4
-9
90
6
-5
6
-5
6
-8
100
8
-4
8
-4
8
-7
110
単位
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
kΩ
*4: 出力アンプ帰還電圧は基板電圧に対して正電圧となりますが、電流はセンサから流れ出す方向に流れます。
2
S11071/S10420-01シリーズ
CCDイメージセンサ
電気的特性 (Ta=25 °C)
項目
S11071シリーズ
Min.
Typ.
Max.
fc
5
10
200
600
CP1V, CP2V
400
1200
80
P1H
P2H
C
,C
CP3H, CP4H
160
10
CSG
10
CRG
30
CTG
60
CTE
0.99995 0.99999
Vout
7
8
9
Zo
0.3
P
75
記号
出力信号周波数*5
-1004(-01)
-1006(-01)
垂直シフトレジスタ容量
-1104(-01)
-1106(-01)
-1004(-01)/-1006(-01)
水平シフトレジスタ容量
-1104(-01)/-1106(-01)
サミングゲート容量
リセットゲート容量
-1004(-01)/-1006(-01)
トランスファーゲート容量
-1104(-01)/-1106(-01)
電荷転送効率*6
DC出力レベル*5
出力インピーダンス*5
消費電力*5 *7
S10420-01シリーズ
Min.
Typ.
Max.
0.25
0.5
200
600
400
1200
80
160
10
10
30
60
0.99995 0.99999
17
18
19
10
4
-
単位
MHz
pF
pF
pF
pF
pF
V
kΩ
mW
*5: 負荷抵抗により変わります (S11071シリーズ: VOD=15 V, RL=2.2 kΩ, S10420-01シリーズ: VOD=24 V, RL=100 kΩ)
*6: 飽和出力の半分のときに測定した、1画素当たりの転送効率。
*7: オンチップアンプと負荷抵抗を合わせた消費電力
電気的および光学的特性 (指定のない場合はTa=25 °C)
項目
記号
Vsat
飽和出力電圧
垂直
水平
飽和電荷量
CCD変換効率*8
暗電流*9
読み出しノイズ*10
ダイナミックレンジ*11
Fw
ラインビニング
Sv
DS
Nr
DR
λ
感度波長範囲
感度不均一性*12
PRNU
S11071シリーズ
Min.
Typ.
Max.
Fw × Sv
50
60
150
200
7
8
9
50
500
23
28
6520
8700
200 ～
1100
±3
±10
-
S10420-01シリーズ
Min.
Typ.
Max.
Fw × Sv
50
60
250
300
5.5
6.5
7.5
50
500
6
15
41700 50000
200 ～
1100
±3
±10
-
単位
V
keμV/ee-/pixel/s
e- rms
nm
%
*8: 負荷抵抗により変わります (S11071シリーズ: VOD=15 V, RL=2.2 kΩ, S10420-01シリーズ: VOD=24 V, RL=100 kΩ)
*9: 暗電流は5～7 °Cの冷却で1/2になります。
*10: S11071シリーズ (温度: 25 °C): fc= 2 MHz, S10420-01シリーズ (温度: -40 °C): fc=20 kHz
*11: ダイナミックレンジ = 飽和電荷量／読み出しノイズ
*12: LED光 (ピーク波長: 660 nm)を用いて飽和出力の半分のときに測定。
ۜഽະ޳֚଻ =
ࡥ೰ΩΗȜϋΦͼΒ (peak to peak)
૞࣢
× 100 [%]
3
S11071/S10420-01シリーズ
CCDイメージセンサ
分光感度特性 (窓なし時)*13
窓材の分光透過特性
(Typ. Ta=25 °C)
100
80
൫ًၚ (%)
80
ၾঊ࢘ၚ (%)
(Typ. Ta=25 °C)
100
60
40
60
40
20
20
0
200
400
600
800
1000
1200
0
100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100
෨ಿ (nm)
෨ಿ (nm)
KMPDB0316JA
KMPDB0303JA
*13: 石英ガラスの透過率特性により分光感度は低下します。
暗電流－温度
(Typ.)
100
ճഩၠ (e-/pixel/s)
10
1
0.1
0.01
-50
-40
-30
-20
-10
0
10
20
30
‫أ‬ഽ (°C)
KMPDB0304JA
4
S11071/S10420-01シリーズ
CCDイメージセンサ
デバイス構造 (外形寸法図において上面からみたCCDチップ概念図)
S11071シリーズ
ခْ࢘ள
Thinning
ခْ࢘ள
22
21
20
19
18
17
16
2-bevel
23
2 ૞࣢੄ႁ
Thinning
64
15
14
5
4
3
2
1 2 3 4 5
24
1024
n
କ໹ΏέΠτΐΑΗ
13
4-bevel
1
2
3
4
5
6
4ήρϋ·ْள
କ໹ΏέΠτΐΑΗ
7
8
9
10
11
n
V=16, 64
H=1024, 2048
12
4ήρϋ·ْள
2 ૞࣢੄ႁ
6-bevel
6-bevel
ಕ) ࢕වৣ༷̥࢜ͣࡉ̹ાࣣȂକ໹ΏέΠτΐΑΗ͉Si͈࢚̞໐໦ (ະۜ໐໦)́
ໞ̞̳̦ͩͦ̀͘Ȃಿ෨ಿ͈࢕͉ະۜ໐໦͈Siͬ൫ً̱Ȃକ໹ΏέΠτΐΑΉ
਋࢕̯ͦͥ‫خ‬ෝ଻̦̜̳ͤ͘ȃຈါͅ؊̲̀৭࢕͈̈́̓చॐ࣐̩̺̯̞ͬ̽̀ȃ
KMPDC0343JB
S10420-01シリーズ
ခْ࢘ள
Thinning
ခْ࢘ள
22
21
20
19
18
17
16
2-bevel
23
2n ૞࣢੄ႁ
Thinning
64
15
କ໹ΏέΠτΐΑΗ
14
5
4
3
2
1 2 3 4 5
13
4-bevel
24
1024
1
V=16, 64
H=1024, 2048
2
3
4ήρϋ·ْள
କ໹ΏέΠτΐΑΗ
6-bevel
4
5
6
7
2n ૞࣢੄ႁ
8
9
10
11
12
4ήρϋ·ْள
6-bevel
ಕ) ࢕වৣ༷̥࢜ͣࡉ̹ાࣣȂକ໹ΏέΠτΐΑΗ͉Si͈࢚̞໐໦ (ະۜ໐໦)́
ໞ̞̳̦ͩͦ̀͘Ȃಿ෨ಿ͈࢕͉ະۜ໐໦͈Siͬ൫ً̱Ȃକ໹ΏέΠτΐΑΉ
਋࢕̯ͦͥ‫خ‬ෝ଻̦̜̳ͤ͘ȃຈါͅ؊̲̀৭࢕͈̈́̓చॐ࣐̩̺̯̞ͬ̽̀ȃ
KMPDC0269JC
5
CCDイメージセンサ
S11071/S10420-01シリーズ
タイミングチャート (ラインビニング)
ಇୟশ‫ۼ‬
(ΏλΛΗ‫)ٳ‬
Tpwv
1
P1V
଒ೄΫΣϋΈ‫ۼܢ‬
උ͙੄̱‫ۼܢ‬
(ΏλΛΗ໾)
(ΏλΛΗ໾)
3...21 22←16 + 6 (bevel): S11071/S10420-1004 (-01), -1104 (-01)
3...69 70←64 + 6 (bevel): S11071/S10420-1006 (-01), -1106 (-01)
2
Tovr
P2V, TG
Tpwh, Tpws Tovrh
1
P1H
2
3
4...1043 1044: S11071/S10420-1004 (-01), -1006 (-01)
4...2067 2068: S11071/S10420-1104 (-01), -1106 (-01)
P2H
P3H
P4H, SG
Tpwr
RG
OS
D1
D2
D19
D20
D3...D10, S1...S1024, D11...D18: S11071/S10420-1004 (-01), -1006 (-01)
S1...S2048
: S11071/S10420-1104 (-01), -1106 (-01)
KMPDC0270JD
項目
記号
14
パルス幅*
上昇／下降時間*14
パルス幅*14
上昇／下降時間*14
P1H, P2H, P3H, P4H
パルスオーバーラップ時間
デューティ比*14
パルス幅*14
上昇／下降時間*14
SG
パルスオーバーラップ時間
デューティ比*14
パルス幅
RG
上昇／下降時間
オーバーラップ時間
TG - P1H
P1V, P2V, TG
Tpwv
Tprv, Tpfv
Tpwh
Tprh, Tpfh
Tovrh
Tpws
Tprs, Tpfs
Tovrh
Tpwr
Tprr, Tpfr
Tovr
S11071シリーズ
Min.
Typ.
Max.
1
8
20
50
100
10
25
50
40
50
60
50
100
10
25
50
40
50
60
5
50
5
1
2
-
S10420-01シリーズ
Min.
Typ.
Max.
6
8
20
1000
2000
10
500
1000
40
50
60
1000
2000
10
500
1000
40
50
60
100
1000
5
1
2
-
単位
μs
ns
ns
ns
ns
%
ns
ns
ns
%
ns
ns
μs
*14: 最大パルス振幅の50%のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。
6
CCDイメージセンサ
S11071/S10420-01シリーズ
外形寸法図 (単位: mm)
3.3 ± 0.35
A
B
10.03 ± 0.3
13
+0.05
12
0.25-0.03
1
ͼϋΟΛ·ΑζȜ·
27.94 ± 0.3
0.46 ± 0.05
1.27 ± 0.2
2.54 ± 0.13
਋࢕࿂
1.47 ± 0.18
3.0 ± 0.5
1.27 ± 0.25
38.10 ± 0.4
ͼϋΟΛ·ΑζȜ·
10.41 ± 0.25
24
߿ྴ
਋࢕໐
A
B
-1004 (-01) 14.336 (H)
0.224 (V)
S11071/ -1006 (-01) 14.336 (H)
S10420 -1104 (-01) 28.672 (H)
0.896 (V)
-1106 (-01) 28.672 (H)
0.896 (V)
0.224 (V)
KMPDA0223JD
7
CCDイメージセンサ
S11071/S10420-01シリーズ
ピン接続
S11071シリーズ
ピンNo.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
記号
OS
OD
OG
SG
Vret
RD
P4H
P3H
P2H
P1H
IG2H
IG1H
OFG
OFD
ISH
ISV
SS
RD
IG2V
IG1V
P2V
P1V
TG
RG
機能
出力トランジスタソース
出力トランジスタドレイン
出力ゲート
サミングゲート
アンプ出力返還
リセットドレイン
CCD水平レジスタ クロック-4
CCD水平レジスタ クロック-3
CCD水平レジスタ クロック-2
CCD水平レジスタ クロック-1
テストポイント (水平入力ゲート-2)
テストポイント (水平入力ゲート-1)
オーバーフローゲート
オーバーフロードレイン
テストポイント (水平入力ソース)
テストポイント (垂直入力ソース)
基板
リセットドレイン
テストポイント (垂直入力ゲート-2)
テストポイント (垂直入力ゲート-1)
CCD垂直レジスタ クロック-2
CCD垂直レジスタ クロック-1
トランスファーゲート
リセットゲート
備考 (標準動作)
RL=2.2 kΩ
+15 V
+5 V
P4Hと同タイミング
+1 V
+15 V
-8 V
-8 V
+13 V
+12 V
RDに接続
RDに接続
GND
+15 V
-8 V
-8 V
P2Vと同タイミング
S10420-01シリーズ
ピンNo.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
記号
OS
OD
OG
SG
SS
RD
P4H
P3H
P2H
P1H
IG2H
IG1H
OFG
OFD
ISH
ISV
SS
RD
IG2V
IG1V
P2V
P1V
TG
RG
機能
出力トランジスタソース
出力トランジスタドレイン
出力ゲート
サミングゲート
基板
リセットドレイン
CCD水平レジスタ クロック-4
CCD水平レジスタ クロック-3
CCD水平レジスタ クロック-2
CCD水平レジスタ クロック-1
テストポイント (水平入力ゲート-2)
テストポイント (水平入力ゲート-1)
オーバーフローゲート
オーバーフロードレイン
テストポイント (水平入力ソース)
テストポイント (垂直入力ソース)
基板
リセットドレイン
テストポイント (垂直入力ゲート-2)
テストポイント (垂直入力ゲート-1)
CCD垂直レジスタ クロック-2
CCD垂直レジスタ クロック-1
トランスファーゲート
リセットゲート
備考 (標準動作)
RL=100 kΩ
+24 V
+5 V
P4Hと同タイミング
GND
+12 V
-8 V
-8 V
+12 V
+12 V
RDに接続
RDに接続
GND
+12 V
-8 V
-8 V
P2Vと同タイミング
8
CCDイメージセンサ
S11071/S10420-01シリーズ
使用上の注意 (静電対策)
・センサは、素手あるいは綿の手袋をはめて扱うようにしてください。さらに、摩擦で生じる静電気によるダメージを避けるため、
静電防止服やアース付きリストバンドを身に着けてセンサを取り扱ってください。
・静電気を帯びる可能性のある作業台やフロアの上にセンサを直接置かないでください。
・作業台や作業フロアには、静電気を放電させるためのアース線を接続してください。
・センサを取り扱うピンセットやはんだごてなどの道具にもアース線を接続してください。
上記の静電対策は必ずしもすべて行う必要はありません。発生する障害の程度に応じて対策を施してください。
関連情報
www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html
注意事項
・注意事項とお願い
・イメージセンサ／使用上の注意
技術情報
・FFT-CCDエリアイメージセンサ／技術資料
・イメージセンサ／用語の解説
CCDイメージセンサ (S10420-01/S11071シリーズ)用駆動回路 C11287/C11288 [別売]
C11287はS10420-01シリーズ用、C11288はS11071シリーズ用の駆動回路です。CCDイメージセンサと組み合わせて分光器などに使用
できます。
特長
14ビットA/D変換器内蔵
PCとのインターフェース: USB 2.0
電源: USBバスパワーで動作 (C11287)
DC+5 V駆動 (C11288)
C11287
C11288
9
CCDイメージセンサ
S11071/S10420-01シリーズ
本資料の記載内容は、平成26年2月現在のものです。
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Cat. No. KMPD1120J09 Feb. 2014 DN
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