アンプ付フォトダイオードアレイ S8865-64G/-128G/-256G S8866-64G-02/-128G-02 X線検出用フォトダイオードアレイと信号処理ICの 組み合わせ 受光部上に蛍光紙を貼ったX線検出用のアンプ付フォトダイオードアレイです。信号処理ICチップはCMOSプロセスで形成さ れ、タイミング発生回路、シフトレジスタ、チャージアンプアレイ、クランプ回路、ホールド回路が内蔵されているため、外 付け回路の構成を簡略化できます。また本製品を複数配列することにより、長尺イメージセンサを構成することができます。 なお、専用の駆動回路としてC9118シリーズ (別売)を用意しています (S8865-256G, S8866-64G-02は対応していません)。 特長 用途 素子間ピッチが大きい: 2タイプを用意 S8866-64G-02: 1.6 mmピッチ × 64 ch S8866-128G-02: 0.8 mmピッチ × 128 ch 5 V電圧駆動 X線検出用ラインセンサ 積分アンプアレイによる同時蓄積方式 シフトレジスタによる時系列信号読み出し (データレート: 500 kHz max.) 低暗電流 (フォトダイオードをゼロバイアス駆動) クランプ回路内蔵により低ノイズ、広いダイナミックレンジ タイミング発生回路を内蔵し、2種類のパルスで動作 検出エネルギー領域: 30～100 keV 構成 項目 素子間ピッチ 素子幅 素子高さ 素子数 有効エリア長 基板材料 記号*1 P W H - S8865-64G 0.8 0.7 0.8 64 51.2 S8865-128G 0.4 0.3 0.6 128 51.2 S8865-256G S8866-64G-02 S8866-128G-02 0.2 1.6 0.8 0.1 1.5 0.7 0.3 1.6 0.8 256 64 128 51.2 102.4 102.4 ガラスエポキシ 単位 mm mm mm mm - *1: 下図参照 受光部拡大図 KMPDC0072JA 浜松ホトニクス株式会社 1 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ 絶対最大定格 項目 電源電圧 基準電圧 フォトダイオード電圧 ゲイン選択端子電圧 マスター／スレイブ選択電圧 クロックパルス電圧 リセットパルス電圧 外部スタートパルス電圧 動作温度*2 保存温度*2 記号 Vdd Vref Vpd Vgain Vms V(CLK) V(RESET) V(EXTSP) Topr Tstg 定格値 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -5 ～ +60 -10 ～ +70 単位 V V V V V V V V °C °C *2: 結露なきこと 推奨端子電圧 項目 電源電圧 基準電圧 フォトダイオード電圧 Highゲイン Lowゲイン Highレベル*3 マスター／スレイブ選択電圧 Lowレベル*4 Highレベル クロックパルス電圧 Lowレベル Highレベル リセットパルス電圧 Lowレベル Highレベル 外部スタートパルス電圧 Lowレベル ゲイン選択端子電圧 記号 Vdd Vref Vpd Vgain Vms V(CLK) V(RESET) V(EXTSP) Min. 4.75 4 Vdd - 0.25 0 Vdd - 0.25 0 3.3 0 3.3 0 Vdd - 0.25 0 Typ. 5 4.5 Vref Vdd Vdd Vdd Vdd Vdd - Max. 5.25 4.6 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 単位 V V V V V V V V V V V V V Max. 2000 - 単位 kHz *3: パラレル *4: シリアル2段目以降 電気的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(RESET)=5 V] 項目 クロックパルス周波数*5 S8865-64G S8865-128G, S8866-128G-02 ラインレート S8865-256G S8866-64G-02 出力インピーダンス S8865-64G, S8866-64G-02 消費電力 S8865-128G, S8866-128G-02 S8865-256G Highゲイン チャージアンプ帰還容量 Lowゲイン 記号 f(CLK) LR Zo P Cf Min. 40 - Typ. 7339 3784 1922 6838 3 100 180 360 0.5 1 ライン/s kΩ mW pF *5: ビデオデータレートはf(CLK)の1/4です。 2 アンプ付フォトダイオードアレイ S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 電気的特性および光学的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, V(CLK)=V(RESET)=5 V, Vgain=5 V(High ゲイン ), 0 V (Low ゲイン )] S8865-64G/-128G/-256G 項目 λp 最大感度波長*6 暗出力電圧* Highゲイン Lowゲイン 7 Vd Vsat 飽和出力電圧 Highゲイン 飽和露光量* * Lowゲイン Highゲイン 受光感度*6 *8 Lowゲイン 両端3 ch 感度不均一性*9 両端3 chを除いた部分 Highゲイン ノイズ*10 Lowゲイン 出力オフセット電圧*11 6 記号 8 Esat S PRNU N Vos S8865-64G S8865-128G Min. Typ. Max. Min. Typ. Max. 720 720 0.01 0.2 0.01 0.2 0.005 0.1 0.005 0.1 3.0 3.5 3.0 3.5 0.8 1.0 2.4 3.0 1.6 2.0 4.8 6.0 3520 4400 1200 1500 1760 2200 600 750 -35, +10 -55, +10 ±10 ±10 1.3 2.0 1.0 1.5 0.7 1.1 0.6 0.9 Vref Vref - S8865-256G 単位 Min. Typ. Max. 720 nm 0.01 0.2 mV 0.005 0.1 3.0 3.5 V 15 19 mlxăs 30 37.5 200 250 V/lxăs 100 125 -70, +10 % ±10 0.8 1.2 mV rms 0.5 0.75 Vref V S8866-64G-02/-128G-02 項目 λp 最大感度波長*6 暗出力電圧* High ゲイン Low ゲイン 7 記号 Vd Min. 3 14400 7200 - S8866-64G-02 Typ. Max. 720 0.01 0.2 0.005 0.1 3.5 0.2 0.25 0.4 0.5 18000 9000 -25, +10 ±10 2.0 3.0 1.1 1.7 Vref - Min. 3 3520 1760 - S8866-128G-02 Typ. Max. 720 0.01 0.2 0.005 0.1 3.5 0.8 1.0 1.6 2.0 4400 2200 -35, +10 ±10 1.3 2.0 0.7 1.1 Vref - Vsat High ゲイン 飽和露光量* * Esat Low ゲイン High ゲイン 受光感度*6 *8 S Low ゲイン 両端3 ch 感度不均一性*9 PRNU 両端3 chを除いた部分 High ゲイン ノイズ*10 N Low ゲイン 11 出力オフセット電圧* Vos 蛍光紙なしで測定 *6: *7: 蓄積時間 ts=1 ms *8: 2856 Kタングステンランプで測定 *9: 感度不均一性は飽和の50%の露光量のX線 (管電圧 70 kV)を当てた場合に、次のように定義します。 PRNU = ∆X/X × 100 (%) X: 全画素の出力の平均、∆X: 最大または最小出力とXとの差の大きい方の値 *10: ビデオデータレート50 kHz、暗状態、ts=1 msで測定。 *11: ビデオ出力は、出力オフセット電圧から負極性に出力されます。 飽和出力電圧 6 8 単位 nm mV V mlxăs V/lxăs % mV rms V 3 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ 1素子の出力波形 ブロック図 RESET 1 CLK 2 Vref 10 Vgain 11 Vpd 12 EXTSP Vms Vdd GND 4 5 6 7 1 2 3 4 5 N-1 3 TRIG 8 EOS 9 Video N KMPDC0153JA 4 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ タイミングチャート S8865-64G/-128G/-256G, S8866-128G-02 1 2 3 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 1 2 3 CLK tpw(RESET1) RESET 8·υΛ· tpw(RESET2) 8·υΛ· ಇୟশۼ ΫΟႁۼܢ 1 Video 2 3 n-1 n Trig EOS tf(CLK) tr(CLK) t2 tpw(CLK) t1 tpw(RESET1) tpw(RESET2) KMPD tf(RESET) tr(RESET) KMPDC0289JC 項目 クロックパルス幅 クロックパルス上昇／下降時間 リセットパルス幅 1 リセットパルス幅 2 リセットパルス上昇／下降時間 クロックパルス－リセットパルスタイミング 1 クロックパルス－リセットパルスタイミング 2 記号 tpw(CLK) tr(CLK), tf(CLK) tpw(RESET1) tpw(RESET2) tr(RESET), tf(RESET) t1 t2 Min. 500 0 21 20 0 -20 -20 Typ. 20 20 0 0 Max. 25000 30 30 20 20 単位 ns ns CLK CLK ns ns ns 1. RESETがLowになった直後のCLK の立ち下がりで内蔵タイミング回路が動作を開始します。 2. このCLKの立ち下がりを “1クロック” とすると、1 ch目のビデオ信号は “18.5クロック～ 20.5クロック” に現れます。その後、4ク ロックおきにビデオ信号は現れます。 3. 1 chのトリガパルスは “19.5クロック” に立ち上がり、その後、４クロックおきに立ち上がります。このトリガパルスの立ち上がり が推奨データ取り込みタイミングです。 4. 信号電荷蓄積時間はRESETのHigh期間に相当します。ただし蓄積時刻は異なり、RESETの立ち上がり8クロック目から蓄積が開 始し、RESETの立ち下がりから8クロック目に蓄積が終了します。この期間に蓄積された信号は、次にRESETがHighからLowにな った後、シフトレジスト動作によって順次時系列信号として読み出されます。RESETの立ち上がり・立ち下がりはCLKの立ち上 がりに同期させてください。ただし、RESETの立ち上がりはビデオ出力期間を避けて設定してください。RESETの1周期は、“16.5 + 4 × N (画素数)” クロックより短く設定することはできません。 5. EOS信号が出力された後のビデオ信号は、Highインピーダンス状態になりビデオ出力は不定となります。 5 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ S8866-64G-02 1 2 3 4 5 20·υΛ· 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 1 2 3 CLK tpw(RESET1) RESET 8·υΛ· tpw(RESET2) 8·υΛ· ಇୟশۼ ΫΟႁۼܢ 1 Video 2 3 n-1 n Trig EOS tf(CLK) tr(CLK) t2 tpw(CLK) t1 tpw(RESET1) tpw(RESET2) KMPDC0 tf(RESET) tr(RESET) KMPDC0278JC 項目 クロックパルス幅 クロックパルス上昇／下降時間 リセットパルス幅 1 リセットパルス幅 2 リセットパルス上昇／下降時間 クロックパルス－リセットパルスタイミング 1 クロックパルス－リセットパルスタイミング 2 記号 tpw(CLK) tr(CLK), tf(CLK) tpw(RESET1) tpw(RESET2) tr(RESET), tf(RESET) t1 t2 Min. 500 0 21 20 0 -20 -20 Typ. 20 20 0 0 Max. 25000 30 30 20 20 単位 ns ns CLK CLK ns ns ns 1. RESETがLowになった直後のCLK の立ち下がりで内蔵タイミング回路が動作を開始します。 2. このCLKの立ち下がりを “1クロック” とすると、1 ch目のビデオ信号は “18.5クロック～ 20.5クロック” に現れます。その後、4ク ロックおきにビデオ信号は現れます。 3. 安定したビデオ信号を得るためにRESETがLowになった直後のCLK の立ち下がりから3クロック目のHigh期間を20クロック分にし てください。 4. 1 chのトリガパルスは “19.5クロック” に立ち上がり、その後、４クロックおきに立ち上がります。このトリガパルスの立ち上がり が推奨データ取り込みタイミングです。 5. 信号電荷蓄積時間はRESETのHigh期間に相当します。ただし蓄積時刻は異なり、RESETの立ち上がり8クロック目から蓄積が開 始し、RESETの立ち下がりから8クロック目に蓄積が終了します。この期間に蓄積された信号は、次にRESETがHighからLowにな った後、シフトレジスト動作によって順次時系列信号として読み出されます。RESETの立ち上がり・立ち下がりはCLKの立ち上 がりに同期させてください。ただし、RESETの立ち上がりはビデオ出力期間を避けて設定してください。RESETの1周期は、“36.5 + 4 × N (画素数)” クロックより短く設定することはできません。 6. EOS信号が出力された後のビデオ信号は、Highインピーダンス状態になりビデオ出力は不定となります。 6 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ X線出力例 (S8865-64G) 3.5 (X X線出力のユニフォミティ例 (S8865-64G) : 300 mm, Low , Ts=1.5 ms) 20 3.0 : 70 kV, X : 8 mA, X : 300 mm) 0 X (%) 2.5 : 70 kV -20 2.0 X : 50 kV -40 1.5 -60 1.0 X 0.5 0 0 1 : 30 kV 2 X -80 -100 3 0 10 20 30 40 50 60 KMPDB0285JA KMPDB0286JA X線照射試験例 (S8865-128G) オフセット電圧－周囲温度 (測定例) ! 70 (mA) (V) (X KMPDB0287JA KMPDB0288JA 7 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ 暗出力－周囲温度 (測定例) KMPDB0289JA 外形寸法図 (単位: mm) S8865-64G/-128G ! " * * #$ * ! ! %&"" '%() * ! ! ! · · · *+ (, µ -./ 012 KMPDA0233JC 8 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ S8865-256G * ! * 1 "# * * ( ( ( $%&' · · · ) µ &* +,- ./0 KMPDA0234JB S8866-64G-02/-128G-02 * * % % * * ! " " " #$% & '( )*+ ,-. KMPDA0226JC 9 アンプ付フォトダイオードアレイ S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 ピン接続 S8865-64G/-128G, S8866-64G-02/-128G-02 ピン No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 記号 RESET CLK Trig EXTSP Vms Vdd GND EOS Video Vref Vgain Vpd 名称 リセットパルス クロックパルス トリガパルス 外部スタートパルス マスター／スレイブ選択電圧 電源電圧 グランド エンドオブスキャン ビデオ出力 基準電圧 ゲイン選択端子電圧 フォトダイオード電圧 備考 パルス入力 パルス入力 正極性パルス出力 パルス入力 電圧入力 電圧入力 負極性パルス出力 Vref からの負極性出力 電圧入力 電圧入力 電圧入力 S8865-256G ピン No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 CMOS1 Vpd RESET CLK Trig EXTSP Vms Vdd GND EOS Video Vref Vg Vpd ピン No. 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 CMOS2 Vpd RESET CLK Trig EXTSP Vms Vdd GND EOS Video Vref Vg Vpd 名称 フォトダイオード電圧 リセットパルス クロックパルス トリガパルス 外部スタートパルス マスター／スレイブ選択電圧 電源電圧 グランド エンドオブスキャン ビデオ出力 リファレンス電圧 ゲイン選択電圧 フォトダイオード電圧 備考 電圧入力 パルス入力 パルス入力 正極性パルス出力 パルス入力 電圧入力 電圧入力 負極性パルス出力 Vref からの負極性出力 電圧入力 電圧入力 電圧入力 10 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ ゲイン選択端子電圧の設定方法 Vdd: Highゲイン (Cf=0.5 pF) GND: Lowゲイン (Cf=1 pF) 読み出し方式ごとの設定方法 S8865-64G/-128G, S8866-64G-02/-128G-02 通常は、下表のAの設定をしてください。 複数個のセンサをシリアルに読み出す場合は、 1段目はA、2段目以降はBの設定をしてください。 各センサのCLKとRESETは共通とし、各センサのビデオ出力端子は1本に接続してください。 Vms Vdd GND 設定 読み出し方式 A パラレル読み出しの全段、シリアル読み出しの1段目 B シリアル読み出しの2段目以降 EXTSP Vdd 前段のEOSを入力 [図1] 接続図 (パラレル読み出し) $ % & ' ( ! "# ) $ µ µ KMPDC0288JB 11 S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 アンプ付フォトダイオードアレイ S8865-256G CMOS1からは1～128 chの信号が出力され、CMOS2からは129～256 chの信号が出力されます。読み出し方式には以下の2つがあります。 (1) シリアル読み出し方式 CMOS1・CMOS2をシリアルに接続し、1本の出力線から1～256 chの信号を順次読み出す方法です。CMOS1は下表のA、CMOS2はBの設 定をしてください。CMOS1・CMOS2のCLKとRESETは共通とし、ビデオ出力端子は1本に接続してください。 (2) パラレル読み出し方式 CMOS1・CMOS2のそれぞれの出力線から128 chずつパラレルに信号を読み出す方式です。CMOS1・CMOS2とも下表のAの設定をしてく ださい。 [図2] 接続図 シリアル読み出し方式 パラレル読み出し方式 CMOS1 CMOS1 1 Vpd RESET 2 RESET (1) RESET 2 RESET (1) CLK 3 CLK (1) CLK 3 CLK (1) 4 Trig (1) Trig (1) 4 Trig (1) 5 EXTSP (1) 6 Vms (1) Vdd 7 Vdd Vdd 7 Vdd GND 8 GND GND 8 GND 9 EOS (1) EOS (1) 1 Vpd 5 EXTSP (1) 6 Vms (1) 9 EOS (1) 10 Video (1) Video (1) 10 Video (1) Vref 11 Vref Vref 11 Vref Vgain 12 Vgain Vgain 12 Vgain 13 Vpd 13 Vpd CMOS2 14 Vpd Trig CMOS2 15 RESET (2) 14 Vpd 16 CLK (2) 15 RESET (2) OR Logic IC 17 Trig (2) 74HC32 18 EXTSP (2) 16 CLK (2) 17 Trig (2) Trig (2) 19 Vms (2) 18 EXTSP (2) 20 Vdd 19 Vms (2) 21 GND 20 Vdd EOS 22 EOS (2) Video 23 Video (2) EOS (2) 22 EOS (2) 24 Vref Video (2) 23 Video (2) 21 GND 25 Vgain 24 Vref 26 Vpd 25 Vgain 26 Vpd KMPDC0222JA KMPDC0223JB 設定 A B Vms Vdd GND EXTSP Vdd 前段のEOSを入力 読み出し回路 パルス信号を、入力端子にてパルス条件を満たした上で入力してください。 ビデオ出力はセンサに近い箇所でオペアンプにて増幅してください。 12 アンプ付フォトダイオードアレイ S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 使用上の注意 (1) 信号処理ICチップには静電気に対する保護がなされていますが、静電気による破壊を未然に防ぐために作業者、作業台、作業工具 の接地などの静電気対策を実施してください。 また周辺装置からのサージ電圧の印加を防いでください。 (2) ワイヤボンディングに用いられる金ワイヤは非常に細く、機械的なストレスで容易に断線に至ります。 信号処理ICチップとワイヤボンディング部は樹脂により保護されていますが、汚れや傷が付かないようにしてください。 また、この部分や蛍光紙が貼られたフォトダイオードアレイチップに余分な力がかかると断線などの故障の原因となりますので、 絶対に触れないでください。保護樹脂上に汚れや異物が付着した場合は、エアブローにて取り除いてください。なお、溶剤による 洗浄は絶対に行わないでください。 汚れや傷がついたり、かけが生じると信号が得られなくなる場合があります。 (3) 高湿動作時には諸特性が劣化する恐れがあるため、筺体側で気密封止を行ってください。 また基板取り付け時には、基板に反りが生じないように注意してください。 (4) 信号処理ICチップにX線が照射されると特性劣化が生じるため、信号処理ICチップの周囲1 mm以上を鉛遮へいをしてください。な お、X線入射角度によっては1 mmでは不足する場合があります。鉛遮へいはフォトダイオードの受光面にはかからないようにした 上で、十分な遮へい範囲となるように設計をしてください。鉛の厚さは使用条件によって異なるため、鉛の減弱係数を考慮して算 出してください。 (5) フォトダイオードアレイチップにX線を照射し続けると感度劣化が生じます。X線照射条件によって度合いは異なりますが、ご承知 願います。 アンプ付フォトダイオードアレイ用駆動回路 C9118シリーズ (別売) C9118シリーズは、アンプ付フォトダイオードアレイS8865-64G/-128GおよびS8866-128G-02用に設計されたCMOS駆動回路です。 M-CLK、M-RESETの2信号の入力と単一+5 V電源で動作します。シングルおよびパラレル接続用にはC9118、シリアル接続用には C9118-01をご利用ください。 特長 +5 V単一電源動作 M-CLK、M-RESETの2信号入力で動作 小型・薄型: 46 × 56 × 5.2 t mm 13 アンプ付フォトダイオードアレイ S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 ブロック図 ! "#$ % &' $ ** #*+, "+ . / ( ( ) ) ) ) ( ( ) % ) ) KACCC0455JC 14 アンプ付フォトダイオードアレイ S8865-64G/-128G/-256G, S8866-64G-02/-128G-02 接続例 シングル・パラレル読み出し例 (C9118) シリアル読み出し例 (C9118-01) 同時蓄積／出力 (高速処理に有効) 同時蓄積／シリアル出力 (外部処理部の簡素化に有効) KACCC0431JC KACCC0432JC 本資料の記載内容は、平成26年2月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ොවॽအ̹͉͘ϋίσ̞̤̀ͅރȂ߿ྴ͈ྎͅॻॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂٳอॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪŅķߊځĹْ౷ġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KMPD1105J06 Feb. 2014 DN 15