MCP & MCPアッセンブリ

概要
MCP(マイクロチャンネルプレート)は、真空中において電子・イオン・真空紫外線・X線・γ線などを、2次元的に増倍し
検出するセンサです。円形と矩形のMCPがあり、それらに電極リード等をマウントして手軽にお使いいただけるMCPアッセン
ブリも提供しております。「質量分析」・「半導体検査装置」・「表面分析」をはじめ各種分析装置に幅広く使用されています。
MCPアッセンブリには、用途に応じた3種類の出力読み出し系があります。シングルアノード(有効領域内の入力を電流として
出力)・マルチアノード(信号の入射位置ごとに電流を出力)・蛍光面(可視光として出力)から最適なものをお選びください。
また、MCPは1∼3段までお選びいただけます。必要に応じたゲインが得られ、アナログモード(直流電流として計測)・カウ
ンティングモード(微弱信号をパルス計測)での使用が可能です。
動作原理
右下に示すように、MCPの入力側・出力側2つの電極間に電圧VDを供給すると、チャンネル方向に電位勾配が生まれます。ここ
で入射電子が入力側の内壁に当たると、複数の二次電子が放出されます。これらの二次電子は電位勾配によって出力側に加速
されるため、初速度によって決まる放物線軌道を描きます。そして反対側の内壁に衝突して再び二次電子を放出します。このよ
うにして電子はチャンネルの内壁に何回も衝突しながら出力側へ進んでいき、結果として指数関数的に増倍された電子が取り
出されます。
■厚さ
構造模式図
MCPの厚さをチャンネルの長さとみなし、このチャンネル長Lと
チャンネル径dの比をα (=L/d)と呼び、αと材料固有の二次電子
チャンネル径: d
放出係数がMCPのゲインを決定します。αは通常40∼60で製作
されますが、必要なチャンネル径とこのαの設計値により厚さが
決まります。
長さ: L
■開口率 (Open Area Ratio: OAR)
有効面積に対するチャンネル開口部面積の比率です。
■バイアス角
プレートの入射面に対する垂直軸を基準としたチャンネルの軸の
傾きです。このバイアス角は検出効率や入力信号がチャンネル壁
に衝突せず突き抜けてしまうことの防止、解像度などを考慮して
チャンネル内壁
入射電子
出射電子
通常5°
∼15°
の適切な値が選ばれます。
入力側電極
出力側電極
ストリップ電流
VD
TMCPC0002JF
1
高開口率 (OAR): ファネルタイプ(オプション)
開口率 (OAR)は通常60 %に設定されますが、多くの信号をチャンネルに導くため、開口率を最大90 %まで向上させた「ファネ
ル」タイプもご用意できます。ご希望の場合はお問い合わせください。
標準品
OAR 60 %
イオン
イオン
ファネルMCP
OAR 90 %
ネル
チャン
ネル
チャン
12 µm
12 µm
断面構造図
断面構造図
▲チャンネル入口形状(SEM画像)
▲チャンネル入口形状(SEM画像)
特性
■MCPゲイン特性
■パルス波高分布: PHD
TMCPB0005JB
TMCPB0034JD
108
MCP3段
MCP2段
カウント数 (s-1)
107
ゲイン
106
MCP3段
MCP2段
105
104
MCP1段
パルス波高 (チャンネル数)
103
0
1.0
2.0
3.0
供給電圧 (kV)
■MCP飽和特性(出力直線性)
アナログモード
150
カウンティングモード
TMCPB0072JA
TMCPB0042JE
108
107
100
カウント数 (s-1)
相対ゲイン (%)
ワイドダイナミックレンジ MCP F6584
抵抗: 7.5 MΩ
有効径: 20 mm
標準 MCP
抵抗: 200 MΩ
有効径: 20 mm
50
106
標準 MCP
抵抗: 400 MΩ / MCP2段
ゲイン: 5×106
有効径: 20 mm
105
0
10-8
ワイドダイナミックレンジ MCP F6584
抵抗: 22.4 MΩ / MCP2段
ゲイン: 8×106 , 有効径: 20 mm
104
10-7
10-6
出力電流 (A)
10-5
10-4
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
出力電流 (A)
2
MCP単体 仕様と外形寸法図
円形
MCPF0006
入力側
D
C
A
θ
B
入力側表示 1
出力側
TMCPA0056JA
F1552
F1217
F1551
F1094
型名
F1208-01
F1942-04 F2395-04 単位
項目
-015 -06 -011 -074 -015 -011 -074 -015 -011 -074
-015 -011
外 形 寸 法 A
φ17.9
φ32.8
φ86.7 φ113.9 mm
φ49.9
φ24.8
φ38.4
電極エリア B
φ17
φ31.8
φ84.7 φ112 mm
φ49
φ23.9
φ36.5
有効エリア C
φ14.5
φ27
φ77 φ105 mm
φ42
φ20
φ32
厚 さ D
mm
0.48
0.48
0.3
0.3 0.48
1
0.48
0.48 0.2 0.48 0.3
チャンネル径
µm
12
12
12
6
6
25
4
12
6
12
12
チャンネルピッチ
µm
15
15
15
7.5
7.5
31
5
15
7.5
15
15
バイアス角度 θ
度
8
8
8
12
8
8
12
12
8
12
開口率
%
55
60
60
電極材料
—
インコネル
ゲイン (Min.) 3
—
104
104
5×103
5×103
104
5×103
104
3
抵抗
100∼700 10∼100 20∼100 20∼200 50∼500 10∼50 10∼100 15∼200 6.7∼33.3 6.7∼66 20∼100 10∼200 4∼20 10∼100 5∼50 MΩ
0.5
暗電流 (Max.) 3
pA·cm-2
3
2
ストリップ電流 の7 %まで
最大直線性出力
—
供給電圧 4
1.0
kV
-50∼+70
°C
動作周囲温度 4
NOTE: 1MCP入力側を示します。形は製品により異なります。
2ストリップ電流とは、MCP IN-OUT間に電圧をかけたときにチャンネル壁にそって流れる電流のことであり、電圧÷MCP抵抗で与え
られます。
3供給電圧1.0 kV、真空度1.3 × 10-4 Pa、動作周囲温度+25 °C
4真空度1.3 × 10-4 Pa
5F1551-01, F1094-01, F1552-01, F1208-01, F1217-01は、センターホール (φ6 mm)タイプもございます。
3
矩形
C’
A’
θ
B’
MCPF0011
C
D
B
入力側表示 1
A
入力側
出力側
TMCPA0057JA
型名
項目
外 形 寸 法 A×A'
電極エリア B×B'
有効エリア C×C'
厚 さ D
チャンネル径
チャンネルピッチ
バイアス角度 θ
開口率
電極材料
ゲイン (Min.) 3
抵抗 3
暗電流 (Max.) 3
最大直線性出力 3
供給電圧 4
動作周囲温度 4
F2370-01
F4772-01
F2806-01
F1943-02
F2805-03
F2396-04
単位
15.9×9.4
15×8.5
13×6.5
61.9×13.9
61×13
55×8
0.48
12
15
49.9×39.9
49×39
45×35
87.9×37.9
87×37
81×31
0.60
15
19
59.9×59.9
58×58
53×53
0.80
20
25
96.9×78.9
95.6×77.3
90×72
1.00
25
31
20∼120
10∼50
mm
mm
mm
mm
µm
µm
度
%
—
—
MΩ
pA·cm-2
—
kV
°C
100∼500
8
60
インコネル
104
20∼200
0.5
ストリップ電流 2の7 %まで
1.0
-50∼+70
4
MCPアッセンブリ目的別セレクションガイド
検出対象
電子
+/-イオン
真空紫外線
X線
TOF検出
信号量測定
(Time of Flight)
到達時間
の差を測定
信号量
を測定
MCPF0081
MCPF0088
デマンタブル
信号読み出しリード
捕えるX線∼電子の強弱に応じMCPを3段まで組込むこ
とが可能です。ネジ止めによるマウント方式であるため
MCPを交換することができます。
スタンダード
MCP
フランジ部
センターホール(穴開き)
円形・矩形タイプがあります。
円形タイプには、さらに小型化したタイプも
あります。
イオン・X線、etc.
高速応答
出力波形
サンプル
中央部に穴の開いた構造となっており、そこか
らイオン・X線などをサンプルに照射し、サン
プルからの信号を高効率で検出できます。
ページ
5
高速信号の読み出し用に設計されたアノード
です。
“リンギング”と呼ばれる波形のうねりを無
くし、きれいで高速な信号出力が得られます。
円形
矩形
小型
スタンダード
高速応答
アノードグラウンド
フローティング
小型
小型・4 µm MCP
P.9
P.10
P.11
P.12
P.12
P.13
P.13
P.14
P.14
MCP
信号読み出し系
1: シングルアノード
2: マルチアノード
3: 蛍光面
位置検出
画像読出
信号量
と位置分布
を測定
信号分布
を画像として
捕らえる
MCPF0077
薄型
ハトメ
マルチアノード
MCPF0082
蛍光面出力
イオン・X線、etc.
MCP
蛍光面
MCP
(15.1)
マルチ
アノード
イオン・電子
(5.6)
電子
TMCPC0104JA
信号
狭いスペースに設置可能です。
配線接続が2ヶ所で済むためメ
ンテナンスが簡単です
デマンタブルタイ
プのようにMCPの
交換はできません
が、小型・安価で
す。
特長
•1次元(1×n)、2次元(a×n)に任意の
読み出しパターンが可能
•同時計数(並列読み出し)が可能
•高い計数率
•アノードピッチ: 3 mm以上
MCPからの出力電荷を、蛍光体の塗布さ
れたガラス面板で可視光像に変換します。
M C P 1 段で4 0 µ m ∼ 5 0 µ m 、2 段で
80 µm∼100 µmの解像度を有しています。
蛍光体はP43, P46, P47の3種類からお
選びください。
(詳しい仕様は9ページをご
覧ください。)
高速応答
ハトメ
ハトメ
円形
矩形
円形
矩形
真空フランジ付
P.15
P.8
P.8
P.9
P.10
P.9
P.10
P.16
6
MCPアッセンブリ用途別セレクションガイド
MCP アッセンブリは主に「質量分析」
・「半導体検査装置」・「表面分析」に使用されています。
その代表的用途に最適なタイプをお選びいただくためのセレクションガイドです。
該当する用途例がない場合、弊社までお気軽にお問い合わせください。
◎:最適 ○:使用可能
分 野
質量分析
用途
検
出
方
法
MCPアッセンブリ
飛
行
時
間
質
量
分
析
T
O
F
︲
M
S
M
A
L
D
I
L
C
︲
M
S
半導体検査装置
四
重
極
質
量
分
析
二
重
集
束
型
質
量
分
析
ガ
ス
ク
ロ
/
液
ク
ロ
質
量
分
析
誘
導
結
合
形
高
周
波
プ
ラ
ズ
マ
質
量
分
析
二
次
イ
オ
ン
質
量
分
析
Q
︲
M
S
セ
ク
タ
ー
M
S
G
C
/
L
C
︲
M
S
I
C
P
︲
M
S
S S S E
I E I B
M M M M
S
S
走
査
電
子
顕
微
鏡
走
査
イ
オ
ン
顕
微
鏡
線
幅
測
長
器
円形MCPデマンタブルタイプ(シングルアノード) ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
総
量
測
定
・
T
O
F
検
出
位
置
検
出
画
像
読
出
7
電
子
、
イ
オ
ン
ビ
ー
ム
露
光
装
置
マ
ス
ク
ア
ラ
イ
ナ
ー
表面分析
F
I
B
シ
ス
テ
ム
オ
ー
ジ
ェ
電
子
分
光
イ
オ
ン
散
乱
分
光
X
線
光
電
子
分
光
A I E R
E S S B
S S C S
A
○ ○
円形MCPハトメタイプ(シングルアノード)
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
○ ○
F2223-21SH
○ ○
軟
X
線
分
光
中
速
反
射
電
子
線
解
析
低
速
電
子
線
解
析
電
界
イ
オ
ン
顕
微
鏡
透
過
電
子
顕
微
鏡
軟
X
線
顕
微
鏡
ポ
ジ
ト
ロ
ン
検
出
V S R L F T S
U X M E I E X
V S E E M M M
E D
S
D
F4294-09
◎ ◎
○
◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
F4655/-14
真
空
紫
外
線
分
光
○ ○ ○ ○
矩形MCPデマンタブルタイプ(シングルアノード) ○ ○ ○ ○
◎ ◎
ラ
ザ
ー
フ
ォ
ー
ド
後
方
散
乱
分
光
◎ ◎ ◎
○ ○
F4655-10/-11
○ ○ ◎ ○ ○ ◎ ○
○ ○
F4655-13
◎ ◎ ○ ○
○
○ ○
F9890-31/-32, F9892-31/-32
○ ◎ ◎ ○ ◎ ◎ ○
○ ○
F9890-13/-14, F9892-13/-14
◎ ○ ◎ ○ ○ ○ ○
○ ○
F12334-11, F12395-11, F12396-11
◎ ○ ◎ ○ ○ ○ ○
○ ○
円形MCPデマンタブルタイプ(マルチアノード)
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
◎
○ ○
矩形MCPデマンタブルタイプ(マルチアノード)
○ ○
○
○
◎
○ ○
円形MCPハトメタイプ(マルチアノード)
○
○
◎
○ ○
円形MCPデマンタブルタイプ(蛍光面)
○
○
◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ○ ○ ○
矩形MCPデマンタブルタイプ(蛍光面)
◎ ◎ ○ ○ ◎ ○ ○ ○
F2225-21PGF
◎ ◎ ○ ○ ◎ ○ ○ ○
F6959
◎ ◎ ○ ○ ○ ○ ○ ○
MCPアッセンブリ 仕様と外形寸法図(単位
(単位:: mm)
mm
1
型名
F1551
F1094
F1552
F1208
F1217
チャンネル径
MCP段数
(µm)
(段)
12
1∼3
ゲイン
(Min.)
パルス波高
分解能
(Max.)
(%)
MCP1段: 1 × 104
MCP2段: 1 × 106
MCP3段: 1 × 107
MCP2段: 120
MCP3段: 80
1
1
2
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
3
(MCP2段および3段)
MCP1段: 1.0
MCP2段: 2.0
MCP3段: 3.0
シングルアノード: 0.5
マルチアノード: 0.5
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
円形(ハトメ)
MCP
アノード
リード線
8 × 0.5
SUS
真空ベーキングは、装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。
°
30
30°
1
ハトメ2本
2
ハトメ1本
1
D
B
有効エリア
A
3
1
ハトメ1本
3
1MCP-IN リード (4本)
2MCP-OUT リード(2本)
3アノードリード (2本)
2
C
ハトメ1本
30 MIN.
1
TMCPA0027JF
アノード種類
MCP段数
読み出し系無し
シングルアノード
1∼3段
記号
説明
A
外形寸法
B
MCP有効エリア
マルチアノード
蛍光面タイプはありません。
C
高さ
MCP
D リード線ピッチ径
F1551 F1094 F1552 F1208 F1217 単位
27
34
42
49
62
mm
14.5
20
27
32
42
mm
1段
4.5
2段
5.7
3段
5.7
22.5
29.5
37.5
mm
44
56
mm
マルチアノードタイプは寸法が異なります。
アノードなしのタイプも対応可能です。
円形(ハトメ)の型名ガイド
円形 MCP アッセンブリ(ハトメタイプ)にのみ対応です。その他 MCP 単体 / アッセンブリのご注文につきましては、型名を
そのままご指定ください。* お客様ご自身で読み出し系をご用意される場合、読み出し系無しでのご提供となります。
F 1 55 1-21S
読み出し系
サフィックス無し: 読み出し系無し *
S: シングルアノード
チャンネル径
型名: アッセンブリタイプ
1: 12 mm
MCP段数
1: 1段
2: 2段
3: 3段
8
(単位:: mm)
mm
MCPアッセンブリ 仕様と外形寸法図(単位
1
型名
チャンネル径
MCP段数
(µm)
(段)
F2221
F2222
F2223
F2224
F2225
F2226
12
パルス波高
分解能
(Max.)
(%)
ゲイン
(Min.)
下記
MCP1段: 1 × 104
「アノード種類」 MCP2段: 1 × 106
参照
MCP3段: 1 × 107
1
MCP2段: 120
MCP3段: 80
1
2
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
3
(MCP2段および3段)
MCP1段: 1.0
MCP2段: 2.0
MCP3段: 3.0
シングルアノード: 0.5
マルチアノード: 0.5
蛍光面: 3.0 ∼ 4.0
25
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
円形(デマンタブル)
真空ベーキングは、装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。
アノード種類
F
3
MCP-INリード
電極リード
45°
シングルアノード
3
インシュレータ
記号
読み出し系
1∼2段
説明
F2221 F2222 F2223 F2224 F2225 F2226 単位
A
外形寸法
54
61
69
75
86
123 mm
B
固定用ネジ穴ピッチ径
46
53
61
67
78
115 mm
34
41
49
55
66
103 mm
14.5
20
27
32
42
C インシュレータ外径
E
D
C
B
A
H
1.0
蛍光面
ガス抜き用
間隙
チャンネル
バイアス方向
1∼3段
マルチアノード
基板
ナットM2
MCP-OUT
リード
MCP
D
MCP有効エリア
77
mm
E
読み出し系有効エリア
10
17
24
30
40
75
mm
F
最大高
15
15
15
15
15
17
mm
20
基板底から
1段
10.9
12.9
G インシュレータ MCP 2段
4 × 3.5
4 × 4.5
アノードまたは
蛍光面リード
MCP段数
読み出し系無し
G
11.9
14.4 mm
表面までの距離
3段
11.9
15.9
MCP入力面から
1段
2.8
3.8
MCP 2段
3.3
4.3
3段
2.9
4.8
H インシュレータ
表面までの距離
TMCPA0026JH
mm
型名によって形状が異なることがあります。
蛍光面
残光時間は読み出し方法・用途に合わせ、発光波長は読み出しデバイスの受光感度に合わせてお選びください。
種類
最高発光波長 (nm)
発光色
相対エネルギー効率 1
10 %残光時間
備考
P43
545
黄緑
1
1 ms
標準タイプ
P46
510
黄緑
0.3
0.2 µs ∼ 0.4 µs 2
残光時間が短い
P47
430
青紫
0.3
0.11 µs
残光時間が非常に短い
NOTE: 1供給電圧: 6 kV。P43を1としたときの相対値です。 2入射パルス幅により変わります。
■発光分布特性
100
■残光特性
TMCPB0090JA
102
TMCPB0091JA
P43DC3
P47
視感度
P43
80
101
相対出力 (%)
相対出力 (%)
P46
60
40
P46
100
P47
10-1
20
1 ms
0
350
400
450
500
550
波長 (nm)
9
1 ms
100 ns
600
650
700
100 ns
入射光パルス幅
蛍光面最大電流 8 nA/cm2
10-2
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
残光時間 (s)
10-3
10-2
3連続入射光がなくなった場合
の残光特性
1
型名
チャンネル径
MCP段数
(µm)
(段)
F2813
15
F2814
20
F3490
12
パルス波高
分解能
(Max.)
(%)
ゲイン
(Min.)
下記
MCP1段: 1 × 104
「アノード種類」 MCP2段: 1 × 106
MCP3段: 1 × 107
参照
MCP2段: 120
MCP3段: 80
1
1
2
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
3
(MCP2段および3段)
MCP1段: 1.0
MCP2段: 2.0
MCP3段: 3.0
シングルアノード: 0.5
マルチアノード: 0.5
蛍光面: 3.0 ∼ 4.0
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
矩形(デマンタブル)
真空ベーキングは、装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。
MCP-OUTリード
3
アノード種類
チャンネルバイアス方向
MCP段数
読み出し系無し
シングルアノード
20
MCP-INリード
1∼3段
マルチアノード
蛍光面
E’
A’
B’
D’
記号
4 × 3.5
アノードまたは
蛍光面リード
D
C
A×A'
F2813
F2814
128×54
96×76
固定用ネジ穴ピッチ
120×46
86×68
104×54
76×76
D×D'
MCP有効エリア
81×31
53×53
55×8
mm
E×E'
読み出し系有効エリア
80×30
50×50
52×7
mm
1段
10.9
10.9
MCP 2段
11.9
11.9
11.9
mm
3段
11.9
12.9
F
電極リード
インシュレータ
表面までの距離
MCP入力面から
ナベネジM2
3
E
インシュレータ
72×18
1段
2.7
2.5
3.8
MCP 2段
3.1
2.7
3.3
3段
2.5
2.9
2.9
表面までの距離
mm
66×29.5 mm
mm
型名によって形状が異なることがあります。
F
G
G
インシュレータ
単位
インシュレータ外形
基板底から
MCP
F3490
78×29.5 mm
B×B'
A
ガス抜き用間隙
説明
外形寸法
C×A'
B
基板
1∼2段
読み出し系
TMCPA0029JG
円形 / 矩形(デマンタブル)の型名ガイド
円形 / 矩形 MCP アッセンブリ(デマンタブルタイプ)にのみ対応です。その他 MCP 単体 / アッセンブリのご注文につきまして
は、型名をそのままご指定ください。* お客様ご自身で読み出し系をご用意される場合、読み出し系無しでのご提供となります。
読み出し系に蛍光面をご使用の場合、変更すべき点がございますので、あらかじめ弊社までお問い合わせください。
F 2 22 4-21P
読み出し系
サフィックス無し: 読み出し系無し *
S: シングルアノード
M: マルチアノード
P: 蛍光面(P43、P46、P47から選択。9ページ参照)
チャンネル径
型名: アッセンブリタイプ
1: 12 µm
2: 15 µm(矩形タイプのみ)
3: 20 µm(矩形タイプのみ)
4: 25 µm(円形タイプのみ)
MCP段数
1: 1段
2: 2段
3: 3段
10
MCPアッセンブリ 仕様と外形寸法図(単位
(単位:: mm)
mm
1
型名
チャンネル径
MCP段数
(µm)
(段)
12
2
F4655
F4655-14
ゲイン
(Min.)
パルス波高
分解能
(Max.)
(%)
5 × 107
50
1
1
2
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
3
2.5
0.5
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
F4655
真空ベーキングは、装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。
3
MCP-OUTリード
8.5
0.5t
SUS
7.5
°
0°
6
60
3 × 2.2
P.C.D.* 25.6
* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)
14.5
有効エリア
18
12
MCP (2段)
2
基板
アノード
3.5
MCP-OUTリード
3.5
アノードリード
シールド板
(基板と同電位)
TMCPA0001JJ
F4655-14
真空ベーキングは、装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。
3
MCP-INリード
(8)
0.5t
SUS
7.5
(4.5)
6
°
12
0°
60
3 × 2.2
P.C.D.* 25.6
* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)
14.5
有効エリア
18
固定用 (M1.6)
2
MCP (2段)
基板
MCP-OUTリード
3.5
3 × M1.6 長さ12
P.C.D.* 21.5
アノードリード
3.5
アノード
シールド板
(基板と同電位)
TMCPA0086JB
11
型名
チャンネル径
MCP段数
(µm)
(段)
12
2
F2223-21SH
F4294-09
1
MCP
センター
不感部分
(mm)
8
12
ゲイン
(Min.)
パルス波高
分解能
(Max.)
(%)
1 × 106
—
1
1
2
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
3
2.0
0.5
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
F2223-21SH
* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)
8.6
メッシュ
MCP(2段)
41
10
27
有効エリア
8
不感部
4 × 2.6
P.C.D.* 50.8
56.5
45°
MCPセンターホール 6
センターパイプ(外径: 5)
センターパイプ(内径: 4)
真空ベーキングは、装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。
4× 1
6
1 234
3
基板
1.6
1メッシュリード
2MCP-IN リード
3MCP-OUT リード
4アノードリード
TMCPA0002JH
F4294-09
MCP-IN リード
4 × 3.5
P.C.D.* 61
17 (8.5)
14.6 5.3
3
アノード
基板
MCP(2段)
69
49
27
有効エリア
12
不感部
45 °
20
3
MCP-OUT リード
MCPセンターホール 10
センターパイプ(外径: 8)
センターパイプ(内径: 6)
* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)
9.5
インシュレータ
SMA コネクタ
TMCPA0042JF
12
MCPアッセンブリ 仕様と外形寸法図(単位
(単位:: mm)
mm
1
型名
チャンネル径
MCP段数
(µm)
12
6
12
6
12
6
12
6
(段)
F9890-13
F9890-14
F9890-31
F9890-32
F9892-13
F9892-14
F9892-31
F9892-32
パルス幅
(FWHM)
(ps)
ゲイン
(Min.)
パルス波高
分解能
(Max.)
(%)
1 × 106
150
1
1
2
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
3
2.0
0.5
900
450
2
1200
700
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
F9890-13/-14, F9892-13/-14
D 21.3
E
3
結線例
4 × 4.5
1.65
4
5°
アッセンブリ
MCP-INリード
基板
MCP(2段) 150 pF × 4 (3 kV)
アンプ
IN
F
G
24
信号出力
(BNC)
B
C
A
有効エリア
MCP-OUT
リード
信号
BNC1
-500 V
-2 kV
Max.
Max.
フローティング (500 V動作を推奨)
動作可能な
電源
IN
1SMAコネクタタイプも対応可能
A
B
C
D
E
F
G
50 Ω
入力
OUT
デバイダ回路
を用いた場合
F9890-13 F9890-14 F9892-13 F9892-14
42
27
92
81
75
63
11.6
11.6
12
12
9.6
9.6
10
10
84
72
64
52
OUT
2 MΩ
0.5 MΩ
(3 W)
(1 W)
-2.5 kV
Max.
TMCPA0075JC
F9890-31/-32, F9892-31/-32
44.5
35
結線例
4 × 4.5
F
1.65
D
E
3
アッセンブリ
45°
MCP-INリード
MCP(2段)
MCP-OUT
リード
信号出力
(SMA)
IN
H
I
G
B
C
A
有効エリア
1 MΩ
アノードリード
A
B
C
D
E
F
G
H
I
13
F9890-31 F9890-32 F9892-31 F9892-32
27
42
92
81
63
75
20.2
19.9
20.2
19.9
18.2
17.9
18.2
17.9
MCP-INリード
13.5
13.9
13.5
13.9
15.2
15.2
MCP-OUTリード
19.4
19.4
アノードリード
35
40
72
84
52
64
アンプ
140 pF(40 kV)
メッシュ
信号
SMA
基板
150 pF × 4 (15 kV)
50 Ω
入力
アノード
OUT
500 V (500 V動作を推奨)
2 kV
Max.
Max.
フローティング フローティング
動作可能な 動作可能な
電源
電源
-10 kV ∼ +10 kV
IN
デバイダ回路
を用いた場合
アノード
OUT
2 MΩ 0.5 MΩ
(3 W)
(1 W)
2.5 kV フローティング動作
可能な電源
Max.
-10 kV ∼ +10 kV
TMCPA0082JD
1
型名
チャンネル径
MCP段数
(µm)
(段)
パルス幅
(FWHM)
(ps)
2
600
F4655-10
F4655-11
F4655-13
12
4
ゲイン
(Min.)
パルス波高
分解能
(Max.)
(%)
5 × 107
1×
106
1
1
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
50
3
2.5
120
5
2.0
2
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
0.5
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
F4655-10/-13
* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)
(31.9)
18.1
10.3
2 × 2.2
P.C.D.* 25.6
3
基板
3
0.5
MCP (2段)
アノード
BNC-R
38
A
3.5
30°
14.5
有効エリア
18
30°
6
MCP-INリード
MCP-OUTリード
3 × 3.5
P.C.D.* 32
シールド板
(基板と同電位)
A
F4655-10 F4655-13
2
3
TMCPA0021JG
F4655-11
MCP-INリード
7.5
(35.6)
BNC-R-S
70
MCP (2段)
33
14.5
有効エリア
12
0°
MCP-OUTリード
アノード
2-SHV-R
40
°
真空フランジ
(ICF 70)
TMCPA0085JB
14
MCPアッセンブリ 仕様と外形寸法図(単位
(単位:: mm)
mm
1
型名
F12334-11
F12395-11
F12396-11
ゲイン
(Min.)
(段)
パルス幅
(FWHM)
(ns)
2
1.5
1 × 106
チャンネル径
MCP段数
(µm)
12
パルス波高 1
分解能
(Max.)
(%)
1
2
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
33
—3
0.5
—
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
3ブリーダー抵抗内蔵によりHV電極に最大-2.1 kV
F12334-11, F12395-11, F12396-11
D
C
(15.1)
B
4 × 3.5
有効エリア
A
(5.6)
信号出力
(SMA)
2
2 × M3
R1
C1
C1
G
F
E
MCP(2段)
R2
C1
R2
基板
HV
結線例
A
B
C
D
E
F
G
F12334-11 F12395-11 F12396-11
42
27
20
51
40
36
62
51
46
72
61
54
40
30
30
51
40
36
52
41
38
アッセンブリ
MCP(2段)
HV
R1
-2.1 kV
Max.
基板
3 × C1
信号出力 (SMA)
アノード
50 Ω
入力
R2
R1 : 20 MΩ
R2 : 1 MΩ
C1 : 150 pF (3 kV)
TMCPA0084JC
15
1
型名
F2225-21PGF
F6959
チャンネル径
MCP段数
(µm)
(段)
12
2
ゲイン
(Min.)
パルス波高
分解能
(Max.)
(%)
1 × 106
—
1
1
2
ダークカウント
(Max.)
(s-1·cm-2)
MCP
供給電圧
(kV)
3
2.0
2
MCP-OUT−アノード間
供給電圧
(kV)
4.0
3.0
NOTE: 1供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C
2真空度1.3 × 10-4 Pa
F2225-21PGF
真空ベーキングは、装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。
蛍光面については9ページ参照。
(60)
(14)
MCP-IN端子
(SHV)
真空フランジ
(ICF152)
(46)
20
19
(21)
10.9
ビューイングポート
(ICF114)
(21)
蛍光面端子
(SHV)
114
42
66
150
40
有効エリア
MCP(2段)
MCP-OUT端子
(SHV)
TMCPA0081JD
F6959
* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)
蛍光面については9ページ参照。
(7)
(30)
MCP-IN端子
(SHV)
(36.1)
19.8
9.3
3-SHV
真空フランジ
(ICF152)
O-リング
28
55
102
150
2.8
FOP
28
有効エリア
MCP (2段)
MCP-OUT端子
(SHV)
(30)
4 × M3 深さ 5
P.C.D.* 90
蛍光面端子
(SHV)
TMCPA0038JF
16
MCPアッセンブリ 結線例
信号検出
イメージ検出
●+イオン検出(アノードグラウンド)
アッセンブリ
●+イオン検出(MCP-OUT: GND)
アッセンブリ
MCP(2段)
MCP(2段)
基板
基板
蛍光面
アンプ
アノード
IN
IN
OUT
-0.5 kV Max.
OUT
PHOS
-2 kV
Max.
-2.0 kV Max.
4 kV
Max.
フローティング
動作可能な電源
デバイダ回路
を用いた場合
2 MΩ
0.5 MΩ
(3 W)
(1 W)
●電子または–イオン検出(MCP-IN: GND)
アッセンブリ
MCP(2段)
基板
蛍光面
-2.5 kV Max.
●電子または–イオン検出(アノードフローティング (MCP-IN: GND))
IN
OUT
MCP(2段)
アッセンブリ
4 kV Max.
基板 カップリング回路
アンプ
150 pF/3 kV
2 kV
Max.
フローティング
動作可能な電源
2 MΩ
4 MΩ
(3 W)
(5 W)
信号出力
アノード
PHOS
1 MΩ
IN
デバイダ回路
を用いた場合
アノード
OUT
+0.5 kV Max.
+2.0 kV フローティング
Max. 動作可能な電源
デバイダ回路
を用いた場合
6 kV Max.
●+イオン検出(蛍光面: GND)
2 MΩ
0.5 MΩ
(3 W)
(1 W)
アッセンブリ
MCP(2段)
基板
蛍光面
+2.5 kV Max.
●+イオン検出(アノードフローティング (MCP-OUT: GND))
IN
MCP(2段)
アッセンブリ
基板 カップリング回路
アンプ
150 pF/1 kV
アノード
信号出力
OUT
PHOS
-2 kV
Max.
フローティング
動作可能な電源
-4 kV
Max.
1 MΩ
IN
OUT
-2.0 kV
Max.
デバイダ回路
を用いた場合
アノード
0.5 kV
Max.
2 MΩ
4 MΩ
(3 W)
(5 W)
-6 kV Max.
TMCPC0005JH
TMCPC0007JE
複数の高圧電源を使用する場合はMCPのゲインを独立して調整できるメリットがあります。
1台の高圧電源でデバイダ回路を用いる場合は安価に構成できますが、電源電圧を変えると連動してMCPのゲインも変わる
デメリットがあります。
17
特注品について
●標準品以外のMCP単体/アッセンブリについても製作いたします。外形、有効寸法、厚さ等をご相談ください。
●標準品以外のセンターホール付MCP(反射電子顕微鏡用)、Csl蒸着(VUV∼X線における量子効率の向上)、アルミフィル
ムコーティング(イオン、放射線等のバリア)、MgOコーティング(高ゲイン)、Au電極及びその他特殊タイプのMCPにつ
いてもご相談ください。
●マルチアノードについては、ご希望のアノードパターンをご相談ください。
●固体撮像素子(CCD、MOSリニアイメージセンサ)等とファイバ結合できるよう、ファイバオプティクプレート(FOP)上に
蛍光面を施したアッセンブリも製作いたします。
●特注の真空フランジやプリント基板にMCP、読み出し系、導入端子等をマウントしたアッセンブリも製作いたします。
●開口率90 %のファネルタイプMCPについては、ご相談ください。
18
取扱い方法について
1.保管方法
真空包装または乾燥窒素ガスを封入した状態で納入いたしますが、輸送用包装ですので長期の保管には適しません。
保管する場合、梱包容器から取り出し、清浄な容器内にて次の a), b)どちらかの方法で保管してください。
a)真空度13 Pa以下で、オイル拡散を極力避けた清浄な容器内。
b)0.45 μm以下のフィルターにより濾過された乾燥窒素が常に流れている清浄な容器内。
(湿度20 %以下)
2.取扱い
絶対に素手で直接触れないでください。油脂や塩分等の付着により、暗電流の増大、ゲイン低下、放電等の原因になるこ
とがあります。
取扱う場合には、清浄なビニールやポリエチレン手袋を着用してください。手袋を使用した場合でも有効部には絶対に触
れないでください。
3.取扱い環境
MCP表面は電子的に活性になっており、アッセンブリに使用の部品類も高真空用に処理されています。極力油気や湿気及
び塵の少ない防塵室に準じた環境にてお取扱いください。
尚、塵等が付着した場合、乾燥した清浄な空気や窒素ガスを吹き付け、除去してください。吹き付けに際しては、環境及
び吹き付け圧力に注意してください。また、呼気の吹き付けは絶対に行わないでください。
4.使用前の真空排気
初めて使用する場合や、保管後再度使用する場合は、ガス吸着が起こっているため、使用(電圧供給)前に1.3×10-4 Pa以
下の高真空で24時間以上排気してください。
5.真空ベーキング
超高真空にて使用する場合は、真空ベーキングが効果的です。
装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。
MCPアッセンブリについては、真空ベーキングできない製品がありますので、詳細は弊社までお問い合わせください。
6.電圧供給
使用中も1.3×10-4 Pa以下の高真空を必ず保ってください。
MCP及びMCPアッセンブリ、出力信号読み出し素子(アノード、蛍光面)への電圧供給は、100 Vステップ(約5秒/100 V)
でゆっくりと昇圧してください。
7.廃棄方法
本製品には鉛及びその化合物が含まれています。本製品を廃棄する場合は廃棄物処理法に則り、自ら適正に処理して頂くか、
もしくは許認可を受けた適正な産業廃棄物処理業者へ委託して処理してくださるようにお願いします。国外で使用し、その
国で廃棄する場合は、それぞれの国、州の廃棄物処理に関する法令に従って適正に処理をしてくださるようお願いします。
保証期間とその範囲
弊社出荷後1年以内に製造上の原因と認められる不具合が発生した場合は、無償修理または交換をいたします。保証の範囲は、
製品の代替納入を限度とさせていただきます。
また、保証期間内でも天災、製品の寿命及び使用上の不注意による損傷については保証対象外とさせていただきます。
●本資料の記載内容は平成28年1月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。
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□仙台営業所 〒980-0011 仙台市青葉区上杉1-6-11(日本生命仙台勾当台ビル2階) TEL (022)267-0121
(2016年3月より、「〒980-0021 仙台市青葉区中央3-2-1 青葉通プラザ11階」に移転します。)
□筑波営業所 〒305-0817 つくば市研究学園5-12-10(研究学園スクウェアビル7階) TEL (029)848-5080
□東京営業所 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21(虎ノ門33森ビル5階)
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□大阪営業所 〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13(大阪国際ビル10階)
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JAN. 2016 IP