FGMデータシート センサ素子/ゲージ圧 ■特長 小型表面実装スタイル(圧力導入口長3mm と6mm のいずれかを選択できます) ■型式 FGM-6 07P G SR リード形状 表面実装スタイル 圧力導入口長 3:3mm モデル名 6:6mm 測定圧力範囲(kPa) -13.79~13.79 -34.47~34.47 -48.26~48.26 -98.07~103.4 -98.07~206.8 -98.07~344.7 -98.07~482.6 -98.07~827.4 圧力の種類 G:ゲージ圧 定格圧力(PSI) 重量(g) 重量(g) 0.3 0.35 型 式 圧力導入口長 3mm FGM-302PGSR FGM-305PGSR FGM-307PGSR FGM-315PGSR FGM-330PGSR FGM-350PGSR FGM-370PGSR FGM-3120PGSR 圧力導入口長 6mm FGM-602PGSR FGM-605PGSR FGM-607PGSR FGM-615PGSR FGM-630PGSR FGM-650PGSR FGM-670PGSR FGM-6120PGSR RoHS対応 ■仕様 型 式 02PG 使用条件および推奨動作条件 圧力の種類 定格圧力 13.79 -13.79 測定圧力範囲 ~13.79 精度保証温度 圧力媒体 駆動電流(定電流) 絶対最大定格 最大負荷圧力 05PG 34.47 -34.47 ~34.47 07PG 15PG 30PG 50PG ゲージ圧 48.26 103.4 206.8 344.7 -48.26 -98.07 -98.07 -98.07 ~48.26 ~103.4 ~206.8 ~344.7 0~50 非腐食性気体 (液体には使用できません) 1.5 70PG 482.6 -98.07 ~482.6 1 827.4 -98.07 ~827.4 単位 - kPa kPa ℃ - mADC 定格圧力 の 1.5 倍 定格圧力の 2 倍 最大駆動電流 3.0 使用温度 -20~100 保存温度 -40~120 使用湿度 30~80 (結露しないこと) 電気的性能(駆動電流 1.5mADC 定電流、温度 Ta=25℃) 出力スパン電圧 60~140 (at 0kPa~定格圧力) オフセット電圧 ±20 (at 0kPa) ブリッジ抵抗 4000~6000 応答速度 2(参考値) オフセット電圧温度特性 精度 ±5 感度温度特性 2.5 直線性 ±0.5 ±0.3 圧力ヒステリシス ±0.4 ±0.2 120PG - mADC ℃ ℃ %RH ±0.5 ±0.6 ±0.4 mV mV Ω msec. %FS/ 0~50℃ %FS %FS FGMデータシート センサ素子/ゲージ圧 各項目の評価方法は以下の計算式による。 P1= 0 kPa T1= 0 ℃ P2= 1/2 x P3 (kPa) T2= 25 ℃ P3= 定格圧力(kPa) T3= 50 ℃ オフセット電圧(mV) Voff = V(P1,T) : 圧力 0kPa(圧力開放)時の出力電圧 Voff(0) = V(P1,T1) Voff(25) = V(P1,T2) Voff(50) = V(P1,T3) 定格出力電圧(mV) Vfs = V(P3,T) : 定格圧力を印加したときの出力電圧 Vfs(0) = V(P3,T1) Vfs(25) = V(P3,T2) Vfs(50) = V(P3,T3) 出力スパン電圧(mV) SV = Vfs - Voff SV(0) = Vfs(0) - Voff(0) SV(25) = Vfs(25) - Voff(25) SV(50) = Vfs(50) - Voff(50) オフセット電圧温度特性(%FS) TSO = {⊿L と⊿H の絶対値の大きいほう} / SV(25) x 100 ⊿L = Voff(0)-Voff(25) ⊿H = Voff(50)-Voff(25) 感度温度特性(%FS) TCS = {max[SV(0),SV(25),SV(50)] - min[SV(0),SV(25),SV(50)] } / SV(25) x 100 非直線性(%FS) NL = {V(P2,T2) - [Voff(25)+Vfs(25)]/2 } / SV(25) x 100 (※25℃の値で規定する) 圧力ヒステリシス(%FS) Phys = {Voff’(25) - Voff(25) } / SV(25) x 100 Voff’(25) : 定格圧力を印加してから大気開放した後の出力電圧 (※25℃の値で規定する) 2 FGMデータシート センサ素子/ゲージ圧 ■外形図■ 圧力導入口 大気圧導入口 インデックス 推奨ランド寸法 マーキング面 パッド 圧力導入口 大気圧導入口 インデックス 位置決めピン 推奨ランド寸法 2-φ1.1 マーキング面 位置決めピン パッド 3 位置決めピン穴径 FGMデータシート センサ素子/ゲージ圧 ■接続図■ 出力 定電流電源 ゼロバランストリマ(VRO)を入れる場合 ■出力特性例■ <302PG~307PG> <602PG~607PG> <315PG~3120PG> <615PG~6120PG> ↑出力電圧(mV) ↑出力電圧(mV) 出力スパン 電圧 オフセット電圧 -定格圧力 出力スパン 電圧 オフセット電圧 -98.07kPa 0kPa 0kPa 定格圧力 →印加圧力(kPa) 定格圧力 →印加圧力(kPa) 注) ご使用になる前に必ず“圧力センサ使用上のご注意(半導体圧力センサ正しくご使用いただくために)”をお読み下さい。 仕様は断り無く変更することがあります。 ▼センサ端子の変色を防止するために、長い間開封したままの状態でセンサを大気中に放置しないようお願い致します。 ▼経年変化などによりセンサのオフセット電圧にズレが生じた場合でもゼロ点補正できるような設計をお願い致します。 技術的なお問合せ先: 株式会社フジクラ センサ部 〒135-8512 東京都江東区木場 1-5-1 電話(03)5606-1072 4 E-mail:[email protected] FGMデータシート センサ素子/ゲージ圧 推奨リフロー温度プロファイル ※ 加熱温度は下記プロファイル以内で、実際の実装環境に応じて最適な 温度条件を設定して下さい。 ~10sec 230℃ 210℃ 150℃ 常温 a a:温度上昇勾配 b:予備加熱 c:温度上昇勾配 d:本加熱 b c d e 1~2℃/sec 温度 150℃~180℃ ,時間 60~120sec 1~2℃/sec 温度 210℃以上の時間 30sec 以内 ピーク温度 230℃以下(10sec 以内) 230℃を超えることがないようにして下さい e:冷却温度勾配 1~2℃/sec ※温度測定点:センサパッケージ表面(上面) ※リフロー回数は 2 回までとする。 技術的なお問合せ先: 株式会社フジクラ センサ部 〒135-8512 東京都江東区木場 1-5-1 電話(03)5606-1072 5 E-mail:[email protected]