概要 MCP（マイクロチャンネルプレート）は、真空中において電子・イオン・真空紫外線・Ｘ線・γ線などを、2次元的に増倍し 検出するセンサです。円形と矩形のMCPがあり、それらに電極リード等をマウントして手軽にお使いいただけるMCPアッセン ブリも提供しております。「質量分析」・「半導体検査装置」・「表面分析」をはじめ各種分析装置に幅広く使用されています。 MCPアッセンブリには、用途に応じた3種類の出力読み出し系があります。シングルアノード（有効領域内の電気出力信号計測）・ マルチアノード（信号の入射位置に対応した電気出力信号計測）・蛍光面（出力信号の光学画像化）から最適なものをお選びく ださい。 また、MCPは1∼3段までお選びいただけます。必要に応じたゲインが得られ、アナログモード（出力信号を直流値として計測）・ カウンティングモード（微弱信号を二進化して計測）でのご使用が可能です。 動作原理 右下に示すように、MCPの入力側・出力側2つの電極に電圧VＤを供給すると、チャンネル方向に電位勾配が生まれます。ここで 入射電子が入力側の内壁に当たると、複数の二次電子が放出されます。これらの二次電子は電位勾配によって加速されるため、 初速度によって決まる放物線軌道を描きます。そして反対側の壁に衝突して再び二次電子を放出します。このようにして電子は チャンネルの内壁に何回も衝突しながら出力側へ進んでいき、結果として指数関数的に増倍された電子が取り出されます。 断面構造図 構造模式図 標準タイプ チャンネル 開口率60 % イオン ネル チャン 12 µm ファネルタイプ 開口率 90 % イオン チャンネル内壁 ネル チャン 入射電子 入力側電極 出力側電極 出射電子 ストリップ電流 12 µm VD 信号が少ない場合、標準タイプに比べ 検出感度が向上します。 ※特注品対応になりますので、ご希望の場合はお問い合わせください。 1 TMCPC0002JE 特性 ■MCPゲイン特性 ■パルス波高分布: PHD TMCPB0005JB TMCPB0034JD 108 MCP3段 MCP2段 カウント数 (s-1) 107 ゲイン 106 MCP3段 MCP2段 105 104 MCP1段 パルス波高 (チャンネル数) 103 0 1.0 2.0 3.0 供給電圧 (kV) ■MCP飽和特性（出力直線性） アナログモード 150 カウンティングモード TMCPB0072JA TMCPB0042JE 108 107 100 カウント数 (s-1) 相対ゲイン (%) ワイドダイナミックレンジ MCP F6584 抵抗: 7.5 MΩ 有効径: 20 mm 標準 MCP 抵抗: 200 MΩ 有効径: 20 mm 50 標準 MCP 抵抗: 400 MΩ / MCP2段 ゲイン: 5×106 有効径: 20 mm 106 105 ワイドダイナミックレンジ MCP F6584 抵抗: 22.4 MΩ / MCP2段 ゲイン: 8×106 , 有効径: 20 mm 104 0 10-8 10-7 10-6 10-5 10-8 10-4 10-7 10-6 10-5 10-4 出力電流 (A) 出力電流 (A) ■出力波形 MCP入力側フローティング at ±10 kV アノードグラウンド TMCPB0079JD TMCPB0107JB 5 20 0 0 -20 -10 出力電圧 (mV) 出力電圧 (mV) -5 F4655-13 -15 -20 上昇時間 : 293 ps 下降時間 : 539 ps FWHM : 455 ps MCP 供給電圧 : 1520 V 有効エリア: 14.5 mm -25 -30 -35 0 1 2 応答時間 (ns) 3 4 -40 -60 F9892-31/-32 -80 -100 -120 -5 FWHM: 700 ps Typ. 有効エリア: 42 mm 0 5 10 応答時間 (ns) 2 MCP単体 外形寸法図と仕様 円形 MCPF0006 入力側 出力側 C A θ B 入力側表示 1 D TMCPA0056JA F1552 F1217 F1551 F1094 型名 F1208-01 F1942-04 F2395-04 単位 項目 -015 -06 -011 -074 -015 -011 -074 -015 -011 -074 -015 -011 外 形 寸 法 A φ17.9 φ32.8 φ86.7 φ113.9 mm φ49.9 φ24.8 φ38.4 電極エリア B φ17 φ31.8 φ84.7 φ112 mm φ49 φ23.9 φ36.5 有効エリア C φ14.5 φ27 φ77 φ105 mm φ42 φ20 φ32 厚 さ D mm 0.48 0.48 0.3 0.3 0.48 1 0.48 0.48 0.2 0.48 0.3 チャンネル径 µm 12 12 12 6 6 25 4 12 6 12 12 チャンネルピッチ µm 15 15 15 7.5 7.5 31 5 15 7.5 15 15 バイアス角度 θ ° 8 8 8 12 8 8 12 12 8 12 開口率 % 55 60 60 電極材料 — インコネル ゲイン (Min.) 3 — 104 104 5×103 5×103 104 5×103 104 3 抵抗 100∼700 10∼100 20∼100 20∼200 50∼500 10∼50 10∼100 15∼200 6.7∼33.3 6.7∼66 20∼100 10∼200 4∼20 10∼100 5∼50 MΩ 0.5 暗電流 (Max.) 3 pA·cm-2 3 2 ストリップ電流 の7 %まで 最大直線性出力 — 供給電圧 4 1.0 kV -50∼+70 °C 動作周囲温度 4 NOTE: 1MCP入力側を示します。形は製品により異なります。 2ストリップ電流とは、MCP IN-OUT間に電圧をかけたときにチャンネル壁にそって流れる電流のことであり、電圧÷MCP抵抗で与え られます。 3供給電圧1.0 kV、真空度1.3 × 10-4 Pa、動作周囲温度+25 °C 4真空度1.3 × 10-4 Pa 5F1551-01, F1094-01, F1552-01, F1217-01は、センターホール (φ6 mm)もございます。 3 矩形 MCPF0011 A’ θ C’ 出力側 B’ 入力側 C D B 入力側表示 1 A TMCPA0057JA 型名 項目 外 形 寸 法 A×A' 電極エリア B×B' 有効エリア C×C' 厚 さ D チャンネル径 チャンネルピッチ バイアス角度 θ 開口率 電極材料 ゲイン (Min.) 3 抵抗 3 暗電流 (Max.) 3 最大直線性出力 3 供給電圧 4 動作周囲温度 4 F2370-01 F4772-01 F2806-01 F1943-02 F2805-03 F2396-04 単位 15.9×9.4 15×8.5 13×6.5 61.9×13.9 61×13 55×8 0.48 12 15 49.9×39.9 49×39 45×35 87.9×37.9 87×37 81×31 0.60 15 19 59.9×59.9 58×58 53×53 0.80 20 25 96.9×78.9 95.6×77.3 90×72 1.00 25 31 20∼120 10∼50 mm mm mm mm µm µm ° % — — MΩ pA·cm-2 — kV °C 100∼500 8 60 インコネル 104 20∼200 0.5 ストリップ電流 2の7 %まで 1.0 -50∼+70 4 MCPアッセンブリ目的別セレクションガイド 検出対象 電子 +/-イオン 真空紫外線 X線 TOF検出 信号量測定 （Time of Flight） 到達時間 の差を測定 信号量 を測定 MCPF0081 MCPF0088 デマンタブルタイプ 捕えるX線∼電子の強弱に応じMCPを3段まで組込むこ とが可能です。ネジ止めによるマウント方式であるため MCPを交換することができます。 スタンダードタイプ 円形・矩形タイプがあります。 円形タイプには、さらに小型化したタイプも あります。 円形 矩形 小型 •有効エリア : φ10 mm∼ φ75 mm •外形寸法 : φ54 mm∼ φ123 mm •MCP: 1∼3段 •有効エリア : 55 mm×8 mm∼ 81 mm×31 mm •外形寸法 : 78 mm×29.5 mm∼ 128 mm×54 mm •MCP: 1∼3段 •有効エリア : φ14.5 mm •外形寸法 : φ18 mm •パルス波高分解能 : 50 % •MCP: 2段 型名 F2221 F2222 F2223 F2224 F2225 F2226 5 F2813 F2814 F3490 F4655 F4655-14 信号読み出しリード センターホールタイプ （穴開きタイプ） 中央部に穴の開いた構造とな っており、 そこからイオン・X線な どをサンプルに照射し、サンプ ルからの信号を高効率で検出 できます。 スタンダード •厚さ: 8.6 mm •MCP: 2段 F2223-21SH MCP フランジ部 センターホール ・高速応答 •+イオン検出 •SMA出力端子 •MCP: 2段 •上昇時間: 330 ps 下降時間: 630 ps F4294-09 イオン・X線.etc サンプル 高速応答タイプ 出力波形 高速信号の読み出し用に設 計されたアノードです。 ”リンギング”と呼ばれる 波形のうねりを無くし、き れいで高速な信号出力が得 られます。 アノードグラウンド フローティング 小型 小型・4 µm MCP •リンギング: 5 % •+/-イオン検出 •MCP: 2段 •BNC出力端子 •FWHM: 900 ps (F9890シリーズ) •FWHM: 1200 ps (F9892シリーズ) •リンギング: 5 % •+/-イオン検出 •MCP: 2段 •BNC出力端子 •FWHM: 450 ps (F9890シリーズ) •FWHM: 700 ps (F9892シリーズ) •パルス波高分解能 : 50 % •+イオン検出 •真空フランジ マウント可能 •MCP: 2段 •BNC出力端子 •上昇時間: 350 ps 下降時間: 750 ps •+イオン検出 •真空フランジ マウント可能 •MCP: 2段 (4 µm MCP) •BNC出力端子 •上昇時間: 293 ps 下降時間: 539 ps F4655-10 F4655-11 （真空フランジ付 ICF70） F4655-13 F9890-13 F9890-14 F9892-13 F9892-14 F9890-31 F9890-32 F9892-31 F9892-32 MCP 信号読み出し系 位置検出 画像読出 信号量 と位置分布 を測定 信号分布 を画像として 捕らえる MCPF0077 薄型 ハトメタイプ マルチアノードタイプ MCPF0082 蛍光面出力タイプ イオン・X線.etc MCP 蛍光面 MCP マルチ アノード イオン・電子 (15.1) 電子 TMCPC0104JA 信号 狭いスペースに設置可能です。 配線接続が2ヶ所で済むためメ ンテナンスが簡単です 特長 •1次元（1×n）、2次元（a×n）に任意の 読み出しパターンが可能 •同時計数（並列読み出し）が可能 •高い計数率 •アノードピッチ: 0.5 mm以上 デマンタブルタイ プのようにMCPの 交換はできません が、小型・安価で す。 MCPからの出力電荷を、蛍光体の塗布さ れたガラス面板で可視光像に変換します。 M C P 1 段で4 0 µ m ∼ 5 0 µ m 、2 段で 80 µm∼100 µmの解像度を有しています。 蛍光体はP43, P46, P47の3種類からお 選びください。 （詳しい仕様は9ページをご覧ください。） 薄型・高速応答 ハトメタイプ 円形 矩形 ハトメタイプ 円形 矩形 真空フランジ付 真空フランジ付 •有効エリア : φ20 mm, φ27 mm, φ42 mm •SMA出力端子 •MCP: 2段 •FWHM: 1.5 ns •有効エリア : φ14.5 mm∼ φ42 mm •外形寸法 : φ27 mm∼ φ62 mm •MCP: 1∼3段 •有効エリア : φ10 mm∼ φ75 mm •外形寸法 : φ54 mm∼ φ123 mm •MCP: 1∼3段 •有効エリア : 55 mm×8 mm∼ 81 mm×31 mm •外形寸法 : 78 mm×29.5 mm∼ 128 mm×54 mm •MCP: 1∼3段 •有効エリア : φ14.5 mm∼ φ42 mm •外形寸法 : φ27 mm∼ φ62 mm •MCP: 1∼3段 •有効エリア : φ10 mm∼ φ75 mm •外形寸法 : φ54 mm∼ φ123 mm •MCP: 1∼2段 •有効エリア : 55 mm×8 mm∼ 81 mm×31 mm •外形寸法 : 78 mm×29.5 mm∼ 128 mm×54 mm •MCP: 1∼2段 •有効エリア : φ40 mm •外形寸法 : ICF152 •ビューイングポート •MCP: 2段 •SHV高圧端子 •有効エリア : φ28 mm •外形寸法 : ICF152 •CCDとのファイバ カップリング可能 •MCP: 2段 •SHV高圧端子 F12334-11 Ｆ12395-11 F12396-11 F1551 F1094 F1552 F1208 F1217 F2221 F2222 F2223 F2224 F2225 F2226 F2813 F2814 F3490 F1551 F1094 F1552 F1208 F1217 F2221 F2222 F2223 F2224 F2225 F2226 F2813 F2814 F3490 F2225-21PGF F6959 6 MCPアッセンブリ用途別セレクションガイド MCP アッセンブリは主に「質量分析」 ・「半導体検査装置」・「表面分析」に使用されています。 その代表的用途に最適なタイプをお選びいただくためのセレクションガイドです。 該当する用途例がない場合、弊社までお気軽にお問い合わせください。 ◎：最適 ○：使用可能 分 野 質量分析 用途 検 出 方 法 MCPアッセンブリ 飛 行 時 間 質 量 分 析 Ｔ Ｏ Ｆ ︲ Ｍ Ｓ Ｍ Ａ Ｌ Ｄ Ｉ Ｌ Ｃ ︲ Ｍ Ｓ 半導体検査装置 四 重 極 質 量 分 析 二 重 集 束 型 質 量 分 析 ガ ス ク ロ ／ 液 ク ロ 質 量 分 析 誘 導 結 合 形 高 周 波 プ ラ ズ マ 質 量 分 析 二 次 イ オ ン 質 量 分 析 Ｑ ︲ Ｍ Ｓ セ ク タ ー Ｍ Ｓ Ｇ Ｃ ／ Ｌ Ｃ ︲ Ｍ Ｓ Ｉ Ｃ Ｐ ︲ Ｍ Ｓ Ｓ Ｓ Ｓ Ｅ Ｉ Ｅ Ｉ Ｂ Ｍ Ｍ Ｍ Ｍ Ｓ Ｓ 走 査 電 子 顕 微 鏡 走 査 イ オ ン 顕 微 鏡 線 幅 測 長 器 円形MCPデマンタブルタイプ（シングルアノード） ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 総 量 測 定 ・ Ｔ Ｏ Ｆ 検 出 位 置 検 出 画 像 読 出 7 電 子 、 イ オ ン ビ ー ム 露 光 装 置 マ ス ク ア ラ イ ナ ー 表面分析 Ｆ Ｉ Ｂ シ ス テ ム オ ー ジ ェ 電 子 分 光 イ オ ン 散 乱 分 光 Ｘ 線 光 電 子 分 光 ラ ザ ー フ ォ ー ド 後 方 散 乱 分 光 Ａ Ｉ Ｅ Ｒ Ｅ Ｓ Ｓ Ｂ Ｓ Ｓ Ｃ Ｓ Ａ 真 空 紫 外 線 分 光 軟 Ｘ 線 分 光 中 速 反 射 電 子 線 解 析 低 速 電 子 線 解 析 電 界 イ オ ン 顕 微 鏡 透 過 電 子 顕 微 鏡 軟 Ｘ 線 顕 微 鏡 ポ ジ ト ロ ン 検 出 Ｖ Ｓ Ｒ Ｌ Ｆ Ｔ Ｓ Ｕ Ｘ Ｍ Ｅ Ｉ Ｅ Ｘ Ｖ Ｓ Ｅ Ｅ Ｍ Ｍ Ｍ Ｅ Ｄ Ｓ Ｄ ○ ○ ○ ○ 矩形MCPデマンタブルタイプ（シングルアノード） ○ ○ ○ ○ ○ ○ 円形MCPハトメタイプ（シングルアノード） ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ F2223-21SH ○ ○ F4294-09 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ F4655/-14 ◎ ◎ ◎ ○ ○ F4655-10/-11 ○ ○ ◎ ○ ○ ◎ ○ ○ ○ F4655-13 ◎ ◎ ○ ○ ○ ○ ○ F9890-31/-32, F9892-31/-32 ○ ◎ ◎ ○ ◎ ◎ ○ ○ ○ F9890-13/-14, F9892-13/-14 ◎ ○ ◎ ○ ○ ○ ○ ○ ○ F12334-11, F12395-11, F12396-11 ◎ ○ ◎ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 円形MCPデマンタブルタイプ（マルチアノード） ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ◎ ○ ○ 矩形MCPデマンタブルタイプ（マルチアノード） ○ ○ ○ ○ ◎ ○ ○ 円形MCPハトメタイプ（マルチアノード） ○ ○ ◎ ○ ○ ○ 円形MCPデマンタブルタイプ（蛍光面） ○ ○ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ○ ○ ○ 矩形MCPデマンタブルタイプ（蛍光面） ◎ ◎ ○ ○ ◎ ○ ○ ○ F2225-21PGF ◎ ◎ ○ ○ ◎ ○ ○ ○ F6959 ◎ ◎ ○ ○ ○ ○ ○ ○ MCPアッセンブリ 仕様 3 アッセンブリ 外形寸法 型名 (mm) 有効エリア (mm) 円形（デマンタブル）φ54 ∼ φ123 φ10 ∼ φ75 矩形（デマンタブル） 円形（ハトメ）1 78 × 29.5 ∼ 55 × 8 ∼ 128 × 54 81 × 31 (mm) 15 ∼ 17 10.9 ∼ 12.9 φ56.5 F4294-09 2 φ69 F6589 2 φ28 F4655 φ27 φ11 (段) 10ページ 1∼3 参照 （蛍光面付: 1∼2） φ14.5 2 F4655-13 2 F9890-13 2 64.7 φ81 φ27 64.4 6 33.3 12 6 12 64.4 6 33.3 12 32.9 6 φ42 F9892-14 2 F12334-11 2 54 × 38 φ20 F12395-11 2 61 × 41 φ27 F12396-11 2 72 × 52 φ42 F2225-21PGF 2 F6959 2 ICF152 (kV) (kV) シングルアノード: 0.5 MCP 1段: 1.0 マルチアノード: 0.5 MCP 2段: 2.0 （蛍光面: 3.0∼4.0） MCP 3段: 3.0 3 — および3段） シングルアノード: 0.5 マルチアノード: 0.5 2.0 0.5 0.4 φ4 0.5 φ28 36.1 2.0 150 — 1 × 106 3 —5 12 60 5 2 15.1 φ40 2.5 50 120 4 64.7 F9892-13 (s-1·cm-2) 12 32.9 φ92 (%) （MCP 2段 1 × 106 4 MCP 供給電圧 MCP 2段 MCP 2段: 120 : 1 × 106 MCP 3段: 80 MCP 3段 : 1 × 107 5 × 107 F9892-31 2 2 φ12 12 4 MCP-OUT− アノード間 供給電圧 φ8 F9890-14 2 F9892-32 2 — 12.5 31.9 φ38 F9890-31 2 F9890-32 2 2.5 (—) 3 ダーク カウント (Max.) MCP 1段 : 1 × 104 1∼3 8.6 25.5 (mm) 3 パルス波高 分解能 (Max.) 8.5 φ18 F4655/-14 MCP段数 (µm) φ27 ∼ φ62 φ14.5 ∼ φ42 4.5 ∼ 5.7 F2223-21SH F4655-10/-11 アッセンブリ チャンネル 径 高さ MCP ゲイン センター (Min.) 不感部分 —5 — 2.0 4.0 3.0 NOTE: 1蛍光面付はありません。 2真空ベーキングはできません。 3供給電圧1.0 kV/MCP, 真空度1.3 × 10-4 Pa, 周囲温度+25 °C 4真空度1.3 × 10-4 Pa 5ブリーダー抵抗内蔵によりHV電極に最大-2.1 kV 8 蛍光面 残光時間は読み出し方法・用途に合わせ、発光波長は読み出しデバイスの受光感度に合わせてお選びください。 種類 最高発光波長 (nm) 発光色 相対エネルギー効率 1 10 %残光時間 備考 P43 545 黄緑 1 1 ms 標準タイプ P46 510 黄緑 0.3 0.2 µs ∼ 0.4 µs 2 残光時間が短い P47 430 青紫 0.3 0.11 µs 残光時間が非常に短い NOTE: 1供給電圧: 6 kV。P43を1としたときの相対値です。 2入射パルス幅により変わります。 ■発光分布特性 100 ■残光特性 TMCPB0090JA 102 TMCPB0091JA P43DC* P47 視感度 P43 80 101 相対出力 (%) 相対出力 (%) P46 60 40 P46 100 P47 10-1 20 1 ms 0 350 1 ms 100 ns 400 450 500 550 波長 (nm) 600 650 700 100 ns 入射光パルス幅 蛍光面最大電流 8 nA/cm2 10-2 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 残光時間 (s) * 連続入射光がなくなった場合の残光特性 時間は入射光パルス幅 （イメージインテンシファイアとして測定） 9 10-2 MCPアッセンブリ 外形寸法図 ( 単位: mm ) 真空 ベーキング 信号量 位置検出 画像 円形（デマンタブル） 20 アノード種類 4 × 4.5 3 45 ° アノードまたは 蛍光面リード MCP-INリード MCP段数 シングルアノード 1∼3段 マルチアノード 1∼3段 蛍光面 1∼2段 記号 説明 A アッセンブリ外形寸法 F2221 F2222 F2223 F2224 F2225 F2226 単位 54 61 69 75 86 123 mm B 固定用ネジ穴ピッチ径 46 53 61 67 78 115 mm 34 41 49 55 66 103 mm 14.5 20 27 32 42 C インシュレータ外径 4 × 3.5 MCP-OUTリード D C B A D MCP有効エリア 77 mm E 読み出し系有効エリア 10 17 24 30 40 75 mm F 最大高 15 15 15 15 15 17 mm 基板底から G インシュレータ 11.9 14.4 mm 3段 11.9 15.9 MCP入力面から 1段 2.8 3.8 MCP 2段 3.3 4.3 3段 2.9 4.8 mm 1.0 ※型名によって形状が異なることがあります。 3 基板 F G H 電極リード 12.9 MCP 2段 表面までの距離 チャンネルバイアス方向 MCP ナットM2 10.9 表面までの距離 H インシュレータ インシュレータ 1段 E ガス抜き用間隙 読み出し系 TMCPA0026JH 真空 ベーキング 信号量 位置検出 画像 矩形（デマンタブル） MCP-INリード 3 チャンネルバイアス方向 20 MCP-OUTリード アノード種類 1∼3段 マルチアノード 1∼3段 蛍光面 1∼2段 記号 E’ A’ B’ D’ A×A' アノードまたは 蛍光面リード 96×76 単位 固定用ネジ穴の間隔 120×46 86×68 104×54 76×76 D×D' MCP有効エリア 81×31 53×53 55×8 mm E×E' 読み出し系有効エリア 80×30 50×50 52×7 mm 1段 10.9 10.9 MCP 2段 11.9 11.9 11.9 mm 3段 11.9 12.9 F インシュレータ 表面までの距離 MCP入力面から G インシュレータ 表面までの距離 72×18 mm 66×29.5 mm 1段 2.7 2.5 3.8 MCP 2段 3.1 2.7 3.3 3段 2.5 2.9 2.9 mm ※型名によって形状が異なることがあります。 ナベネジM2 3 インシュレータ F G F3490 78×29.5 mm インシュレータ外形寸法 電極リード MCP E F2814 基板底から A ガス抜き用間隙 F2813 128×54 B×B' B 基板 説明 アッセンブリ外形寸法 C×A' 4- 3.5 D C MCP段数 シングルアノード 読み出し系 TMCPA0029JG 10 真空 信号量 位置検出 ベーキング 円形（ハトメ） アノード種類 1∼3段 マルチアノード 1∼3段 記号 A 有効エリア B C 説明 A 有効エリア B マウント外形寸法 C 上面図 マウントの 高さ φ20 φ27 φ32 φ42 mm φ27 φ34 φ42 φ49 φ62 mm 4.5 MCP 2段 5.7 3段 5.7 φ22.5 φ29.5 φ37.5 mm φ44 φ56 mm ※マルチアノードタイプは寸法が異なります。 アノードなしのタイプも対応可能です。 アノード 30 MIN. F1551 F1094 F1552 F1208 F1217 単位 φ14.5 1段 D リード線ピッチ径 MCP MCP段数 シングルアノード リード線 8 × 0.6 SUS D 側面図 ハトメ1本 3 ° 30 1 2 1 30° ハトメ1本 1 ハトメ2本 2 3 1 底面図 ハトメ1本 1MCP-IN リード （4本） 2MCP-OUT リード（2本） 3アノードリード （2本） TMCPA0027JF 真空 信号量 TOF センターホール ベーキング 信号量 TOF センターホール 高速応答 F2223-21SH F4294-09 3 4× 1 27 有効エリア 49 69 6 3 有効エリア 27 MCP-IN リード 20 4 × 2.6 PCD* 50.8 10 45° 45° 4 × 3.5 PCD* 61 1 2 3 4 12 不感部 * PCD (Pitch Circle Diameter) MCP-OUT リード センターパイプ （内径: 6） * PCD (Pitch Circle Diameter) 41 1メッシュリード 2MCP-IN リード 3MCP-OUT リード 4アノードリード SMA コネクタ 基板 アノード 基板 9.5 1.6 8.6 不感部 8 MCPセンターホール 6 センターパイプ（外径: 5） センターパイプ（内径: 4） MCP（2段） 3 5.3 14.6 (8.5) 17 インシュレータ 56.5 MCP（2段） TMCPA0002JH 11 TMCPA0042JF MCPアッセンブリ 外形寸法図 MCPアッセンブリ 信号量 TOF 真空 ベーキング 小型 F4655 アノード グラウンド TOF 高速応答 小型 F4655-10/-13 * PCD (Pitch Circle Diameter) 30° MCP-OUTリード 12 0° MCP-OUTリード * PCD (Pitch Circle Diameter) シールド板 (基板と同電位) MCP-INリード 3 ° 60 MCP-INリード 30° 3.5 3 3 × 3.5 PCD* 32 2 × 2.2 PCD* 25.6 3 × 2.2 PCD* 25.6 アノードリード 3.5 14.5 有効エリア 18 6 3.5 14.5 有効エリア 18 6 A チャンネル径 アノード F4655-10 F4655-13 2 3 12 µm 4 µm (31.9) 0.5 10.3 基板 3 基板 18.1 A 7.5 アノード MCP (2段) 8.5 MCP (2段) 2 シールド板 （基板と同電位） 0.5t SUS 38 BNC-R TMCPA0001JJ 信号量 TOF 真空 ベーキング 小型 F4655-14 TMCPA0021JG アノード 真空 TOF 高速応答 小型 グラウンド ベーキング F4655-11 * PCD (Pitch Circle Diameter) 12 40 0° MCP-OUTリード MCP-INリード 60 ° 3 × M1.6 深さ12 3.5 3 MCP-INリード 真空フランジ (ICF 70) 3 × 2.2 PCD* 25.6 アノードリード 3.5 MCP-OUTリード ° 12 0° 14.5 有効エリア 18 14.5 有効エリア 6 33 7.5 MCP (2段) アノード 基板 (35.6) (4.5) 7.5 アノード (8) MCP (2段) 2 シールド板 （基板と同電位） 0.5t SUS 70 固定用 2-SHV-R TMCPA0086JA BNC-R-S TMCPA0085JA 12 TOF for 高速応答 LC-MS +/イオン フローティング F9890-31/-32, F9892-31/-32 D E 3 44.5 35 4 × 4.5 45° MCP-INリード 1.65 F H I G B C A 有効エリア MCP-OUTリード 信号 SMA アノードリード 正面図 側面図 背面図 結線例 A B C D E F G H I アッセンブリ F9890-31 F9890-32 F9892-31 F9892-32 φ42 φ27 φ92 φ81 φ75 φ63 19.9 19.9 20.2 20.2 17.9 17.9 18.2 18.2 MCP-INリード 13.5 13.9 13.5 13.9 MCP-OUTリード 15.2 15.2 アノードリード 19.4 19.4 φ40 φ35 φ84 φ72 φ64 φ52 基板 MCP（2段） 150 pF × 4 (15 kV) アンプ 150 pF(15 kV) 信号出力 (SMA) 1 MΩ メッシュ IN OUT アノード IN デバイダ回路 を用いた場合 500 V （500 V動作を推奨） 2 kV Max. Max. フローティング フローティング 動作可能な 動作可能な 電源 電源 OUT アノード 2 MΩ 0.5 MΩ (3 W) (1 W) 2.5 kV フローティング動作 Max. 可能な電源 -10 kV ∼ +10 kV -10 kV ∼ +10 kV TMCPA0082JC TOF for 高速応答 MALDI アノード グラウンド +/イオン F9890-13/-14, F9892-13/-14 D 21.3 E 4 × 4.5 ° 45 MCP-INリード 1.65 3 信号 BNC1 正面図 A B C D E F G F9890-13 F9890-14 F9892-13 F9892-14 φ42 φ27 φ92 φ81 φ75 φ63 11.6 11.6 12 12 9.6 9.6 10 10 φ84 φ72 φ64 φ52 F G 24 B C A 有効エリア MCP-OUTリード 側面図 背面図 1SMAコネクタタイプも対応可能 結線例 アッセンブリ 基板 MCP（2段） アンプ アノード (BNC) IN OUT -500 V -2 kV Max. Max. フローティング （500 V動作を推奨） 動作可能な 電源 IN デバイダ回路 を用いた場合 OUT 2 MΩ 0.5 MΩ (3 W) (1 W) -2.5 kV Max. TMCPA0075JC 13 MCPアッセンブリ 外形寸法図 MCPアッセンブリ アノード グラウンド +/薄型 高速応答 イオン 配線接続 2ヶ所 F12334-11, F12395-11, F12396-11 D C (15.1) B 4 × 3.5 有効エリア A (5.6) 結線例 信号出力 (SMA) 2 2 × M3 アッセンブリ MCP（2段） F R1 C1 信号出力 (SMA) R2 アノード C1 R1 R2 基板 3 × C1 C1 G E 1st MCP BIAS 基板 R2 R1: 20 MΩ R2: 1 MΩ C1: 150 pF (3kV) HV HV A B C D E F G F12334-11 F12395-11 F12396-11 42 27 20 51 40 36 62 51 46 72 61 54 40 30 30 51 40 36 52 41 38 TMCPA0084JB 画像 真空 フランジ 蛍光面 出力 ビューイング ポート F2225-21PGF 画像 蛍光面 出力 真空 フランジ ファイバ カップリング F6959 * PCD (Pitch Circle Diameter) MCP-OUTリード (SHV) 蛍光面リード (SHV) MCP-INリード (SHV) MCP-OUT リード (SHV) 102 蛍光面リード (SHV) 4 × M3 深さ5 PCD* 90 真空フランジ (ICF152) (210) 真空フランジ (ICF152) 42 66 MCP-INリード (SHV) (21) 30 MAX. 10.9 75 28 3-SHV (7) 2.8 (60) MCP (2段) 19.8 ビューイング ポート (ICF114) (46) 19 20 (14) 55 40 有効エリア 114 TMCPA0081JC 28 有効エリア FOP O-リング (36.1) 150 9.3 (21) TMCPA0038JE 14 MCPアッセンブリ 結線例 信号検出 イメージ検出 ●+イオン検出（アノードグラウンド） アッセンブリ ●+イオン検出（MCP-OUT: GND） アッセンブリ MCP（2段） MCP（2段） 基板 基板 蛍光面 アンプ アノード IN IN OUT -0.5 kV Max. OUT PHOS -2 kV Max. -2.0 kV Max. 4 kV Max. フローティング 動作可能な電源 デバイダ回路 を用いた場合 2 MΩ 0.5 MΩ (3 W) (1 W) ●電子または–イオン検出（MCP-IN: GND） アッセンブリ MCP（2段） 基板 蛍光面 -2.5 kV Max. ●電子または–イオン検出（アノードフローティング (MCP-IN: GND)） IN OUT MCP（2段） アッセンブリ 4 kV Max. 基板 カップリング回路 アンプ 150 pF/3 kV 2 kV Max. フローティング 動作可能な電源 2 MΩ 4 MΩ (3 W) (5 W) 信号出力 アノード PHOS 1 MΩ IN デバイダ回路 を用いた場合 アノード OUT +0.5 kV Max. +2.0 kV フローティング Max. 動作可能な電源 デバイダ回路 を用いた場合 6 kV Max. ●+イオン検出（蛍光面: GND） 2 MΩ 0.5 MΩ (3 W) (1 W) アッセンブリ MCP（2段） 基板 蛍光面 +2.5 kV Max. ●+イオン検出（アノードフローティング (MCP-OUT: GND)） IN MCP（2段） アッセンブリ 基板 カップリング回路 アンプ 150 pF/1 kV アノード 信号出力 OUT PHOS -2 kV Max. フローティング 動作可能な電源 -4 kV Max. 1 MΩ IN OUT -2.0 kV Max. デバイダ回路 を用いた場合 アノード 0.5 kV Max. 2 MΩ 4 MΩ (3 W) (5 W) -6 kV Max. TMCPC0005JH TMCPC0007JE 複数の高圧電源を使用する場合はMCPのゲインを独立して調整できるメリットがあります。 1台の高圧電源でデバイダ回路を用いる場合は安価に構成できますが、電源電圧を変えると連動してMCPのゲインも変わる デメリットがあります。 15 注文時における型名指定方法 10ページ円形/矩形MCPアッセンブリ（デマンタブルタイプ）、11ページ円形MCPアッセンブリ（ハトメタイプ）にのみ対応です。 その他MCPアッセンブリ・MCP単体のご注文につきましては、型名をそのままご指定ください。 F 2 224-2 1P 読み出し系 サフィックス無し：読み出し系無し 1 S : シングルアノード M: マルチアノード P : 蛍光面（P43、P46、P47の中からお選びください。9ページ参照） チャンネル径 1：12 µm 2：15 µm 4：25 µm 型名：アッセンブリタイプ MCP段数 1：1段 2：2段 3：3段 1お客様ご自身が読み出し系ををご用意される場合、読み出し系無しでのご提供となります。 さらに、読み出し系に蛍光面をご使用の場合、変更すべき点がございますので、あらかじめ弊社までお問い合わせください。 特注品について ●標準品以外のMCPとアッセンブリについても製作いたします。外形、有効寸法、厚さ等をご相談ください。 ●標準品以外の穴あきMCP（反射電子顕微鏡用）、Csl蒸着（VUV∼X線における量子効率の向上）、アルミフィルムコーティ ング（イオン、放射線等のバリア）、MgOコーティング（高ゲイン）、Au電極及びその他特殊タイプのMCPについてもご相 談ください。 ●マルチアノードについては、ご希望のアノードパターンをご相談ください。 ●固体撮像素子（CCD、MOSリニアイメージセンサ）等とファイバ結合できるよう、ファイバオプティクプレート（FOP）上に 蛍光面を施したアッセンブリも製作いたします。 ●特殊仕様の真空フランジや基板にMCP、読み出し系、導入端子等をマウントしたアッセンブリも製作いたします。 ●開口率90 %のファネルタイプMCPについては、ご相談ください。 保証期間とその範囲 弊社出荷後１年以内に製造上の原因と認められる不具合が発生した場合は、無償修理または交換をいたします。保証の範囲は、 製品の代替納入を限度とさせていただきます。 また、保証期間内でも天災、製品の寿命及び使用上の不注意による損傷については保証対象外とさせていただきます。 16 取扱い方法について １．保管方法 真空包装または乾燥窒素ガスを封入した状態で納入いたしますが、輸送用包装ですので長期の保管には適しません。 保管する場合、梱包容器から取り出し、清浄な容器内にて次の a）, b）どちらかの方法で保管してください。 a）真空度13 Pa以下で、オイル拡散を極力避けた清浄な容器内。 b）0.45 μｍ以下のフィルターにより濾過された乾燥窒素が常に流れている清浄な容器内。 （湿度20 %以下） ２．取扱い 絶対に素手で直接触れないでください。油脂や塩分等の付着により、暗電流の増大、ゲイン低下、放電等の原因になるこ とがあります。 取扱う場合には、清浄なビニールやポリエチレン手袋を着用してください。手袋を使用した場合でも有効部には絶対に触 れないでください。 ３．取扱い環境 MCP表面は電子的に活性になっており、アッセンブリに使用の部品類も高真空用に処理されています。極力油気や湿気及 び塵の少ない防塵室に準じた環境にてお取扱いください。 尚、塵等が付着した場合、乾燥した清浄な空気や窒素ガスを吹き付け、除去してください。吹き付けに際しては、環境及 び吹き付け圧力に注意してください。また、呼気の吹き付けは絶対に行わないでください。 ４．使用前の真空排気 初めて使用する場合や、保管後再度使用する場合は、ガス吸着が起こっているため、使用（電圧供給）前に1.3×10-4 Pa以 下の高真空で24時間以上排気してください。 ５．真空ベーキング 超高真空にて使用する場合は、真空ベーキングが効果的です。 装置を1.3×10-4 Pa以下の高真空に保ちながら、150 ℃以下の温度範囲で行ってください。 MCPアッセンブリについては、真空ベーキングできない製品がありますので、詳細は弊社までお問い合わせください。 ６．電圧供給 使用中も1.3×10-4 Pa以下の高真空を必ず保ってください。 MCP及びMCPアッセンブリ、出力信号読み出し素子（アノード、蛍光面）への電圧供給は、100 Vステップ（約5秒/100 V） でゆっくりと昇圧してください。 ７．廃棄方法 本製品には鉛及びその化合物が含まれています。本製品を廃棄する場合は廃棄物処理法に則り、自ら適正に処理して頂く か、もしくは許認可を受けた適正な産業廃棄物処理業者へ委託して処理してくださるようにお願いします。国外で使用し、 その国で廃棄する場合は、それぞれの国、州の廃棄物処理に関する法令に従って適正に処理をしてくださるようお願いし ます。 17 18 ●本資料の記載内容は平成27年3月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。 □仙台営業所 〒980-0011 □筑波営業所 〒305-0817 □東京営業所 〒105-0001 □中部営業所 〒430-8587 □大阪営業所 〒541-0052 □西日本営業所 〒812-0013 WEB SITE www.hamamatsu.com 仙台市青葉区上杉1-6-11（日本生命仙台勾当台ビル2階） TEL (022)267-0121 つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階） TEL (029)848-5080 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階） TEL (03)3436-0491 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル4階） TEL (053)459-1112 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階） TEL (06)6271-0441 福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階） TEL (092)482-0390 □電子管営業推進部 〒438-0193 静岡県磐田市下神増314-5 TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205 FAX (022)267-0135 FAX (029)855-1135 FAX (03)3433-6997 FAX (053)459-1114 FAX (06)6271-0450 FAX (092)482-0550 TMCP0001J11 MAR. 2015 IP