赤外高感度 Si APD S11519シリーズ 近赤外高感度、 MEMS構造を応用 当社は、フォトダイオードの裏面にMEMS構造を形成することによって、近赤外域で高感度を実現したSi検出器を開発しまし た。S11519シリーズは、近赤外域の感度を向上させたSi APDです。 本シリーズは、YAGレーザ (1.06 μm)に対して、従来品S8890シリーズに比べ大幅な高感度化を実現しています。 また、近赤外域での高感度化に加えて、低バイアス動作を実現しました。従来品S8890シリーズに対して、降伏電圧・暗電 流・遮断周波数などの特性を改善しました。 特長 用途 近赤外域で高感度 YAGレーザモニタ 長波長光の検出 高ゲイン 低バイアスで安定動作が可能 一般定格/絶対最大定格 窓材*1 型名 パッケージ 受光面 サイズ*2 TO-5 TO-8 (mm) φ1.0 φ3.0 S11519-10 K S11519-30 K *1: K=硼珪酸ガラス *2: 増倍作用が得られる範囲 絶対最大定格 動作温度 保存温度 Topr Tstg (°C) (°C) -20 ~ +85 -55 ~ +125 電気的および光学的特性 (指定のない場合はTyp. Ta=25 °C) 型名 感度波長 範囲 最大感度 波長*3 λ λp (nm) (nm) S11519-10 600 ~ 1150 960 S11519-30 *3: 特性表に記載された増倍率での値 降伏電圧 VBR ID=100 μA Typ. Max. (V) (V) 350 500 降伏電圧の 温度係数 ID=100 μA (V/°C) 1.7 暗電流*3 ID Typ. Max. (nA) (nA) 3 30 9 90 端子間 容量*3 Ct 遮断 周波数*3 fc RL=50 Ω (pF) (MHz) 2.0 12.0 400 230 過剰雑音 指数*3 x λ=890 nm 0.3 増倍率 M λ=890 nm 100 1 S11519シリーズ Si APD 分光感度特性 (Typ. Ta=25 °C, M=100) 80 70 ۜഽ (A/W) 60 50 S11519ΏςȜΒ 40 30 ਲြ S8890ΏςȜΒ 20 10 0 400 600 800 1000 1200 ෨ಿ (nm) KAPDB0182JA 分光感度特性 (量子効率) (Typ. Ta=25 °C, M=1) 100 ၾঊ࢘ၚ (%) 80 60 S11519ΏςȜΒ 40 ਲြ S8890ΏςȜΒ 20 0 400 600 800 1000 1200 ෨ಿ (nm) KAPDB0189JA 2 S11519シリーズ Si APD 増倍率-逆電圧 暗電流-逆電圧 (Typ.) 4 10 0 °C 3 10 (Typ. Ta=25 °C) 1 µA 20 °C 100 nA S11519-30 ճഩၠ ௩ၚ -20 °C 2 10 40 °C 10 nA 1 nA 60 °C 101 100 pA S11519-10 0 10 100 200 300 400 ݙഩգ (V) 10 pA 100 200 300 400 ݙഩգ (V) KAPDB0185JA KAPDB0190JA 端子間容量―逆電圧 (Typ. Ta=25 °C, f=100 kHz) 1 nF ঊۼယၾ 100 pF S11519-30 10 pF S11519-10 1 pF 100 fF 0 100 200 300 400 ݙഩգ (V) KAPDB0191JA 3 S11519シリーズ Si APD 外形寸法図 (単位: mm) S11519-10 S11519-30 9.1 ± 0.2 13.9 ± 0.2 8.1 ± 0.1 12.35 ± 0.1 5.9 ± 0.1 10.5 ± 0.1 Y Y X X ໐ 1.0 4.2 ± 0.2 ໐ 3.0 0.45 ςȜΡ 5.08 ± 0.2 4.9 ± 0.2 (15) (2.5) 0.5 max. 0.45 ςȜΡ ࿂ (20) 0.4 max. (2.5) ࿂ 7.5 ± 0.2 ΙΛίպ౾ୈഽ ΅λΛί͈ಎͬܖ̱͂̀ X, YɅ±0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 1.4 ΄ρΑௗ͉Ȃ΅λΛίષ࿂ͤ͢ डఱ0.2 mmେͤષ̦ͥાࣣ̦ ̜̳ͤ͘ȃ 1.5 max. 1.0 max. ΉȜΑ ΙΛίպ౾ୈഽ ΅λΛί͈ಎͬܖ̱͂̀ X, YɅ±0.4 ΉȜΑ KPINA0024JA ΄ρΑௗ͉Ȃ΅λΛίષ࿂ͤ͢ डఱ0.2 mmେͤષ̦ͥાࣣ̦ ̜̳ͤ͘ȃ KPINA0025JA ུၳ͈ܱशඤယ͉Ȃ଼ijijාIJı࡛ह͈͈̳́͜ȃୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ൝͈̹͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂॽအ̮ͬဥྵ ͈ષड૧͈ඤယ̮̞̯̺̩ͬږȃ ॽအ̤͍͢ϋίσ͈ރषȂ߿ྴ͈ྎͅॻॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂٳอॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃġIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽ ̀͜Ȃഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ūűįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ಆ෨ުאਫ਼ ɧĴııĮijķĴĶ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌరĶĮĺĮij ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĸĮĴĹijIJġġŇłřġĩıijĺĪġĹĵĸĮĹķĶĵ ުאނਫ਼ ɧIJıĶĮıııIJ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ಎ໐ުאਫ਼ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ఱिުאਫ਼ ɧĶĵIJĮııĶij ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶıġ ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁࡇؖຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No.KAPD1028J01 Oct. 2010 DN 4