高速蛍光体 J13550-09D / J12782-09D 特 長 ●短い残光時間（J13550-09D: 3.5 ns / J12782-09D: 12 ns） ●長寿命 ●高輝度効率 用 途 ●半導体検査装置 ●走査型電子顕微鏡（SEM） ●質量分析装置（MS）※ ●電子線検出 ※イオン検出を行う場合、 コンバージョンダイノードまたは MCPと組み合わせて使用します。 仕 様 一般定格 項目 有効径 検出可能電子線エネルギー範囲 残光時間 (90 % → 10 %) 発光ピーク波長範囲 動作周囲温度 保存温度 保存湿度 2 J13550-09D 単位 mm keV ns nm °C °C % J12782-09D 8.6 6 ∼ 15 1 Typ. 3.5 12 390 ∼ 440 +5 ∼ +45 -10 ∼ +50 70 以下 1低エネルギー側はご相談下さい。 2結露なきこと 図1: 蛍光体残光特性 120 図2: ライフ特性 TPMZB0002JC 120 TPMZB0003JB 電子線加速電圧: 12 kV 入力電流: 15 nA/mm dia. 100 100 J12782-09D 80 相対出力(%) 相対出力 (%) 80 J13550-09D 60 60 40 40 20 20 0 -15 -10 -5 0 5 10 時間 (ns) 15 20 25 30 0 0.001 0.01 0.1 電荷量 (C/cm2) 1 高速蛍光体 J13550-09D / J12782-09D 図3: 発光スペクトル特性 120 図4: 相対蛍光強度（測定データ例） TPMZB0004JB 3 TPMZB0025JA 100 相対強度 (a.u.) 相対出力 (%) J12782-09D 80 60 40 2 J13550-09D 1 20 0 200 300 400 500 600 700 0 300 800 400 波長 (nm) 500 600 波長 (nm) 図5: 外形寸法図 (単位: mm) 電極: アルミニウム 蛍光体 ガラス基板 電子線 光 0.43 ± 0.03 8.6 MIN. 9.0* ± 0.1 * 特注品も承りますので、 ご相談ください。 ライトガイドや真空フランジ等の特注品も製作できます。 TPMZA0002JC ※特許出願中 ●本資料の記載内容は平成28年5月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。 □仙台営業所 〒980-0021 □筑波営業所 〒305-0817 □東京営業所 〒105-0001 □中部営業所 〒430-8587 □大阪営業所 〒541-0052 □西日本営業所 〒812-0013 WEB SITE www.hamamatsu.com 仙台市青葉区中央3-2-1（青葉通プラザ11階） つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階） 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階） 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル4階） 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階） 福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階） TEL (022)267-0121 TEL (029)848-5080 TEL (03)3436-0491 TEL (053)459-1112 TEL (06)6271-0441 TEL (092)482-0390 □電子管営業推進部 〒438-0193 静岡県磐田市下神増314-5 TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205 FAX (022)267-0135 FAX (029)855-1135 FAX (03)3433-6997 FAX (053)459-1114 FAX (06)6271-0450 FAX (092)482-0550 TPMZ1021J02 MAY 2016 IP