CCDエリアイメージセンサ S9970/S9971シリーズ 低暗電流、低読み出しノイズ／表面入射型FFT-CCD S9970/S9971シリーズは、微弱光検出用に開発された計測用FFT-CCDエリアイメージセンサです。従来品S7010/S7011 シリーズよりも低暗電流・低読み出しノイズを実現しています。ビニング動作を行うことにより、受光面の高さ方向に長 いリニアイメージセンサとして使用できるため、分光光度計の検出器に適しています。ビニング動作は、外部回路で信号 をデジタル的に加算する従来の方法と比べると、S/Nや信号処理速度において非常に優れています。S9970/S9971シリー ズは、低雑音・低暗電流 (MPPモード動作)を特長としていますので、微弱光レベルでも信号蓄積時間を長くすることがで き、広いダイナミックレンジを達成しています。 S9970/S9971シリーズの有効画素サイズは24 × 24 μmで、受光面サイズは12.288 (H) × 1.44 (V) mm2 (512 × 60画素)から 24.576 (H) × 6.048 (V) mm2 (1024 × 252画素)まで用意しています。S9970/S9971シリーズは、S7010/S7011シリーズとピ ンコンパチブルです。 (動作条件はS7010/S7011シリーズとは異なります。) 特長 用途 低暗電流: 10 e-/pixel/s Typ. (0 °C, MPPモード) 低読み出しノイズ: 4 e-rms Typ. 蛍光分光測光、ICP ラマン分光測光 有効画素数: 512 (H) × 60 (V)～1024 (H) × 252 (V) 工業製品の検査 画素サイズ：24 × 24 μm 半導体検査 ライン／ピクセルビニングが可能 DNAシーケンサ 微弱光検出 開口率: 100 % 広いダイナミックレンジ MPP動作 セレクションガイド 型名 S9970-0906 S9970-1006 S9970-1007 S9970-1008 S9971-0906 S9971-1006 S9971-1007 S9971-1008 冷却 非冷却 1 段電子冷却 全画素数 有効画素数 532 × 64 1044 × 64 1044 × 128 1044 × 256 532 × 64 1044 × 64 1044 × 128 1044 × 256 512 × 60 1024 × 60 1024 × 124 1024 × 252 512 × 60 1024 × 60 1024 × 124 1024 × 252 受光面サイズ [mm (H) × mm (V)] 12.288 × 1.440 24.576 × 1.440 24.576 × 2.976 24.576 × 6.048 12.288 × 1.440 24.576 × 1.440 24.576 × 2.976 24.576 × 6.048 浜松ホトニクス株式会社 適合マルチチャンネル 検出器ヘッド C7020 C7021 C7025 1 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ 一般定格 S9970シリーズ 項目 画素サイズ 垂直クロック 水平クロック 出力回路 パッケージ S9971シリーズ 24 (H) × 24 (V) μm 2相 2相 １段MOSFETソースフォロア 24ピンセラミックDIP (外形寸法図を参照) S9971-0906/-1006/-1007: サファイア 石英ガラス S9971-1008: 反射防止コートサファイア 窓材*1 *1: 仮付け窓タイプ (例: S9970-0906N)、UVコートタイプ (例: S9970-0906UV)にも対応が可能です。 仮付け窓タイプは、CCDチップとワイヤを保護するため、仮付け窓をテープで固定しています。 絶対最大定格 (Ta=25 °C) 項目 動作温度 保存温度 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (水平入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート) テストポイント (水平入力ゲート) サミングゲート電圧 出力ゲート電圧 リセットゲート電圧 トランスファーゲート電圧 垂直シフトレジスタクロック電圧 水平シフトレジスタクロック電圧 記号 Topr Tstg VOD VRD VISV VISH VIG1V, VIG2V VIG1H, VIG2H VSG VOG VRG VTG VP1V, VP2V VP1H, VP2H Min. -50 -50 -0.5 -0.5 -0.5 -0.5 -15 -15 -15 -15 -15 -15 -15 -15 Typ. - Max. +50 +70 +25 +18 +18 +18 +15 +15 +15 +15 +15 +15 +15 +15 単位 °C °C V V V V V V V V V V V V 記号 VOD VRD VOG VSS VISV VISH VIG1V, VIG2V VIG1H, VIG2H VP1VH, VP2VH VP1VL, VP2VL VP1HH, VP2HH VP1HL, VP2HL VSGH VSGL VRGH VRGL VTGH VTGL RL Min. 18 11.5 1 -8 -8 0 -9 0 -9 0 -9 0 -9 0 -9 20 Typ. 20 12 3 0 VRD VRD 0 0 4 -8 4 -8 4 -8 4 -8 4 -8 22 Max. 22 12.5 5 6 -7 6 -7 6 -7 6 -7 6 -7 24 単位 V V V V V V V V 動作条件 (MPPモード, Ta=25 °C) 項目 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 出力ゲート電圧 基板電圧 テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (水平入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート) テストポイント (水平入力ゲート) 垂直シフトレジスタクロック電圧 水平シフトレジスタクロック電圧 サミングゲート電圧 リセットゲート電圧 トランスファーゲート電圧 外部負荷抵抗 High Low High Low High Low High Low High Low V V V V V kΩ 2 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ 電気的特性 (Ta=25 °C) 項目 記号 fc 信号出力周波数 垂直シフトレジスタ容量 水平シフトレジスタ容量 S9970/S9971-0906 S9970/S9971-1006 S9970/S9971-1007 S9970/S9971-1008 S9970/S9971-0906 S9970/S9971-1006 S9970/S9971-1007 S9970/S9971-1008 サミングゲート容量 リセットゲート容量 CP1V, CP2V CP1H, CP2H CSG CRG S9970/S9971-0906 S9970/S9971-1006 トランスファーゲート容量 S9970/S9971-1007 S9970/S9971-1008 電荷転送効率*2 DC出力レベル 出力インピーダンス 消費電力*3 CTG CTE Vout Zo P Min. 0.99995 12 - Typ. 0.1 750 1500 3000 6000 100 180 180 180 7 7 60 100 100 100 0.99999 15 5 15 Max. 1 18 - 単位 MHz Min. 150 300 75000 37500 - Typ. Fw × Sv 300 600 3.5 200 10 4 150000 75000 400 ～ 1100 - Max. 3000 150 18 ±10 0 0 0 単位 V pF pF pF pF pF V kΩ mW *2: 飽和出力の半分のときに測定した1画素当たりの転送効率 *3: オンチップアンプと負荷抵抗を合わせた消費電力 電気的および光学的特性 (指定のない場合はTa=25 °C) 項目 記号 Vsat 飽和出力電圧 垂直 水平 飽和電荷量 CCD変換効率*4 Sv 暗電流 (MPPモード)*5 25 °C 0 °C 読み出しノイズ*6 DS Nr ダイナミックレンジ*7 ラインビニング エリアスキャン DR λ PRNU 感度波長範囲 感度不均一性*8 キズ Fw ポイント欠陥*9 クラスタ欠陥*10 コラム欠陥*11 - keμV/ee-/pixel/s e- rms nm % - *4: VOD=20 V, 負荷抵抗=22 kΩ *5: 暗電流は温度が5～7 °C上昇すると約2倍になります。 *6: -40 °C, 動作周波数 80 kHz *7: ダイナミックレンジ = 飽和電荷量／読み出しノイズ *8: LED光 (ピーク波長: 560 nm)を用いて飽和出力の半分のときに測定 ۜഽະ֚ = ࡥΩΗȜϋΦͼΒ (peak to peak) × 100 [%] *9: 白キズ: 飽和の3 %以上の暗電流を発生する画素 (測定条件0 °C, Ts=1 s) 黒キズ: 平均出力画素に比べて感度が半分以下の画素 (測定条件: 飽和電荷量の1/2の出力になる均一光) *10: 2～9個の連続した欠陥 *11: 10個以上の連続した欠陥 3 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ 分光感度特性 (窓なし時)*12 窓材の分光透過特性 (Typ. Ta=25 °C) 50 (Typ. Ta=25 °C) 100 90 80 40 ΄םρΑ 30 20 ৣཡগȜΠέͼͺ 60 ൫ًၚ(%) ၾঊ࢘ၚ (%) 70 έͼͺ 50 40 UVȜΠ Ηͼί 30 20 10 10 0 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 ෨ಿ (nm) ෨ಿ (nm) KMPDB00244JB KMPDB0310JA *12: 窓材の透過率特性により分光感度特性は低下します。 暗電流－温度 窓材 (Typ.) 100 型名 S9970シリーズ S9971-0906/-1006/-1007 ճഩၠ (e-/pixel/s) 10 S9971-1008 窓材 石英ガラス*13 (オプション: 窓なし) サファイア*14 (オプション: 窓なし) 反射防止コートサファイア*14 (オプション: 窓なし) *13: 樹脂封止 *14: 気密封止 1 0.1 0.01 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 أഽ (°C) KMPDB0305JA 4 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ デバイス構造チップ概念図 (外形寸法図において上面からみた概念図) IG1V IG2V ISV 24 23 22 SS 20 TG 16 P1V 15 P2V 14 ...... V 1 RD 2 OS 3 ...... ...... H D11 D12 D13 D14 D15 D16 D17 D18 D19 D20 RG D1 D2 D3 D4 D5 D6 D7 D8 D9 D10 1 V=60, 124, 252 H=512, 1024 13 ISH 12 IG1H 4 OD 5 OG 6 SG ήρϋ· (4ْள) 9 10 11 ͺͼΕτȜΏοϋ ͺͼΕτȜΏοϋ P2H P1H IG2H (2ْள) ႁ (2ْள) ڠഎࣱ ڠഎࣱ ήρϋ· (512 or 1024ْள) (4ْள) (4ْள) (4ْள) KMPDC KMPDC0015JB ピクセルフォーマット ブランク 4 光学的黒 4 アイソレーション 2 左 ← 水平方向 → 右 有効画素 アイソレーション 512 or 1024 2 アイソレーション 2 上 ← 垂直方向 → 下 有効画素 アイソレーション 60, 124 or 252 2 光学的黒 4 ブランク 4 5 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ タイミングチャート ラインビニング ಇୟۼܢ (ΏλΛΗ)ٳ Tpwv 1 ೄΫΣϋΈۼܢġ (ΏλΛΗ) 3.. 62 63 3..126 127 3..254 255 2 P1V උ͙̱( ۼܢΏλΛΗ) 64← 60 + 4 (ͺͼΕτȜΏοϋ): S997*-0906/-1006 128← 124 + 4 (ͺͼΕτȜΏοϋ): S997*-1007 256← 252 + 4 (ͺͼΕτȜΏοϋ): S997*-1008 Tovr P2V, TG 4..530 531 4..1042 1043 Tpwh, Tpws P1H 1 2 3 532 : S997*-0906 1044: S997*-1006/-1007/-1008 P2H, SG Tpwr RG OS D1 D2 S1..S512 D19 D3..D10, S1..S1024, D11..D18 D20 : S997*-0906 : S997*-1006/-1007/-1008 KMPDC0227JA エリアスキャン (大飽和電荷量モード) ಇୟۼܢ (ΏλΛΗ)ٳ උ͙̱( ۼܢΏλΛΗ) Tpwv 1 2 3 4.. 63 64← 60 + 4 (ͺͼΕτȜΏοϋ):S997*-0906/-1006 4..127 128←124 + 4 (ͺͼΕτȜΏοϋ):S997*-1007 4..255 256←252 + 4 (ͺͼΕτȜΏοϋ):S997*-1008 P1V P2V, TG P1H P2H, SG RG OS Tovr P2V, TG ڐఱ Tpwh, Tpws P1H P2H, SG Tpwr RG OS D1 D2 D3 D4 D18 S1..S512 D5..D10, S1..S1024, D11..D17 D19 D20 : S997*-0906 : S997*-1006/-1007/-1008 KMPDC0229JA 6 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ 項目 P1V, P2V, TG P1H, P2H SG RG TG - P1H 記号 パルス幅*15 S9970/S9971-0906 S9970/S9971-1006 S9970/S9971-1007 S9970/S9971-1008 Tpwv Tprv, Tpfv Tpwh Tprh, Tpfh Tpws Tprs, Tpfs Tpwr Tprr, Tpfr Tovr 上昇／下降時間 パルス幅 上昇／下降時間*15 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 Min. 1.5 3.0 6.0 12 200 500 10 500 10 100 5 3 Typ. 4.5 9.0 18 36 5000 50 5000 50 500 6 Max. - 単位 μs ns ns ns % ns ns % ns ns μs *15: 最大パルス振幅の50%のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。 外形寸法図 (単位: mm) S9970-0906 ໐ 12.288 ࿂ 1 10.05 ± 0.25 13 1.440 24 1.1 ± 0.3 12 31.75 ± 0.3 ࿂ 3.0 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 0.46 ± 0.05 2.54 ± 0.13 27.94 ± 0.13 KMPDA0193JC 7 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ S9970-1006/-1007 A ࿂ 1 10.05 ± 0.25 13 B 24 1.1 ± 0.3 12 40.64 ± 0.41 3.0 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ ߿ྴ 0.46 ± 0.05 S9970-1006 S9970-1007 ໐ A B 24.576 (H) 24.576 (H) 1.440 (V) 2.976 (V) 2.54 ± 0.13 27.94 ± 0.13 KMPDA0194JC S9970-1008 ໐ 24.576 ࿂ 1 14.99 ± 0.25 13 6.048 24 1.1 ± 0.3 12 40.64 ± 0.41 3.0 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ 0.46 ± 0.05 2.54 ± 0.13 27.94 ± 0.13 KMPDA0195JC 8 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ S9971-0906 12.0 1 5.0 ± 0.3 14.99 ± 0.25 7.5 13 3.2 ± 0.4 4.0 24 1.440 ໐ 12.288 12 32.0 ± 0.3 50.0 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ 7.65 ± 0.5 ഩঊ႖ݕளঊ 0.46 ± 0.05 2.54 ± 0.13 27.94 ± 0.13 KMPDA0196JC S9971-1006/-1007 A 12.0 1 12 40.64 ± 0.41 58.84 ± 0.13 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ ഩঊ႖ݕளঊ 0.46 ± 0.05 2.54 ± 0.13 7.65 ± 0.5 5.0 ± 0.3 14.99 ± 0.25 B 13 4.0 24 C 3.2 ± 0.4 ߿ྴ S9971-1006 S9971-1007 ࿂ A B C 24.576 (H) 24.576 (H) 1.440 (V) 2.976 (V) 7.5 7.1 27.94 ± 0.13 KMPDA0197JC 9 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ S9971-1008 වৣௗ 28.6* ໐ 24.576 19.0 22.4 ± 0.3 22.9 ± 0.3 5.3 ± 0.15 6.7 ± 0.63 7.3 ± 0.63 4.0 8.2* 13 6.048 24 1 12 2.54 ± 0.13 44.0 ± 0.44 52.0 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ 7.7 ± 0.68 60.0 ± 0.3 1.0 ഩঊ႖ݕளঊ (24×)0.5 ± 0.05 *ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0198JB KMP 10 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ ピン接続 ピン No. 1 2 3 4 5 6 7 8 記号 RG RD OS OD OG SG - 9 P2H 10 P1H 11 IG2H 12 IG1H 13 ISH 14 P2V 15 P1V 16 16 17 18 19 20 21 TG* SS - 22 ISV 23 IG2V 24 IG1V S9970シリーズ 機能 リセットゲート リセットドレイン 出力トランジスタソース 出力トランジスタドレイン 出力ゲート サミングゲート CCD水平レジスタ クロック-2 CCD水平レジスタ クロック-1 テストポイント (水平入力ゲート-2） テストポイント (水平入力ゲート-1） テストポイント (水平入力ソース) CCD垂直レジスタ クロック-2 CCD垂直レジスタ クロック-1 トランスファーゲート 基板 (GND) テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート-2) テストポイント (垂直入力ゲート-1) 記号 RG RD OS OD OG SG Th1 Th2 P2H P1H IG2H IG1H ISH P2V P1V TG*16 PP+ SS ISV IG2V IG1V S9971シリーズ 機能 リセットゲート リセットドレイン 出力トランジスタソース 出力トランジスタドレイン 出力ゲート サミングゲート サーミスタ サーミスタ CCD水平レジスタ クロック-2 CCD水平レジスタ クロック-1 テストポイント (水平入力ゲート-2） テストポイント (水平入力ゲート-1） テストポイント (水平入力ソース) CCD垂直レジスタ クロック-2 CCD垂直レジスタ クロック-1 トランスファーゲート 電子冷却素子 (-) 電子冷却素子 (+) 基板 (GND) テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート-2) テストポイント (垂直入力ゲート-1) 備考 （標準動作) +12 V RL=22 kΩ +20 V +3 V P2Hと同じタイミング 0V 0V RDに接続 P2Vと同じタイミング GND RDに接続 0V 0V *16: 垂直レジスタと水平レジスタ間の分離ゲート。標準動作ではTGにP2Vと同じパルスを入力してください。 電子冷却素子の仕様 (Typ.) 項目 内部抵抗 最大電流*17 最大電圧 最大熱吸収*20 放熱側の最大温度 記号 条件 Rint Ta=25 °C Imax Tc*18=Th*19=25 °C Vmax Tc*18=Th*19=25 °C Qmax - S9971-0906 2.8 1.5 4.4 3.4 S9971-1006/-1007 6.0 1.5 8.8 6.7 70 S9971-1008 1.2 3.0 3.6 5.1 単位 Ω A V W °C *17: 電流値が最大電流以上になると、ジュール熱によって熱吸収率が低下し始めます。この最大電流は冷却器を損なわないためのしき い値ではありませんので注意してください。電子冷却素子を保護し、安定した動作を維持するために、供給電流を最大電流の60 % 以下に設定してください。 *18: 電子冷却素子の冷却側の温度 *19: 電子冷却素子の放熱側の温度 *20: 最大電流を電子冷却素子に供給したときの熱吸収 11 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ 電子冷却素子の特性 S9971-0906 ഩգ (V) ഩգȽഩၠ CCDأഽȽഩၠ 20 4 10 3 0 2 -10 1 -20 0 0 0.5 1.0 1.5 ഩၠ (A) CCDأഽ (°C) (Typ. Ta=25 °C) 5 -30 2.0 KMPDB0176JB S9971-1006/-1007 (Typ. Ta=25 °C) 10 ഩգȽഩၠ CCDأഽȽഩၠ 9 8 20 10 6 0 5 4 -10 CCDأഽ (°C) ഩգ (V) 7 3 -20 2 1 0 0 0.5 1.0 1.5 -30 2.0 ഩၠ (A) KMPDB0177JB 12 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ S9971-1008 (Typ. Ta=25 °C) 7 ഩգȽഩၠ CCD أഽȽഩၠ 20 5 10 4 0 3 -10 2 -20 1 -30 0 0 1 2 3 4 CCDأഽ (°C) ഩգ (V) 6 30 -40 ഩၠ (A) KMPDB0179JB 温度センサの仕様 CCDと同じパッケージにサーミスタチップが内蔵されており、動作中のCCDチップ温度をモニタします。 このサーミスタの抵抗値と絶対温度の関係は次式で表されます。 1 MΩ RT1 = RT2 × exp BT1/T2 (1/T1 - 1/T2) 使用しているサーミスタの特性は以下のとおりです。 R298=10 kΩ B298/323=3450 K ࢯ RT1: 絶対温度T1 (K)のときの抵抗値 RT2: 絶対温度T2 (K)のときの抵抗値 BT1/T2: B定数 (K) 100 kΩ 10 kΩ 220 230 240 250 260 270 280 290 300 أഽ (K) KMPDB0111JB 13 CCDエリアイメージセンサ S9970/S9971シリーズ 使用上の注意(静電対策) ・センサは、素手あるいは綿の手袋をはめて扱うようにしてください。さらに、摩擦で生じる静電気によるダメージを避けるため、静 電防止服を身に着けてセンサを取り扱ってください。 ・静電気を帯びる可能性のある作業台やフロアの上にセンサを直接置かないでください。 ・作業台や作業フロアには、静電気を放電させるためのアース線を接続してください。 ・センサを取り扱うピンセットやはんだごてなどの道具にもアース線を接続してください。 上記の静電対策は必ずしもすべて行う必要はありません。発生する障害の程度に応じて対策を施してください。 素子の冷却／昇温時の温度勾配速度 外付け冷却器で冷却する場合は、素子の冷却／昇温時の温度勾配速度を、5 K/min以下になるように設定してください。 マルチチャンネル検出ヘッド (C7020, C7021, C7025) 特長 C7020: S9970シリーズ用 C7021: S9971-0906/-1006/-1007用 C7025: S9971-1008用 エリアスキャンまたはラインビニング動作 読み出し周波数: 250 kHz 読み出しノイズ: 20 e- rms ΔT=50 °C (ΔTは冷却方法により異なります。) 入力 マスタースタート 記号 VD1 VA1+ VA1VA2 VD2 Vp VF φms マスタークロック φmc 印加電圧 定格 +5 Vdc, 200 mA +15 Vdc, +100 mA -15 Vdc, -100 mA +24 Vdc, 30 mA +5 Vdc, 30 mA (C7021, C7025) +5 Vdc, 2.5 A (C7021, C7025) +12 Vdc, 100 mA (C7021, C7025) HCMOSロジックコンパチブル HCMOSロジックコンパチブル 1 MHz 14 S9970/S9971シリーズ CCDエリアイメージセンサ マルチチャンネル検出器ヘッド用コントローラ 型名 インターフェース C7557 SCSI C7557-01 USB2.0 写真 付属品 ·SCSIターミネータ ·ヒューズ (2.5 A) ·検出器ヘッド接続ケーブル ·ACケーブル ·ソフトウェア (対応OS: Windows 98/ME*21) ·取扱説明書 ·USBケーブル ·ヒューズ (2.5 A) ·検出器ヘッド接続ケーブル ·ACケーブル ·ソフトウェア (対応OS: Windows 2000/XP/Vista) ·取扱説明書 ·MOSアダプタ 注) SCSIケーブル、SCSIボード (カード)は付属していません。 *21: Windows 2000/NT/XPでも、動作させることが可能な場合もあります (簡単な設定が必要)。 設定方法については、固体営業部にお問い合わせください。 接続図 ΏλΛΗ * ΗͼηϋΈΩσΑ ACΉȜήσ (AC100ȡ240 V) (C7557-01ͅັ௺) Trig. POWER ဥΉȜήσ (C7557-01ͅັ௺) SIGNAL I/O USB ΉȜήσ (C7557-01ͅັ௺) TE CONTROL I/O ͼιȜΐΓϋ Ĭ ζσΙΙλϋΥσ ܕΰΛΡ C7557-01 PC (Windows 2000/XP/Vista) (USB2.0) * ΏλΛΗ͉̈́̓ဥփ̵̱̞̀ͭ͘ȃ KACCC0402JA 本資料の記載内容は、平成26年1月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ොවॽအ̹͉͘ϋίσ̞̤̀ͅރȂ߿ྴ͈ྎͅॻॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂٳอॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪŅķߊځĹْ౷ġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KMPD1089J05 Jan. 2014 DN 15