CCDエリアイメージセンサ S7033/S7034シリーズ 裏面入射型FFT-CCD S7033/S7034シリーズは、微弱光検出用に開発された計測用FFT-CCDエリアイメージセンサです。S7033/S7034シリーズの 水平CCDレジスタは大飽和電荷量を特長としています。ビニング動作を行うことにより、受光面の高さ方向に長いリニアイ メージセンサとして使用できるため、分光光度計の検出器に適しています。ビニング動作は、外部回路で信号をデジタル的 に加算する従来の方法と比べると、S/Nや信号処理速度において非常に優れています。 S7033/S7034シリーズの有効画素サイズは24 × 24 μmで、受光面サイズは12.288 (H) × 2.928 (V) mm2 (S7033-0907, S70340907S)と 24.576 (H) × 2.928 (V) mm2 (S7033-1007, S7034-1007S)を用意しています。 1段または2段電子冷却器を同一パッケージに内蔵したタイプも用意しています。室温で使用した場合、1段冷却型は-10 °C まで、2段冷却型は-30 °Cまで、ほかの補助冷却手段を使用することなくCCDを冷却することができます。CCDチップと電 子冷却素子は気密封止されており、乾燥エアなどは不要なため、取り扱いが容易です。 特長 用途 ライン／ピクセルビニングが可能 量子効率: ピーク時90 %以上 蛍光分光測光、ICP 工業製品の検査 広い分光感度特性 半導体検査 広いダイナミックレンジ DNAシーケンサ 微弱光検出 MPP動作 電子冷却素子内蔵 (S7034/S7035シリーズ) セレクションガイド 型名 冷却 全画素数 S7033-0907 532 × 128 非冷却 S7033-1007 1044 × 128 S7034-0907S 532 × 128 1段電子冷却 S7034-1007S 1044 × 128 注) 2段電子冷却型のS7035シリーズも用意しています。 有効画素数 512 × 122 1024 × 122 512 × 122 1024 × 122 適合マルチチャンネル 受光面サイズ 検出器ヘッド [mm (H) × mm (V)] 12.288 × 2.928 C7043 24.576 × 2.928 12.288 × 2.928 C7044 24.576 × 2.928 一般定格 項目 S7033シリーズ S7034シリーズ 画素サイズ 24 (H) × 24 (V) μm 垂直クロック 2相 水平クロック 2相 出力回路 1段MOSFETソースフォロワ パッケージ 24ピン セラミックDIP (外形寸法図を参照) 内蔵電子冷却素子 1段 石英ガラス 反射防止コーティングサファイア 窓材 *1 *1: 仮付け窓タイプ (例: S7033-0907N)も対応が可能です。 浜松ホトニクス株式会社 1 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ 絶対最大定格 (Ta=25 °C) 項目 記号 Topr Tstg VOD VRD VISV VISH VIG1V, VIG2V VIG1H, VIG2H VSG VOG VRG VTG VP1V, VP2V VP1H, VP2H 動作温度 *2 保存温度 OD電圧 RD 電圧 ISV電圧 ISH電圧 IGV電圧 IGH電圧 SG 電圧 OG電圧 RG電圧 TG 電圧 垂直クロック電圧 水平クロック電圧 Min. -50 -50 -0.5 -0.5 -0.5 -0.5 -10 -10 -10 -10 -10 -10 -10 -10 Typ. - Max. +50 +70 +25 +18 +18 +18 +15 +15 +15 +15 +15 +15 +15 +15 単位 °C °C V V V V V V V V V V V V *2: チップ温度 注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 動作条件 (MPP モード , Ta=25 °C) 項目 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 出力ゲート電圧 基板電圧 テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (水平入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート) テストポイント (水平入力ゲート) 垂直シフトレジスタクロック電圧 水平シフトレジスタクロック電圧 サミングゲート電圧 リセットゲート電圧 トランスファーゲート電圧 High Low High Low High Low High Low High Low 外部負荷抵抗 記号 VOD VRD VOG VSS VISV VISH VIG1V, VIG2V VIG1H, VIG2H VP1VH, VP2VH VP1VL, VP2VL VP1HH, VP2HH VP1HL, VP2HL VSGH VSGL VRGH VRGL VTGH VTGL RL Min. 18 11.5 1 -9 -9 4 -9 4 -9 4 -9 4 -9 4 -9 20 Typ. 20 12 3 0 VRD VRD -8 -8 6 -8 6 -8 6 -8 6 -8 6 -8 22 Max. 22 12.5 5 0 0 8 -7 8 -7 8 -7 8 -7 8 -7 24 記号 Min. 0.99995 12 - Typ. 0.25 1500 3000 260 300 30 30 60 80 0.99999 15 2 13 Max. 1 18 3 14 単位 V V V V V V V V V V V V V kΩ 電気的特性 (Ta=25 °C) 項目 fc 信号出力周波数 垂直シフトレジスタ容量 水平シフトレジスタ容量 S703*-0907(S) S703*-1007(S) S703*-0907(S) S703*-1007(S) サミングゲート容量 リセットゲート容量 トランスファーゲート容量 電荷転送効率 *3 DC出力レベル*4 出力インピーダンス *4 消費電力 *4 *5 CP1V, CP2V CP1V, CP2V CSG CRG S703*-0907(S) S703*-1007(S) CTG CTE Vout Zo P 単位 MHz pF pF pF pF pF V kΩ mW *3: 飽和出力の半分のときに測定した、1画素当たりの転送効率。 *4: 負荷抵抗により変わります (VOD=20 V, 負荷抵抗=22 kΩ)。 *5: オンチップアンプと負荷抵抗を合わせた消費電力 2 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ 電気的および光学的特性 ( 指定のない場合は Ta=25 °C) 項目 記号 Vsat 飽和出力電圧 垂直 水平 *6 飽和電荷量 Fw CCD変換効率 Sv 25 °C 0 °C 暗電流 *7 DS 読み出しノイズ *8 Nr ラインビニング エリアスキャン ダイナミックレンジ *9 DR 感度不均一性 *10 感度波長範囲 PRNU λ ポイント欠陥 *11 キズ 白キズ 黒キズ - クラスタ欠陥 *12 コラム欠陥 *13 Min. 240 2700 0.5 90000 8000 - Typ. Fw × Sv 320 3400 0.6 100 10 30 113300 10700 ±3 200 ～ 1100 - Max. 1000 100 45 ±10 0 10 3 0 単位 V keμV/ee-/pixel/s e- rms % nm - *6: 直線性= ±1.5 % *7: 暗電流は温度が5～7 °C上昇すると約2倍になります。 *8: 動作周波数=150 kHz *9: ダイナミックレンジ = 飽和電荷量 / 読み出しノイズ *10: 飽和出力の半分のときに測定。 ۜഽξΣέηΞͻ = ࡥΩΗȜϋΦͼΒ (peak to peak) × 100 [%] *11: 白キズ=冷却温度0 °Cで1秒間蓄積したときに、暗電流が1 ke-を超える画素 黒キズ=平均出力画素に比べて感度が半分以下の画素 (測定条件: 飽和電荷量の1/2の出力になる均一光) *12: 2～9個の連続した画像欠陥 *13: 10個以上の連続した画像欠陥 分光感度特性 (窓なし時) *14 (Typ. Ta=25 °C) 100 90 ၔ࿂වৣ߿CCD 80 ၾঊ࢘ၚ (%) 70 60 50 40 30 20 ນ࿂වৣ߿CCD (UVȜΠ) ນ࿂වৣ߿CCD 10 0 200 400 600 800 1000 1200 ෨ಿ (nm) KMPDB0058JB *14: 石英ガラスまたはサファイアの透過率特性により分光 感度は低下します。 3 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ 窓材の分光透過特性 (Typ. Ta=25 °C) 100 90 80 ΄םρΑ 70 ৣཡগȜΞͻϋΈέͼͺ ൫ًၚ (%) 60 50 40 30 20 10 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 ෨ ಿ (nm) KMPDB0101JA 窓材 S7033シリーズ S7034シリーズ S7035シリーズ (2段電子冷却型) *15: 樹脂封止 *16: 気密封止 窓材 石英ガラス *15 (オプション: 窓なし) 反射防止コーティングサファイア *16 (オプション: 窓なし) 反射防止コーティングサファイア *16 (オプション: 窓なし) (Typ.) 1000 100 ճഩၠ (e-/pixel/s) 型名 暗電流－温度 10 1 0.1 0.01 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 أഽ (°C) KMPDB0256JA 4 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ デバイス構造 (外形寸法図において上面からみたCCDチップ概念図) ခْ࢘ள Thinning ခْ࢘ள 23 21 15 20 13 14 2-bevel 22 24 ႁ 1 n H 2 5 4 3 2 12345 4-bevel Thinning V 12 କΏέΠ τΐΑΗ 2 3 4 5 ήρϋ· (4ْள) 8 2 n 11 V=122 H=512, 1024 10 9 ήρϋ· (4ْள) ႁ କΏέΠτΐΑΗ 6-bevel 6-bevel ಕ) වৣ༷̥࢜ͣࡉ̹ાࣣȂକΏέΠτΐΑΗ͉Si͈࢚̞໐ (ະۜ໐)́ ໞ̞̳̦ͩͦ̀͘Ȃಿ෨ಿ͈͉ະۜ໐͈Siͬ൫ً̱ȂକΏέΠτΐΑΉ ̯ͦͥخෝ̦̜̳ͤ͘ȃຈါͅ؊̲̀৭͈̈́̓చॐ࣐̩̺̯̞ͬ̽̀ȃ KMPDC0076JB 5 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ タイミングチャート ラインビニング ಇୟۼܢ (ΏλΛΗ)ٳ ೄΫΣϋΈۼܢ (ΏλΛΗ) Tpwv 1 P1V 2 3..126 127 උ͙̱( ۼܢΏλΛΗ) 128← 122 + 6 (bevel) Tovr P2V, TG 4..530 531 4..1042 1043 Tpwh, Tpws P1H 1 2 3 532 : S703*-0907 1044: S703*-1007 P2H, SG Tpwr RG OS D1....D10 S1..S512 S1..S1024 D11....D20: S703*-0907 : S703*-1007 KMPDC0128JA 17 P1V, P2V, TG * P1H, P2H *17 SG RG TG–P1H 項目 パルス幅 上昇／下降時間 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 記号 Tpwv Tprv, Tpfv Tpwh Tprh, Tpfh Tpws Tprs, Tpfs Tpwr Tprr, Tpfr Tovr Min. 6 *18 10 500 10 500 10 100 5 3 Typ. 8 2000 50 2000 50 - Max. - 単位 μs ns ns ns % ns ns % ns ns μs *17: 最大パルス振幅の50 %のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。 *18: S7033-1007、S7034-1007Sの場合 6 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ エリアスキャン (大飽和電荷量モード) ಇୟۼܢ (ΏλΛΗ)ٳ උ͙̱( ۼܢΏλΛΗ) Tpwv 1 P1V 2 3 4..127 128←122 + 6 (bevel) P2V, TG P1H P2H, SG RG OS Tovr P2V, TG ڐఱ Tpwh, Tpws P1H P2H, SG Tpwr RG OS D1 D2 D3 S1..S512 D4 D18 D5..D10, S1..S1024, D11..D17 D19 D20: S703*-0907 : S703*-1007 KMPDC0130JA P1V, P2V, TG * P1H, P2H *19 SG RG TG-P1H 19 項目 パルス幅 上昇／下降時間 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 記号 Tpwv Tprv, Tpfv Tpwh Tprh, Tpfh Tpws Tprs, Tpfs Tpwr Tprr, Tpfr Tovr Min. 6 *20 10 500 10 500 10 100 5 3 Typ. 8 2000 50 2000 50 - Max. - 単位 μs ns ns ns % ns ns % ns ns μs *19: 最大パルス振幅の50 %のところに相補的クロックパルスをオーバーラップさせてください。 *20: S7033-1007、S7034-1007Sの場合 7 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ 外形寸法図 (単位: mm) 22.4 ± 0.3 22.9 ± 0.3 2.54 ± 0.13 2.54 ± 0.13 44.0 ± 0.34 34.0 ± 0.34 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 3.8 ± 0.44 8.2 * 2.928 ໐ 24.576 22.9 ± 0.3 වৣௗ 28.6 * ໐ 12.288 22.4 ± 0.3 වৣௗ 16.3 * 2.4 ± 0.15 S7033-1007 2.928 ࿂ (24 ×) 0.5 ± 0.05 4.8 ± 0.49 4.8 ± 0.49 4.4 ± 0.44 3.8 ± 0.44 (24 ×) 0.5 ± 0.05 2.4 ± 0.15 3.0 3.0 ࿂ 4.4 ± 0.44 8.2 * S7033-0907 *ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ *ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0081JC KMPDA0080JC S7034-0907S S7034-1007S වৣௗ 28.6 * වৣௗ 16.3 * 22.9 ± 0.3 19.0 4.0 8.2 * 2.928 22.9 ± 0.3 19.0 22.4 ± 0.3 4.0 44.0 ± 0.44 34.0 ± 0.34 52.0 42.0 60.0 ± 0.3 50.0 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ 7.7 ± 0.68 7.3 ± 0.63 6.7 ± 0.63 3.0 7.7 ± 0.68 7.3 ± 0.63 6.7 ± 0.63 4.8 ± 0.15 3.0 1.0 (24 ×) 0.5 ± 0.05 4.8 ± 0.15 ഩঊ႖ݕளঊ ഩঊ႖ݕளঊ (24 ×) 0.5 ± 0.05 ࿂ 1.0 8.2 * 2.928 2.54 2.54 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 22.4 ± 0.3 ໐ 24.576 ໐ 12.288 *ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ *ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0082JD KMPDA0083JD 8 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ ピン接続 ピン 記号 No. 1 RD 2 OS 3 OD 4 OG 5 SG 6 7 8 P2H 9 P1H 10 IG2H 11 IG1H 12 ISH 13 TG *21 14 P2V 15 P1V 16 17 18 19 20 SS 21 ISV 22 IG2V 23 IG1V 24 RG S7033シリーズ 機能 リセットドレイン 出力トランジスタソース 出力トランジスタドレイン 出力ゲート サミングゲート CCD水平レジスタ クロック-2 CCD水平レジスタ クロック-1 テストポイント (水平入力ゲート-2) テストポイント (水平入力ゲート-1) テストポイント (水平入力ソース) トランスファーゲート CCD垂直レジスタ クロック-2 CCD垂直レジスタ クロック-1 基板 (GND) テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート-2) テストポイント (垂直入力ゲート-1) リセットゲート 記号 RD OS OD OG SG P2H P1H IG2H IG1H ISH TG *21 P2V P1V Th1 Th2 PP+ SS ISV IG2V IG1V RG S7034シリーズ 機能 リセットドレイン 出力トランジスタソース 出力トランジスタドレイン 出力ゲート サミングゲート 備考 （標準動作） +12 V RL=22 kΩ +20 V +3 V P2Hと同タイミング CCD水平レジスタ クロック-2 CCD水平レジスタ クロック-1 テストポイント (水平入力ゲート-2) テストポイント (水平入力ゲート-1) テストポイント (水平入力ソース) トランスファーゲート CCD垂直レジスタ クロック-2 CCD垂直レジスタ クロック-1 サーミスタ サーミスタ 電子冷却素子 (-) 電子冷却素子 (+) 基板 (GND） テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート-2) テストポイント (垂直入力ゲート-1) リセットゲート -8 V -8 V RDに接続 P2Vと同タイミング GND RDに接続 -8 V -8 V *21: 垂直レジスタと水平レジスタ間の分離ゲート。標準動作ではTGにP2Vと同じパルスを入力してください。 内蔵電子冷却素子の仕様 (Typ.) 項目 内部抵抗 最大電流 *22 最大電圧 最大熱吸収 *25 放熱側の最大温度 記号 条件 Rint Ta=25 °C Imax Tc *23=Th *24=25 °C Vmax Tc *23=Th *24=25 °C Qmax - S7034-0907S 2.5 1.5 3.8 3.4 70 S7034-1007S 1.2 3.0 3.6 5.1 70 単位 Ω A V W °C *22: 電流値がImax以上になると、ジュール熱によって熱吸収率が低下し始めます。この最大電流 Imaxは冷却器を損なわないための閾 値ではありませんので注意してください。電子冷却素子を保護し、安定した動作を維持するために、供給電流をこの最大電流の 60 %以下に設定してください。 *23: 電子冷却素子の冷却側の温度 *24: 電子冷却素子の放熱側の温度 *25: 最大電流をセンサに供給したときに、電子冷却素子に生じる温度差を補正する理論的な熱吸収レベルです。 9 S7033/S7034シリーズ CCDエリアイメージセンサ S7034-0907S (Typ. Ta=25 °C) ഩգȽഩၠ CCD أഽȽഩၠ ഩ գ (V) 6 30 20 5 10 4 0 3 -10 2 -20 1 -30 0 0 1.0 0.5 1.5 CCD أഽ (°C) 7 -40 2.0 ഩ ၠ (A) KMPDB0178JA S7034-1007S (Typ. Ta=25 °C) ഩգȽഩၠ CCD أഽȽഩၠ ഩգ (V) 6 30 20 5 10 4 0 3 -10 2 -20 1 -30 0 0 1 2 3 4 CCDأഽ (°C) 7 -40 ഩၠ (A) KMPDB0179JA 10 CCDエリアイメージセンサ S7033/S7034シリーズ 内蔵温度センサの仕様 CCDチップと同じパッケージにサーミスタチップが内蔵されており、動作中のCCDチップ温度をモニタします。 このサーミスタの抵抗値と絶対温度の関係は次式で表されます。 (Typ. Ta=25 °C) 1 MΩ RT1 = RT2 × exp BT1/T2 (1/T1 - 1/T2) 使用しているサーミスタの特性は以下のとおりです。 R298=10 kΩ B298/323=3450 K ࢯ RT1: 絶対温度 T1 [K]のときの抵抗値 RT2: 絶対温度 T2 [K]のときの抵抗値 BT1/T2: B定数 [K] 100 kΩ 10 kΩ 220 230 240 250 260 270 280 290 300 أഽ (K) KMPDB0111JA 使用上の注意 (静電対策) ● センサは、素手あるいは綿の手袋を付けて扱ってください。摩擦で生じる静電気によるダメージを避けるため、静電防止服やアー ス付きリストバンドを身に着けてセンサを取り扱ってください。 ● 静電気を帯びる可能性のある作業台やフロアの上にセンサを直接置かないでください。 ● 作業台や作業フロアには、静電気を放電させるためのアース線を接続してください。 ● センサを取り扱うピンセットやはんだごてなどの道具にもアースを取るようにしてください。 上記の静電対策は必ずしもすべて行う必要はありません。発生する障害の程度に応じて対策を施してください。 素子の冷却・昇温時の温度勾配速度 素子の冷却・昇温時の温度勾配速度は、5 K/min以下になるように設定してください。 11 CCDエリアイメージセンサ S7033/S7034シリーズ マルチチャンネル 検出ヘッドC7043, C7044 特長 C7043: S7033シリーズ用 C7044: S7034シリーズ用 エリアスキャンまたはラインビニング動作 読み出し周波数: 250 kHz 読み出しノイズ: 60 e- rms ΔT=50 °C (ΔTは冷却方法により異なる) 入力 マスタースタート 記号 VD1 VA1+ VA1VA2 VD2 Vp VF φms マスタークロック φmc 印加電圧 定格値 +5 Vdc, 200 mA +15 Vdc, +100 mA -15 Vdc, -100 mA +24 Vdc, 30 mA +5 Vdc, 30 mA (C7044) +5 Vdc, 2.5 A (C7044) +12 Vdc, 100 mA (C7044) HCMOSロジックコンパチブル HCMOSロジックコンパチブル 1 MHz 本資料の記載内容は、平成26年2月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ොවॽအ̹͉͘ϋίσ̞̤̀ͅރȂ߿ྴ͈ྎͅॻॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂٳอॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪŅķߊځĹْ౷ġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KPIN1029J11 Feb. 2014 DN 12