近赤外CCDカメラ C3077-80 分光感度特性 900 nmでは 映像出力信号(相対値) 100 C3077-80 90 感度 当社従来品 80 2倍以上! (当社従来品比) 70 60 50 40 30 20 10 0 400 500 600 700 800 900 1000 波長(nm) ※レンズはオプションです。 特 長 近赤外領域で高感度 近赤外CCDカメラ C3077-80は、近赤外領域に高い感 度を持つカメラです。当社CCD素子を採用し、近赤外の波長 域に高い感度を有しています。従来お使いいただいている当 社近赤外用CCDカメラと寸法、出力仕様はそのままに、感度 を向上させました。 EIA出力 用 途 Siウェーハ/デバイス位置合わせ COG位置合わせ Siデバイス内部検査 セラミック基板検査 撮像例 ICに赤外光を当てて内部パターンを撮像しました。 (対物レンズ:50倍/1100 nmバンドパスフィルタ使用) Siウェーハ カメラ 赤外光 赤外光 光源 反射 チップ裏面 切削 赤外顕微鏡 ミラー研磨 リードフレーム Si プラスチック モールド 測定パターン 【当社従来品】 ノイズが多く、パターンが不鮮明 【C3077-80】 ノイズが少なく、パターンが鮮明 1100 仕 様 システム構成例 型名 C3077-80 撮像素子 12PINケーブル 5 m BNCケーブル 3 m A3194-01 A3746-03 モニタ 近赤外CCDカメラ カメラアダプタ A13206-02 C3077-80 2/3型 フレームトランスファCCD 有効画素数 648 (H) × 484 (V) 画素サイズ 14 μm (H) × 14 μm (V) 有効素子サイズ 9.0 mm (H) × 6.8 mm (V) 映像出力信号 Cマウント レンズ 1.0 V p-p、負同期、75 Ω不平衡 水平/垂直周波数 12PINケーブル 5 m A3194-01 15.734 Hz/59.94 Hz 走査方式 カメラコントローラ C2741-63 2:1インターレース レンズマウント 標準構成品 オプション Cマウント 同期方式 内部同期/外部同期 外部同期入出力 HD/VD(信号レベル:TTLレベル) アナログゲイン設定 AGC/標準/可変 電源 オプション DC +12 V 消費電力 カメラアダプタ:A13206-02 約 4.5 VA 動作周囲温度 0 ℃ ∼ + 40 ℃ 動作周囲湿度 70 % 以下 (ただし結露しないこと) 保存周囲温度 − 10 ℃ ∼ + 50 ℃ 12PINケーブル 5 m:A3194-01 BNCケーブル 3 m:A3746-03 カメラコントローラ:C2741-63 外形寸法図 ■ カメラ カメラコントローラ C2741-63 (単位:mm) ●コントラスト強調 ●自動コントラスト調整 ●シェーディング補正 ●ノイズリダクション機能 ●輪郭強調 ●γ補正 (約0.23 kg) (5)調整式 44 (111) 87 6 12.2 12.6 32 16 27 48 φ40 CCD CAMERA 11.5 4 ●コントラスト強調例 79 1/4-20UNC 有効深さ 4.5 30 Cマウント C2741-63は、 スタンドアローンの画像処理装置でC3077-80からの映像信号を 強調・改善することができます。 17 28 31 4-M2.6 有効深さ 4.5 2-M4 有効深さ 4.5 ▲処理前 ▲コントラスト強調 ※カタログに記載の分光感度特性グラフは代表例を示すもので、保証するものではありません。 ※その他の記載商品名、ソフト名等は該当商品製造会社の商標または登録商標です。 ※カタログの記載内容は2016年5月現在のものです。 本内容は改良のため予告なく変更する場合があります。 www.hamamatsu.com □ □ □ □ □ □ 仙台営業所 筑波営業所 東京営業所 中部営業所 大阪営業所 西日本営業所 〒980-0021 仙台市青葉区中央3-2-1 (青葉通プラザ 11階) 〒305-0817 つくば市研究学園5-12-10 (研究学園スクウェアビル7階) 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21 (虎ノ門33森ビル5階) 〒430-8587 浜松市中区砂山町325-6 (日本生命浜松駅前ビル4階) 〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13 (大阪国際ビル10階) 〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-13-6 (竹山博多ビル5階) TEL TEL TEL TEL TEL TEL (022)267-0121 (029)848-5080 (03)3436-0491 (053)459-1112 (06)6271-0441 (092)482-0390 □ システム営業推進部 〒431-3196 浜松市東区常光町812 TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031 FAX FAX FAX FAX FAX FAX (022)267-0135 (029)855-1135 (03)3433-6997 (053)459-1114 (06)6271-0450 (092)482-0550 Cat. No. SCAS0097J05 MAY/2016 HPK