新製品紹介 有鉄心リニアモータ Linear Motors with Iron Cores Linear motors ：Tri-MaxTM プレート構造にあり（図 2） ，これら ド併用の電機子可動方式とすること コアレス方式のリニアモータに比べ によって一般的な設計手法による同 でトライマックスの低コギング性能 て消費電力を約 40 ％削減（社内比） 体格の有鉄心リニアモータに比べ推 （TMX-250：5 N）が生かせ，10 nm する有鉄心リニアモータ「トライ 力定数を約 1.5 倍に高めた（TMX- の精密ステップ応答性能が得られた NEOMAX エンジニアリングは， TM （図 3） 。 250：推力定数 90 N ／Arms） 。 マックス（Tri-Max ） 」を磁性材料 当製品は，まず小型機（TMX-90， トライマックスの応用例として， 研究所（日立金属）と共同で開発し 軽いマグネットプレートを可動体 TMX-150）および中型機（TMX-180， トライマックスの特長は，1 つの （TMX-150：質量 1 kg）にしてダイボ TMX-250）から供給を開始し，さら コイルで複数極を一括励磁できるシ ンダやチップマウンタなどに搭載す に大型機 （TMX-350）を加えてシリー ンプルで占積率の高い電機子構造と， ることで，高速駆動と省電力化の両 ズ強化を図る。 両面励磁が可能な平板状マグネット 立を可能にした。また，リニアガイ た（図 1，表 1） 。 表 1 トライマックス TM の仕様 Table 1 Ratings and specifications of Tri-MaxTM TMX-250（Moving coil type） 項目 （mm） 定格推力 最大推力 （N） Peak force 断面寸法 Section dimensions 100 mm 図１ トライマックス TM と制御ドライバの外観 Fig. 1 Appearance of Tri-MaxTM and controller Ｎ Ｓ Ｎ Ｓ Ｎ マグネットプレート Magnet plate （kg） 可動子長 （mm） Length of magnet plate 150 180 250 270 450 540 750 262 （kg） 260 350 1050 （B）115×（H）70 296 360 3.9 4.8 6.6 7.7 12.1 363 412 464 500 600 0.9 1.0 1.7 1.9 2.6 50 指令波形 Command 40 応答波形 Response 10 nm 30 20 10 0 0 2 4 6 8 10 12 14 16 時間 Time（s） スライドシャフト Slide shaft Model 型式 TMX-250 Stroke length ストローク 200 mm Displacement step 移動ステップ 10 nm 設置方向 Setting 水平 Horizontal 分解能 Resolution 1.2 nm モータ構成 電機子可動型 Moving coil type Constitution 適用制御系 MC+高精度3相PWMアンプ Controller Motion controller and high accuracy 3 phase PWM amplifire 負荷質量 5 kg Payload 図２ トライマックス TM の構造 Fig. 2 Structure of Tri-MaxTM 100 90 213 Weight of magnet plate コイル Coil Ｎ Ｓ Ｎ Ｓ Weight of armature 移動量 Displacement（nm） Ｎ Ｓ 電機子質量 70 （B）72×（H）54 （B）96×（H）62 電機子長 可動子質量 コア Iron core マグネット Magnet （mm） Length of armature （mm） TMX-250（Moving magnet type） 40 （N） Rated force Controller TMX-350 TMX-90 TMX-150 TMX-180 TMX-250 ストローク Stroke length Ｓ （NEOMAX エンジニアリング株式会社） 図３ トライマックス TM のナノステップ位置決め動作 Fig. 3 Nano meter step positioning behavior of Tri-MaxTM 日立金属技報 Vol. 27（2011） 59