プリアンプ付Si フォトダイオード S9295シリーズ 大面積フォトダイオードとオペアンプ、 電子冷却素子を1パッケージに内蔵 S9295シリーズは、微弱光検出用として開発された電子冷却型プリアンプ内蔵Siフォトダイオードです。大面積Siフォトダイオー ドとオペアンプ、電子冷却素子、フィードバック抵抗 (10 GΩ)を1パッケージに内蔵しĂサーミスタによる温度コントロールによって フォトダイオード、I-V変換回路を冷却し、安定化できます。低雑音、低NEPを特長としており、特にNOx検出用に適しています。ま た、フォトダイオード受光面をGND端子に接続することで、EMCノイズに強い構造となっています。 特長 用途 大受光面サイズ: 10 × 10 mm NOx検出センサ 微弱光測光など 紫外~近赤外精密測光用Siフォトダイオードを使用 小型ハーメチックシールパッケージ、サファイア窓 高性能FET入力オペアンプを使用 高ゲイン:Rf=10 GΩ 低ノイズ、低NEP 高い冷却効率 S9295 : ΔT=50 °C S9295-01: ΔT=30 °C サーミスタ内蔵のため高安定 EMCノイズ対策 S9295シリーズは、静電気によって破壊または劣化する危険性があります。使用上の注意をご覧ください。 絶対最大定格 項目 電源電圧 (プリアンプ部) 動作温度 保存温度 電子冷却素子許容電圧*1 電子冷却素子許容電流 サーミスタ許容損失 推奨動作条件 記号 Vcc Topr Tstg Vte Ite Pth 定格値 ±20 V -30~+60 °C -40~+80 °C 5 V*2 1A 0.2 mW 項目 電源電圧 (プリアンプ部) 電子冷却素子電流 サーミスタ許容損失 負荷抵抗 記号 Vcc Ite Pth RL 仕様 ±5~±15 V 0.8 A max. 0.03 mW max. 100 kΩ min. *1: 最大リップル: 10 % *2: S9295-01: 3.7 V 注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れが あります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 浜松ホトニクス株式会社 1 S9295シリーズ プリアンプ付Si フォトダイオード 電気的および光学的特性 (Typ. Vcc=±15 V, RL=1 MΩ) 項目 記号 感度波長範囲 最大感度波長 フィードバック抵抗 (内蔵)*3 λ λp Rf 受光感度 S S9295-01 Td=-5 °C 190 ~ 1100 960 10 0.9 5.1 λ=200 nm λ=λp 暗状態, f=10 Hz λ=λp, f=10 Hz 暗状態 -3 dB Vn NEP Vos fc Vo Icc Rth 出力雑音電圧 雑音等価電力 出力オフセット電圧 遮断周波数 出力電圧振幅 電源電流 サーミスタ抵抗 S9295 Td=-25 °C 条件 nm nm GΩ V/nW 20 4 μV rms/Hz1/2 fW/Hz1/2 mV Hz V mA kΩ 25 5 ±2 190 180 13 0.3 暗状態 単位 86 30 *3: Rfの変更およびCfの内蔵などのカスタム対応も可能です。 分光感度特性 周波数特性 (Typ. Vcc=±15 V) 6 (Typ. Vcc=±15 V) 10 S9295 (Td=-25 °C) 5 చႁ (dB) ۜഽ (V/nW) 0 4 3 S9295 (Td=-25 °C) S9295-01 (Td=-5 °C) 2 -10 -20 S9295-01 (Td=-5 °C) 1 0 200 400 600 800 1000 -30 10 100 1000 10000 ਔ෨ତ (Hz) ෨ಿ (nm) KSPDB0228JA KSPDB0229JA 2 S9295シリーズ プリアンプ付Si フォトダイオード 雑音等価電力-周波数 出力雑音電圧-周波数 (Typ. Vcc=±15 V) S9295-01 (Td=-5 °C) 102 S9295 (Td=-25 °C) 10 1 0 10 1 10 100 1000 (Typ. Vcc=±15 V) 10-3 ႁॠإഩգ (V rms/Hz1/2) ॠإ൝ثഩႁ (fW/Hz1/2) 103 S9295 (Td=-25 °C) 10 -5 10-6 10-7 10000 S9295-01 (Td=-5 °C) 10-4 1 10 ਔ෨ତ (Hz) 100 1000 10000 ਔ෨ତ (Hz) KSPDB0230JB KSPDB0231JA 素子温度-電子冷却素子電流 S9295 S9295-01 5 20 ளঊأഽ Td (°C) Vte vs. Ite 10 4 Td vs. Ite 0 3 3 -10 2 1 1 -20 0 1.0 -30 0.4 0.6 0.8 ഩঊ႖ݕளঊഩၠ Ite (A) 4 Vte vs. Ite 0 -20 0.2 5 10 2 0 6 Td vs. Ite -10 -30 (Typ. Ta=25 °C) 0 0.2 0.4 0.6 0.8 ഩঊ႖ݕளঊഩգ Vte (V) 30 ளঊأഽ Td (°C) 20 6 ഩঊ႖ݕளঊഩգ Vte (V) (Typ. Ta=25 °C) 30 0 1.0 ഩঊ႖ݕளঊഩၠ Ite (A) KSPDB0151JB KSPDB0172JB 3 S9295シリーズ プリアンプ付Si フォトダイオード 回路図 ഩঊ႖ݕளঊ + Vcc+ ΩΛΉȜΐ Rf=10 GΩ ȜηΑΗ - ഩঊ႖ݕளঊ S9295: 2 S9295-01: 1 έΠ ΘͼȜΡ OUT + GND ΉȜΑ Vcc- NC KSPDC0047JA サーミスタ抵抗の温度特性 (Typ.) 120 ȜηΑΗࢯ (kΩ) 100 80 60 40 20 0 -30 -20 -10 0 10 20 30 أഽ (°C) KSPDB0152JA 4 プリアンプ付Si フォトダイオード S9295シリーズ 外形寸法図 (単位: mm) S9295 42.0 ± 0.4 42.0 ± 0.4 34.0 ± 0.2 34.0 ± 0.2 ϕ24.3 ± 0.2 ϕ24.3 ± 0.2 වৣௗ ϕ16.0 ± 0.2 ໐ (2 ×) ϕ4 7.0 ± 0.3 (4.7) 17.8 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 7.6 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 17.8 ± 0.3 ࿂ ϕ1.0 ςȜΡ 0.9 ± 0.2 έͼͺௗ (t=0.5) 19 ± 1 6.0 0.9 ± 0.2 έͼͺௗ (t=0.5) 19 ± 1 13.5 ± 0.3 ϕ27.4 ± 0.3 ϕ27.4 ± 0.3 (2 ×) ϕ4 ࿂ ϕ1.0 ςȜΡ වৣௗ ϕ16.0 ± 0.2 7.6 ± 0.3 ໐ S9295-01 KSPDA0079JB KSPDA0071JC 電源電圧端子 (④⑩)にはバイパスコンデンサとして0.1~10 μFのタンタルあるいはセラミックコンデンサを必ず接続してください。 5 プリアンプ付Si フォトダイオード S9295シリーズ 使用上の注意 静電破壊 S9295シリーズは人体に帯電する静電気、測定装置からのサージ電圧、はんだごての漏洩電圧、梱包材などにより破壊または劣化を起こす可 能性があります。 静電気対策には、素子、作業者、作業場所、治具など全て同電位とすることが必要です。使用に際して以下の事項にご注意ください。 ・作業者および衣服に帯電した静電気による破壊を防止するため、リストストラップなどで人体を高抵抗 (1 MΩ)を介してアースしてください。 ・作業場所は作業台と床に半導電シート (1 MΩ~10 MΩ)を敷いてアースしてください。 ・はんだごては絶縁抵抗が10 MΩ以上のものを使用し、アースしてください。 ・運搬、梱包の容器は、導電性材料やアルミ箔などを使用するのが有効です。帯電防止材料では、0.1 MΩ/cm2 ~1 GΩ/cm2のものをご使用ください。 強度 ・電子冷却素子は落下などによる衝撃により破損する恐れがありますので、取り扱いは十分注意してください。 リード曲げ ・リードを加工する際、リード固定ガラスに過度の力をかけないよう注意してください。ハーメチック・シールが破壊され、冷却能力が低下す る場合があります。必要ならばリード根元をペンチなどで押さえて加工するようにしてください。 放熱器 ・放熱器は熱抵抗1.3 ° C/W以下のものを使用してください。素子はサーマルグリスを使ってネジで固定してください。放熱器への固定時は、 素子に歪みや必要以上の力がかからないように十分注意してください。 配線 ・電子冷却素子、プリアンプなどの極性を間違えて電圧・電流を印加すると素子が破損しますので注意してください。 ・S9295シリーズは高いフィードバック抵抗を内蔵しているため、非常に外来ノイズの影響を受けやすい構造となっています。ご使用の際は、 ケース端子は必ずGNDに終端してご使用ください。 紫外線照射時 ・紫外線照射により、製品の紫外感度の低下、暗電流の増加といった特性の劣化が生じることがあります。この現象は、照射量・照射強度・使用時 間・使用環境によって異なり、製品種によっても違います。製品を採用する前に、使用する紫外線環境下で耐性確認をすることを推奨します。 ・紫外線の照射により、製品の構成材料の接着に使用されている樹脂からガスが発生して特性が劣化する場合があります。このためアパーチャ などを用いて紫外線を樹脂へ直接照射することを避け、受光部の内側にだけ紫外線を照射することを推奨します。 6 プリアンプ付Si フォトダイオード S9295シリーズ 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・ 製品に関する注意事項とお願い ・ メタル・セラミック・プラスチックパッケージ製品/使用上の注意 技術情報 ・ Siフォトダイオード/技術資料 ・ Siフォトダイオード/用語の説明 ・ Siフォトダイオード/信頼性 ・ Siフォトダイオード/応用回路例 本資料の記載内容は、平成27年10月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪĶĮIJijĮIJıġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KMPD1064J04 Oct. 2015 DN 7