重水素ランプ

重水素ランプ
DEUTERIUM LAMPS (D2 LAMPS)
浜松ホトニクス製
D2ランプの特長とその理由
D2
1 UV透過ガラス
○石英タイプより優れた
UV透過ガラスの採用により解決!!
○従来品の石英タイプの問題点
FOR HIGH PERFORMANCE
DEVICES
長長長長長長長 寿
寿寿寿寿寿寿寿 命
命命命命命命命
長
LAMPS
紫外線による 透過率の早期劣化
製法や含有物による 品質のバラツキ
高い耐紫外性能
取り扱いに不便な オゾンの発生
バラツキの少ない
高い品質
ライフ特性
オゾンレス
120
110
100
相対光出力 (%)
90
浜松ホトニクス製D2ランプ
（重水素ランプ）
は
長寿命・高安定・高出力を最高レベルで実現し、
装置の特性を最大限まで引き出します。
80
70
60
50
40
30
石英バルブ
石英バルブ ±3 σ
UVバルブ
UVバルブ ±3 σ
20
10
0
0
10
100
1000
10000
時間 (h)
1
ライフエンドまで高い安定性を維持
光出力安定性
3 2
2000 時間動作時
20
15
15
10
10
ABS (10-5 A.U.)
ABS (10-5 A.U.)
0 時間動作時
20
5
0
-5
-10
0
-10
-15
-15
-20
5
-5
0
100
200
300
400
500
600
700
800
-20
0
200
100
時間 (s)
300
400
500
600
700
800
時間 (s)
TLSOB0095JA
TLSOB0096JA
高高高高高高高高高高 安
安安安安安安安安安安 定
定定定定定定定定定定
高
2 セラミック電極
○従来品の金属電極の問題点
○温度安定性に優れた
セラミック電極の採用により解決!!
外乱を受けやすく安定性が低い
優れた温度特性により
高安定性を実現
電極間隔が一定でないため
光出力のバラツキ大
電極間隔が一定で
特性のバラツキ低減
3 陰極
（傍熱方式）
○従来の直接加熱方式の問題点
4
○直接加熱方式より優れた
傍熱方式の採用により解決!!
放熱ダメージの集中で 陰極への負荷大
振動や使用時間が 陰極劣化の直接原因に
バラツキの少ない
電子放出能力
内部構造図 (L2D2)
セラミック電極
（後部）
陽極
セラミック電極
（中央部）
陰極
点点点点点点点点点点点点 灯
灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯 性
性性性性性性性性性性性性性性性性性性
点
アパーチャ
4 コンデンサ
○従来の点灯方式の問題点
長時間使用での電極劣化に伴う 点灯ミス
長時間使用時の内部ガスの減少による 点灯ミス
バルブ
使用直後や高温時に起きる 点灯ミス
光出力
1
TLSOC0030JB
○従来の点灯方式より優れた
補助点灯方式の採用により解決!!
ライフエンドでも高温でも
ミスのない確実な点灯
D2ランプとは重水素（D2）の放電を利用したランプで、400 nm以下の紫外域に
強い発光スペクトルを持つ、他光源の追随を許さない高安定を特長とした光源です。
ラインアップ / 用途一覧表
33 W
30 W
5W∼7W
110 W
X2D2®
L2D2®
S2D2®
H2D2®
高輝度・重水素ランプ
長寿命重水素ランプ
小型重水素ランプ
超高輝度重水素ランプ
30 Wクラスで世界最高輝
度*（ 従来比2倍）を実現した
ハイエンド光源 各種分析装置用に価格を抑
えながらも、高品質/高性能
を実現したベストセラー光源
従来の重水素ランプでは不
可能であった小型化を実現
した高性能光源
重水素ランプ史上最高輝度*
を実現した次世代光源
P3
P5
P11
ランプ
ランプ
ランプ
* 2016年2月弊社調べ
ランプ
P14
* 2016年2月弊社調べ
窓材
用途
UVガラス
合成石英
MgF2
◎
◎
◎
◎
◎
◎
◎
○
◎
×
×
○
○
○
○
○
○
◎
◎
◎
×
×
×
○
×
×
×
×
○
◎
◎
◎
◎
高速液体クロマトグラフ
紫外・可視分光光度計
キャピラリー電気泳動（CE）
原子吸光光度計
薄層クロマトグラフ
水質、大気各種環境分析装置
膜厚計
半導体検査用光源
紫外線による材料耐性評価
光イオン化源
真空紫外光による静電気除去
◎: 最適 ○: 用途に応じて使用可 ×: 一般的に適さない
サポート（周辺機器）
豊富な経験を活かした
アフターケア
トータルサポートで引き出す
最高のランプパフォーマンス
D 2ランプが最高のパフォーマンスを発揮する
ためには、最適なハウジング、電源を設計する
ことが重要です。浜松ホトニクスでは、D 2ラン
特性改善の
プの販売だけでなく、D 2ランプ専用の電源や
アドバイス
ハウジングも取り扱っております。
また、弊社製品の販売のみならず、
ハウジングや 電 源 設 計 の 技 術
サポートも行っています。電気
定 格やランプ形 状をお客 様 仕
様に合わせ最適なものを提案
可能です。
お客様に合わせた
カスタム仕様
カタログにない仕様については、
ランプ専用
電源/ハウジング
ご相談ください。
設 計
サポート
2
®
X2D2
ランプ
X2D2®ランプ
（高輝度・長寿命重水素ラン
プ）は従来の重水素ランプの安定性・寿命
特性はそのままに、L2D2ランプ（P.5参
照）
に比べ、2倍の輝度を実現しました。
この特性により、各種装置の高感度化と高
スループットを実現します。
特長
特性
TLSOB0024JF
100
1
TLSOB0079JB
80
合成石英
（L9519, L10904）
0.1
相対光出力 (%)
●X2D2ランプ アパーチャ径: 0.5 mm
●放射スペクトル分布
放射強度 (μW·cm-2·nm-1 at 50 cm)
●長寿命 : 2000 h
●高安定 : 0.005 %(p-p)typ.
●高輝度 : 従来品比 2 倍
UVガラス
（L9518, L10804）
MgF2
(L9841)
60
40
0.01
20
0.001
160
200
240
280
320
360
400
0
100
120 140 160 180 200 220 240 400
波長 (nm)
波長 (nm)
●配光特性
輝度従来比
2倍
●L2D2ランプ
アパーチャ径: 0.5 mm
①UVガラス
L9518, L10804
②合成石英
L9519, L10904
30°
30°
20°
30°
20°
20°
10°
10°
10°
0°
0°
0°
-10°
-10°
-10°
-20°
-20°
-30°
-20°
-30°
30°
-30°
30°
20°
30°
20°
20°
10°
10°
10°
0°
0°
0°
-10°
-10°
-10°
-20°
-20°
-20°
-30°
-30°
-30°
TLSOB0111JA
3
③MgF2
L9841
TLSOB0112JA
TLSOB0113JA
外形寸法図 ( 単位 : mm)
L9518, L10804
L9519, L10904
50
50
発光点位置公差
（中心）
軸線 A 基準 : ±0.1
B 面基準 : ±0.1
30 ± 1
発光点位置公差
（中心）
軸線 A 基準 : ±0.1
B 面基準 : ±0.1
-0.05
A
35 -0.1
30 ± 1
発光点
発光点
+0.15
+0
50
59 MAX.
15 ± 0.5
発光点
2 × 3.3
5
10
+0
B
32
発光点
22 - 0.1
50
32
10
3 +0.05
5
B
59 MAX.
+0.15
3 +0.05
22 - 0.1
A
-0.05
35 -0.1
50
A
35 -0.1
30 ± 1
発光点
14 ± 1
160 ± 10
9 MAX.
発光点
59 MAX.
50
15 ± 0.5
10
TLSOA0106JD
上面図
入射角
19°
25 ± 1
160 ± 10
(70)
9 MAX.
コネクタ (MOLEX)
ハウジング : 39-01-2040
ターミナル : 39-00-0428
光出力
接続
#1: 補助電極
#2: 陽極
#3: フィラメント
#4: フィラメント・GND
シースルー構造により、可視光源と簡易に組み合わせて
使用可能です。
2 × 3.3
点灯補助用素子
22 ± 0.05 22 ± 0.05
可視光用の光学系の配置例（X2D2ランプ）
+0.15
3 +0.05
5
32
TLSOA0105JD
発光点位置公差
（中心）
軸線 A 基準 : ±0.1
B 面基準 : ±0.1
-0.05
B
コネクタ (MOLEX)
ハウジング : 39-01-2040
ターミナル : 39-00-0428
+0
L9841
点灯補助用素子
光出力
接続
#1: 補助電極
#2: 陽極
#3: フィラメント
#4: フィラメント・GND
(70)
コネクタ (MOLEX)
ハウジング : 39-01-2040
ターミナル : 39-00-0428
22 ± 0.05 22 ± 0.05
(70)
160 ± 10
点灯補助用素子
22 - 0.1
9 MAX.
2 × 3.3
光出力
22 ± 0.05 22 ± 0.05
レンズ
光出力
接続
#1: 補助電極
#2: 陽極
#3: フィラメント
#4: フィラメント・GND
ハロゲンランプ
シースルータイプ
X2D2ランプ
L10804, L10904
TLSOC0053JC
TLSOA0107JD
仕様
型名
タイプ
窓材
放射波長範囲
アパーチャ径
出力安定性 at 230 nm
L9518
L10804
標準
シースルー
UV ガラス
185 ∼ 400
ドリフト (Max.)
フラツキ (p-p) Typ.
保証寿命 at 230 nm A
放電開始電圧 (Max.) B
陽極電流
管電圧 (Typ.)
90
予熱
フィラメント定格
動作
フィラメント予熱時間 (Min.)
電源 C
ランプハウス
バルブ壁温度 D
電圧
電流 (Typ.)
電圧
電流 (Typ.)
L9519
L10904
L9841
単位
シースルー
標準
標準
̶
合成石英
MgF2
̶
115 ∼ 400 E
160 ∼ 400
nm
0.5
mm
±0.3
%/h
0.005
%
2000
h
400
V dc
300 ± 30
mA dc
85
V dc
2.5 ± 0.25
V dc
4
A dc
1.7 ± 0.2
V dc
3.3
A dc
20
s
C9559, M9521
̶
E9522-50, E9558-50
̶
245 ∼ 290
℃
A寿命の定義は、波長230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点、もしくはフラツキが0.05 % (p-p)を超えた時点としています。
Bアノード、補助電極へのトリガが必要です。
CL2D2用電源では点灯できません。
Dランプハウス内で動作させる場合の推奨動作温度です。
測定方法については別途ご相談ください。 E真空引きには対応しないため窒素雰囲気でご使用ください。
* 上記以外の特注仕様にも対応可能です。お気軽にお問い合わせください。
4
®
L2D2
ランプ
L2D2 ®ランプは長寿命、高安定な紫外
線放射光源です。
各種分析機器用の光源に要求される特性
を有し、高い測定精度を得ることができ
ます。
特長
対応カスタム例
●長寿命: 4000 h（L6565）
2000 h
●高安定: 0.005 % (p-p) Typ.
●光強度のバラツキが少ない
●低価格
●ミスのない点灯性
アパーチャー径
（ 0.5, 1.0）
陰極定格
予熱時
動作時
1
2.5 V
1.0 V
2
2.5 V
1.7 V
3
3.0 V
0V–1V
4
10 V
2.5 V – 6 V
5
10 V
7V
6 12 V – 15 V
0V
陰極種類
発光点位置
フランジ形状
コンデンサ仕上げ位置
リード線長
コネクタ種類
記載以外の内容に関しても
ご相談ください。
仕様
外形寸法図
A
型名
タイプ
出力安定性 at 230 nm
窓材
(nm)
L6565
L6301
L6301-50
L6303
L12313
L12313-50
標準
L6307
L6309
L7296
L7296-50
L12307
L7293
L7293-50
L6999
L6999-50
シースルー
L9030
L9030-50
q
i
q
e
u
Max.
(%/ h)
フラツキ
(p-p)
Typ.
(%)
±0.3
0.005
放射波長範囲 アパーチャ径 ドリフト
(mm)
1.0
保証寿命 B 放電開始
電圧 C
at
230 nm
Max.
(h)
(V dc)
4000
350
陽極電流
管電圧
(mA dc)
Typ.
(V dc)
300 ± 30
80
UV ガラス 185 ∼ 400
0.5
2000
400
w
r
y
w
t
o
q
i
r
y
合成石英
160 ∼ 400
UV ガラス 185 ∼ 400
MgF2
115 ∼ 400
1.0
—
—
2000D
350
0.5
±0.3
0.005
2000
400
UV ガラス 185 ∼ 400
合成石英
160 ∼ 400
NOTE: AP7、P8参照
B寿命の定義は、波長230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点、もしくはフラツキが0.05 ％ (p-p)を超えた時点としています。
C放電を確実に開始するために、この値以上のパルス電圧を供給してください。
D動作寿命は使用環境条件(真空雰囲気)によって異なります。これらのランプは、オイルフリー環境で使用することをお勧めします。
5
特性
●放射スペクトル分布
400 nm 以下の紫外域で強いスペクトル光を放射します。
短波長側の放射スペクトルは、使用する窓材の透過率によって決まります。
■UVガラス, 合成石英
■MgF2
TLSOB0024JF
100
合成石英
（突起型窓：1 mm 厚）
TLSOB0079JB
80
MgF2 (L7293)
0.1
相対光出力 (%)
放射強度 (μW·cm-2·nm-1 at 50 cm)
1.0
UV ガラス
0.01
60
40
20
0.001
160
200
240
280
320
360
0
100
400
120
140
160
●輝度分布特性
●配光特性
D2ランプの輝度はアパーチャ（光出射口）サイズによって決まりま
す。アパーチャ径0.5 mmのランプは、アパーチャ径1.0 mmのランプ
より輝度が約1.4倍になります。
①UV ガラス
200
アパーチャ径 1.0 mm
20°
10°
10°
10°
0°
0°
-10°
-10°
-10°
-20°
-30°
-30°
30°
30°
動作
10°
10°
10°
0°
0°
-10°
-10°
-10°
-20°
電圧
フィラメント
予熱時間
Min.
(s)
1.0 ± 0.1
1.8
C9598-2510
M9596-2510
1.7 ± 0.2
3.3
C9598-2517
M9596-2517
5
0∼1
0 ∼ 1.8
C9598-3000
M9596-3000
0.8
2.5 ∼ 6.0F
0.3 ∼ 0.6
C9598-1035
M9596-1035
1.2
7.0 ± 0.5
1
C9598-1070
M9596-1070
12 ∼15
0.5 ∼ 0.55
0G
0G
C9598-1555
M9596-1555
2.5 ± 0.25
4
1.0 ± 0.1
1.8
C9598-2510
M9596-2510
10 ± 1
-20°
-30°
(V dc)
3
30°
20°
0°
電流
Typ.
(A dc)
4
-30°
-30°
TLSOB0020JC
TLSOB0077JC
適合電源 H
フィラメント定格
2.5 ± 0.25
-20°
20°
TLSOB0021JC
(V dc, ac)
30°
20°
0°
-30°
電流
Typ.
(A dc, ac)
400
③MgF2
20°
-20°
予熱
240
30°
20°
電圧 E
220
②合成石英
30°
-20°
アパーチャ径 0.5 mm
180
波長 (nm)
波長 (nm)
20
AC 入力タイプ
DC 入力タイプ
バルブ壁温度
（推奨）I
245 ∼ 290
型名
L6565
L6301
L6301-50
L6303
L12313
L12313-50
L6307
L6309
L7296
L7296-50
L12307
L7293
L7293-50
L6999
L6999-50
L9030
L9030-50
E予熱時のヒータ電流は非常に高いため、ランプと電源間のケーブルが長いとケーブルにおける電圧降下が大きくなり、ランプに十分な電圧が供給されない場合があ
ります。ヒータへの電源を設計する際は、ランプ入力端子部に所定の電圧が供給されるようにしてください。
F推奨動作電圧は3.5 V ± 0.5 Vです。
Gこれらのランプでは動作中に放電電流がフィラメントに流れますので、フィラメント温度を保つための外部電源入力は必要ありません。
H弊社重水素ランプの性能を十分に引き出すために、専用電源の使用をお勧めします。
Iランプハウス内で動作させる場合の推奨動作温度です。測定方法については別途ご相談ください。
* 上記以外の特注仕様も対応可能です。お気軽にお問い合わせください。
6
外形寸法図 ( 単位 : mm)
発光点
接続
7 MAX.
接続
20
7
6
6
20
フィラメント
:青
フィラメント・GND : 青
陽極
:赤
7
7
20
:青
フィラメント
フィラメント・GND : 黒
陽極
:赤
6
TLSOA0018JF
TLSOA0040JD
- 0.05
30 ± 1
50 ± 1
7 MAX.
35 - 0.1
22 ± 0.1 22 ± 0.1
発光点
2 × 3.3
15
B
+0.15
光出力
L9030
フィラメント
フィラメント
陽極
7
:青
:青
:赤
6
TLSOA0017JG
:青
:青
:赤
7
20
L7293
フィラメント
フィラメント
陽極
7
L7296
:青
フィラメント
フィラメント・GND : 黒
:赤
陽極
20
接続
L7296-50
:青
フィラメント
フィラメント・GND : 黒
:赤
陽極
7
接続
接続
15 ± 0.5
3 +0.05
160 ± 10
160 ± 10
Oリング
固定可能部
15 ± 0.5
20
発光点
14 ± 1
+0
22 - 0.1
37
発光点
68 ± 2
7
68 ± 2
8
42 ± 2
42 ± 2
発光点
7 MAX.
7 MAX.
50 ± 1
30 ± 1
68 ± 2
14 ± 1
A
30 ± 1
シースルータイプ
y L7296-50, L9030-50
t L7293
160 ± 10
シースルータイプ
r L7296, L9030
TLSOA0039JF
5
L6301, L6565, L6999
フィラメント
:青
フィラメント
:青
陽極
:赤
15.0 ± 0.5
160 ± 10
160 ± 10
発光点
160 ± 10
接続
L6303
フィラメント
:青
フィラメント・GND : 黒
:赤
陽極
60 ± 2
42 ± 2
42 ± 2
発光点
30 ± 1
68 ± 2
30 ± 1
68 ± 2
28 ± 1
e L12313
42 ± 2
7 MAX.
w L6307, L6309 , L12307
7 MAX.
シースルータイプ
q L6301, L6565, L6303, L6999
6
発光点位置公差（中心）
軸線 A 基準 : ±0.1
B 面基準 : ±0.1
L9030-50
フィラメント
:青
フィラメント
:青
陽極
:赤
6
TLSOA0011JF
TLSOA0075JE
シースルータイプ
i L6301-50, L6999-50
o L7293-50
- 0.05
A
22 ± 0.1 22 ± 0.1
発光点
50 ± 1
30 ± 1
50 ± 1
22 ± 0.1 22 ± 0.1
22 ± 0.1 22 ± 0.1
発光点
発光点
15
+0
68 ± 2
22 - 0.1
+0.15
3 +0.05
B
5
発光点
5
15
B
42
発光点
+0
68 ± 2
22 - 0.1
37
+0
+0.15
3 +0.05
2 × 3.3
2 × 3.3
発光点
5
B
22 -0.1
37
60 ± 2
2 × 3.3
+0.15
160 ± 10
160 ± 10
160 ± 10
3 +0.05
光出力
光出力
15 ± 0.5
光出力
接続
接続
接続
フィラメント: 青
フィラメント: 青
陽極
:赤
6
発光点位置公差
（中心）
軸線 A 基準 : ±0.1
B 面基準 : ±0.1
20
6
発光点位置公差
（中心）
軸線 A 基準 : ±0.1
B 面基準 : ±0.1
7
フィラメント: 青
フィラメント: 青
陽極
:赤
20
発光点位置公差（中心）
軸線 A 基準 : ±0.1
B 面基準 : ±0.1
7
20
フィラメント : 青
フィラメント : 青
陽極
:赤
7
15
35 - 0.1
50 ± 1
28 ±1
50 ± 1
7 MAX.
7 MAX.
A
30 ± 1
- 0.05
A
35 - 0.1
-0.05
35 -0.1
7 MAX.
u L12313 -50
6
TLSOA0050JC
TLSOA0088JC
TLSOA0051JD
シースルータイプ
真空装置への取り付け例
(L7293, L7293-50)
シースルータイプ電極構造により、ハロゲンランプ、D2ランプ、光学系の光
1
路を同一線上に配置することが可能です。これにより、紫外-可視分光光度計
などの光学設計を簡略化できるうえ、ハーフミラーの使用による光量ロスも
2
ありません。
3
4
可視光用の光学系配置例（L2D2 ランプ）
上面図
入射角
40°
A
発光点
B
ネジ部
光出力
C
ハロゲンランプ
1真空フランジ
2締め付けネジ
3Oリング JIS B2401
呼び番号 V15
4スペーサ
AMgF2窓
B段接部
COリングシール可能部
レンズ
シースルータイプ
L2D2ランプ
TLSOC0053JA
TLSOC0011JG
▼シースルータイプのランプ型名
L6999, L6999-50, L9030, L9030-50
8
X2D2® L2D2®
X2D2® ランプ専用電源 / ランプハウス
ランプ
ランプ
ランプ用電源
ランプハウス
D2ランプは、その用途からきわめて高い
光出力安定度が要求されるため、駆動に
は弊社専用電源およびランプハウスのご
使用をお勧めします。また、お客様で電源・
ランプハウス設計をご用意される場合に
も最適な設計となるよう技術フォローを
致しますので、
ご相談ください。
▲専用電源 左: C9559, 右: M9521
▲ランプハウス 左: E9522-50, 右: E9558-50
L2D2® ランプ専用電源 / ランプハウス
E9522-50: L9518用 E9558-50: L9519用
E9522: L6301-50用 E9558: L7296-50用
* シースルータイプ
（L10804, L10904, L6999-50,
L9030-50）用の特注品にも対応いたします。
▲専用電源 左: C9598, 右: M9596
▲ランプハウス 左: E9522, 右: E9558
外形寸法図 ( 単位 : mm)
* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)
●E9522-50
+0.1
2.8 - 0
19.2
60
●C9559
50
35
2 × M3 深さ5
18
3 × M3 (P.C.D.* 24)
+0.2
32.2 -0 光学系取付面
5
280
側面図
R2
110
22
32
22 ± 0.05 22 ± 0.05
20
°
140
C9559
79
発光点
3-120°
3-1
正面図
ランプフランジ設置面
5.8
3 × M4 深さ5
(P.C.D.* 40)
上面図
入圧ピン
発光点
背面図
発光点
TLSOA0114JA
●付属ランプ出力ケーブル
●E9558-50
+0.1
32
79
光学系取付面
20°
5 MAX.
°
20
3-1
側面図
3 × M3 (P.C.D.* 24)
32
5
TLSOA0113JA
2 × M3 深さ5
35.2
35 MAX.
29 ± 1 22
22 ± 0.05 22 ± 0.05
160
170
正面図
ランプフランジ設置面
発光点
3-1
50
110
3 × M4 深さ5
(P.C.D.* 40)
R2
5
●M9521
4.2
TLSOA0112JA
100
2.8 - 0 入圧ピン
60
3000 ± 50
34
発光点
TLSOA0115JA
X2D2 ランプ用電源仕様
項目
入力
入力電圧
入力電流 (Max.)
出力電圧 (DC)
出力
M9521
単位
DC 24 V ± 2.4 V
̶
1.4
3
A
V dc
V dc
mA dc
%
%/h
V dc
A dc
V dc
A dc
s
V peak
V peak
̶
℃
℃
%
̶
̶
̶
動作時 (Typ.)
無負荷時 (Min.)
85 / 90
200
300 ± 30
0.005
±0.02
2.5 ± 0.2
4
1.7 ± 0.2
3.3
約 20
600
600
出力電流 (DC)
電流フラツキ (p-p) (Typ.)
電流ドリフト at 25 ℃ (Typ.)
電圧
予熱
電流 (Typ.)
フィラメント
電圧
定格
動作
電流 (Typ.)
フィラメント予熱時間
アノード
トリガ電圧
補助電極
冷却方法
動作周囲温度
保存温度
動作周囲湿度・保存湿度
外部制御（ランプ ON/OFF、ランプ点灯信号）
CE
適応規格
UL (File No. E249677)
9
C9559
AC 100 V ∼ AC 240 V
(100 V/200 V 自動切り替え )
単相 50 Hz / 60 Hz
̶
○
○
̶
強制空冷 (0.3 m3/min)
0 ∼ +40
-10 ∼ +60
80 以下 ( 結露しないこと )
○
○
○
外形寸法図 ( 単位 : mm)
L2D2 専用電源では X2D2 ランプを点灯させることはできません。 * P.C.D. (Pitch Circle Diameter)
●E9522
発光点
60
+0.1
19.2
2.8 - 0 入圧ピン
200
側面図
35
背面図
22 ± 0.05 2 × M3 深さ5
37
22 ± 0.05 22 ± 0.05
3-120°
5
R2
117
84
発光点
50
90
3-1
20
°
正面図
ランプフランジ設置面
5.8
3 × M4 深さ5
(P.C.D.* 40)
上面図
35.2
●C9598
18
3 × M3 (P.C.D.* 24)
+0.2
32.2 -0 光学系取付面
32
発光点
TLSOA0118JA
●付属ランプ出力ケーブル
●E9558
+0.1
60
2.8 - 0 入圧ピン
32
84
5
光学系取付面
20°
R2
30 MAX.
5 MAX.
°
20
3-1
正面図
29 ± 1
22
発光点
3-1
50
118
102
ランプフランジ設置面
2 × M3 深さ5
22 ± 0.05 22 ± 0.05
3 × M4 深さ5
(P.C.D.* 40)
100
86.4
●M9596
4.2
TLSOA0116JA
3 × M3 (P.C.D.* 24)
37
5
35.2
1800 ± 50
34
発光点
側面図
TLSOA0117JA
TLSOA0119JA
L2D2 ランプ用電源仕様
C9598
M9596
単位
AC 100 V ∼ AC 240 V
(100 V/200 V 自動切り替え )
単相 50 Hz / 60 Hz
DC 24 V ± 2.4 V
̶
項目
入力
入力電圧
0.9
入力電流 (Max.)
動作時 (Typ.)
無負荷時 (Min.)
出力電圧 (DC)
出力
出力電流 (DC)
電流フラツキ (p-p) (Typ.)
電流ドリフト at +25 ℃ (Typ.)
ウォームアップ時間
トリガ電圧
̶
冷却方法
動作周囲温度
保存温度
動作周囲湿度・保存湿度
外部制御（ランプ ON / OFF、
ランプ点灯信号）
EN（CE マーキング）
適応規格
UL
（ファイル No. E249677）
○
○
̶
2
80
200
300 ± 30
0.005
±0.02
約 20
約 600
強制空冷 (0.3 m3/min)
0 ∼ +40
-10 ∼ +60
80 以下（結露しないこと）
○
○
○
A
V
V
mA
%
%/h
秒
V peak
̶
℃
℃
%
̶
̶
̶
フィラメント定格
予熱時
動作時
型名
電圧
(V dc)
電流
(A dc)(Typ.)
電圧
(V dc)
電流
(A dc)(Typ.)
C9598/M9596-2510
2.5 ± 0.2
4
1.0 ± 0.1
1.8
C9598/M9596-2517
C9598/M9596-3000
C9598/M9596-1035
C9598/M9596-1070
C9598/M9596-1555
2.5 ± 0.2
3 ± 0.2
10 ± 0.5
10 ± 0.5
13.5 ± 0.7
4
5
0.8
1.2
0.5
1.7 ± 0.2
0
3.5 ± 0.2
7 ± 0.4
5.25 ± 0.25
3.3
0
0.3
1
0.3
適合ランプ
L6565, L7293, L6999, L6999-50, L7293-50
L6301, L6301-50, L9030, L9030-50
L6303
L12313
L6307, L7292
L7296, L6309, L7296-50
L12307
10
®
S2D2
ランプ
S2D2® ランプ（小型重水素ランプ）は従
来品に比べ大幅に小型化を実現しました。
小型でありながら従来品と同等の高安定
性を有し、独自の電極構造により高輝度
も実現しました。
▲左：L13301
右：L10671D
特長
特性
●放射スペクトル分布
0.010
●配光特性
TLSOB0109JB
L10671D
L13301
0.009
放射強度 (µW·cm-2·nm-1 at 50 cm)
●長寿命: 1500（L10671D）
●小型:
従来品体積比約75 %ダウン
●高安定:
0.005 % (p-p) Typ.
●高出力な紫外域連続
スペクトル
●低消費電力
●組み込み容易
30°
30°
0.008
20°
20°
0.007
0.006
L10671D
10°
10°
0°
0°
-10°
-10°
0.005
0.004
-20°
0.003
-20°
-30°
-30°
0.002
0.001
30°
30°
0.000
200
220
240
260
280
320
340
360
380
400
波長 (nm)
L10671P
100
300
TLSOB0079JB
L10671D
L10671H
80
相対光出力 (%)
L13301
20°
20°
10°
10°
0°
0°
-10°
-10°
-20°
-20°
-30°
60
-30°
TLS B0005JA
TLSOB0114JA
40
検出器
20
プリント基板
0
100
120
140
160
180
200
220
240
400
波長 (nm)
仕様
項目
内容 / 値
型名
窓材
放射波長範囲
アパーチャ径
出力安定性 at 230 nm
保証寿命 at 230 nm A
出力電流
管電圧 (Typ.)
フィラメント定格
バルブ壁温度 B (Max.)
動作周囲温度 C
保存温度
動作周囲湿度
保存湿度
L10671D
UV ガラス
185 ∼ 400
L13301
MgF2
115 ∼ 400
1.0
±0.25
0.005
ドリフト (Max.)
フラツキ (p-p) (Typ.)
1500
30
予熱
1000 D
50
約135
4.2
約25
3.5
電圧
時間
動作電圧
185
240
0 ∼ +40
-10 ∼ +60
80 % 以下
（結露なきこと）
85 % 以下
（結露なきこと）
単位
̶
̶
nm
mm
%/h
%
h
mA
V
V
s
V
℃
℃
℃
̶
̶
A 寿命の定義は、波長 230 nm での光出力が初期値の 50 % に低下した時点もしくは、
フラツキが 0.05 % (p-p) を超えた時点としています。
B 外形寸法図の a 箇所
C 開放空間での周囲温度
D 動作寿命は使用環境条件 ( 真空雰囲気 ) によって異なります。
11
外形寸法図 ( 単位 : mm)
* PCD (Pitch Circle Diameter)
●L13301
B
発光点
7.5
6
4
9 × 0.7
3 2
1
10°
18°
36°
36°
5
●接続
1: フィラメント
3 (7): 陽極
5: 補助電極
9: GND
2, 4, 6, 8: N.C.
18°
8 MAX.
36°
9
5 15.5 ± 2.0
発光点
7.5
6
10°
7 8
6
4
3 2
18°
9 × 0.7
9 × 0.7
9
1
5
36°
7 8
6
A
20
温度測定点 a
9 × 0.7
20.5
36°
22 MAX.
10°
15.0 ± 0.5
18°
8 MAX.
P.C.D.* 10.72 ± 0.2
温度測定点 a
58 MAX.
36°
A
20.5 MAX.
温度測定点 a
Oリング取付可能位置
発光点位置公差（中心）
・A軸線基準: ±0.3 mm
・B軸線基準: ±0.3 mm
P.C.D.* 10.72 ± 0.2
温度測定点 a
36°
発光点位置公差（中心）
・A軸線基準: ±0.3 mm
・B軸線基準: ±0.3 mm
36°
●L10671D
10°
B
●接続
1: フィラメント
3 (7): 陽極
5: 補助電極
9: GND
2, 4, 6, 8: N.C.
TLSOA0109JA
TLSOA0016JA
関連製品
専用電源
（ ）
●C10707（L13301用）
単位
V
VA
3
20
上面図
（底板）
側面図
TLS A0005JA
112.5
DCジャック
70
外部制御コネクタ
42.5
▼接続
1: アノード
2: 補助電極
3: フィラメント
4: GND
ケーブル E13807（L13301用）
●L10671H（L10671D用）
P.C.D. 10.72 ± 0.2
単位
g
℃
2 × 3.3
5L10671Hの図面のb箇所（本機を装置に組み込んだ際は、
この温度範囲に入るように熱設計をお願いします。）
23
130
温度測定点 b
2 × M2.6
80 ± 10
6
ソケット
8 MAX.
▼接続
1: アノード
2: 補助電極
3: フィラメント
4: GND
ランプ交換用ネジ
上面図
26
3
17.5
内容 / 値
320
+40 ∼ +80
質量
最適動作温度 5
37.5
19
光出力
7.5 5 6
14
9.2
2.5
12
29
30
基板 = 1.2 mm
メインパワーLED
̶
ランプハウス
発光点
CN3: S2D2ランプ
出力用コネクタ
1: GND
2: フィラメント
3: N.C.
4: 補助電極
5: 陽極
出力ケーブル
* AC / DCアダプタ付属
項目
CN4: 5 V出力用コネクタ
（使用例: タングステンランプ）
1: +
2: –
CN5: 5 V出力用コネクタ
（使用例: シャッタソレノイド）
1: +
2: N.C.
3: –
65
上面図
1000 ± 100
内容 / 値
10.8 ∼ 13.2
17
ランプ ON/OFF
ランプ点灯信号
外部制御
17
55
2.5 MAX.
1外部制御3-10端子間に信号を入れるたびに、+5 V, -5 V
が各々200 ms間隔で交互に出力されます。
* 8.5 V dc ∼ 13.2 V dcの入力範囲
項目
入力電圧 (DC) *
消費電力
Max.
8
18 MAX.
̶
27
CN2: 外部制御機能
1: S2D2ランプ ON / OFF
2: CN4 (5 V) 出力 ON / OFF
3: CN5 (5 V) 出力 ON / OFF
4: S2D2ランプ
点灯確認信号
5: CN4 (5 V)
出力確認信号
6: N.C.
7: 主電源出力確認信号
8: N.C.
9: N.C.
10: GND
3× 3
（取り付け用ネジ穴）
3
3
9.2
外部制御
単位
V
VA
̶
̶
̶
32.5 MAX.
内容 / 値
12 *
10
S2D2ランプ点灯/消灯
CN4出力ON/OFF
CN5出力ON/OFF 1
ステータスシグナル
S2D2ランプ
CN4
主電源
項目
入力電圧 (DC)
消費電力
Max.
CN1: 入力電圧用DCジャック
CN9: 12 V出力用コネクタ
1: +
2: –
3
●L10671P（L10671D用）
28
5
正面図
6
発光点
側面図
M2.6サラネジ用 2 × 2.7
M11 × 0.5
（深さ 3.75）*
* 10 mm dia.レンズの取り付けが可能です。
13
16.5
L10671P接続用
コネクタ (CN3)
底面図
2 × M2.6 深さ 2（取り付け用ネジ穴）
TLS A0006JA
* L13301用のハウジング、真空フランジについては別途ご相談ください。
12
関連製品
ファイバ光源
■アプリケーション
●分光光度計用光源
●環境計測用光源
●吸収スペクトル測定用光源
●MTPリーダ用光源
●薬品検査用光源
●高速液体クロマトグラフ
●バイオ計測用光源
●半導体検査装置
●各種光学部品検査用光源
小型紫外-可視 (UV-VIS) S2D2ファイバ光源 L12515
S2D2® ランプ（小型重水素ランプ）を採用し
特長
た世界最小サイズの紫外 - 可視ファイバ光源
です。小型でありながら高出力を有し、高安定
性も実現した世界初の光源です。コンパクトで
持ち運びが容易であり、低電圧駆動も実現して
おりますので、各種ポータブル装置に応用でき
ます。
●小型：72 mm × 40 mm × 90 mm
●高安定：フラツキ 0.004 % p-p (Typ.)
（2 × 10-5 A.U.相当）
●外部制御可能
●シャッタ標準装備
光出力安定性
特性
●at 230 nm
20
●放射スペクトル分布
10
TLSZB0125JA
10
1.4
0
-5
-10
L12515
L10671（従来品）
L12515
L10671
（従来品）
1.2
1
20
15
0.8
0.6
10
0.4
5
相対光出力
1
時間 (100 s/div.)
●at 600 nm
ABS (10-5 A.U.)
●200 nm ∼ 1100 nm
●200 nm ∼ 220 nm（増強範囲拡大）
5
相対光出力
ABS (10-5 A.U.)
15
-15
-20
▲L12515
3倍
0.1
0
0
200
-15
-20
ライトガイド
A7969-08AS
コア径 = 0.8 mm
ライトガイド
A7969-08AS
コア径 = 0.8 mm
0.2
-5
-10
202
204
206
208
210
212
214
216
218
220
0.01
200
300
400
波長 (nm)
時間 (100 s/div.)
500
600
700
波長 (nm)
TLSOB0107JA
高出力紫外-可視 (UV-VIS) ファイバ光源 L10290
高出力な紫外-可視ファイバ光源です。200 nm ∼ 1600 nmの光をライトガイド（別売）から
出力します。「高輝度ランプ（X2D2ランプ）」を採用し、放射強度は弊社従来品に比べ約2倍
になりました。高出力、高安定な紫外−可視光をお手軽にご使用いただけます。
放射スペクトル分布（代表例）
特長
TLSOB0099JB
10
●高出力： 約 2 倍
（弊社従来品比）
●高安定 : フラツキ 0.004 % p-p (Typ.)
（2 × 10-5 A.U. 相当）
ライトガイド種類
A7969-08AS
コア径 = 0.8 mm
約2倍
相対光出力
（弊社従来品比）
1
0.1
200
L10290
タングステンハロゲンランプ光量 Max.
L10290
タングステンハロゲンランプ光量 Min.
弊社従来品
300
400
500
600
700
波長 (nm)
13
800
900
1000
1100
●長寿命ランプ内蔵 : 2000 h
●外部制御可能
●シャッタ標準装備
●フィルタホルダ
（別売）
▲L10290
800
900
1000
1100
真空紫外製品
■アプリケーション
●半導体検査装置
●膜圧計用光源
●分光光度計用光源
●真空紫外線による静電気除去
●真空紫外分光光度計
●紫外線による材料耐性評価
●光イオン化源
●静電チャックのデチャック
●液晶製造装置
H2D2光源ユニット L11798/-01, L11799/-01
H2D2光源ユニットは弊社従来品（L2D2ランプ）に比べ、輝度6倍の高輝度・高性能重水
素ランプ（H2D2ランプ）が内蔵されています。高輝度でありながら、高安定、長寿命を実
現し、また、専用のハウジングを採用することにより空冷動作を可能にしました。それによ
り従来の水冷式に比べ、使い易さを格段に向上しました。各種用途への使用が可能で、装置
のさらなる高感度化と高スループットを実現します。
▲L11798, L11799 左: 光源部, 右: 電源部
特長
特性
●放射スペクトル分布
100
●輝度分布
TLSOB0079JB
650
TLS B0007JB
600
高輝度
6倍
550
L11798/-01
L11799/-01
500
相対光出力 (%)
80
相対光出力 (%)
●高輝度 : 6 倍（弊社従来品比）
●高安定 : フラツキ 0.05 % p-p (Max.)
ドリフト ±0.3 %/h (Max.)
●長寿命 : 1000 h 保証
●空冷（冷却水不要）
●外部制御可能
●ランプリプレイス可能
60
40
450
400
350
H2D2 ランプ
300
弊社従来品
X2D2 ランプ
L2D2 ランプ
( 0.5 mm)
250
200
150
20
100
50
0
100
120
140
160
180
200
220
240
400
0
-2.5
-2
波長 (nm)
-1.5
-1
-0.5
0
0.5
1
1.5
2
2.5
アパーチャ中心からの距離 (mm)
S2D2真空紫外(VUV)光源ユニット L10706シリーズ
S2D2真空紫外光源ユニットは、小型
SEM 画像除電効果比較
MgF2窓付き重水素ランプを内蔵した
真空紫外光源ユニットです。真空フラ
ンジ付属のSUSフレキシブル管と専用
の冷却機構により、照射対象物への近
接照射や減圧下への設置及び点灯が
可能となりました。コンパクトな光源形
状及びSUSフレキシブル管により、各
▲L10706
左: 光源部, 右: 電源部
▲除電無し
装置への取付け自由度が向上しました。
▲除電有り
静電気除去ユニット VUV イオナイザ L12542
弊社従来品に比べ、約3倍の広角照
特性
射を実現し、減圧下での広い面積の
●配光特性
除電が可能となりました。従来品か
30°
20°
らの照射角度の拡大により、広い面
10°
0°
積の除電には複数台必要であった問
-10°
題を解消しました。
-20°
▲L12542 左: 光源部, 右: 電源部
* 他のMgF2窓タイプD2ランプでも除電は可能です。
-30°
TLSZB0105JA
14
■使用上のご注意
1. ランプからは、目や皮膚に有害な強い紫外線が出ていますので、直視したり放射光を直接皮膚に当てないでください。取扱作業中は保護メガネや
保護具を使用してください。
（JIS T 8141参照）
2. 点灯中はバルブ壁が高温（200 ℃以上）となっていますので、素手で触れたり燃えやすいものを近づけないでください。
（S2D2ランプは除く。）
3. 機械的な振動・衝撃を与えないでください。光出力安定性低下や短寿命の原因になります。
4. 合成石英窓またはMgF2窓の段つなぎについて
合成石英窓またはMgF2窓使用のバルブについては、膨脹率が少しずつ異なる数種のガラスをつなぎ合わせた段つなぎが採用されています。この
段つなぎ部分は機械的強度が弱いため、使用にあたっては段つなぎ部分に力のかかる取り扱いはしないでください。
5. 本製品のガラス（窓）部分は素手で触れないでください。手垢やほこりなどがついたまま点灯しますと汚れが焼き付いたり失透が生じ、放射出力強度
が低下します。
万一、手垢などで汚れた場合には、上質のアルコールかアセトンをつけて硬く絞ったガーゼか脱脂綿を用いて点灯前に汚れを拭き取ってください。
6. ランプ動作には高電圧を使用します。感電事故等に十分ご注意ください。
7. 常温、常湿にて保管し、高温多湿を避けるようお願いします。また、長期に使用しない場合には、不活性ガスで置換されたデシケータ内に保管す
る事をお奨めいたします。
8. MgF2/合成石英窓取り扱い
酸素が存在する雰囲気にUV光を照射すると、人体に影響するレベルではありませんが、オゾンが生成されオゾン臭がします。密閉された部屋に
おいてこのような方法で長時間ご使用になる場合は、時々換気を行ってください。
■保証
ランプの保証は出荷後 1 年間とし、保証の範囲は製品の代替納入を限度といたします。ただし、1 年以内でも、ランプの使用時間が保証寿命時間を超え
た場合はご容赦願います。また、天災、使用上のミス、改造などによるトラブルも保証の対象外とさせていただきます。
■廃棄方法
本製品を廃棄する場合は、廃棄物処理法に則り、自ら適正に処理していただくか、もしくは許認可を受けた適正な産業廃棄物処理業者へ委託して処理し
てくださるようにお願いします。国外で使用し、
その国で廃棄する場合は、
それぞれの国、
州の廃棄物処理に関する法令に従って適正に処理をしてくださ
るようにお願いします。
●本資料の記載内容は平成28年3月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。
●関連製品の個別カタログは別途お問い合わせください。
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FAX
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FAX
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TLS 1017J01
MAR. 2016 IP