Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の特徴と磁気デバイスへの応用 Characteristics of Nd-Fe-B/Ta Multilayered Permanent Magnet Thin-films and Their Application to Magnetic Devices 上原 稔＊ 進 士 忠 彦 ＊＊ Minoru Uehara Tadahiko Shinshi 本論文では，Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の特徴を実用化の観点から議論し，その磁気マイク ロデバイスへの応用について報告する。Ta と特定の多層構造を持った Nd - Fe - B 基薄膜において， 垂直磁気異方性を有する均一サイズの微細 Nd 2 Fe 14 B 粒子からなる組織が形成されたことにより， 磁石特性と耐熱特性が向上した。この薄膜を用いて 2 種類のデバイスを製作したところ，工業的応 用に有意な特徴が発現した。広いギャップと自己保持機構を備えたスイッチデバイスは RF- スイッチ への応用が期待され，リニアモータにおいては，永久磁石膜利用による顕著な小型化と 2 G を超え る加速性が実証された。 This article discusses the characteristics of Nd-Fe-B/Ta multilayered permanent magnet thin-films, and reports their application to magnetic micro devices. The Nd-Fe-B-based films having specific multilayered configurations with Ta have demonstrated improved magnetic properties and thermal stability owing to the microstructure composed of uniformly-sized fine Nd 2 Fe14 B grains with perpendicular magnetic anisotropy. Two devices equipped with these thin-films have been fabricated and show interesting features in industrial applications. The switch device with a large gap and mechanical latch system is expected to work as an RF-switch. In the linear motor, noticeable miniaturization due to the use of the thin-film magnets, along with acceleration above 2 G has been verified. ● Key Word：Nd-Fe-B，薄膜，マイクロデバイス ● R&D Stage：Development を開発し，MEMS技術の特長を生かした磁気マイクロデバ 1. 緒 言 イスを実現していくことだと考えられる。 Nd2Fe14B基の焼結磁石1） とボンド磁石2） は，その高い Nd2Fe14B基の永久磁石の中で，薄膜は永らく潜在的な 磁気エネルギー積によって，これまでに永久磁石を利用す ポ テ ン シ ャ ル を 発 揮 で き ず に い た が， 先 に 筆 者 ら は， る機器やデバイスの小型化を牽引してきた。現在もなお， Nd-Fe-B層とTa層を交互にスパッタリング形成した多層構 携帯端末をはじめとする電子機器の小型・高機能化のトレ 造の永久磁石薄膜を提案し，焼結磁石に匹敵する磁気エネ ンドは留まることを知らず，こうした機器に使用されるサ ルギー積を有する薄膜を開発した3），4）。その後，実用化を ブミリサイズのNd2Fe14B基焼結磁石の需要が増加してい 念頭においた材料開発と並行して，2008年以降，永久磁石 る。 薄膜の応用を掘り起こすため，Nd-Fe-B/Ta多層永久磁石 こうした小型永久磁石を使用するデバイスの中には，こ 薄膜を用いたMEMS磁気デバイスの試作開発にも取り組ん のところ急速に普及が進んでいるMEMS（Micro-Electro でいる5）∼7）。 Mechanical Systems）技術を一部に適用し，製造されて 本論文では，材料としてのNd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄 いるものが存在する。しかし，MEMS技術はウェハー単位 膜の特徴を実用化の視点から議論し，その後この薄膜を応 のバッチプロセスが基本であるため，バルク永久磁石のア 用したスイッチデバイスとリニアモータの試作結果を報告 センブリ工程とは相容れ難い。したがって将来的に目指す する。 べきは，MEMS技術と整合性のとれた薄膜の永久磁石材料 ＊ ＊＊ 14 日立金属株式会社 NEOMAX カンパニー 東京工業大学 精密工学研究所 日立金属技報 Vol. 28（2012） ＊ ＊＊ NEOMAX Company, Hitachi Metals, Ltd. Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の特徴と磁気デバイスへの応用 構造を持たない磁石に対して薄膜の金属組織を微細均一 2. Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の特徴 に，高精度で制御できる点にある。これが可能になったこ 2. 1 永久磁石特性 とで，TbやDyといった重希土類金属を添加せずとも，そ Nd2Fe14B基の永久磁石薄膜は，粉末冶金法における粉砕 れらを使用する焼結磁石に匹敵する高保磁力が発現した。 粒度や磁界中成型，溶湯急冷法での結晶化熱処理や塑性加 図 2 に200 nmのNd-Fe-B層と10 nmのTa層を，全膜厚が 工といった，結晶粒子径や磁化容易軸方向を制御する技術 それぞれ約1 μm（図 2（a）） ，および約10 μm（図 2（b）） が見出せず，永らく期待される磁気特性が発揮できなかっ まで多層化した薄膜の破断面を，高分解能走査電子顕微鏡 た。日立金属は，多層膜構造による組織制御を試み，マグ で観察した写真を示す。図 2（a）は，Nd2Fe14Bの最大粒 ネトロンスパッタ法により，加熱した基板上にNd-Fe-B/ 子径がNd-Fe-B層の膜厚で厳格に制限されていることを示 Ta多層永久磁石薄膜を形成する技術を開発した。この技術 す。また，図 2（b）では，膜厚10 μmというスパッタ法 によって，Nd2Fe14Bの磁化容易方向であるc軸が膜面垂直 では厚膜であっても，制御された均一微細組織が膜全体を 方向に揃った異方性の永久磁石薄膜が得られる。図 1 に 支 配 し て い る こ と が 確 認 で き る。 詳 細 な 検 討 で は， ［Nd-Fe-B（200 nm）/Ta（10 nm） ］×10からなる多層膜 Nd-Fe-B層の膜厚が約500 nm以下になると保磁力と角形性 構造を有した永久磁石薄膜の磁化曲線を示す。ここでは反 の顕著な向上が見られた。この事実から，現実の磁区状態 磁界補正を行っていないが，強い反磁界を受ける膜面垂直 は粒子間の磁気相互作用が考慮されなければならないもの 方向であっても，角型性の良好な減磁曲線が得られてい の，保磁力向上効果を促す結晶粒子径として，Nd2Fe14Bの る。この減磁曲線から導出されたNd-Fe-B/Ta多層永久磁 理論上の臨界単磁区粒子径である300 nmが目安として考 石薄膜の永久磁石特性値は，表 1 で比較されているように， えられる8）。 異方性焼結磁石のそれに匹敵するものであった。 Nd-Fe-B/Ta多層構造の最大の特徴は，周期的に挿入さ （a） れるTa層がNd2Fe14Bの結晶成長を遮断するため，多層膜 1.6 Magnetization（T） 1.4 （Out of plane） 1.2 1 μm 1.0 0.8 （b） 0.6 0.4 （In plane） 0.2 0.0 −0.2 −0.4 −0.6 −1.6 −1.4 −1.2 −1.0 −0.8 −0.6 −0.4 −0.2 0.0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 Applied field （MA/m） 図 1 ［Nd-Fe-B（200 nm）/Ta（10 nm）］× 10 多層永久磁石薄 膜の減磁曲線 Fig. 1 Demagnetizing curves of [Nd-Fe-B (200 nm) /Ta (10 nm) ] x10 multilayered permanent magnet thin-film 表１ ［Nd-Fe-B（200 nm）/Ta（10 nm）］× 10 多層永久磁石薄膜 の永久磁石特性 Table 1 Permanent magnet properties of [Nd-Fe-B (200 nm) /Ta (10 nm) ] x10 multilayered permanent magnet thin-film Energy product （BH）max Remanent magnetization r Intrinsic coercivity CJ 5 μm 図2 Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の破断面の走査電子顕微鏡 写真（膜厚：（a）約 1 μm，（b）約 10 μm） Fig. 2 Scanning electron micrographs of fractured cross-sections of Nd-Fe-B/Ta multilayered permanent magnet thin-films with thickness of (a) about 1 μm, and (b) about 10 μm 多層構造のもう一つの特徴に，Ta層の上にNd-Fe-B層を 形成することで，堆積と同時に結晶化したNd2Fe14Bの磁化 容易軸（c軸）の垂直配向度がより向上することを挙げる こ と が で き る。 図 3 で， ［Nd-Fe-B（200 nm）/Ta（10 nm） ］×5のX線回折パターンをNd-Fe-B異方性焼結磁石の ものと比較した。散乱ベクトルの方向は，多層膜が面垂直 方向，焼結磁石が成形時の配向磁場方向である。例えば kJ/m 3 （MGOe） T （kG） kA/m （kOe） Thin-film ［Nd-Fe-B/Ta］ （Thickness：5.8 μm） 364 （45.7） 1.39 （13.9） 1430 （18.0） の相対強度は，焼結磁石よりも多層膜の方が弱く，多層膜 Sintered Nd-Fe-B （NEOMAX-48BH） 358∼390 （45∼49） 1.36∼1.42 （13.6∼1.42） 1114 （14.0） 強いc軸配向が残留磁化を従来の薄膜では得られなかった （105）のように， （00 l）からずれた指数からの回折ピーク のc軸がより強く配向していることが示されている。この 水準にまで高め，磁気エネルギー積の向上に導いた。 日立金属技報 Vol. 28（2012） 15 nmから200 nmへと薄くなることで耐熱性が向上してい （006） （a） る。永久磁石の耐熱性を定量化するため，不可逆熱減磁 率が−5%に達する温度を耐熱温度と定義すると，Nd-Fe-B 層の膜厚が200 nmの多層膜の耐熱温度は130℃以上となり， （004） その中に150 ℃を超える薄膜も存在している。 （008） Nd-Fe-B/Ta多層膜の耐熱温度には，焼結磁石やボンド （105） 磁石と同様に室温での保磁力に対する依存性が認められ Nd Nd た。さらに詳細な関係を見るため，多層膜の室温での磁化 （b） 曲線を解析したところ，減磁曲線上に不可逆磁化反転に起 （006） （105） 因する屈曲が現れる磁界が，耐熱温度に対してより緊密に （008） （004） 関係していることが明らかとなった。図 5 は， ［NdFeB （200 （115） （116） nm）/Ta（10 nm） ］×25の磁化曲線を解析した例で，ここ 20 30 40 50 60 70 2-theta （degrees） 図 3 X 線回折パターン（a）Nd-Fe-B/Ta 多層膜，（b）Nd-Fe-B 異方性焼結磁石 Fig. 3 X-Ray diffraction patterns (a) Nd-Fe-B/Ta multilayered thin film, (b) Nd-Fe-B anisotropic sintered magnet 2. 2 耐熱特性 9） キュリー点が比較的低いNd2Fe14Bが 磁性を担う永久磁 石薄膜において，同じ主相を持った焼結磁石やボンド磁石 で屈曲点に対応した屈曲磁界（ kp）を次式で表される微 分磁化率（χdiff）が立ち上がる磁界として定義した。 （d /d ） （1） χdiff = μ0−1・ χ diff （T） 3.2 1.6 2.8 1.4 2.4 1.2 2.0 1.0 χ diff と同様に，耐熱性の克服が実用化に向けての重要な課題で 1.6 ある。特に垂直磁化膜の場合は，膜が常に強い反磁界にさ 1.2 0.6 らされるため，熱減磁に対する懸念がさらに大きい。そこ 0.8 0.4 で，Nd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜の耐熱性を評価するた 0.4 め， 一層のNd-Fe-B膜厚が 200または 500 nmで， 総膜厚が 1， 2，5 μmなる6 種類と，比較として膜厚1 μmのNd-Fe-B 単層薄膜の不可逆熱減磁率を測定した。ここで，不可逆熱 減磁は，室温で着磁した後に計測した磁化と，同じ試料を 所定の温度まで加熱して1時間保持し，再び室温に戻した 後に計測した磁化の差で定義される。結果を図 4 に示す。 これによると，Nd2Fe14B基の薄膜は，Taと多層膜化するこ とにより熱減磁が低下し，さらにNd-Fe-B層の膜厚が 500 0.2 CJ 0 0.8 X kp X −0.4 −1.6 −1.4 −1.2 −1.0 −0.8 −0.6 −0.4 −0.2 0 −0.2 0 Applied field（MA/m） 図 5 ［NdFeB（200 nm）/Ta（10 nm）］× 25 の減磁曲線（ ）， 微分磁化率曲線（χdiff）と，保磁力（ CJ），屈曲磁界（ kp）の 定義 Fig. 5 Demagnetizing (J) and differential susceptibility (χdiff) curves of [ NdFeB (200 nm) /Ta (10 nm) ] x 25, defining coercivity ( CJ) and knickpoint field ( kp) , respectively 図 6 は，多層膜の屈曲磁界と保磁力を耐熱温度に対して Irreversible flux loss（%） 0 プロットしたもので，これから耐熱温度と屈曲磁界との間 に一次相関が成り立っていることがわかる。したがって不 −20 可逆熱減磁は，温度上昇に伴う減磁曲線のシフトによって 動作点が屈曲点を超えることで発生し，多層膜における耐 −40 熱温度の上昇は，結晶粒子径の均一微細化により屈曲磁界 −60 −80 −100 0 ：No.1［NdFeB（200nm）/Ta（10nm）］x5 ：No.2［NdFeB（200nm）/Ta（10nm）］x10 ：No.3［NdFeB（200nm）/Ta（10nm）］x25 ：No.4［NdFeB（500nm）/Ta（10nm）］x2 ：No.5［NdFeB（500nm）/Ta（10nm）］x4 ：No.6［NdFeB（500nm）/Ta（10nm）］x10 （1,000nm） ：No.7 NdFeB が向上したことが要因と考察できる。また屈曲磁界と耐熱 20 150 ℃を超える耐熱温度は，自動車関連など一部を除く 40 60 80 100 120 140 160 180 200 Temperature （℃） 図 4 Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の不可逆熱減磁率 Fig. 4 Irreversible thermal flux loss of Nd-Fe-B/Ta multilayered permanent magnet thin-films 16 日立金属技報 Vol. 28（2012） 温度が強い一次相関を有する実験事実は，温度変化の幅に 対する減磁曲線のシフトの度合いが，結晶粒径に依存せず ほぼ一定であることを意味している。 と，永久磁石を使った現行の応用機器の広い範囲をカバー する。したがって，Nd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜を応用 することで，小型・高性能に留まらず，信頼性の高い磁気 マイクロデバイスを得られることが期待される。 Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の特徴と磁気デバイスへの応用 ンミリングによって，それぞれ100/100，50/50，20/20 1.6 μmのライン＆スペース（L/S）パターンに加工を施した 20 μmの狙い寸法に対しては，−2 μm以下の加工精度が 1.2 CJ 得られた。また，イオンミリング速度は約37 nm/minで， 一般的な金属材料と遜色のない加工能率が確認された。 kp （MA/m） ものである。エッジ部も明瞭に加工されており，ライン幅 0.8 CJ , 図 8 は，イオンミリングによって加工された後の，これ らの試料の磁化曲線を，加工前の膜と比較して示したもの kp 0 80 である。L/S幅が狭くなるに伴って残留磁化の低下が見ら ：No.4 ■：No.7 ：No.1 ：No.5 ：No.2 ：No.6 ：No.3 0.4 100 120 140 160 れるが，先の考察のように，加工後のライン幅が，狙い寸 法に対して少し狭くなったことが影響したとみられる。ア 180 ルゴンイオンミリングによるNd2Fe14B基の薄膜の加工で， 事前に最も懸念されていたのは，イオンの衝撃によって膜 Heat-proof temperature（℃） の表面に歪や欠陥が生じ，それらが保磁力を低下させるこ 図 6 耐熱温度（ kp）と保磁力（ CJ），または屈曲磁界（ 相関 Fig. 6 Correlation between heat-proof-temperature ( coercivity ( CJ) , or Knickpoint field ( kp) kp）との とであった。しかし図 8 によれば，L/S幅が狭まって加工 面の面積が増しても保磁力に悪影響が及ばず，逆に保磁力 kp ) and が若干向上する結果となった。 Nd2Fe14B基の薄膜に対し，微細加工方法としてのアルゴ ンイオンミリングの基本的適合性を明らかにした本検討の 2. 3 微細加工性 結果を受け，後述するNd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜を備 永久磁石薄膜を小型・高性能のマイクロデバイスに応用 えたリニアモータの製作工程にこの技術を適用した。そこ するためには，薄膜の高精度微細加工技術の確立が不可欠 では， 膜厚約6 μmのNd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜に対し， である。微細加工の方法は，一枚の基板上に多数の素子を 生産適用可能な加工能率で，ミクロンレベルの加工精度が バッチプロセスにより同時に作製することを可能にする 得られることが確認された。 MEMS技術の適用が望ましい。MEMS技術による微細加 工法には，有機レジスト材などで微細パターンを形成し， 1.2 それを犠牲層として用いるリフトオフ法や，形成した微細 1.0 パターンをマスクとして用いるエッチング法等が知られて に活性であることに考慮し，この薄膜の微細加工方法とし て，アルゴンイオンミリングの適用を検討した。 0.8 （T） いる。筆者らは，Nd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜が化学的 0.6 0.4 図 7 は膜厚 1 μmの単層のNd-Fe-B膜を，アルゴンイオ non-fabricated L/S=100/100 μm L/S=50/50 μm L/S=20/20 μm 0.2 （a） （b） 0 −0.2 −0.8 −0.6 −0.4 −0.2 0 0.2 0.4 0.6 0.8 （MA/m） 200 μm 200 μm （c） 図 8 アルゴンイオンミリングによるライン＆スペース加工前後の Nd-Fe-B 薄膜の減磁曲線 Fig. 8 Demagnetizing curves of Nd-Fe-B thin films before and after fabrication into line-and-space patterns by argon-ion milling 3. 磁気デバイスへの応用 3. 1 MEMS スイッチ 7） 200 μm 図 7 アルゴンイオンミリングによりライン＆スペース（L/S）加 工した Nd-Fe-B 薄膜の光学顕微鏡写真；L/S ＝（a）100/100 μm，（b）50/50 μm，（c）20/20 μm Fig. 7 Microphotographs of line-and-space patters of Nd-Fe-B thin films fabricated by argon-ion milling; L/S ＝ (a) 100/100 μm， (b) 50/50 μm，(c) 20/20 μm 高周波化が進む携帯電話など無線通信分野のスイッチデ バイスは，従来の半導体スイッチに替わるものとして，低 損失で高いアイソレーション特性が得やすい機械式スイッ チの検討が進められており，接点の駆動方法が，静電方式 や永久磁石を用いた電磁方式のMEMSスイッチがこれまで に商品化されている。原理や構造が比較的簡単な静電方式 日立金属技報 Vol. 28（2012） 17 に対して永久磁石を使った電磁方式のスイッチは，永久磁 と，0.4 Aのコイル電流で閉じた接点は，通電を止めても閉 石と磁性体の静磁気力を利用して，電力を使わずに接点状 状態を保ち，逆電流の通電によって接点が開く。その後通 態を保持できるという特徴を有している。 電を止めた状態でも，200 μmを超える接点間のギャップ 筆者らはかつて，Nd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜を用い が確保されている。 た片持ち梁アクチュエータを開発し，静電駆動等では困難 こうした，自己保持機構と広いギャップを有するスイッ な大振幅の変位を得ている5），6）。ここでは，その片持ち梁 チは，永久磁石を用いた電磁駆動式スイッチ固有の特徴で アクチュエータを利用し，自己保持機構あるいはメカニカ あり，省消費電力でアイソレーションの高い，高周波帯域 ルラッチングと呼ばれる，電力を消費せず接点状態を保持 のRF-スイッチへの応用が期待できる。現在，そうした用 することが可能なスイッチデバイスの製作を試みた。 途を念頭に置いた開発・評価を進めている。 図 9 に，作製したスイッチデバイスの写真を示す。可動 部は，厚み3 μmのSiN製で，0.4×2.0 mmの片持ち梁とそ 3. 2 リニアモータ の自由端側に形成した2×2 mmのパドル部で構成される。 永久磁石式のリニアモータは，通常多数個の永久磁石を この構造は両面にSiN膜を形成した単結晶シリコン基板に 用いるため，小型化が困難な磁気デバイスの一つと考えら MEMS技術を適用して製作され，片持ち梁が完成した後， れている。そこで著者らは，ドライエッチングによって微 パドル部に厚み3 μmのNd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜が 細加工したNd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜の磁気回路を備 ハードマスクを用いたスパッタ法によって形成されてい えた，マイクロリニアモータの製作を試みた。 る。固定接点側には，可動部とは別の基板に，線径0.25 完成したリニアモータの写真を図11に示す。今回試作し mmのCu線を接着することで励磁コイルが形成されてい たリニアモータは，可動部に配線が不要な，スライダに永 る。さらに固定接点側には，永久磁石膜に対して自己保持 久磁石を備えたムービングマグネットタイプとした。それ に必要な吸引力を発生させるための厚さ 5 μm，2×2 mm は，スライダ，ガイド，Cu製平面コイルを形成した固定子 のNi箔が配置されている。可動接点と固定接点がそれぞれ から構成される（図11（a）） 。本試作の目的が，永久磁石 作り込まれた2つの基板は，接点間のギャップが計算で得 薄膜を用いたマイクロリニアモータの動作検証であること た設計値となるよう，スペーサを挟んで接合されている。 から，コイルは，構造が単純なミアンダ型空芯コイルとし た。その製作は，石英ガラス上にスパッタ形成したCu膜を， レーザー加工機でパターニングすることにより行った。Cu 製コイルは膜厚3 μm，線幅160 μm，ライン間のピッチ を400 μmとした。同様の理由から，ガイドも簡便に高精 度が得られるAl合金の機械加工によって製作した。スライ ダは，最終寸法が4×4×t 0.26 mmの単結晶シリコン製で， コイル対向面には，マグネトロンスパッタで形成した膜厚 1 mm 6 μmのNd-Fe-B/Ta永久磁石多層薄膜を，ライン＆スペー 図 9 試作したマイクロスイッチ Fig. 9 Fabricated micro-switch ス間隔が0.4 mmになるようにアルゴンイオンミリングで加 （a） 図10にコイルに流した励磁電流と，それに伴った可動接 点の動きを変位センサで計測した結果を示す。これを見る 400 OFF 0.6 ON ON OFF 300 Coil current （A） （OA） 0.4 200 0.2 100 0 0 −0.2 −100 −0.4 −200 Coil current Displacement −0.6 −0.8 0 2 Displacement（μm） 0.8 （b） （c） −300 4 6 8 −400 Time （s） 図 10 コイル電流と可動接点の変位の関係 Fig. 10 Relationship between coil current and displacement of the moving contact 18 10 mm 日立金属技報 Vol. 28（2012） 2 mm 2 mm 図 11 完成したリニアモータ（a）全体，（b）スライダ表面，（c） スライダ裏面 Fig. 11 Photographs of the fabricated linear-motor (a) over-all view, (b) front-side and (c) reverse-side views of the slider Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の特徴と磁気デバイスへの応用 工し，配置した（図11（c）） 。摺動面はスライダの側面に 5. 謝 辞 設けられており，ここにガイドにはめ込むためのV字溝を， 単結晶シリコンのKOHによる異方性エッチングを利用して 東京工業大学大学院生の田辺亮氏，同じく石橋正登氏に 形成した。 は，デバイスの製作と評価についてご協力をいただいた。 図12に製作したリニアモータにおいて，コイル電流を約 ここに記して謝意を表する。 1.5 A流した際のスライダの変位の計測結果と，その変位を なお，本研究の一部は，独立行政法人科学技術振興機構 時間微分して導出した速度を示す。ガイドの始端から終端 のシーズイノベーション化事業顕在化ステージ，および研 に至るストローク30 mm以上の駆動が確認され，最大速 究成果最適展開事業A-STEPの支援を受けて行われた。 度 1 m/s以上，加速度26.0 m/s2が得られた。また，別途， 駆動に必要な最小のコイル電流を調査したところ，およそ 引用文献 0.5 Aの値が得られ， その際の加速度は 5.7 m/s 2 であった。 これらの結果から，製作したリニアモータの諸元として， 電流1 A当たりの推力が約 200 μN，スライダの静止摩擦 係数が 1.0，動摩擦係数が0.5という値が導かれた。 今回，動作検証を目的としたNd-Fe-B/Ta多層永久磁石 薄膜を用いたリニアモータの試作で，2 Gを超える加速性 が実証された。今後は，さらに位置検出機構の組込，摺動 摩擦の低減，小型化などの課題に取り組み，デバイスの完 35 1,400 30 1,200 25 1,000 20 800 15 600 10 400 5 200 Displacement 0 Velocity −5 0 5 10 15 Velocity（mm/s2） Displacement（mm） 成度を高めていく予定である。 １ ）M.Sagawa， S.Fujimura， M.Togawa， H.Yamamoto and Y.Matsuura: J.Appl. Phys.，55（1984）2083. ２ ）J. J. Croat，J. F. Herbst，R. W. Lee and F. E. Pinkerton: J. Appl. Phys.，55（1984）2079. ３ ）M . Ueha ra : J. Mag n. S oc. Jpn.， 28（2004）1043.（in Japanese） ４ ）M. Uehara， N. Gennai， M. Fujiwara， and T. Tanaka: IEEE Trans. Magn.，41（2005）3838. ５ ）後藤駿治，Sen Yao，進士忠彦，櫻井淳平，上原稔，山本 日登志 : 第 17 回 MAGDA コンファレンス講演論文集，日本 AEM 学会（2008），p.75. ６ ）S. Yao，S. Goto，J. Sakurai，T. Shinshi，M. Uehara and H. Yamamoto: Proc. IEEE-NEMS（2009），p.411. ７ ）石橋正登，田辺亮，進士忠彦，上原稔：第 22 回「電磁力 関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集，日本機械学 会（2010），p.704. ８ ）J. D. Livingston: J. Appl. Phys.，57（1985）4137. ９ ）M. Uehara，and H. Yamamoto: J. Magn. Soc. Jpn.，33 （2009）227.（in Japanese） 0 −200 20 25 30 35 40 45 50 55 60 Time（ms） 図 12 スライダの変位と速度 Fig. 12 Displacement and velocity of the slider 上原 稔 Minoru Uehara 日立金属株式会社 NEOMAX カンパニー 磁性材料研究所 4. 結 言 本論文では，日立金属が開発したNd-Fe-B/Ta多層永久 磁石薄膜の高い永久磁石特性と耐熱特性の起源を，この薄 膜材料固有の微細組織との関連で議論し，多層膜構造化に 進士 忠彦 Tadahiko Shinshi 東京工業大学 精密工学研究所 教授 博士（工学） 伴うNd2Fe14B 結晶の微細均一化に発することを明らかに した。また，薄膜の実用化に必要な微細加工方法としてア ルゴンイオンミリング法を検討し，デバイス試作への適用 例を報告した。さらに，上記永久磁石薄膜を応用した2種 類のデバイスを製作し，広いギャップと自己保持機能を備 えたMEMSスイッチには，RF−スイッチへの応用が期待 され，リニアモータにおいては高加速性が実証された。今 後も，実用化を念頭に置いた永久磁石薄膜材料の研究開発 を進めるとともに，それを利用した磁気デバイスの提案を 行っていく所存である。 日立金属技報 Vol. 28（2012） 19