CCDエリアイメージセンサ S10140/S10141シリーズ 低読み出しノイズ、高解像度 (画素サイズ: 12 μm) S10140/S10141シリーズは、微弱光検出用に開発された裏面入射型FFT-CCDエリアイメージセンサです。ビニング動作を行 うことにより、受光面の高さ方向に長いリニアイメージセンサとして使用できるため、分光光度計の検出器に適しています。 ビニング動作は、外部回路で信号をデジタル的に加算する従来の方法と比べると、S/Nや信号処理速度において非常に優れて います。S10140/S10141シリーズは、低ノイズ・低暗電流 (MPPモード動作)を特長としていますので、微弱光レベルでも 信号蓄積時間を長くすることができ、広いダイナミックレンジを達成しています。 S10140/S10141シリーズの有効画素サイズは12 × 12 μmで、受光面サイズは12.288 (H) × 1.464 (V) mm2 (1024 × 122画素) から24.576 (H) × 6.072 (V) mm2 (2048 × 506画素)まで用意されています。 特長 用途 低読み出しノイズ: 4 e- rms typ. 蛍光分光測光、ICP 工業製品の検査 高解像度: 画素サイズ 12 × 12 μm 常温型: S10140シリーズ 1段電子冷却型: S10141シリーズ 半導体検査 ライン／ピクセルビニング、エリアスキャンが可能 DNAシーケンサ 微弱光検出 量子効率: ピーク時90%以上 ラマン分光 広い感度波長範囲 広いダイナミックレンジ MPP動作 紫外感度が高く、紫外線照射に対して特性が安定 S7030/S7031シリーズとピンコンパチブル セレクションガイド 型名 S10140-1007 S10140-1008 S10140-1009 S10140-1107 S10140-1108 S10140-1109 S10141-1007S S10141-1008S S10141-1009S S10141-1107S S10141-1108S S10141-1109S 冷却 非冷却 1 段電子冷却 全画素数 有効画素数 1044 × 128 1044 × 256 1044 × 512 2068 × 128 2068 × 256 2068 × 512 1044 × 128 1044 × 256 1044 × 512 2068 × 128 2068 × 256 2068 × 512 1024 × 122 1024 × 250 1024 × 506 2048 × 122 2048 × 250 2048 × 506 1024 × 122 1024 × 250 1024 × 506 2048 × 122 2048 × 250 2048 × 506 イメージサイズ mm (H) × mm (V) 12.288 × 1.464 12.288 × 3.000 12.288 × 6.072 24.576 × 1.464 24.576 × 3.000 24.576 × 6.072 12.288 × 1.464 12.288 × 3.000 12.288 × 6.072 24.576 × 1.464 24.576 × 3.000 24.576 × 6.072 適合マルチチャンネル 検出器ヘッド C10150 C10151 注) 2段電子冷却型 (S10142 シリーズ)も対応が可能です (受注生産品)。 浜松ホトニクス株式会社 1 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ 構成 S10140シリーズ 項目 画素サイズ (H × V) 垂直クロック 水平クロック 出力回路 パッケージ 窓材*1 S10141シリーズ 12 × 12 μm 2相 2相 1 段 MOSFET ソースフォロア 24 ピン セラミック DIP ( 外形寸法図を参照 ) 石英ガラス*2 反射防止コーティングサファイア*3 *1: 仮付け窓タイプ (例: S10140-1107N)も対応が可能です。 *2: 樹脂封止 *3: 気密封止 絶対最大定格 (Ta=25 °C) 項目 動作温度*4 保存温度 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 垂直入力ソース電圧 水平入力ソース電圧 垂直入力ゲート電圧 水平入力ゲート電圧 サミングゲート電圧 出力ゲート電圧 リセットゲート電圧 トランスファーゲート電圧 垂直シフトレジスタクロック電圧 水平シフトレジスタクロック電圧 記号 Topr Tstg VOD VRD VISV VISH VIG1V, VIG2V VIG1H, VIG2H VSG VOG VRG VTG VP1V, VP2V VP1H, VP2H Min. -50 -50 -0.5 -0.5 -0.5 -0.5 -10 -10 -10 -10 -10 -10 -10 -10 Typ. - Max. +50 +70 +30 +18 +18 +18 +15 +15 +15 +15 +15 +15 +15 +15 単位 °C °C V V V V V V V V V V V V 注 ) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 *4: パッケージ温度 (S10140 シリーズ )、チップ温度 (S10141 シリーズ ) 動作条件 (MPPモード, Ta=25 °C) 項目 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 出力ゲート電圧 基板電圧 垂直入力ソース 水平入力ソース テストポイント 垂直入力ゲート 水平入力ゲート High 垂直シフトレジスタクロック電圧 Low High 水平シフトレジスタクロック電圧 Low High サミングゲート電圧 Low High リセットゲート電圧 Low High トランスファーゲート電圧 Low 外部負荷抵抗 記号 VOD VRD VOG VSS VISV VISH VIG1V, VIG2V VIG1H, VIG2H VP1VH, VP2VH VP1VL, VP2VL VP1HH, VP2HH VP1HL, VP2HL VSGH VSGL VRGH VRGL VTGH VTGL RL Min. 23 11 2.5 -9 -9 2.5 -9 4 -9 4 -9 4 -9 2.5 -9 90 Typ. 24 12 3 0 VRD VRD -8 -8 3 -8 5 -8 5 -8 5 -8 3 -8 100 Max. 25 13 3.5 3.5 -7 6 -7 6 -7 6 -7 3.5 -7 110 単位 V V V V V V V V V V V V V kΩ 2 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ 電気的特性 (Ta=25 °C) 項目 記号 fc 信号出力周波数 S1014*-1007 垂 直 シ フ ト レ ジ ス タ S1014*-1008/-1107 容量 S1014*-1108/-1009 S1014*-1109 水 平 シ フ ト レ ジ ス タ S1014*-1007/-1008/-1009 容量 S1014*-1107/-1108/-1109 サミングゲート容量 リセットゲート容量 トランスファーゲー S1014*-1007/-1008/-1009 ト容量 S1014*-1107/-1108/-1109 電荷転送効率*5 DC出力レベル*6 出力インピーダンス*6 消費電力*6 *7 CP1V, CP2V CP1H, CP2H CSG CRG CTG CTE Vout Zo P Min. 0.99995 16 - Typ. 250 800 1600 3200 6400 80 150 30 30 50 70 0.99999 17 8 4 Max. 500 18 - 単位 kHz Min. 45 120 150 4 30000 15000 - Typ. Fw × Sv 60 150 200 5 30 3 4 37500 18500 ±3 200 ～ 1100 - Max. 6 300 30 18 ±10 0 10 3 0 単位 V pF pF pF pF pF V kΩ mW *5: 飽和出力の半分のときに測定した、1画素当たりの転送効率 *6: 負荷抵抗により変わります (VOD=24 V、負荷抵抗=100 kΩ)。 *7: オンチップアンプと負荷抵抗を合わせた消費電力 電気的および光学的特性 (指定のない場合は Ta=25 °C) 項目 記号 Vsat 飽和出力電圧 飽和電荷量 垂直 水平 サミング CCD変換効率 暗電流*8 MPPモード 読み出しノイズ*9 25 °C 0 °C ダイナミックレンジ*10 ラインビニング エリアスキャン 感度不均一性* 感度波長範囲 Fw Sv DS Nr 11 PRNU λ ポイント欠陥*12 キズ DR 白キズ 黒キズ クラスタ欠陥*13 コラム欠陥*14 - keμV/ee-/pixel/s e- rms % nm - *8: 暗電流は温度が5～7 ºC上昇すると約2倍になります。 *9: 動作周波数20 kHz、温度 -50 ºC *10: ダイナミックレンジ = 飽和電荷量／読み出しノイズ *11: LED光 (ピーク波長: 560 nm)を用いて、飽和出力の半分のときに測定 ۜഽະ֚ = ࡥΩΗȜϋΦͼΒ (peak to peak) × 100 [%] *12: 白キズ 冷却温度0 ºCで1秒間蓄積したときに、暗電流が1 ke-を超える画素 黒キズ 平均出力画素に比べて感度が半分以下の画素 (測定条件: 飽和電荷量の1/2の出力になる均一光) *13: 2～9個の連続した画像欠陥 *14: 10個以上の連続した画像欠陥 3 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ 分光感度特性 (窓なし時)*15 (Typ. Ta=25 °C) 100 90 ၔ࿂වৣ߿ S10140/S10141 ΏςȜΒ 80 ၾঊ࢘ၚ (%) 70 60 50 40 30 20 ນ࿂වৣ߿ ĩUVȜΠĪ ນ࿂වৣ߿ 10 0 200 400 600 800 1000 1200 ෨ಿ (nm) KMPDB0254JB *15: 石英ガラスまたは反射防止コーティングサファイアの透過率特性により分光感度は低下します。 窓材の分光透過特性 暗電流ー温度 (Typ. Ta=25 °C) 100 (Typ.) 100 90 80 10 ൫ًၚ (%) 70 ճഩၠ (e-/pixel/s) ΄םρΑௗ ৣཡগȜΞͻϋΈέͼͺ 60 50 40 30 20 1 0.1 0.01 10 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 ෨ಿ (nm) 0.001 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 أഽ (°C) KMPDB0110JA KMPDB0255JB 4 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ デバイス構造 (外形寸法図において上面からみたCCDチップ概念図) ခْ࢘ள Thinning ခْ࢘ள 23 15 20 21 13 14 2-bevel 22 24 1 ႁ n H 2 5 4 3 2 12345 4-bevel Thinning V 12 କΏέΠ τΐΑΗ 2 3 4 5 8 2 4ήρϋ·ْள n 11 V=122, 250, 506 H=1024, 2048 10 9 ႁ 4ήρϋ·ْளġ କΏέΠτΐΑΗ 6-bevel 6-bevel ಕ) වৣ༷̥࢜ͣࡉ̹ાࣣȂକΏέΠτΐΑΗ͉Si͈࢚̞໐ (ະۜ໐)́ ໞ̞̳̦ͩͦ̀͘Ȃಿ෨ಿ͈͉ະۜ໐͈Siͬ൫ً̱ȂକΏέΠτΐΑΉ ̯ͦͥخෝ̦̜̳ͤ͘ȃຈါͅ؊̲̀৭͈̈́̓చॐ࣐̩̺̯̞ͬ̽̀ȃ KMPDC0244JB 5 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ タイミングチャート ラインビニング ಇୟۼܢ ĩΏλΛΗٳĪ Tpwv 1 ೄΫΣϋΈۼܢ ĩΏλΛΗĪ 3..126 127 3..254 255 3..510 511 2 P1V උ͙̱ۼܢĩΏλΛΗĪ 128← 122 + 6 (bevel): S1014*-1007/-1107 256← 250 + 6 (bevel): S1014*-1008/-1108 512← 506 + 6 (bevel): S1014*-1009/-1109 Tovr P2V, TG P1H 1 2 1044: S1014*-1007/-1008/-1009 2068: S1014*-1107/-1108/-1109 4..1042 1043 4..2066 2067 Tpwh, Tpws 3 P2H, SG Tpwr RG OS D1 D2 S1..S1024 D19 D3..D10, S1..S2048, D11..D18 D20 : S1014*-1007/-1008/-1009 : S1014*-1107/-1108/-1109 KMPDC0242JB 項目 P1V, P2V, TG*16 P1H, P2H*16 SG RG TG – P1H S1014*-1007 S1014*-1008/-1107 パルス幅 S1014*-1009/-1108 S1014*-1109 上昇／下降時間 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 記号 Tpwv Tprv, Tpfv Tpwh Tprh, Tpfh Tpws Tprs, Tpfs Tpwr Tprr, Tpfr Tovr Min. 1.5 3 6 12 20 1000 10 40 1000 10 40 100 5 1 Typ. 2 4 8 16 2000 50 2000 50 1000 - 2 Max. 60 60 - 単位 μs ns ns ns % ns ns % ns ns μs *16: 最大パルス振幅の50%のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。 6 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ エリアスキャン ಇୟۼܢ (ΏλΛΗ)ٳ උ͙̱( ۼܢΏλΛΗ) Tpwv 1 2 3 4..127128←122 + 6 (bevel): S1014*-1007/-1107 4..255256←250 + 6 (bevel): S1014*-1008/-1108 4..511512←506 + 6 (bevel): S1014*-1009/-1109 P1V P2V, TG P1H P2H, SG RG OS Tovr P2V, TG ڐఱ Tpwh, Tpws P1H P2H, SG Tpwr RG OS D1 D2 D3 D4 D18 S1..S1024 D5..D10, S1..S2048, D11..D17 D20 : S1014*-1007/-1008/-1009 : S1014*-1107/-1108/-1109 D19 KMPDC0243JB 項目 P1V, P2V, TG*17 P1H, P2H*17 SG RG TG – P1H S1014*-1007 S1014*-1008/-1107 パルス幅 S1014*-1009/-1108 S1014*-1109 上昇／下降時間 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 記号 Tpwv Tprv, Tpfv Tpwh Tprh, Tpfh Tpws Tprs, Tpfs Tpwr Tprr, Tpfr Tovr Min. 1.5 3 6 12 20 1000 10 40 1000 10 40 100 5 1 Typ. 2 4 8 16 2000 50 2000 50 1000 - 2 Max. 60 60 - 単位 μs ns ns ns % ns ns % ns ns μs *17: 最大パルス振幅の50%のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。 7 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ 外形寸法図 (単位: mm) S10140-1007/-1008/-1009 වৣௗ 16.3* ໐ 12.29 22.4 ± 0.30 1 22.9 ± 0.30 13 A 8.2* 24 12 2.54 ± 0.13 34.0 ± 0.34 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 4.8 ± 0.49 4.4 ± 0.44 (24 ×) 0.5 ± 0.05 3.8 ± 0.44 2.4 ± 0.15 3.0 ࿂ S10140-1007: A=1.464 S10140-1008: A=3.000 S10140-1009: A=6.072 * ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0207JB S10140-1107/-1108/-1109 වৣௗ 28.6* ໐ 24.58 1 22.9 ± 0.30 22.4 ± 0.30 13 A 8.2* 24 12 2.54 ± 0.13 44.0 ± 0.44 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 4.8 ± 0.49 4.4 ± 0.44 3.8 ± 0.44 (24 ×) 0.5 ± 0.05 2.4 ± 0.15 3.0 ࿂ S10140-1107: A=1.464 S10140-1108: A=3.000 S10140-1109: A=6.072 * ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0208JB 8 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ S10141-1007S/-1008S/-1009S වৣௗ 16.3* ໐ 12.29 19.0 22.4 ± 0.30 22.9 ± 0.30 7.3 ± 0.63 7.7 ± 0.68 4.0 6.7 ± 0.63 13 A 8.2* 24 1 12 2.54 ± 0.13 34.0 ± 0.34 42.0 50.0 ± 0.30 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ 1.0 (24 ×) 0.5 ± 0.05 4.8 ± 0.15 3.0 ഩঊ႖ݕளঊ S10141-1007S: A=1.464 S10141-1008S: A=3.000 S10141-1009S: A=6.072 * ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0209JC S10141-1107S/-1108S/-1109S වৣௗ 28.6* ໐ 24.58 22.9 ± 0.30 19.0 4.0 1 22.4 ± 0.30 13 A 12 2.54 ± 0.13 44.0 ± 0.44 52.0 60.0 ± 0.30 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ 7.7 ± 0.68 7.3 ± 0.63 6.7 ± 0.63 (24 ×) 0.5 ± 0.05 1.0 4.8 ± 0.15 ഩঊ႖ݕளঊ 3.0 8.2* 24 S10141-1107S: A=1.464 S10141-1108S: A=3.000 S10141-1109S: A=6.072 * ȶௗऺ͈൫ًඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0210JC 9 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ ピン接続 ピン No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 記号 RD OS OD OG SG P2H P1H IG2H IG1H ISH TG*18 P2V P1V SS ISV IG2V IG1V RG S10140シリーズ 機能 リセットドレイン 出力トランジスタソース 出力トランジスタドレイン 出力ゲート サミングゲート CCD水平レジスタ クロック-2 CCD水平レジスタ クロック-1 テストポイント (水平入力ゲート-2） テストポイント (水平入力ゲート-1） テストポイント (水平入力ソース) トランスファーゲート CCD垂直レジスタ クロック-2 CCD垂直レジスタ クロック-1 基板 (GND) テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート-2) テストポイント (垂直入力ゲート-1) リセットゲート 記号 RD OS OD OG SG P2H P1H IG2H IG1H ISH TG*18 P2V P1V Th1 Th2 PP+ SS ISV IG2V IG1V RG S10141シリーズ 機能 リセットドレイン 出力トランジスタソース 出力トランジスタドレイン 出力ゲート サミングゲート CCD水平レジスタ クロック-2 CCD水平レジスタ クロック-1 テストポイント (水平入力ゲート-2) テストポイント (水平入力ゲート-1) テストポイント (水平入力ソース) トランスファーゲート CCD垂直レジスタ クロック-2 CCD垂直レジスタ クロック-1 サーミスタ サーミスタ 電子冷却素子 (-) 電子冷却素子 (+) 基板 (GND） テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート-2) テストポイント (垂直入力ゲート-1) リセットゲート 備考 (標準動作) +12 V RL=100 kΩ +24 V +3 V P2Hと同タイミング -8 V -8 V RDに接続 P2Vと同タイミング GND RDに接続 -8 V -8 V *18: 垂直レジスタと水平レジスタの間の分離ゲート。標準動作では TG に P2V と同じパルスを入力してください。 内蔵電子冷却素子の仕様 (Typ.) 項目 内部抵抗 最大電流*19 最大電圧 最大熱吸収*22 放熱側の最高温度 記号 Rint Imax Vmax Qmax - 条件 Ta=25 °C Tc*20=Th*21=25 °C Tc*20=Th*21=25 °C S10141-1007S/-1008S/-1009S S10141-1107S/-1108S/-1109S 2.5 1.2 1.5 3.0 3.8 3.6 3.4 5.1 70 70 単位 Ω A V W °C *19: 電流値が Imax 以上になると、ジュール熱によって熱吸収率が低下し始めます。この最大電流 Imax は電子冷却素子を損なわない ためのしきい値ではありませんので注意してください。電子冷却素子を保護し、安定した動作を維持するために、供給電流をこの 最大電流の 60% 以下に設定してください。 *20: 電子冷却素子の冷却側の温度 *21: 電子冷却素子の放熱側の温度 *22: 最大電流をセンサに供給したときに、電子冷却素子に生じる温度差を補正する理論的な熱吸収レベルです。 10 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ S10141-1007S/-1008S/-1009S (Typ. Ta=25 °C) 6 20 6 5 10 5 10 4 0 4 0 3 -10 3 -10 2 -20 2 -20 1 -30 1 -30 -40 2.0 0 0 0 1.0 0.5 1.5 ഩգ (V) 7 CCD أഽ (°C) 30 ഩգȽഩၠ CCD أഽȽഩၠ ഩգȽഩၠ CCD أഽȽഩၠ 30 20 0 1 2 ഩၠ (A) 3 4 CCD أഽ (°C) (Typ. Ta=25 °C) 7 ഩգ(V) S10141-1107S/-1108S/-1109S -40 ഩၠ (A) KMPDB0178JA KMPDB0179JA 内蔵温度センサの仕様 CCDチップと同じパッケージにサーミスタチップが内蔵されており、動作中のCCDチップ温度をモニタします。 このサーミスタの抵抗値と絶対温度の関係は次式で表されます。 (Typ. Ta=25 °C) 1 MΩ RT1 = RT2 × exp BT1/T2 (1/T1 - 1/T2) 使用しているサーミスタの特性は以下のとおりです。 R298=10 kΩ B298/323=3450 K ࢯ RT1: 絶対温度T1 [K]のときの抵抗値 RT2: 絶対温度T2 [K]のときの抵抗値 BT1/T2: B定数 [K] 100 kΩ 10 kΩ 220 240 260 أഽ (K) 280 300 KMPDB0111JB 11 CCDエリアイメージセンサ S10140/S10141シリーズ 使用上の注意 (静電対策) ・ センサは、素手あるいは綿の手袋をはめて扱うようにしてください。さらに、摩擦で生じる静電気によるダメージを避けるため、 静電防止服やアース付きリストバンドを身に着けてセンサを取り扱ってください。 ・ 静電気を帯びる可能性のある作業台やフロアの上にセンサを直接置かないでください。 ・ 作業台や作業フロアには、静電気を放電させるためのアース線を接続してください。 ・ センサを取り扱うピンセットやはんだごてなどの道具にもアースをとるようにしてください。 上記の静電対策は必ずしもすべて行う必要はありません。発生する障害の程度に応じて対策を施してください。 素子の冷却・昇温時の温度勾配速度 外付け冷却器で冷却する場合は、素子の冷却・昇温時の温度勾速度を5 K/分以下になるように設定してください。 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・注意事項とお願い ・イメージセンサ／使用上の注意 技術情報 ・FFT-CCDエリアイメージセンサ／技術資料 ・イメージセンサ／用語の解説 マルチチャンネル 検出器ヘッド C10150, C10151 特長 裏面入射型CCDエリアイメージセンサ専用ヘッド C10150: 非冷却型 (S10140シリーズ)用 C10151: 電子冷却型 (S10141シリーズ)用 ラインビニング動作／エリアスキャン動作の選択が可能 車用駆動回路を内蔵 高安定温度制御方式を採用 (C10151) 制御温度: Ts =-10 ± 0.05 °C 固定 簡単な信号入力で動作 コンパクトな外形 12 S10140/S10141シリーズ CCDエリアイメージセンサ マルチチャンネル検出器ヘッド用コントローラ C7557-01 特長 マルチチャンネル検出器ヘッドの制御とデータ収集を 行うためのコントローラ 付属のソフトウェアを使用することにより、USBイン ターフェースを通して簡易に制御およびデータ収集が可能 接続図 ΏλΛΗ* ΗͼηϋΈΩσΑ ACΉȜήσ (100ȡ240 V, C7557-01ͅັ௺) Trig. őŐŘņœ ဥΉȜήσ (C7557-01ͅັ௺) ŔŊňŏłōġŊİŐ USB ΉȜήσ (C7557-01ͅັ௺) ŕņġńŐŏŕœŐōġŊİŐ ͼιȜΐΓϋ + ζσΙΙλϋΥσ ܕΰΛΡ C7557-01 PC [Windows 2000/XP/Vista, 7 (32-bit)] (USB 2.0) *ġΏλΛΗ͉̈́̓ဥփ̵̱̞̀ͭ͘ȃ KACCC0402JC 本資料の記載内容は、平成24年8月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ොවॽအ̹͉͘ϋίσ̞̤̀ͅރȂ߿ྴ͈ྎͅॻॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂٳอॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪŅķߊځĹْ౷ġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KMPD1094J08 Aug. 2012 DN 13