VUV 光源 H2D2光源ユニット L11798/-01, L11799/-01 概要 H2D2光源ユニットは当社従来品（L2D2ランプ） に比べ、輝度6倍の高輝度・高性能重水素ランプ （H2D2ランプ）が内蔵されています。高輝度であ りながら、高安定、長寿命を実現し、また、専用の ハウジングを採用することにより空冷動作を可能に しました。それにより従来の水冷式に比べ、使い易 さを格段に向上しました。 各種用途への使用が可能で、装置のさらなる高感度 化と高スループットを実現します。 TLSZF0047 左：光源部 、右：電源部 輝度分布特性 特長 650 TLS B0007JB 600 高輝度 6倍 550 500 450 相対光出力 (%) ●高輝度: 6倍（当社従来品比） ●高安定: フラツキ 0.05 %p-p（Max.） ドリフト ±0.3 %/h（Max.） ●長寿命: 1000時間保証 ●空冷（冷却水不要） ●外部制御可能 ●ランプリプレイス可能 400 H2D2ランプ 350 当社従来品 X2D2ランプ L2D2ランプ ( 0.5 mm) 300 250 200 用途 ●半導体検査装置 ●膜厚計用光源 ●真空紫外線による静電気除去 ●分光光度計用光源 ●環境計測用光源 ●各種光学部品検査用光源 150 100 50 0 -2.5 -2 -1.5 -1 -0.5 0 0.5 1 アパーチャ中心からの距離 (mm) 1.5 2 2.5 構成品 型名 L11798 L11798-01 L11799 L11799-01 内蔵ランプ ○ (L12098) ○ (L12098) ○ (L12099) ○ (L12099) 光源・電源接続ケーブル ○ ○ ○ ○ 電源 ○ ○ ○ ○ ACケーブル ○ ○ ○ ○ 仕様 ●一般定格 項目 発光波長範囲 窓材質 アパーチャサイズ（発光点） 冷却方式 1 動作温度範囲 保存温度範囲 動作湿度範囲 保存湿度範囲 L11798 L11798-01 L11799 L11799-01 115 ∼ 400 160 ∼ 400 MgF2 合成石英 φ0.6 冷却ファンによる空冷 高圧エアによる空冷 冷却ファンによる空冷 高圧エアによる空冷 +10 ∼ +40 0 ∼ +60 80 %以下（結露なきこと） 85 %以下（結露なきこと） 単位 nm ― mm ― ℃ ℃ ― ― 1冷却ファンは標準で付属しております。高圧エアについてはお客様でご用意ください。 ●標準動作条件および特性 (at 25 ℃) 項目 予熱時間 フラツキ (p-p) (Max.) 出力変動 at 230 nm ドリフト (Max.) 光源部保証寿命 2 入力電圧 (AC) 消費電力 (Max.) L11798 L11798-01 L11799 L11799-01 約30 0.05 ±0.3 1000 100 V ∼ 240 V（100 V / 200 V自動切替）、単相50 Hz / 60 Hz 200 単位 秒 % %/h 時間 ― VA 2寿命の定義は230 nmでの光量が初期値の50 ％に低下した時点としています。 ●リプレイスランプ（別売） 項目 L12098 115 ∼ 400 MgF2 L11798/L11798-01 放射波長範囲 窓材質 適用光源 L12099 160 ∼ 400 合成石英 L11799/L11799-01 単位 nm ― ― 発光スペクトル分布 ●L11798/-01 (MgF2窓) ●L11799/-01 (合成石英窓) TLS B0008JA 100 100 80 80 相対光出力 (%) 相対光出力 (%) TLSOB0079JB 60 40 20 0 100 60 40 20 120 140 160 180 波長 (nm) 200 220 240 400 0 160 200 240 280 波長 (nm) 320 360 400 外形寸法図 （単位：mm） ●光源部 （質量：約1.3 kg) L11798, L11799 A B 発光点 104 ± 2 ( 26) 48.0 ± 0.1 70 44.3 H2D2ランプ 真空フランジ取付部 (L11798) コネクタ（電源接続部） 型名 L11798 L11799 冷却ファン 寸法A 240 ± 4 215 ± 4 寸法B 110 ± 4 88 ± 4 TLS A0007JA L11798-01, L11799-01 A B 78 ( 26) 48.0 ± 0.1 70 チューブジョイント 発光点 44.3 ▲冷却部 H2D2ランプ 真空フランジ取付部 (L11798-01) コネクタ（電源接続部） 型名 L11798-01 L11799-01 寸法A 231 ± 4 204 ± 4 寸法B 110 ± 4 88 ± 4 TLS A0008JB ●電源部（質量：約2.8 kg) 上面図 LED AUTO OPEN 冷却ファン POWER ON C11472 103 LAMP ON/OFF コネクタ（光源接続部） 280 123 DEUTERIUMU LAMP POWER SUPPLY 298 OFF OUTPUT O.H.P INTERFACE AC INPUT ランプ点灯スイッチ 正面図 電源スイッチ 側面図 背面図 外部制御コネクタ アラーム信号 重水素ランプステイタス信号 重水素ランプ ON / OFF制御 光源・電源接続ケーブル長: 2000 ± 50 TLS A0009JB 関連製品 ■真空フランジ ●概要 専用の真空フランジを用意しています。取り付けフランジE3444-02は、ICF114フランジ仕様となってい ますので、真空装置のポートなどに簡単に取り付けることができます。このほか、JISフランジ仕様などの フランジも取り揃えておりますので、使用される真空容器に合わせてお選びください。 ●仕様 項目 E3444 気密方法 フランジ 適合フランジ リーク量 一般用 ― 1.33 × 10-4 E3444-01 E3444-02 Oリング JIS VF50 ICF114 JIS VG50 ICF114 Pa L/s以下 (1 × 10-6 Torr L/s) ※真空引き可能なタイプは L11798, L11798-01となります。L11799, L11799-01は真空引きに対応しておりません。 ●外形寸法図（単位: mm） E3444 40 4- 8.4 10 Oリング 70.0 ± 0.3 P.C.D. 106 40 120 7 20 TLSOA0097JB 40 E3444-01 4- 10 10 Oリング 70.0 ± 0.3 P.C.D. 100 40 120 7 20 TLSOA0098JB E3444-02 47.5 17.5 8- 8.4 Oリング 70.0 ± 0.3 114 P.C.D. 92.2 40 7 20 TLSOA0053JC ●本資料の記載内容は平成26年11月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。 □仙台営業所 〒980-0011 □筑波営業所 〒305-0817 □東京営業所 〒105-0001 □中部営業所 〒430-8587 □大阪営業所 〒541-0052 □西日本営業所 〒812-0013 WEB SITE www.hamamatsu.com 仙台市青葉区上杉1-6-11（日本生命仙台勾当台ビル2階） TEL (022)267-0121 つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階） TEL (029)848-5080 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階） TEL (03)3436-0491 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル4階） TEL (053)459-1112 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階） TEL (06)6271-0441 福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階） TEL (092)482-0390 □電子管営業推進部 〒438-0193 静岡県磐田市下神増314-5 TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205 FAX (022)267-0135 FAX (029)855-1135 FAX (03)3433-6997 FAX (053)459-1114 FAX (06)6271-0450 FAX (092)482-0550 TLSZ1014J05 NOV. 2014 IP