静電気 除去 L12542 静電気除去ユニット VUVイオナイザ 真空中での静電気除去 概要 真空紫外光を利用した静電気除去ユニットです。 弊社従来品に比べ、約3倍の広角照射を実現し、減圧下 での広い面積の除電が可能となりました。 従来品からの照射角度の拡大により、広い面積の除電に は複数台必要であった問題を解消しました。 左：光源部、右：電源部 特長 ●大面積照射 ●減圧下での高いイオン生成能力 ●送風が不要 ●逆帯電がない ●塵・電磁ノイズの発生「0」 ●長寿命 照射面積 約9倍 真空チャンバ ウェーハ 真空フランジ 静電チャック L12542 真空チャンバ 応用例 ●静電チャックのデチャック ●半導体製造装置（真空プロセス） ●液晶製造装置 ●有機EL製造装置 ●ハードディスク製造装置 ●フィルム製造装置 真空フランジ ウェーハ 弊社従来品 静電チャック TLSZC0015JB 除電効果 除電時間−距離 5 除電時間−真空度 TLSZB0113JA 0.7 測定条件 帯電プレート: 25 mm 帯電電圧: 1 kV → 100 V 真空度: 1 × 10-2 Pa 4.5 4 0.6 測定条件 帯電プレート: 25 mm 帯電電圧: 1 kV → 100 V 光源出力窓−帯電プレート間距離: 300 mm 0.5 除電時間 (s) 3.5 除電時間 (s) TLSZB0114JA 3 プラス帯電 マイナス帯電 2.5 2 1.5 0.4 プラス帯電 マイナス帯電 0.3 0.2 1 0.1 0.5 0 0 200 400 600 800 1000 1200 0 0.0001 1400 0.001 0.01 0.1 1 10 真空度 (Pa) 光源出力窓−帯電プレート間距離 (mm) 仕様 ●一般定格 項目 内容・値 115 ∼ 400 MgF2 冷却ファンによる空冷 +10 ∼ +40 0 ∼ +60 80 %以下（結露しないこと） 85 %以下（結露しないこと） 発光波長範囲1 窓材質 冷却方式 動作温度範囲 保存温度範囲 動作湿度範囲 保存湿度範囲 単位 nm ― ― ℃ ℃ ― ― 1ランプからは、 目や皮膚に有害な強い紫外線が出ていますので、直視したり放射光を直接皮膚に当てないで下さい。 ●標準動作条件および特性 (at 25 ℃) 内容・値 25±5 2000（保証） 500（推定） 100 V ∼ 240 V（100 V/200 V自動切替）、単相50 Hz / 60 Hz 90 項目 予熱時間 230 nm 160 nm 光源部寿命 2 入力電圧 (AC) 消費電力 (Max.) 単位 秒 時間 ― VA 2弊社測定条件で、光出力が初期値の50 %に低下した時点としています。光出力の減衰は真空装置の環境に大きく左右されます。 ※リプレイス光源についてはL12565をご指定ください。 発光スペクトル分布 100 配光特性 TLSOB0079JC 相対光出力 (%) 100 80 80 相対光出力 (%) 60 40 60 20 0 40 -20 -40 20 -60 0 100 30° 20° 10° 0° 角度 -10° -20° -30° -80 120 140 160 180 200 220 240 400 -100 波長 (nm) VUVイオナイザ L12542 弊社従来品 TLSZB0105JB 外形寸法図 （単位：mm） ●光源部（質量：約530 g) 160 ± 4 42 ± 4 発光点 真空フランジ取付部 78 ± 2 ( 26) 48.0 ± 0.1 60 19 コネクタ（電源接続部） 冷却ファン TLSZA0031JB ●電源部（質量：約1.8 kg) 外部制御端子コネクタ 上面図 コネクタ （光源接続部） 電源スイッチ 冷却ファン 重水素ランプステータス信号 重水素ランプ ON / OFF制御 CONT DEUTERIUM LAMP POWER SUPPLY POWER POWER 90 OUTPUT LAMP LINE INPUT F1 : T 2A. 250V 117 200 正面図 側面図 背面図 光源・電源接続ケーブル長: 1800 ± 50 TLSZA0032JB 関連製品 ■真空フランジ ●概要 専用の真空フランジを用意しています。取り付けフランジE3444-02は、ICF114フランジ仕様となってい ますので、真空装置のポートなどに簡単に取り付けることができます。このほか、JISフランジ仕様などの フランジも取り揃えておりますので、使用される真空容器に合わせてお選びください。 ●仕様 項目 E3444 気密方法 フランジ 適合フランジ リーク量 一般用 ― 1.33 × 10-4 E3444-01 E3444-02 Oリング JIS VF50 ICF114 JIS VG50 ICF114 Pa L/s以下 (1 × 10-6 Torr L/s) ●外形寸法図（単位: mm） E3444 40 4- 8.4 10 Oリング 70.0 ± 0.3 P.C.D. 106 40 120 7 20 TLSOA0097JB 40 E3444-01 4- 10 10 Oリング 70.0 ± 0.3 P.C.D. 100 40 120 7 20 TLSOA0098JB E3444-02 47.5 17.5 8- 8.4 Oリング 70.0 ± 0.3 114 P.C.D. 92.2 40 7 20 TLSOA0053JC ●本資料の記載内容は平成26年11月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。 □仙台営業所 〒980-0011 □筑波営業所 〒305-0817 □東京営業所 〒105-0001 □中部営業所 〒430-8587 □大阪営業所 〒541-0052 □西日本営業所 〒812-0013 WEB SITE www.hamamatsu.com 仙台市青葉区上杉1-6-11（日本生命仙台勾当台ビル2階） TEL (022)267-0121 つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階） TEL (029)848-5080 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階） TEL (03)3436-0491 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル4階） TEL (053)459-1112 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階） TEL (06)6271-0441 福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階） TEL (092)482-0390 □電子管営業推進部 〒438-0193 静岡県磐田市下神増314-5 TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205 FAX (022)267-0135 FAX (029)855-1135 FAX (03)3433-6997 FAX (053)459-1114 FAX (06)6271-0450 FAX (092)482-0550 TLSZ1018J03 NOV. 2014 IP