キセノンランプ・水銀キセノンランプ

高安定キセノンランプ
高安定水銀キセノンランプ
概要
特長
●高安定キセノンランプ
太陽光に近い白色光で色温度が6000 Kと高く、キセノンガス
を封入したランプです。キセノンガスによる紫外から赤外域
(185 nm∼2000 nm)に幅広い連続スペクトルを持っていま
す。分光光度計をはじめ各種測光用光源として最適です。
102
TLSXB0138JC
102
101
101
150 Wキセノンランプ (L2273)
100
100
10-1
10-1
10-2
10-2
海面上(海抜0 m)における太陽光
10-3
200
400
600
800
1000
1200
1400
1600
10-3
2000
1800
海面上における太陽光の放射照度 (mW/cm2 ·nm-1)
キセノンランプの放射照度 (µW·cm-2 ·nm-1) at 50 cm
放射スペクトル分布
●アーク発光点移動なし
●高安定
キセノンランプ :フラツキ (p-p)
ドリフト
水銀キセノンランプ:フラツキ (p-p)
ドリフト
●長寿命
●低ワット入力からのラインナップ
●高輝度、点光源
●高い色温度 6000 K(高安定キセノンランプ)
●高い紫外強度(高安定水銀キセノンランプ)
波長 (nm)
●高安定水銀キセノンランプ
紫外域で特に高いエネルギーが得られる、キセノンガスと水
銀を混合封入したランプです。キセノンガスによる紫外から
赤外域に幅広い連続スペクトルと、水銀による紫外から可視
域に強い輝線を合わせ持っています。
キセノンランプに比べ紫外領域におけるスペクトル幅はシャープで、
ピークが高いため、紫外用光源として最適です。
放射スペクトル分布
放射照度 (µW·cm-2 ·nm-1) at 50 cm
103
TLSXB0139JC
102
200 W水銀キセノンランプ (L2423)
10-1
ハロゲンランプ (24 V-150 W)
10-2
300
400
500
600
700
800
900
1000
波長 (nm)
103
TLSXB0140JB
200 W水銀キセノンランプ (L2423)
放射照度 (µW·cm-2 ·nm-1) at 50 cm
●高安定キセノンランプ
・分光光度計
・液体クロマトグラフ
・蛍光光度計
・顕微鏡用照明
・色彩測定器、カラースキャナ
・ソーラシミュレータ 等
●高安定水銀キセノンランプ
・ウェーハ検査装置
・半導体露光装置
・蛍光顕微鏡用照明
・血液分析計
・紫外線照射装置 等
100
10-3
200
102
101
100
30 W重水素ランプ
10-1
10-2
10-3
200
2
用途
150 Wキセノンランプ (L2273)
101
300
波長 (nm)
400
0.2 % Typ.
1.0 % Max.
±0.5 % / h Typ.
0.5 % Typ.
2.0 % Max.
±0.5 % / h Typ.
アークの“安定性(フラツキ)”と“移動”
精密測光用光源としてのランプにはアークの安定性が要求さ
図3 陰極先端部の消耗比較
れます。従来の陰極には2つの欠点がありました。陰極の電
当社の高性能BI陰極
点灯初期(5時間後)
子放出不足によりアーク発光点が不安定に動き回ることと、
点灯1000時間後
陽極
動作時間経過とともに陰極先端部が消耗し、アーク発光点が徐々
に移動することです。
当社は独自に開発した高性能BI陰極を採用しているため、こ
のような欠点はなく、高安定を実現します。
また、動作時間に伴う先端消耗がなくアーク発光点が移動し
陰極
ないため、ランプの寿命時間まで光学系を再調整する必要が
TLSXF0048
ありません。
図1 「動作時間に対するフラツキの変化」測定装置構成図
高安定キセノンランプ
高安定水銀キセノンランプ
窓 20 mm
従来の陰極
点灯初期(5時間後)
点灯1000時間後
陽極
NDフィルタ
アパーチャ 5 mm
アンプ
シリコンフォトダイオード
(S1226)
電源
陰極
コンピュータ
TLSXF0048
TLSXC0050JD
150 W高安定キセノンランプ L2273
200 W高安定水銀キセノンランプ L2423
a) 点灯初期(5 時間後)
a) 点灯初期(5 時間後)
1%
1%
図2 動作時間に対するフラツキの変化
b) 点灯1000 時間後
b) 点灯1000 時間後
1%
2分
1%
2分
2分
c) 点灯2000 時間後
c) 点灯2000 時間後
1%
1%
2分
2分
2分
TLSXB0129JA
1%
d) 点灯3000 時間後
2分
TLSXB0128JA
3
構造・動作
特性
形状は、楕円球の石英バルブ内に陰極と陽極を対向して配置
●放射スペクトル分布
しており、高安定キセノンランプのバルブ内には高圧の高純
高安定キセノンランプ
度キセノンガス、高安定水銀キセノンランプのバルブ内には
放射スペクトルは紫外、可視、赤外域にわたって連続しており、
高圧の高純度キセノンガスと高純度水銀を封入しています。
可視域から赤外域に若干の輝線があります。
ランプはアーク放電の発光を光源として利用したもので、垂
直(陽極を上)または水平(垂直のみのタイプもあります)
高安定水銀キセノンランプ
に取り付け、直流電流で動作させます。陰極と陽極へ所定の
放射スペクトルは紫外から可視域にわたって強力な輝線があり、
電圧を供給すれば、直ちに放電を開始し、アーク放電が形成
キセノンランプの放射スペクトルと水銀の輝線を合わせ持っ
されます。
ています。
光出力強度は、ランプ点灯後、バルブ内のガス圧が熱平衡に
達するまで変化するため、最大光出力に達するには数分かか
ります。
点灯中バルブ壁は500 ℃以上の高温となり、バルブ内圧力は
図5 放射スペクトル分布
高安定キセノンランプ
常温時の約4倍(約4 MPa)になります。
102
TLSXB0130JB
陽極
石英バルブ
[高安定キセノンランプ]
高純度キセノンガス
[高安定水銀キセノンランプ]
高純度キセノンガス
+
高純度水銀
放射照度 (µW·cm-2 ·nm-1) at 50 cm
300 W (L2479)
図4 ランプ構造
150 W (L2273)
101
100
10-1
75 W (L2174)
35 W (L2173)
10-2
10-3
200
400
600
800
1000
1200
1400
1600
1800
2000
波長 (nm)
陰極
高安定水銀キセノンランプ
TLSXC0047JA
放射照度 (µW·cm-2 ·nm-1) at 50 cm
103
TLSXB0131JB
500 W (L8288)
102
101
100
100 W (L2422)
10-1
200 W (L2423)
10-2
10-3
200
300
400
500
600
波長 (nm)
4
700
800
900
1000
●バルブ窓材による放射スペクトルの違い
●配光特性
バルブ窓材が240 nm以下を透過する溶融石英と、240 nm以
水平方向に均一に放射します。
下をカットするオゾンレス石英で放射スペクトルは異なります。
窓材は用途に応じてお選びください。
図6 バルブ窓材による放射スペクトル分布の比較
図8 配光特性(垂直点灯時)
150 W高安定キセノンランプ L2273
200 W高安定水銀キセノンランプ L2423
150 W高安定キセノンランプ
放射照度 (µW·cm-2 ·nm-1) at 50 cm
101
TLSXB0009JD
溶融石英 L2273
100
10-1
陽極
10-2
放射照度 (相対値)
オゾンレス石英 L2274
陰極
10-3
10-4
200
300
400
波長 (nm)
●光出力強度分布
陰極付近に最大光出力強度があり、陽極に向かって低くなり
ます。
TLSXC0007JA
図7 光出力強度分布(垂直点灯時)
●ランプ電流とランプ電圧
150 W高安定キセノンランプ L2273
図9 ランプ電流−ランプ電圧
150 W高安定キセノンランプ L2273
陽極
(mm)
2.0
10
1
19
1.5
1.0
20
30
0.5
40
50
60
70 80
90
0
at +25 °C
TLSXB0132JA
20
ランプ電圧 (V dc)
陰極からの距離
1
測 定 波 長: 365 nm
ランプ電流: 8.5 A dc
周 囲 温 度: +25 °C
18
17
16
定格ランプ電流 (推奨値8.5 A)
陰極
0
15
7.5
1.0
0.5
アーク幅 (mm)
8.0
TLSXC0006JC
陽極
(mm)
2.0
10
20
1
at +25 °C
TLSXB0086JC
26
25
ランプ電圧 (V dc)
陰極からの距離
9.5
200 W高安定水銀キセノンランプ L2423
1
1.5
30
1.0
40
0.5
9.0
ランプ電流 (A dc)
200 W高安定水銀キセノンランプ L2423
測 定 波 長: 365 nm
ランプ電流: 8.0 A dc
周 囲 温 度: +25 °C
8.5
50
60
24
23
70
80
90
0
22
定格ランプ電流 (推奨値8.0 A)
陰極
0
1.0
0.5
アーク幅 (mm)
21
7.0
TLSXC0032JD
7.5
8.0
8.5
9.0
ランプ電流 (A dc)
5
●光出力強度とランプ電流
●光出力強度と周囲温度
光出力強度はランプ電流に比例します。
光出力強度は周囲温度によって変化します。
これは封入ガス圧が温度によって変化し、光出力強度が変化
するためです。
ランプを安定に動作させるには周囲温度を一定に保つ必要が
あります。
図10 光出力強度−ランプ電流
150 W高安定キセノンランプ L2273
140
at +25 °C
TLSXB0133JA
図12 光出力強度−周囲温度
150 W高安定キセノンランプ L2273
120
受光器: S1226
TLSXB0135JC
100
120
80
光出力強度 (%)
光出力強度 (%)
130
60
定格ランプ電流 (推奨値8.5 A)
0
7.5
8.0
8.5
9.0
110
100
90
9.5
推奨動作周囲温度
ランプ電流 (A dc)
80
0
10
20
200 W高安定水銀キセノンランプ L2423
光出力強度 (%)
140
30
40
50
60
70
周囲温度 (°C)
at +25 °C
TLSXB0088JB
●光出力強度と動作時間
120
光出力強度は動作時間の経過に伴なって低下します。
これは陰極物質の蒸発によるバルブ壁の汚れ、紫外線による
ソーラリゼーションでバルブの透過率が低下するためです。
100
図13 動作時間に対する光出力強度の変化
150 W高安定キセノンランプ L2273
80
120
ランプ電流: 8.5 A dc
受光器: S1226
at +25 °C
TLSXB0136JC
60
100
0
7.0
7.5
8.0
8.5
9.0
ランプ電流 (A dc)
光出力強度 (%)
定格ランプ電流 (推奨値8.0 A)
●光出力強度の初期安定度
光出力強度は、ランプ点灯後、バルブ内のガス圧が熱平衡に
80
60
40
20
達するまで変化するため、最大光出力に達するには数分かか
0
ります。
0
1500
2000
200 W高安定水銀キセノンランプ L2423
受光器: S1226
at +25 °C
TLSXB0134JA
120
100
100
80
80
光出力強度 (%)
光出力強度 (%)
1000
2500
3000
動作時間 (h)
図11 光出力強度の初期安定度
60
500
150 W高安定キセノンランプ L2273
40
TLSXB0087JC
ランプ電流: 8.0 A dc
測定波長: 365 nm
at +25 °C
60
40
200 W高安定水銀キセノンランプ L2423
20
20
0
0
5
10
15
動作時間 (min)
6
20
25
30
0
0
200
400
600
800
1000 1200 1400 1600 1800 2000
動作時間 (h)
電源
ランプを測光用光源として使用するには、安定した光出力が
必要です。
ランプを高安定に点灯させるには、電源の安定度も同等以上
であることが必要です。
図14 安定化電源ブロック図
主電源
AC入力
直
流
定
電
流
電
源
スタータ
トリガ
トランス
トリガ
スイッチ
高高
安安
定定
キ水
セ銀
ノキ
ンセ
ラノ
ンン
プラ
ン
プ
陽極
陰極
TLSXC0048JB
●主電源
主電源はランプに安定した直流電流を供給するほか、規定電
流によって陰極に最適な動作温度を与えます。
陰極温度はランプにとって重要なもので、高すぎれば陰極物
質の蒸発を促し、低すぎれば陰極負荷が増大して電子放出が
不安定となり、著しく寿命を短くします。
長時間安定に動作させるためにはランプ電流を規定範囲内に
設定する必要があるため、各ランプには動作電流値とその範
囲が規定してあります。
●スタータ
ランプを放電させるためのもので、高周波のトリガパルスを
ランプ負荷に対して誘導結合で供給します(図14参照)。
ランプ初期の放電特性として開始電圧は約10 kVですが、陰
極の電子放射能力の低下や封入ガス圧の変化などにより変動
します。
実際の装置では安全率を含め20 kV ∼ 30 kVのトリガ電圧を
供給する必要があります。
7
仕様
高安定キセノンランプ
型 名
L2173
L2193
L2174
L2174-01
L2174-02
L2194
L2194-01
L2194-02
L2194-11
L10725
L10725-01
L10725-02
L10726
L10726-01
L10726-02
L11307
L11307-01
L9289
L9289-01
L2175
L2195
L2273
L2274
L11033
L11034
L2479
L2480
ランプ定格
電極間距離
ランプ電流
ランプ電圧
窓材(透過波長)
(W)
(mm)
(A dc)
(V dc)
35
1.0
3.5±0.2
11
(nm)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
光出力安定度
ドリフト フラツキ
(p-p)
Typ.
Max.
(%/h)
(%)
±0.5
1.0
±0.5
1.0
±0.5
1.0
±0.5
1.0
±0.5
1.0
±0.5
1.0
溶融石英 (185 ∼ 2000)
1.3
75
5.4±0.5
15
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
1.0
13
溶融石英 (185 ∼ 2000)
75
1.0
5.7±0.3
13.5
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
100
1.3
7.0±0.5
15
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
2.5
7.5±0.5
19
2.0
8.5±0.5
17
3.0
15.0±1.0
20
150
300
溶融石英 (185 ∼ 2000)
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
高安定水銀キセノンランプ
型 名
L2421
L2481
L2481-01
L2481-02
L2422
L2422-01
L2422-02
L7046
L8029
L8029-01
L2482
L7047
L2423
L2570
L8706
L2483
L2917
L8288
ランプ定格
電極間距離
ランプ電流
ランプ電圧
窓材(透過波長)
(W)
50
(mm)
1.0
(A dc)
3.5±0.2
(V dc)
14
(nm)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
75
1.0
5.4±0.5
14
溶融石英 (185 ∼ 2000)
±0.5
2.0
±0.5
2.0
±0.5
2.0
±0.5
2.0
±0.5
3.0
±0.5
2.0
±0.5
2.0
溶融石英 (185 ∼ 2000)
1.3
100
光出力安定度
ドリフト フラツキ
(p-p)
Typ.
Max.
(%/h)
(%)
2.0
±0.5
5.5±0.5
18
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
0.8
150
1.7
7.5±0.5
20
200
2.0
8.0±0.5
24
250
1.8
8.5±0.5
27
350
2.5
14.0±1.0
25
500
3.0
20.0±1.0
25
溶融石英 (185 ∼ 2000)
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
溶融石英(185 ∼ 2000)
オゾンレス石英 (240 ∼ 2000)
溶融石英 (185 ∼ 2000)
NOTE: A寿命の定義は、光出力が初期値の50 %に低下した時点、もしくはフラツキ (p-p)が高安定キセノンランプは1.0 %、高安定水銀キセノン
ランプは2.0 %(250 WタイプL8706は3.0 %)を超えた時点としています。
Bランプを確実に点灯させるのに必要な開放電圧です。 CP10、P11参照
8
A
B
動作保証
寿命
平均寿命
取付位置
(h)
(h)
1000
2000
(度)
垂直±15または
水平±15
2000
1000
3000
2000
1500
2500
1200
2500
1800
3000
3000
4000
1000
2000
垂直±15または
水平±15
垂直±15または
水平±15
冷却方法
自然空冷
自然空冷
自然空冷
供給電圧 トリガ電圧
Min.
(V dc)
(kV)
50
50
15
50
15
垂直±15または
水平±15
自然空冷
50
15
垂直±15または
水平±15
自然空冷
65
20
垂直±15または
水平±15
強制空冷
80
25
A
B
動作保証
寿命
平均寿命
取付位置
(h)
500
(h)
1000
500
1000
(度)
垂直±15または水平±15
垂直±15
または
水平±15
500
15
1000
1000
2000
1000
2000
垂直±15
または
水平±15
冷却方法
自然空冷
自然空冷
自然空冷
供給電圧 トリガ電圧
Min.
(kV)
(V dc)
15
50
50
50
15
15
1000
2000
2000
3000
500
1000
1000
2000
2
2
3
4
2
3
4
3
2
3
4
2
3
4
2
3
2
3
自然空冷
65
20
D
質量
(g)
適合電源
+
スタータ
+
ランプハウス
15
19
q
15
19
15
15
19
w
15
19
e
5
45
r,t
7
68
y,u
質量
適合電源
+
スタータ
+
ランプハウス
外C
形
寸
法
図
1
2
3
4
2
3
4
2
5
型 名
L2173
L2193
L2174
L2174-01
L2174-02
L2194
L2194-01
L2194-02
L2194-11
L10725
L10725-01
L10725-02
L10726
L10726-01
L10726-02
L11307
L11307-01
L9289
L9289-01
L2175
L2195
L2273
L2274
L11033
L11034
L2479
L2480
14
15
3
垂直±15
垂直±15または
水平±15
垂直±15または
水平±15
垂直±15
外C
形
寸
法
図
D
(g)
10
14
18
15
q
19
15
43
r,t
自然空冷
65
20
5
45
強制空冷
65
20
6
62
—E
垂直±15
強制空冷
70
25
7
68
y,u
垂直±15
強制空冷
80
30
7
80
y,u
型 名
L2421
L2481
L2481-01
L2481-02
L2422
L2422-01
L2422-02
L7046
L8029
L8029-01
L2482
L7047
L2423
L2570
L8706
L2483
L2917
L8288
D電源はスタータ(別売)またはランプハウスと組合わせて使用します。(P.11「適合電源+スタータ+ランプハウス組合わせ」、P.12参照)
E別途ご相談ください。
9
外形寸法図 (単位: mm)
1 高安定水銀キセノンランプ: L2421
2
高安定キセノンランプ : L2173, L2193, L2174, L2194,
L10725, L10726, L11307, L9289
高安定水銀キセノンランプ: L2481, L2422, L7046
2
13
11
2
UP
UP
7.5
9
14 (L2173, L2193は 12)
9
11
13
7.5
37.0 ± 0.5
(L10725, L10726は36.85 ± 0.50)
82
90 MAX.
37.0 ± 0.5
82
90 MAX.
12
2
口金
2
口金
TLSXA0045JD
高安定キセノンランプ : L2174-01, L2194-01/-11
L10725-01, L10726-01, L11307-01, L9289-01
高安定水銀キセノンランプ: L2481-01, L2422-01, L8029/-01
4
高安定キセノンランプ : L2174-02, L2194-02
L10725-02, L10726-02
高安定水銀キセノンランプ: L2481-02, L2422-02
M2.3
11
7.5
2
13
9
14
9
13
90 MAX.
82
14
UP
82
9
95 MAX.
UP
37.0 ± 0.5
(L8029, L8029-01は36.75 ± 0.50)
(L2194-11, L10725-01, L10726-01は36.85 ± 0.50)
13
2
37.0 ± 0.5
(L10725-02, L10726-02は36.85 ± 0.50)
3
TLSXA0101JB
口金
口金
M2.3
TLSXA0102JB
10
TLSXA0007JD
5
高安定キセノンランプ : L2175, L2195, L2273, L2274
L11033, L11034
高安定水銀キセノンランプ: L2482, L7047, L2423, L2570
6 高安定水銀キセノンランプ: L8706
M5
20
15
M4
UP
+
UP
12
13
20
20
57.9 ± 0.5
125
13
15
12
58.0 ± 0.5
153 MAX.
150 MAX.
125
20 (L2482, L7047は 18)
–
口金
口金
M4
M5
TLSXA0103JA
TLSXA0092JB
A
適合電源+スタータ +
ランプハウス組合わせ
高安定キセノンランプ : L2479, L2480
7
高安定水銀キセノンランプ: L2483, L2917, L8288
M5
20
適合電源型名 適合スタータ型名 A 適合ランプハウス型名
UP
13
65.0 ± 0.5
(L8288は70.0 ± 0.5)
20
13
C8848
w
C8848-00-57
e
C8849-00-70
r
C4251
E2419 Series B
C8849
—
E7536 Series C
t
C8849
C4251
E2420
y
C11320
—
E10180 Series C
u
C11320
C4339
E5421
P9、P12参照
NOTE: Aスタータは別売です。
B冷却フィンはランプ口金サイズに合わせφ7.5 mmとφ9 mm
の2種類を用意しています。
Cスタータ内蔵です。
150
175 MAX.
26 (L8288は 29)
q
口金
M5
TLSXA0104JA
11
電源
ランプを測光用光源として使用する場合、安定した光出力が要
求されるため、ランプ駆動には弊社専用電源のご使用をお勧め
します。
この専用電源を使用することでランプ性能を最大限引き出す
ことができます。
用途に合わせお選びください。また、各種OEM用電源にも対応
しますので、お気軽にご相談ください。
左:C8848, C8849 右: スタータC4251(別売)
型名
C8848
電源
放電電流
安定度
A
(at 25 °C)
適合
適合ランプ
入力
ドリフト リップル
ランプ
制御方式
定格
電圧
(p-p)
電流
Max. Max.
(W)
(A dc) (V ac) (%/h) (%)
35 ∼ 75
(キセノンランプ) 3.5 /
5.4 /
50 ∼ 100
(水銀キセノンランプ) 5.5
C8849
C11320
3.5 /
5.4 /
5.7
7.0 /
8.0 /
8.5
B
外形寸法
W×H×D
(mm)
C
スタート
質量
方式
B
NOTE
型名
(kg)
144 × 90 × 282 2.7
240
±0.1
外形寸法
W×H×D
(mm)
100
∼
35 ∼ 75
(キセノンランプ)
C8848-00-57
50 ∼ 75
スイッチング (水銀キセノンランプ)
定電流 100 ∼ 150
(キセノンランプ)
C8849-00-70
200
(水銀キセノンランプ)
スタータ
E
CEマーキング適合
高安定
マニュアル
タイムカウンタ
標準装備
C4251 100 × 60 × 89
D
0.1
150
(キセノンランプ) 7.5 /
8.0 /
150 ∼ 200
(水銀キセノンランプ) 8.5
300
14 /
ドロッパ (キセノンランプ)
15 /
350, 500
定電流
(水銀キセノンランプ) 20
100
E
165 × 272 × 360 21
C4339 111 × 65 × 102
NOTE: A出力電流切換スイッチでランプ定格電流に合わせます。 B突起物は含みません。
C2方式あります。
マニュアル: 電源スイッチON後、ランプ点灯スイッチを手動にて動作させることにより、ランプが点灯します。実験用に適しています。
オート: 電源スイッチを動作させると同時に、自動的にランプが点灯します。装置への組み込み、生産ラインに適しています。
Dオートスタート方式もございます。
Eスタータ(別売)と組合わせて使用します。(P11「適合電源+スタータ+ランプハウス組合わせ」 参照)
(注意)これらの電源は、陽極側に高圧を印加するトリガ方式を採用していますので、陽極側の絶縁には十分ご注意ください。
構成
電源
ランプ
ハウス
電源
スタータ
C8848
C8849
C4251
E7536
ランプ
ハウス
電源
スタータ
C11320
C4339
C8849
電源
C11320
12
E10180
ランプ
ハウス
E2419
E2420
ランプ
ハウス
E5421
ランプハウス
ランプをより手軽にご使用していただくためのランプハウスを
用意しています。専用電源同様、ランプの性能を最大限引き出す
ことができ、高安定な光出力が得られます。
高精度で、取り扱いやすさを向上させたE7536・E10180、簡易
型のE2419・E2420・E5421の5種類を用意しています。
E7536・E10180は、反射ミラー・出射レンズ内蔵で、高い光出力
が平行光で得られます。インターロック機能・スタータ・空冷
ファン内蔵で、筐体表面温度を+40 ℃以下に保つなど、高い安全
性も有しています。さらに調整ネジにより、筐体外部から光軸
調整を簡単に行うことができます。
TLSXF0129
E7536
●外形寸法図(単位:mm)
E2419/-01(35 W, 50 W, 75 W, 100 Wランプ用)
E2420(150 W, 200 Wランプ用)
正面図
冷却ファン
側面図
陽極端子
A
E7536/-01(150 W, 200 Wランプ用)
正面図
側面図
ランプ交換口
A
陽極口金/冷却フィン*
30
出射レンズ*
合成石英
ランプ
20溶融石英窓
ランプ
反射ミラー
77
60
D
280
B
30
M37 P=1
陰極口金/冷却フィン*
140
12
陰極端子
A
B
C
D
E
30
30
E2420
E2419/-01
65
50
95
56
110 ∼ 140 90 ∼ 120
43
24
42.5
35
電源接続
コネクタ
50
5
10
50
C
E
100
5
100
質量: 約3.5 kg
底面図
M4
60
60
30
4- 4.3
30
型 名
E2419
E2419-01
E2420
陽極口金
39
質量: 約1.1 kg (E2419)
約1.2 kg (E2420)
*
陰極口金
9
7.5
12
9
12
4-M4
プラスチック足を標準
装備していますが、外
すことで取り付け穴と
して使用できます。
78
底面図
39
* E7536-01: 出射レンズの代わりに
UVカットフィルタ
( 68 mm)が内
蔵されています。
アクセサリとしてSMAファイバアダプタ (A11096)を
用意しております。
78
TLS A0002JA
E5421(300 W, 350 W, 500 Wランプ用)
冷却ファン
正面図
TLSXA0083JD
E10180/-01(300 W, 350 W, 500 Wランプ用)
冷却ファン
側面図
正面図
側面図
ランプ交換口
陽極端子
冷却ファン用
コネクタ
30
溶融石英窓
ランプ交換口
(背面)
通気口
36
50
出射レンズ*
合成石英
M58 P=1
ランプ
100
210
ランプ
118
360
275
反射ミラー
62.5
17
125
電源接続
コネクタ
125
底面図
75
150
10
陰極端子
9
39
160
120
4
6
150
6
質量: 約2.0 kg
底面図
4-M3
質量: 約5.5 kg
100
40
* E10180-01: 出射レンズの代わりに
UVカットフィルタ( 90 mm)が内
蔵されています。
128
4-W3/16
プラスチック足を標準装備して
いますが、外すことで取り付け
穴として使用できます。
64
4-M4
プラスチック足を標準
装備していますが、外
すことで取り付け穴と
して使用できます。
40
100
128
TLSXA0105JA
TLS A0001JA
13
使用上のご注意 (ランプをご使用になる前に必ずお読みください。)
●取り付け時のご注意
1. ランプの取り扱いは、十分注意して行ってください。
ランプには高圧(常温時:約1 MPa、動作時:約4 MPa)のガスが封入されています。強い衝撃を加えたり、ガラス(バルブ)の表面に傷な
どつけますと、破裂し、ガラス片が飛び散る危険性があります。
ランプを取り扱う場合は、保護面・厚手の長袖シャツ・手袋などの保護具を必ず着けてください。
なお、弊社指定の付属梱包箱はランプ交換時にも必要ですので保管しておいてください。
2. ランプの石英ガラス部分は素手などで触れないでください。
石英ガラスの表面にほこりや手垢などが付いたまま点灯しますと、汚れが焼き付いたり失透が生じ、光出力強度やガラスの機械的強度が低下
します。万一、手垢などで汚れた場合には、上質のアルコールをつけて硬く絞ったガーゼか脱脂綿を用いて清拭してください。この際、上記の
保護具を必ず着用し、ランプに強い衝撃を加えないよう注意して作業を行ってください。
3. ランプの取り付け方向や極性は必ず守ってください(図15参照)。
取り付け方向や極性を誤って使用されますと、陰極が破壊されランプは使用不能となります。
〈垂直点灯〉
口金に刻印してある“UP”方向(陽極“+”)を真上にして、垂直に取り付けてご使用ください。
〈水平点灯〉
チップオフ部が水平(真横)方向を向くように取り付け、磁石による磁界を利用して放電アークが両電極の中心線から外れないように、ア
ーク位置を調整してください。ランプの特性を十分引き出すために適切な磁石を用い正しい位置で、アーク放電させることが重要です(図
16参照)。
図15 ランプの取り付け方向と極性
〈垂直点灯〉
〈水平点灯〉
陽極
(+)
陽極
(+)
陰極
(−)
チップオフ部
チップオフ部
必ず水平(真横)方向に向ける
陰極
(−)
図16-1
上面図
側面図
38.0 ± 1.0
消費電力
表面磁束密度
(mT)
距離※
(mm)
UP
N
N
磁石
S
35 W∼100 W
9.5∼10.5
38.0±1.0
TLSXC0011JB
S
5.0 ± 1.0
55.0 ± 1.0
図16-2
150 W∼300 W
12.0∼12.5
55.0±1.0
(
UP
磁石
N
S
N
TDK
FB3G
D10 × 5S
10 mm
厚さ5 mm
TDK
FB3G
D15 × 7S
15 mm
厚さ7 mm
(
単位: mm
位置
(方向)
推奨磁石
)
)
図16-1
参照
図16-2
参照
※アーク中央から磁石表面までの距離
単位: mm
S
TLSXC0012JB
●動作時のご注意
4. 高電圧・高温度にご注意ください。
ランプには20 kV∼30 kVのトリガ電圧を供給し放電させます。絶縁を十分にとり、感電などしないようご注意ください。
コンピュータなどノイズに弱い機器を使用される場合はランプ点灯後、機器を作動させてください。
動作中や消灯直後のランプは非常に高温になっていますので、手を触れたり燃えやすい物を近づけたりしないようご注意ください。
ランプ点灯中は高温になっています。絶対にランプハウスなどの蓋を開けないでください。
止むを得ず蓋を開ける場合は、保護具を必ず着用してください(項目1. 参照)。
5. 紫外線にご注意ください。
ランプは目や皮膚に有害な紫外線を放射します。動作中のランプを直接見たり、放射光を皮膚にあてますと、炎症を起こすことがあります。
動作中は必ず、遮光保護具(当該規格 JIS T 8141)を着けて取り扱ってください。
14
6. ランプの定格(仕様値)は必ず守ってください。
ランプは定格動作電流値が規定されています(P.8, 9の仕様参照)。定格電流範囲を外れて使用されますと、動作が不安定になったり、著しく
寿命が短くなりますので、定格電流値を必ずお守りください。また、250 W型以上はファンによる強制空冷が必要です。
7. 保証時間内での交換を推奨します。保証時間以上使用する場合、累計動作時間が「平均寿命+500時間(500W水
銀キセノンランプは+300時間)」を超えたり、著しいバルブ壁の黒化が認められましたら、使用を中止し、新し
いランプと交換してください。
累計動作時間が「平均寿命+500時間(500 W高安定水銀キセノンランプは+300時間)」を超えますと、電極の蒸発物や飛散物がランプバルブ
内に付着してバルブ壁の黒化がすすみ、熱放散が低下します。継続して使用されますと、バルブ内温度(圧力)が異常に高くなり破裂などを
生じる場合があります。
●取り外し時のご注意
8. 使用済ランプは弊社指定の付属梱包箱に入れてください。
ランプをランプハウスなどから取り外す場合は、ランプが室温まで下がってから保護面・厚手の長袖シャツ・手袋などの保護具を必ず着けて
行ってください。
使用済ランプも高圧のガスが残存しています。安易に取り扱いますと破裂などを生じる場合がありますので、新品のランプと同様、慎重に取
り扱い、弊社指定の付属梱包箱に入れてください。
9. 廃棄方法
ランプには高圧(常温時:約1 MPa)のキセノンガス(水銀キセノンランプにはキセノンガスと水銀)が封入されています。
廃棄する場合は廃棄物処理法に則り、自ら適正に処理して頂くか、もしくはランプの内圧が高いため割らずにそのまま許認可を受けた適正な
産業廃棄物処理業者へ委託し処理してくださるようにお願いします。
国外で使用し、その国で廃棄する場合は、それぞれの国、州の廃棄物処理に関する法令に従って適正に処理をしてくださるようにお願いします。
●ランプハウスを設計する場合、以下の項目を必ず守ってください。
A. ランプハウスは、必ず丈夫なカバー付のものとしてください。
ランプには高圧(常温時:約1 MPa、動作時:約4 MPa)のガスが封入されています。ランプが何らか
の原因で破裂した場合を想定し、ランプハウスは必ず丈夫なカバー(覆い)付のものとしてください。
図17
(+)
冷却フィン 酸化に注意
B. ランプの固定は片側で行い、もう一方は固定しないでご使用ください。(図17参照)
ランプは動作中の発熱でガラス(バルブ)が熱膨張しますので、両電極を硬い材質・構造の取付金具で
固定しますと破裂などを生じる場合があります。ランプの熱膨張を吸収できるように、片側でランプを
固定し、もう一方の側は、固定しないでください。また、ランプハウス設計にあたっては、口金の温度
に注意してください(項目D.参照)。
C. 放射光を集光させる場合は、ランプの動作温度が異常に上昇しないようにご注意
ください。
ランプからの放射光をミラーなどで集光させる場合、ランプのバルブ壁や電極部に焦点を結ばないでく
ださい。ランプの動作温度が異常に上昇します。
集光ミラーをご使用になる場合は、ランプの動作温度にご注意ください(項目D.参照)。
陽極
片側でランプ
を固定し、も
う一方は固定
しない。
(–)
冷却フィン
陰極
TLSXC0049JB
D. 動作温度の上昇にご注意ください。(図17参照)
ランプの表面温度は750 ℃以下、陽極口金部の表面温度は200 ℃以下に設定してください。
ランプの動作温度がこの上限値を超えると、「電極導入線の酸化」や「電極・封入ガスの著しい消耗」が生じ動作寿命が短縮します。また、
ランプバルブ内の圧力が異常に上昇し、電極導入部のクラックや破裂を生じる場合があります。ランプハウスの熱容量に余裕をとり、陽極口
金に冷却フィンを取り付けるなどして良好に熱放散・熱伝導のできるような構造・材質としてください。
なお、ランプ取付金具の接触性が悪い場合や接触片の表面が酸化などで接触抵抗が大きくなっている場合にも、異常に温度上昇しますので、
これらの点につきましても十分ご注意ください。
また、250 W型以上はファンによる強制空冷が必要です。点灯中にファンが止まることのないよう、またランプ消灯から3∼5分後にファンが
停止する機構にしてください。
E. トリガ電圧が漏電(リーク)しないように、絶縁性は良好に保ってください。
点灯開始時、20 kV∼30 kVのトリガ電圧が供給されますので、高品質の絶縁材を使用し絶縁距離を十分に取ってください。(1 cm程度の絶縁
距離では、相対湿度などにもよりますが、通常10 kV前後の耐電圧しか得られません。3 cm以上の絶縁距離を設けることをお推めします。)
また、電源出力ケーブルは、耐電圧が30 kV以上の規格品を使用し、ケーブル表面からの漏電を防ぐために束線せず、シャーシや筐体などの金
属孔(面)に貫通(接触)させないで、できるだけ短く配線してください。
止むを得ずこのように配線できない場合、電源出力ケーブルには絶縁性に優れたシリコン・チューブなどを被せたり、金属孔(面)を絶縁材
で縁どりするなどの対策をとってください。
15
●点灯中のランプからは紫外線が放射されていますので絶対に肉眼で見ないでください。
・目の痛みや視力障害の原因となります。
●紫外線を皮膚に直接あてないでください。
・皮膚の炎症をおこす原因となります。
●紙や布など燃えやすいものに近づけないでください。
・火災の原因となります。
●点灯中や消灯直後のランプは、非常に高温になっていますので絶対に手や肌などに触れないでください。
・ヤケドの原因となります。
●ガラス内部の圧力が高いため、落としたり、ぶつけたり、無理な力を加えたり、傷をつけたりしないでください。
・破損した場合、ケガの原因となります。
●ランプハウス内で点灯してください。
・破損した場合、ケガの原因となります。
●取り付け、取り外しや器具清掃の時は必ず電源を切ってください。
・感電、目の痛み、視力障害や皮膚の炎症の原因となります。
警
告
●ランプの取付方向や極性を守ってください。
・破損の原因となることがあります。
●ランプに適合した電流値の電源を必ず使用してください。
・過熱、破損の原因となることがあります。
●雨や水滴のかかる状態や湿度の高いところで使用しないでください。
・感電、破損の原因となることがあります。
●取り付け、取り外しの時は必ず保護具を着けてください。
・破損した場合、ケガの原因となることがあります。
注
意
保 証
ランプの保証は出荷後1年間とし、保証の範囲は製品の代替納入を限度といたします。
ただし、1年以内でも、ランプの使用時間が保証寿命時間を超えた場合はご容赦願います。
また、天災、使用上のミスなどによるトラブルも保証の対象外とさせていただきます。
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当社は、ASNITE校正認定事業者として、200 nm∼800 nm (L7810-02)の広範囲な分光放射照度
を値付けしています。
250 nm未満の波長域は、ASNITE校正(製品評価技術基盤機構認定制度:Accreditation System
of National Institute of Technology and Evaluation)により、250 nm以上の波長域は、JCSS
(計量法校正事業者登録制度:Japan Calibration Service System)により値付けを行っています。
左:ランプハウス 右:電源
●本資料の記載内容は平成24年9月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。
WEB SITE jp.hamamatsu.com
□仙台営業所 〒980-0011
□筑波営業所 〒305-0817
□東京営業所 〒105-0001
□中部営業所 〒430-8587
□大阪営業所 〒541-0052
仙台市青葉区上杉1-6-11(日本生命仙台勾当台ビル2階) TEL (022)267-0121
つくば市研究学園D6街区8画地(研究学園スクウェアビル7階) TEL (029)848-5080
東京都港区虎ノ門3-8-21(虎ノ門33森ビル5階)
TEL (03)3436-0491
浜松市中区砂山町325-6(日本生命浜松駅前ビル4階) TEL (053)459-1112
大阪市中央区安土町2-3-13(大阪国際ビル10階)
TEL (06)6271-0441
□電子管営業推進部 〒438-0193 静岡県磐田市下神増314-5 TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205
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