セレクションガイド 2016.1 光半導体モジュール 光半導体モジュ 光 半 導 体 素 子 の 性 能 を 最 大 限 に 引 き 出 す 応 用 製 品 、回 路 。カス タ ム 品 に 幅 広く対 応 。 OPTOSEMICONDUCTOR MODULE 光半導体 モジュー ル 光半導体素子の性能を最大限に 引き出す応用製品、回路 カスタム品にも 対 応して います 。お 気 軽にご用 命ください 。 浜松ホトニクスは、長年にわたって培った独自の光半導体 技術によってSiフォトダイオード・APD・MPPC・イメージ センサ・LEDなどの光半導体素子を開発・製造しています。 光半導体モジュールは、 これらの光半導体素子をさらに使 いやすく、さらに広く使用していただくために、当社の光半 導体技術・光学技術・回路技術・実装技術・ソフトウェア技術・ MEMS技術を統合したモジュール製品です。 当社は、標準品の光半導体モジュールに加えて、お客様が 要望する仕様に合わせたカスタム品の光半導体モジュー ルにも対応することが可能です。 Contents 光半導体モジュールを 実現するための技術 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 3 目次 カスタム品の例・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 5 微弱光検出モジュール ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 6 MPPCモジュール ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 7 APDモジュール ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 8 1 光半導体モジュール Opto semiconductor o ducto uct 放射線検出モジュール・ ・ ・ ・ ・ ・ ・10 ミニ分光器・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・12 距離センサ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・14 光の位置、光量、色検出モジュール 15 フォトダイオードモジュール、 フォトセンサアンプ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 15 PSDモジュール、 PSD信号処理回路 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 17 カラーセンサモジュール・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 20 赤外線検出素子・イメージセンサの 応用製品、回路 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・23 プリアンプ付赤外検出モジュール ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 23 マルチチャンネル検出器ヘッド ・ ・ ・ ・ ・ ・ 24 イメージセンサ用回路・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 25 バランス検出器・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 21 フレームアイ、 日射センサ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 22 光半導体モジュール 2 光半導体モジュールを実現するための技術 光学部品（フィルタ、レンズなど） 光半導体 モジュールの 構成例 光半導体素子 回路部 フォトダイオード イメージセンサ など アンプ ハウジング 受光素子 信号処理 （アナログ／デジタル） LED LD ドライバ 発光素子 インターフェース 光半導体素子 01 光半導体技術 モジュールの心臓部となる検出器には、分析・計測・車載・民生分野で長年実績のある 当社製の光半導体素子を採用 ◆ 受光素子・光源は、 当社が開発した光半導体素子の豊富なラインアップから 選択できるだけでなく、 ご要望の機能を実現するために、 カスタムデザインも可能 ◆ Siフォトダイオード、APD MPPC イメージセンサ LED 02 光学技術 ◆ 最適な光学設計により高性能モジュールを実現 シミュレーションを活用 社内で光学シミュレーションを行っており、迅速・柔軟な光学設計が可能 ◆ 入射スリット 透過型グレーティング フォーカシング ミラー ミニ分光器の内部 3 光半導体モジュール コリメート ミラー イメージ センサ ミニ分光器の光学系配置例 光学シミュレーションの例 Technologies Creating Opto-semiconductor Modules 03 回路技術 光デバイスとアプリケーションに 対して最適化 ◆ 高感度／低ノイズ／高速／ マルチチャンネル化に対応 ◆ 回路例 回路実装例 04 実装技術 ◆ 小型・高機能・低コストを実現 フリップチップボンディング技術: 反転したチップをバンプを用いて基板に直接接合 フロントエンドIC技術: カスタム品の小型・初段アナログ信号処理回路と接合 ◆ COB (chip on board): チップを直接に基板へ実装することで、 実装面積の低減、 モジュールの薄型化・コスト低減を実現 ◆ 受光素子・光学部品などを基板上に統合することによって、 小型化・低コスト化を実現 チップサイズ パッケージ (フリップチップ ボンディング 技術を応用) 裏面入射型 2次元Si APD フリップチップ ボンディング 技術 バンプ フロントエンド IC技術 COB CMOS 読み出し回路 実装技術の応用例 KACCC0636JA ハイブリッドデバイス (フロントエンドIC技術を応用） 光学部品 受光素子 受光素子・光学部品を統合した例（オプティクス・モジュール） KACCC0637JA 両面実装技術 05 ソフトウェア技術 06 MEMS*技術 * Micro-Electro-Mechanical Systems ◆ サンプルソフトウェアにより迅速な評価が可能 ◆ 高精度微細加工 ◆ USB、RS-232Cなどのインターフェースに対応 ◆ モジュール部品の小型・高機能化に貢献 1 µm ミニ分光器の測定例 カラーセンサモジュールの測定例 微細グレーティングの拡大写真 スリットの拡大写真 光半導体モジュール 4 カスタム品の例 オプティクス・ モジュール オプティクス・モジュールは、受光素子、光源、光学部品（レンズ、フィルタなど）、回路（アナログ、デジ タル）、筐体などを一体化したカスタム品の光半導体モジュールです。 当社の技術の複合化により、お客様の要望に応じた仕様のオプティクス・モジュールに対応すること が可能です。血液分析装置においては、血液の吸光度を測定したり、血液と試薬を反応させて光を当 てたときの蛍光発光を測定し、血中のさまざまな物質の量を検出するために使用されています。 回路基板 血液分析装置に使用されるオプティクス・モジュール イメージセンサ ロッドレンズ ビームスプリッタ グレーティング 筺体 キセノンランプ タングステンランプ LEDなど 投光LED または 血液 (フローセル、キュベット) フィルタ ガラス フォトダイオード アレイ 読み出し回路 フォト ダイオード オプティクス・モジュール 血液 KACCC0630JA KACCC0631JA カスタム品の開発プロセス 標準品の光半導体モジュールの仕様変更だけでなく、新規設計のカスタム品にも対応が可能です。 お 客 様 から の ご 要 望 01 実 現したい 機 能・性 能 02 外 形 寸 法 03 価 格 仕様検討 光半導体素子 光学系 回路 ソ フト ウ ェ ア 豊 富 な 標 準 品 ライン アップから選 択 、また は新規にデバイス開発 豊 富な経 験に基づい た最適な光学設計(レ ンズ、ミラー、フィルタ など) 当社ならではの微弱光 に対 応したアナログ/ デジタル回路設計(回 路設計からパターン設 計まで対応可能) マ イ コ ン 、F P G A 、 D S P などのファー ム ウェアからアプリケー ションソフトウェアの設 計まで柔軟に対応可能 設 計 5 光半導体モジュール シミュレー ション 試 作 評 価 量 産 微 弱光 検出モジュール 光量に対応する光センサ/モジュールと用途例 MPPCモジュール 光センサ／モジュール APDモジュール Siフォトダイオード (冷却) 光電子増倍管モジュール 光電子増倍管モジュール (フォトンカウンティングタイプ) フローサイトメトリー 用途 天体観測 光トポグラフィ PET 走査型レーザ検眼鏡 パーティクルカウンタ 入射フォトン数 [個/(mm2・s)] 10 放射照度 (W/mm2) 照度 (lx) 0 10 10 10 -18 -10 6等星1個 2 10 10 -8 10 -16 4 10 10 10 0等星1個 -6 -14 6 10 10 -4 晴れの星座 10 -12 8 10 10 10 -2 満月 -10 10 10 10 0 10 -8 10 10 室内照明 12 2 10 -6 14 10 10 日の出、日の入り 10 -4 4 10 10 曇り 16 -2 6 真夏晴天 写真 F2.8、1/60、ISO100 注) 参考データ 入射フォトン数・放射照度・照度の相関関係: λ=555 nmの光の場合 KACCC0616JB 光半導体モジュール 6 MPPC®モジュール MPPCを内蔵したフォトンカウンティング・モジュールで す。MPPC、I/V変 換回路、高 速コンパレータ回 路、高 圧 電源回路、温度補償回路、カウンタ回路、マイコンから構 成されています。 MPPCの性能を最大限に引き出すこと で、優れたフォトンカウンティング特性を実現しています。 USBが 搭載されており、 PCから閾値レベル (1フォトン の検出レベル)の変更やデータ取得が可能です。 アナログ出力タイプ 型名 写真 W×D×H (mm) (Typ.) 内蔵 MPPC 有効受光面 サイズ (mm) ピクセル ピッチ (µm) 光電変換 感度 （V/W） 雑音等価電力 C13365-1350SA S13360-1350CS 1.3 × 1.3 0.5 C13365-3050SA S13360-3050CS 3.0 × 3.0 1.2 36 × 22 × 12.9 C13366-1350GA C13366-3050GA 98 × 60 × 35 C11209-110 電子冷却型 (精密計測用) 3.0 × 3.0 S12571-010C 1.0 × 1.0 温度補償 (非冷却) ±5 0.1 電子冷却 (-20 °C) 0.15 2.6 × 10 6 10 温度補償 (非冷却) 3 38 × 45 × 13 デジタル出力タイプ 型名 写真 W×D×H (mm) C13366-1350GD C13366-3050GD 98 × 60 × 35 C13001-01 98 × 60 × 35 写真 +5 (Typ.) 内蔵 MPPC 電子冷却型 (精密計測用) 有効受光面 サイズ (mm) ピクセル ピッチ (μm) 検出効率 ダークカウント （％） （cps） 1.3 × 1.3 温度制御 供給電圧 （V） 2.5 k 50 3.0 × 3.0 40 12 k シングルピクセル ϕ50 μm (ファイバカップリングタイプ) 45 電子冷却 (-20 °C) ±5 7 スターターキット 型名 供給電圧 （V） 1 × 10 9 50 1.3 × 1.3 温度制御 （fW/Hz1/2） (Typ.) 温度制御 供給電圧 特長 （V） C12332-01 温度補償 (非冷却) MPPC用電源 C11204-01 MPPCアレイモジュール 各種アレイモジュールも取りそろえています。詳細については、 お問い合わせください。 ■ C13368シリーズ: 1次元MPPCアレイモジュール ■ C13369シリーズ: 2次元MPPCアレイモジュール 各シリーズには、それぞれ3種類の回路形式（アナログ, カウンティ ング, マルチチャンネルアナライザ） があります。 MPPCを駆動するために最適化された高電圧電源です。温度 補償機能をもち、温度変化を伴う環境においてもMPPCを安 定動作させることが可能です。 特長 ■ ■ ■ ■ ■ 7 光半導体モジュール ・非冷却MPPC (別売)を評価可能 ・MPPC 用電源 C11204-01 を搭載 ・PC から MPPC 動作電圧を設定するだけで測定可能 ±5 広い出力電圧範囲： 50 V∼90 V 低リップルノイズ： 0.1 mVp-p typ. 優れた温度安定性： ±10 ppm/°C typ. 分解能を細かく設定可能 (1.8 mVごと) シリアルインターフェース 微弱光検出モジュール APDモジュール APD・低ノイズ増幅器・バイアス電源をコンパクトな外形 にまとめたモジュールです。 (指定のない場合はTyp.) タイプ 型名 写真 有効受光面 W×D×H サイズ* 標準 近赤外用 短波長用 (mm) 低域 (mm) C12702-03 S12023-10 C12702-04 ϕ3.0 S2384 ϕ1.0 S12053-10 80 × 50 × 23 S5344 C12703 ϕ1.5 S3884 80 × 50 × 23 C10508-01 4 増倍率温度安定度 25 ±10 °C 供給電圧 (％) (V) ±2.5 +5 ±2.5 +5 ±2.5 ±12 3 100 MHz -6.8 × 10 80 MHz -2.3 × 10 4 3.6 100 MHz -2.5 × 10 4 5 4 kHz ϕ3.0 C12703-01 高域 最低検出限界 M=30 λ=800 nm (nW rms) 4 kHz C12702-12 高感度 高安定 遮断周波数 内蔵APD ϕ1.0 C12702-11 光電変換感度 M=30 λ=800 nm (V/W) 4 6.3 40 MHz -1.9 × 10 10 MHz 1.50 × 10 6 630 100 kHz -1.50 × 10 8 6.3 DC ϕ3.0 S2384 ϕ1.0 S12023-10A DC 10 MHz 1.25 × 107 63 ±5.0 max. ±5 ϕ0.5 S12023-05 50 kHz 1 GHz 2.50 × 105 16 ±5.0 +12 60 × 65.6 × 19.6 高速 C5658 28 × 50 × 60 * 増倍作用が得られる範囲 ブロック図 (C12702シリーズ) 高電圧発生部 +200 V +5 V 感度−応答速度 10 9 +5 V C12703-01 BNCコネクタ DC∼100 kHz -1.5 × 10 8 V/W 10 8 電圧制御部 C10508-01 10 7 感度 (V/W) 高速I/V変換回路 C12703 DC∼10 MHz 1.5 × 10 6 V/W 10 6 C5658 10 温度モニタ部 DC∼10 MHz 2.5 × 10 6 ∼ 1.25 × 10 7 V/W 50 kHz∼1 GHz 2.5 × 10 5 V/W 5 C12702シリーズ APD 受光面サイズ・波長により 4種類を用意 4 kHz∼100 MHz -1 × 10 4 V/W 10 4 KACCC0013JB 10 3 DC 10 100 1k 10 k 100 k 1M 10 M 100 M 1 G 応答速度 (Hz) KACCB0115JF 光半導体モジュール 8 微弱光検出モジュール 応用例 フローサイトメトリー 光トポグラフィ 半導体レーザ 半導体レーザ MPPCモジュール APDモジュール APDモジュール 大脳皮質 蛍光 フォトダイオードモジュール オプティクスモジュール 散乱光 KACCC0593JA KACCC0594JA 細胞の種類・数・核酸 (DNA、RNA)などを検出するために、細胞 を含んだ溶液を高速に流して、レーザ光を照射します。それにより 発生する微弱な蛍光をとらえます。 大脳皮質の血液量の変化を観察するために、近赤外線を頭皮上か ら照射してAPDモジュールが散乱光を検出することによって、血液 中のヘモグロビン濃度の変化をとらえます。 走査型レーザ検眼鏡 (SLO: Scanning Laser Ophthalmoscope) 蛍光計測 スキャナ PC 試薬 MPPCモジュール ビームスプリッタ 発光 共焦点 MPPCモジュール ピンホール APDモジュール サンプル 半導体レーザ KACCC0595JB 眼底検査においては、眼球に入射させるレーザ光は安全面から制限 されるため低光量になります。MPPC モジュール・APD モジュー ルは、眼球からの微弱な反射光を優れた解像度・コントラストで検 出するために利用されます。 パーティクルカウンタ KACCC0664JA サンプルからの微弱な蛍光を MPPC モジュールが計測します。 PET (Positron Emission Tomography) 癌の 位置情報 光源 対消滅γ線 MPPCモジュール APDモジュール 被験者 KACCC0764JA 気体あるいは液体に粒子が入っているチャンバーにレーザを透過さ せ、粒子からの散乱光を検出することで粒子の数量と粒径の分布が 得られます。 9 光半導体モジュール MPPCモジュール （アレイタイプ） KACCC0598JA 360°に配置された MPPCが 対消滅γ線を検出し、その交差する 点から、癌などのターゲットの位置をとらえます。 放 射 線 検出モジュール C12137-08 C12137-08D リアルタイム食品検査など C12137シ リ ーズ は、シ ン チ レ ー タとMPPC C12137-10 C12137-10D リアルタイム食品検査など (Multi-Pixel Photon Counter)を内蔵した、 137 Cs (セシウム137)などからのγ線検出を目的とする モジュールです。入射したγ線をシンチレータにて可視光 に変 換し、MPPCで極 微 弱な光まで検 出して、低 エネル ギーγ線を高精度に計 測することが可能です。信号処理 回路やA/D変 換回路をコンパクトな 筐体に収めており、 C12137 C12137-00D ポータブル高感度検出器 モニタリングポストなど USBインターフェースに対応しています。 C12137-01 C12137-01D 食品検査など USBタイプ 項目 C12137 C12137-01 C12137-08 C12137-10 単位 外形寸法 (W × D × H)*1 110 × 55 × 27 71 × 55 × 60.5 112 × 94 × 53.3 122 × 122 × 53.3 mm 120 320 1130 1570 g 質量 検出素子 MPPC シンチレータ CsI(Tl) シンチレータサイズ (W × D × H) 13 × 13 × 20 2 - 38 × 38 × 25 40 計数効率 min.* エネルギー範囲 - 80 × 80 × 25 400 0.03 ∼ 2 エネルギー分解能*3 測定範囲 (線量当量率 )*4 ϕ110 × 25 8 8.5 0.01∼100 0.001∼10 2000 cpm 0.06 ∼ 2 MeV 9 10 ±20 測定誤差*6 mm % *5 µSv/h *5 % サンプリング時間 1∼60秒設定可 - インターフェース USB 2.0 (Full Speed) - Windows 7 SP1 (32 ビット , 64 ビット ) - USB バスパワー (150 mA typ., 500 mA max.) - 対応 OS 電源 RS-232Cタイプ 項目 C12137-00D C12137-01D C12137-08D C12137-10D 単位 外形寸法 (W × D × H)*1 110 × 55 × 27 71 × 55 × 60.5 112 × 94 × 55.6 122 × 122 × 55.6 mm 160 360 1170 1610 g 質量 検出素子 MPPC シンチレータ CsI(Tl) 13 × 13 × 20 シンチレータサイズ 計数効率 min.*2 40 エネルギー範囲 測定誤差*6 - 400 8 4 8.5 0.01∼100 ϕ110 × 25 80 × 80 × 25 0.03 ∼ 2 エネルギー分解能*3 測定範囲 (線量当量率)* 38 × 38 × 25 - 2000 cpm 0.06 ∼ 2 MeV 9 10 * 0.001∼10 ±20 mm 5 *5 % µSv/h % サンプリング時間 10∼60 秒設定可 インターフェース RS-232C (EIA-232-E) - 115200 bps +5 V (200 mA typ., 500 mA max.) - ビットレート 電源 *1: *2: *3: *4: *5: *6: *7: - ケーブル、コネクタを除く 137 Cs, 0.01 μSv/h 137 Cs, 662 keV 137 Cs, 662 keV*7, 環境放射線による C12137-08/-08D/-10/-10D は、G (E)関数による線量当量率への変換は行いません。 遮蔽物による減衰、計数揺らぎを除く 本製品の測定範囲は、137Cs にて規定されています。低エネルギー放射線が支配的な環境放射線を検出する場合、最大測定値が1/3∼1/2程度になります。 光半導体モジュール 10 放射線検出モジュール 測定例 セシウム137線源 (エネルギースペクトラム) 環境放射線 (時間変化) 応用例 除染確認 環境 モニタリング 原子力 発電所 除染作業 廃炉作業 受入検査 個人被爆 モニタリング 海洋 モニタリング 出荷検査 受入検査 水揚検査 食品工場 生物 モニタリング 漁港 関連製品 チャージアンプ H4083 （フォトダイオードとともに使用して X 線・放射線・ 高エネルギー検出を行うための低ノイズアンプ） 11 光半導体モジュール ミニ分 光 器 ミニ分光器はグレーティングなどの光学素子、 イメージセンサをコンパクトにまとめたもので、 駆動回路を内蔵しているモジュールタイプ、内 蔵していないヘッドタイプがあります。 ミニ分光器を支える要素技術 光学系配置図 (代表例: TGシリーズ) グレーティングのSEM写真 フォーカスレンズ 透過型グレーティング イメージセンサ コリメートレンズ 入射スリット KACCC0256JA ミニ分光器内蔵のイメージセンサ ミニ分光器 (TM/TGシリーズ) の波長分散素子として、ホログラ フィック加工による透過型グレーティング (石英) を採用しています。 ホログラフィック加工は、量産性において優れた技術で、レプリカで はなく直接母体に加工できるため高精度な分光が可能となり、測定の スループット向上と迷光レベルの低減が可能になります。 また、ミニ分光器の心臓部となる検出器には、分析/計測業界で長年 実績のある当社製イメージセンサを使用しています。 これらの要素技術を用いて、ミニ分光器は開発・製造されています。 応用例 ディスプレイ色計測 膜厚測定 マイクロ分光器 液晶ディスプレイ KACCC0599JB 液晶ディスプレイの発光スペクトルをミニ分光器でモニタします。 ミニ分光器 KACCC0600JA 白色干渉法を用いて、スペクトルのピーク数、膜の屈折率、光の入 射角度から膜厚を測定します。 光半導体モジュール 12 ミニ分光器 プラスチック選別 蛍光測定 トリガ信号 受光部 ミニ分光器 ミニ分光器 近赤外線 励起光源 エアノズル 被験物 KACCC0601JA プラスチックに近赤外線を照射すると材質により吸収される波長が 異なることを利用し、プラスチックの選別を行います。 KACCC0602JA 蛍光灯、有機ELデバイスなどの蛍光材料の発光スペクトルを測定し ます。 (指定のない場合はTyp.) 型名 写真 W × D × H (mm) タイプ 高感度 TM-UV/VIS-CCD C10082CA C10082CAH C10082MD 95 × 92 × 76 T M シリーズ 94 × 90 × 55 C10083CA C10083CAH 95 × 92 × 76 6 max. 高分解能 TM-VIS/NIR-CCD 1 typ. (320∼900 nm) 320∼1000 8 max. 3 max. 200∼400 1 typ. シリーズ 高感度 TG-SWNIR-CCD-II 500∼1100 C11713CA 高分解能 TG-RAMAN-I 500∼600 C11714CB 高分解能 TG-RAMAN-II 790∼920 125.7 × 115.7 × 75 C11482GA 120 × 70 × 60 非冷却型 TG2-NIR 38.5 × 106 × 86 シリーズ T G C9913GC C9914GB C11118GA 142 × 218 × 80 C13053MA シリーズ F T C13054MA C13555MA 80 × 60 × 12 C11007MA 55 × 48 × 100 C11009MA 28 × 28 × 28 C11010MA 35 × 20 × 28 C12666MA C12880MA 光半導体モジュール 20.1 × 12.5 × 10.1 M S 分光器 マイクロ 27.6 × 13 × 16.8 シリーズ C11708MA シリーズ C11008MA R C 1 typ. 8 max. (320∼900 nm) 高分解能 TG-UV-CCD T G C9405CB 13 200∼800 高感度 TM-VIS/NIR-CCD 高感度 TG-UV-CCD 125.7 × 115.7 × 75 波長分解能 (nm) 6 max. トリガ対応 TM2-VIS/NIR-MOS-II 94 × 90 × 55 C9404CA C9404CAH 高分解能 TM-UV/VIS-CCD 広ダイナミックレンジ TM-UV/VIS-MOS 広ダイナミックレンジ TM-VIS/NIR-MOS C10083MD C11697MB 感度波長範囲 (nm) 低ノイズ (冷却型) TG-cooled-NIR-I 5 max. (550∼900 nm) 裏面入射型CCD イメージセンサ ● 微弱光の分光計測 (蛍光計測など) に適している CMOSリニア イメージセンサ ● 光量の大きい環境下での使用に適している (光源のスペクトル計測、吸光度測定など) 裏面入射型CCD イメージセンサ ● 微弱光の分光計測 (蛍光計測など) に適している CMOSリニア イメージセンサ ● 光量の大きい環境下での使用に適している (光源のスペクトル計測、吸光度測定など) 高感度CMOSリニア イメージセンサ ● トリガ機能付き パルス発光による分光計測に適している 裏面入射型CCD イメージセンサ ● 微弱光の分光計測 (蛍光計測など) に適している 赤外高感度 裏面入射型CCD イメージセンサ ● ● 近赤外高感度 微弱光の分光計測 (蛍光計測など) に適している 赤外高感度 裏面入射型CCD イメージセンサ ● ラマン分光測定に適している InGaAsリニア イメージセンサ ● NIR (近赤外域)用 低ノイズの冷却型を用意 1100∼2200 8 max. 低ノイズ (冷却型) TG2-cooled-NIR-III 900∼2550 20 max. 小型・薄型 FT2-SWIR-MOS-II 500∼1100 3.5 max. 小型・薄型 FT2-RAMAN 790∼920 0.4 typ. 小型・薄型 TG2-VIS 340∼830 3 max. 高感度CMOSリニア イメージセンサ 分光器モジュール RC-VIS-MOS 340∼780 9 max. CMOSリニア イメージセンサ 640∼1050 8 max. 赤外高感度CMOS リニアイメージセンサ 340∼780 9 max. CMOSリニア イメージセンサ 分光器ヘッド RC-SWNIR-MOS 640∼1050 8 max. 赤外高感度CMOS リニアイメージセンサ 分光器ヘッド MS-SWNIR-MOS 640∼1050 20 max. 分光器ヘッド RC-VIS-MOS 分光器ヘッド 340∼780 15 max. 分光器ヘッド 340∼850 ● 7 max. 低ノイズ (冷却型) TG-cooled-NIR-II 分光器モジュール RC-SWNIR-MOS 特徴 裏面入射型CCD イメージセンサ 0.3 typ. 900∼1700 内蔵イメージセンサ 高感度CMOSリニア イメージセンサ ● ● ● ● ● 薄型 トリガ機能付き 小型 低価格 ● 機器組み込み用 CMOSリニア イメージセンサ ● 近赤外用 CMOSリニア イメージセンサ ● 広いダイナミックレンジ ● 高感度 同時蓄積 高感度CMOSリニア イメージセンサ ● 距 離センサ 距離センサは、光学式の距離計です。赤色半導 体レーザを光源として、検出対象に貼った反射 シートまでの距離を計測します。 (Typ.) 型名 写真 W × D × H (mm) C9417-10 計測距離範囲 (m) 計測分解能 (mm) 0.15∼50 計測精度 (mm) 特徴 ±3 50 mまで3 mmの精度で計測し、0.1 mmまたは1 mm単位で出力 ±4 100 mまで4 mmの精度で計測し、0.1 mmまたは1 mm単位で出力 ±5 150 mまで5 mmの精度で計測し、0.1 mmまたは1 mm単位で出力 40 × 120 × 70 C7776-10 0.3∼100 0.1または1 54 × 163 × 101 C7776-50 0.3∼150 54 × 163 × 101 応用例 ①レベルメータ 川の水位、積荷の高さ・形状・体積を計測します。 ①レベルメータ ②レーザレーダ 移動物体の距離や速度を計測します。 ③自動倉庫内クレーンの位置制御 ②レーザレーダ クレーンの走行や昇降の制御を高速・高精度に 行います。 ④エリア検知センサ 扉の開閉の自動制御を行います。 ③自動倉庫内 クレーンの位置制御 ①レベルメータ ④エリア検知センサ 光半導体モジュール 14 光の 位 置、光 量、色 検出モジュール フォトダイオードモジュール、 フォトセンサアンプ フォトダイオードモジュールは、Siフォトダイオードを内 蔵しI/V変換回路を一体化した高精度な光検出器です。ア ナログ電圧出力のため、電圧計などを使って簡単に信号 を測定することができます。 フォトセンサアンプは、フォトダイオードの微弱な光電流 を低ノイズで増幅する電流−電圧変換アンプです。 フォトダイオードモジュール、信号処理ユニット 写真 W×D×H (mm) 型名 C10439-01 C10439-02 C10439-03 C10439-07 C10439-08 C10439-09 C10439-10 C10439-11 ● 19 × 46 × 52 フォト ダイオード タイプ 特徴 ● InGaAs 19 × 50 × 52 ● C10475 Si フォトダイオード内蔵 光量モニタ・色差計・ 流量計などに適している 110 × 100 × 30 受光面 サイズ (mm) 2.4 5.8 10 2.4 5.8 10 × 2.4 × 5.8 × 10 × 2.4 × 5.8 × 10 ϕ1 ϕ3 C10439シリーズ用信号 処理ユニット (Typ.) 変換インピー 周波数帯域 最大 ダンス -3 dB 出力電圧 出力ノイズ (V/A) (Hz) (V) (mVp-p) 受光感度 (mV/nW) H: 10 9 L: 107 H: 500 L: 5 H: 0.5 L: 0.005 H: 1 L: 0.01 - - 出力 H: 10 L: 1 k H: 10 6 L: 10 4 H: 1 k L: 100 k - - Vcc - 0.2 2 外部電源 アナログ (±5∼±12 V) - - RS-232C フォトセンサアンプ 写真 W×D×H (mm) 型名 ● 115 × 90 × 40 C8366 ● ● C8366-01 19 × 52 × 46 ● C9051 ● 50 × 19 × 50 ● C9329 ● 115 × 90 × 40 ACアダプタ (+12 V) または乾電池 (9 V × 1個) (指定のない場合はTyp.) フォトダイオード 受光感度 (mV/µW) 特徴 ● C6386-01 電源 内蔵 光ファイバ付き (光ファイバ受光 プラズマモニタ・金属・ガラス 開口サイズ の傷検知などに適している ϕ 2 mm, NA 0.56) 別売 （高速Si PIN PD 受光面サイズ 高速･小型 ϕ0.4∼ ϕ5 mm） 高速光計測 (レーザパワー 別売 モニタ)などに適している (高速InGaAs PIN PD 受光面サイズ ϕ0.3∼ϕ0.5 mm) 小型基板タイプ 別売 (端子間容量 光パワーメータ・照度計 15 nF以下) などに適している 超低ノイズ・高ゲイン 微弱光検知・精密測光に 適している 別売 (端子間容量 5 nF以下) 変換インピー 周波数帯域 最大 ダンス -3 dB 出力振幅 出力ノイズ (V/A) (mVp-p) (Hz) (V) 30 H 105 3 M 10 4 L 3 0.3 10 - 103 - 10 8 - 10 9 107 L 5 10 外部電源 (±15 V) DC∼3 M +10 min. 10 max. アナログ または乾電池 (9 V × 2個) DC∼10 M DC∼16 H 電源 DC∼1 M DC∼100 M +3 min. M 出力 3 +4 min. 0.5 max. アナログ ACアダプタ (+12 V) DC∼16 DC∼1.6 k アナログ 外部電源 (±15 V) ±5 min. 0.5 max. アナログ ACアダプタ (+12 V) RS-232C または乾電池 (9 V × 1個) 注 ) 詳細はデータシートを参照してください。カスタム品にも対応可能です。営業窓口までお問い合わせください。 変換インピーダンス−遮断周波数 変換インピーダンス (V/A) 高感度 微弱光検出用 フォトセンサアンプ (小型基板タイプ) C9051 フォトダイオードモジュール C10439-01/-02/-03 フォトセンサアンプ (微弱光用) C9329 フォトダイオード モジュール フォトセンサアンプ C10439-07/-08/-09 (光ファイバ付き) /-10/-11 C6386-01 フォトセンサアンプ (広帯域) C8366/-01 1010 109 108 107 106 105 104 103 102 101 100 0 10 101 102 103 104 105 106 107 108 ブロック図 フォトダイオードモジュール、フォトセンサアンプ フォトダイオードモジュール C10439シリーズ フォトセンサアンプ C6386-01 フォトセンサアンプ C9329 フォトセンサアンプ C8366/-01, C9051 GND デジタル出力 A/D 変換回路 マイコン RS-232C ラインドライバ 電源部 フォト ダイオード 高速パルス検出用 KACCB0189JC 光半導体モジュール 入力 RF I/V 変換 A/D 変換回路 遮断周波数 (Hz) 広帯域 15 フォトダイオードモジュール用信号処理ユニット C10475 フォトダイオードモジュール用 信号処理ユニット C10475 KACCC0409JB KACCC0614JA 光の位置、 光量、色検出モジュール フォトダイオードモジュールの接続例 フォトダイオードモジュール 信号処理ユニット フォトダイオード モジュール 接続ケーブル (電源用)*1 C10439シリーズ (フォトダイオード内蔵) BNC-BNCケーブル (信号用)*1 電源、 PC AC 100∼240 V 50/60 Hz ACアダプタ*1 C10475 RS-232Cケーブル PC *1: 信号処理ユニット C10475の付属品 フォトセンサアンプの接続例 Siフォトダイオード フォトセンサアンプ 電源、 測定器、PC AC 100∼240 V 50/60 Hz ArFエキシマレーザ用 超低ノイズ・高ゲイン ACアダプタ*3 BNCケーブル S8551, S8552, S8553 BNC-BNCケーブル 電圧計 オシロスコープなど 精密測光用 C9329*2 RS-232Cケーブル BNCケーブル 赤外高感度 S2386/S2387シリーズ 紫外∼赤外域用 S1336/S1337シリーズ 赤外感度抑制タイプ S1226/S1227シリーズ PC AC 100∼240 V 50/60 Hz 小型基板タイプ BNC付き ACアダプタ*3 BNC-BNCケーブル BNC-BNCケーブル 電圧計 オシロスコープなど C9051 BNCケーブル S2281シリーズ PC (A/D変換ボード装備) 高速Si PINフォトダイオード C8366の ソケットに リードを 挿入 高速タイプ C8366 電源ケーブル*3 S3071, S3072, S3399, S3883, S5821 S5971, S5972, S5973シリーズ 電源 (±15 V) 高速InGaAs PINフォトダイオード C8366-01 BNC-BNCケーブル 電圧計 オシロスコープなど G8376-03/-05 G10899-003K/-005K G12180-003A/-005A 光ファイバ付き (フォトダイオード内蔵) BNCケーブル PC (A/D変換ボード装備) C6386-01*2 *2: 0006P型9 V角型乾電池による駆動も可能 *3: フォトセンサアンプの付属品 光半導体モジュール 16 PSDモジュール、 PSD信号処理回路 PSDモ ジ ュ ー ル は、PSD (Position Sensitive Detector: 位置検出素子)とI/V変換回路をコンパクトなケースにまとめ た位置検出モジュールです。PSDモジュール用信号処理ユニッ ト (別売)とともに使用することによって、位置信号をアナログ 出力とデジタル出力の2系統で取得することができます。 PSD信号処理回路は、PSDからの光電流をI/V変換回路で 電圧に変換します。その後、信号処理を行いアナログ電圧を出 力するタイプとA/Dコンバータでデジタルデータに変換して 出力するタイプがあります。 PSDモジュール、信号処理ユニット 写真 W×D×H (mm) 型名 (Typ.) 受光面サイズ (mm) 特徴 位置分解能 位置検出誤差 (µm) (µm) 4×4 C10443-01 C10443-02 9×9 2次元PSD内蔵 ● C10443-03 C10443-04 1 1.4 12 × 12 34 × 40 × 44 C10443-06 C10460 ● 4分割フォトダイオード内蔵 ● C10443シリーズ用 信号処理ユニット 150 × 100 × 30 ±70 0.5 ±150 4.2 出力 電源 サンプル ソフト ウェア アナログ 外部電源 (±5 V∼±12 V) - 周波数帯域 A/D -3 dB (ビット) (Hz) DC∼16 k DC∼16 k - DC∼160 k 10 × 10 - - DC∼160 k - 5 *1 13.5 k 16 アナログ ACアダプタ RS-232C (+12 V) ○ *1: ±3% PSD信号処理回路 (Typ.) 対応PSD 写真 W×D×H (mm) 型名 受光面サイズ (mm) 型名 S4581-04 S4583-04, S8673 C3683-02 S4584シリーズ, S3274-05 56 × 66 × 15.5 1次元 PSD S7105シリーズ S5629シリーズ, S3931 75 × 110 × 15 C4674-01*3 65 × 90 × 15.5 2次元 PSD C9069*3 75 × 110 × 15 1×2 2.5 1×3 1 × 3.5 3.8 4.4 1 × 4.2 1×6 変換インピー 周波数帯域 A/D ダンス -3 dB (V/A) (ビット) (Hz) 出力 電源 サンプル ソフト ウェア 1 × 10 4 1 × 105 1 × 10 6 16 k - アナログ 外部電源 (±15 V) - 1 × 105 *2 12 RS-232C ACアダプタ (+12 V) ○ 1 × 10 4 1 × 105 1 × 10 6 16 k - アナログ 外部電源 (±15 V) - 1 × 105 *2 12 RS-232C ACアダプタ (+12 V) ○ 5.3 7.5 S8543 1 × 12 0.7 × 24 30 S3270 1 × 37 47 S5990-01 4×4 1 S5991-01 9×9 1.2 S2044 4.7 × 4.7 2.3 S1880 12 × 12 3 S3932 C9068 位置分解能 (µm) 15 *2: 信号変換時間=5 ms min. *3: 4 分割フォトダイオードにも対応しています。詳細は営業窓口までお問い合わせください。 注) 詳細はデータシートを参照してください。カスタム品にも対応可能です。営業窓口までお問い合わせください。 ブロック図 PSDモジュール C10443シリーズ PSDモジュール用信号処理ユニット C10460 PSD信号処理回路 C3683-02 アナログ出力 出力 VX1 Y2 X1 2次元 PSD COM 出力VX1 出力VX2 出力VY1 出力VY2 GND X2 I/V 変換 回路 出力 VX2 出力 VY1 出力 VY2 Y1 +Vcc 光量モニタ VREF I/V 変換回路 C10443シリーズ 信号入力 VX1 VX2 VY1 VY2 GND 信号処理 回路 出力 PSD光電流 X Y 光量モニタ出力 アナログ演算回路 DX DY 位置出力 GND GND バイアス回路 差動信号 Cf Rf VR デジタル出力 -Vcc A/D 変換回路 マイコン RS232C ライン ドライバ SD RD GND GND バイアス 回路 +Vcc GND -Vcc KACCC0423JA KACCC0345JA 17 光半導体モジュール C10443シリーズ 電源供給 +12 V GND -12 V 電源入力 電源回路部 DC+12 V GND KACCC0615JB 光の位置、 光量、色検出モジュール PSDモジュール、信号処理ユニットの接続例 PSDモジュール 信号処理ユニット 電源、 測定器、PC AC 100∼240 V 50/60 Hz ACアダプタ*4 PSDモジュール 接続ケーブル (信号／電源用)*4 アナログ出力用 ケーブル*4 C10443シリーズ (PSDまたは4分割 フォトダイオード内蔵) 電圧計 オシロスコープなど C10460 RS-232Cケーブル PC *4: 信号処理ユニット C10460の付属品 PSD信号処理回路の接続例 PSD PSD信号処理回路 電源、測定器、PC 1次元PSD アナログ電圧出力 電源 (±15 V) 9本バラ線 プラスチック パッケージ S4581-04, S4583-04 S8673 S4584シリーズ S3274-05 S7105シリーズ S5629シリーズ C3683-02 電圧計・オシロスコープ用 プローブ (× 2) 電圧計 オシロスコープなど シールド線 (3芯) PC (A/D変換ボード装備) RS-232C出力 セラミック パッケージ S3931*5 S3932*5 S8543 S3270 ACアダプタ*6 AC 100∼240 V 50/60 Hz C9068 RS-232C出力 RS-232Cケーブル PC 2次元PSD C9069 表面実装型 S5990-01, S5991-01 S5990/S5991-01 搭載用基板*6 アナログ電圧出力 電源 (±15 V) 9本バラ線 シールド線 (5芯) セラミック／メタル パッケージ S1880*5 , S2044*5 C4674-01 電圧計・オシロスコープ用 プローブ (× 2) 電圧計 オシロスコープなど PC (A/D変換ボード装備) *5: PSD 信号処理回路に直接実装も可能 *6: PSD信号処理回路の付属品 光半導体モジュール 18 応用例 自動改札装置 自動販売機 フォトダイオード モジュール フォトダイオード アレイモジュール KACCC0603JA KACCC0604JA 紙幣の真贋判定をするためにフォトダイオードアレイモジュールが紙 幣の幅や長さを検知します。 フォトダイオードモジュールにより、乗客や手荷物を検知し、改札 処理の誤認を軽減します。 IHクッキングヒータ 血液分析 オプティクス・モジュール フォトダイオード モジュール KACCC0605JA フォトダイオードモジュールが鍋底の温度を検知します。 オプティクス・モジュールによって、血液に照射した光の反射から、 血糖値 (グルコース濃度)を測定します。 カメラ/オートフォーカス LED KACCC0606JA 太陽位置検知 PSD フォトダイオード モジュール PSDモジュール KACCC0607JA 被写体に照射した赤外線の反射光をPSDモジュールが検出すること によって、被写体までの距離を計算します。 19 光半導体モジュール KACCC0608JA フォトダイオードモジュール (またはPSDモジュール)が太陽光を検 知し、シャッタ／ブラインド開閉の制御を行います。 光の位置、 光量、色検出モジュール カラーセンサモジュール カラーセンサを内蔵したモジュールに加え、カラーセンサ を実装できる評価回路も用意しています。これらは、液晶 ディスプレイの色監視用や簡易色検出用などに用いられ ます。 カラーセンサモジュール、カラーセンサ評価回路 製品名 (Typ.) カラーセンサモジュール 型名 C9303-03 C9303-04 標準タイプ 高ゲインタイプ カラーセンサ評価回路 C9315 C9331 写真 ● ● 特徴 ● 液晶バックライト導光板の側面に 付く小型設計 ● ● 光源を搭載 カラーセンサを搭載 変換インピーダンス × ○ ○ × − 可変 (1 × 10 5∼5.1 × 10 5 Ω) デジタル出力周期 0.2 s DC∼14 kHz (-3 dB) × ○ DC∼2.4 kHz (-3 dB) ○ ● 用途 ● 液晶バックライト (RGB-LED型)の ホワイトバランス検出 ● ● ● 付属品 ● 当社製カラーセンサ (S7505-01, S9032-02)を実装できる電流−電圧 変換アンプ ○ (白色LED) DC∼16 kHz (-3 dB) 光源の測定 ● × R: 680 kΩ G: 680 kΩ B: 680 kΩ R: 91 kΩ G: 91 kΩ B: 100 kΩ 帯域 物体色のRGB情報の測定用 白色LEDの光源をもち、 反射光を RGBデータに変換してPCに出力 対物ファイバで微小エリアを測定 12ビットデジタル出力 (RS-232C準拠) コネクタ付専用ケーブル ● ● 物体色の測定 不透明体 (成型品、塗装、印刷、化粧品など) の色監視 簡易的に色差を検知 ● ● 光源色の測定 S7505-01・S9032-02の評価 専用ACアダプタ サンプルソフトウェア (データ取り込み、 記録、CIE非準拠の相対色度Yxy表示) 白基準カード − 応用例 液晶バックライト色調整 製品の色検査 カラーセンサモジュール カラーセンサモジュール RGB-LED KACCC0609JA 液晶バックライト導光 板のホワイトバランスを検出し、RGB-LED の光量を制御して、液晶バックライトの色を安定化させます。 KACCC0610JA カラーセンサモジュール内蔵のLEDの光を物体に照射し、反射光を RGBの3パラメータで処理することにより、物体の色差を検出します。 光半導体モジュール 20 バランス検出器 特性のバランスがとれた2 つの当社製フォトダイオード を内蔵した差動増幅型の光−電気変換モジュールです。 それぞれのフォトダイオードの光電流を相殺する向きに フォトダイオードを接続しており、 2 つの入射光のコモン モードノイズを相殺し、微小な光量の差を変位信号とし てとらえ、電 気信号に変換して出力します。また、入 射光 の多重 反射の発生を抑える当社独自の構造を採用する ことにより、多重反射によるノイズの軽減を可能にしまし た。本製品は、眼科診断などに用いられるOCT (Optical Coherence Tomography: 光 干渉断層計) へ の応用が 可能です。被検体からの後方散乱光と参照光とを干渉さ せたときに発生する微小な信号光の差を、バランス検出 器で電気信号に変換できます。 特長 ■ ■ ■ 入射光の波長 (1.0 µmまたは1.3 µm)において、多重反射 を軽減する当社独自の構造を採用 遮断周波数: 200 MHz 同相信号除去比 (CMRR: Common-Mode Rejection Ratio): 35 dB typ. 写真 W×D×H (mm) 型名 C12668-01 内蔵フォトダイオード トランスインピー ダンスゲイン 最適波長帯*1 (V/A) (μm) ■ ■ 入力部: FCレセプタクル (APC研磨) FCコネクタ付シングルモードファイバを接続可能 出力部: SMAレセプタクル 小型 周波数帯域 -3 dB (Hz) 同相信号 除去比*2 (dB) 出力雑音電圧 max. (mVp-p) 入力 出力 電源 DC∼200 M 35 40 FC/APC SMA 外部電源 (±12 V) 1.0 3 × 104 C12668-02 ■ 65 × 75×25 1.3 *1: 多重反射を最も軽減できる波長帯 *2: 約70 µWの光をINPUT-端子のみに入力したときとINPUT+/-端子に入力したときの出力差 ブロック図 接続例 光干渉断層計 参照光用ミラー アンプ 眼球 Mon- INPUT- I/Vアンプ アンプ OUT 波長掃引光源 干渉光 INPUT+ アンプ Mon+ DAQインターフェース + PC KACCC0761JA バ ンス バラ ンス検 検出 検出器 バランス検出器 KACCC0762JA 21 光半導体モジュール 光の位置、 光量、色検出モジュール フレームアイ フレームアイは、給湯器や暖房機器における炎センサです。炎か ら放射される光を検出し、燃焼状態を監視します。従来のCdS S10109 (サイドオンタイプ) 光導電素子ではなくフォトICダイオードを内蔵しているため、安 定した検出が可能です。センサをケーブルアセンブリに一体化し S10108 (ヘッドオンタイプ) ており、機器への取り付けが容易です。光入射方向の異なる2タ イプ (ヘッドオンタイプ、サイドオンタイプ)を用意しています。 応用例 特長 ■ ■ ■ ■ フォトICダイオードを内蔵 フォトダイオードで発生する光電流を約1300倍に増幅して 出力します。 電流出力のため、逆電圧を印加したフォトダイオードと同等 に使用できます。 オイルバーナー光などの検出に適した分光感度特性 ケーブル付きのため機器への取り付けが容易 出力電流のバラツキが小さく、良好な出力直線性 給湯器の炎燃焼状態を観察 フレームアイ KACCC0611JA 炎から放射される光を検出し、燃焼状態を監視します。 日射センサ 日射センサは、日射量などの周囲光量を検出します。光量 に対して優れた直線性をもったフォトダイオードが、小型 のコネクタ付ケースに内蔵されています。 特長 S8369 ■ 高信頼性 (車載対応) ■ カバーの光学設計により、用途に合わせた指向性が実現可能 ■ 可視光センサ・近赤外光センサから選択が可能 応用例 オートライトセンサ 日射センサ 日射センサ KACCC0612JA 日射量を検出し、車載オートエアコンの風量を制御するために使用 されます。 日射センサ KACCC0613JA 周囲光量を検出し、トンネルなどでヘッドライトを自動的に点灯さ せます。 光半導体モジュール 22 赤 外 線 検出素 子・イメージセンサの応 用製品、回路 プリアンプ付赤外検出モジュール プリアン プと 各 種 の 赤 外 線 検 出 素 子を 一 体化した モ ジュールで、さまざまな波長域に対応した製品を取りそろ えています。直流電源を接続するだけで赤外線を検出す ることができます。 (Typ.) 測定条件 タイプ 型名 写真 受光面サイズ 検出素子 (内蔵) (mm) G6121 冷却 素子温度 (°C) 非冷却 25 長波長側カットオフ 最大感度波長 ϕ5 InGaAs (G8370-05) 常温型 ϕ4.6 C12496-046 フォトンドラッグ (B749) C12485-210 InGaAs (G12182-210K) (µm) (µm) 1.7 1.55 - 10.6 2.05 1.95 2.56 2.3 1.66 1.55 ϕ1 電子冷却型 C12486-210 InGaAs (G12183-210K) -15 C12483-250 InGaAs (G12180-250A) ϕ5 C12492-210 InAs (P10090-21) ϕ1 -28 3.45 3.25 P4631-03 InSb (P6606-310) 1 ×1 -58 6.3 4.5 G7754-01 InGaAs (G12183-010)*1 ϕ1 2.4 2.0 G7754-03 InGaAs (G12183-030)*1 ϕ3 P7751-01*2 InSb (P5968-060) ϕ0.6 5.5 5.3 P7751-02*2 InSb (P5968-200) ϕ2 電子冷却 メタルデュワ型 液体窒素 -196 *1: チップ *2: FOV=60° 分光感度特性 常温型 電子冷却型 D* (λ, 1200, 1) (cm · Hz1/2/W) D* (λ, 1200, 1) (cm · Hz1/2/W) 1012 G6121 1011 1010 109 P4245* 8 10 1 2 * (λ, 600, 1) 23 光半導体モジュール 3 4 5 6 (Typ.) 1013 1012 G7754-01/-03 C12486-210 1011 P4631-03 1010 109 C12492-210 108 107 106 105 KIRDB0187JC 12 10 P7751-01/-02 11 10 1010 109 1 2 3 4 5 6 7 波長 (µm) 波長 (µm) (Typ. Td=-196 °C) 1013 C12483-250 C12485-210 D* (λ, 1200, 1) (cm・Hz1/2/W) (Typ. Ta=25 °C) 1013 メタルデュワ型 0 1 2 3 4 5 6 波長 (µm) KIRDB0613JA KIRDB0612JA 赤外線検出素子・イメージセンサの応用製品、 回路 マルチチャンネル検出器ヘッド 単素子センサに比べ駆動するためのエレクトロニクスや 信号処理が複雑なイメージセンサ用に、センサを組み込 んで使用できるマルチチャンネル検出器ヘッドを用意し ています。コントローラおよびソフトウェアと組み合わせ て簡単にデータ収集ができます。 タイプ 表面入射型CCD イメージセンサ用 裏面入射型CCD イメージセンサ用 NMOSリニア イメージセンサ用 型名 C7020-02 S9972シリーズ C7021 アナログ C7021-02 S9971-0906/-1006/-1007 S9973-1007 C7025 S9971-1008 C7025-02 S9973-1008 C7040 S7030シリーズ, S11500-1007 C7041 S7031シリーズ C7043 S7033シリーズ C7044 アナログ C7180 S7034シリーズ S7170-0909 C7181 S7171-0909-01 C10150 S10140シリーズ C10151 S10141シリーズ C5964シリーズ アナログ C8892 CameraLink C8061-01 アナログ C8062-01 InGaAsエリア イメージセンサ用 適合センサ S9970シリーズ C10854 InGaAsリニア イメージセンサ用 出力 C7020 C11512 C11512-01 CameraLink 別売 別売 S5930/S5931/S8382/S8383シリーズ 内蔵 S3901∼S3904/S8380/S8381シリーズ (S3901-1024Q, S3904-2048Qを除く) 別売 G10768シリーズ G9201/G9203/G9211/G9213-256S G9202/G9204/G9212/G9214-512S G9205/G9206/G9207/G9208-256W G9205/G9206/G9208-512W G9206-02 G11097-0606S, G12460-0606S G11097-0707S 別売 別売 関連製品 マルチチャンネル検出器 ヘッド用コントローラ C7557-01 (アナログ出力タイプCCD/NMOS/InGaAs マルチチャンネル検出器ヘッドに対応) 光半導体モジュール 24 赤外線検出素子・イメージセンサの応用製品、 回路 イメージセンサ用回路 CCD/NMOS/CMOSイメージ セ ン サ 用 の 駆 動 回 路、 パルスジェネレータです。 タイプ 型名 C11287 CCDイメージセンサ用 駆動回路 NMOSイメージセンサ用 駆動回路 NMOSイメージセンサ用 パルスジェネレータ デジタル 信号周波数: 4 MHz, USB 2.0 S11071シリーズ デジタル 信号周波数: 6 MHz, USB 2.0 S11155/S11156-2048-01 C11165-02 デジタル 信号周波数: 6 MHz, USB 2.0 S11155/S11156-2048-02 C11860 デジタル 単一電源, USB 2.0対応 S11850-1106 C7884, C7884G* アナログ 高精度, 電流出力タイプ S3901∼S3904シリーズ S8380/S8381シリーズ (S3901-1024Q, S3904-2048Qを除く) C7884-01, C7884G-01* アナログ 低ノイズ, 電流出力タイプ C8225-01 - マスタースタート間隔: 1 µs∼50 s C7884シリーズ (1→2→5シーケンス) アナログ 単一 (+5 V)電源動作 S8377/S8378シリーズ C10808シリーズ アナログ 蓄積時間可変機能対応 S10111∼S10114/S10121∼S10124 シリーズ C13015 デジタル USB 2.0対応, USBバスパワー S11639 C10820 アナログ 微弱光に対応した高ゲイン設定 G9494シリーズ デジタル USB 2.0対応, USBバスパワー G11620シリーズ デジタル CameraLink対応 G11135シリーズ * パルスジェネレータ実装タイプ 光半導体モジュール 適合センサ C11165-01 InGaAsイメージセンサ用 C11513 駆動回路 C11514 25 特徴 信号周波数: 250 kHz, USB 2.0, デジタル S10420-01/S11510シリーズ USBバスパワー C11288 C9001 CMOSイメージセンサ用 駆動回路 出力 別売 浜松ホトニクス製品に関する注意事項とお願い 弊社の製品は、一般電子機器 (計測機器、事務機器、情報通信機器、家電機器など)に使用される ことを意図しており、個別製品資料に記載されている場合を除き、極めて高い信頼性や安全性を 要求する特殊用途 (原子力制御機器、航空宇宙機器、人命に直接影響を与える医療機器や輸送機 器および防災・安全装置など)には使用しないでください。 絶対最大定格や使用上の注意などを遵守して製品を使用してください。 弊社は品質・信頼性の向上に努めていますが、製品の完全性を保証するものではありません。弊 社の製品を用いて製造されたお客様の機器において万一製品が故障した場合にも、人身事故、火 災事故、その他、社会的な損害などを生じさせないよう、十分な安全設計 (冗長設計、延焼対策設 計、誤動作防止設計など)を施してください。特に製品の誤動作や故障により人の生命・身体への 危害または重大な財産的損害の発生の恐れのある機器で使用する場合には、発生し得る不具合を 十分に考慮した安全設計を施さなければ危険です。このような機器での使用については、事前に 仕様書などの書面による弊社の同意を得ていない場合は、弊社はその責を負いません。 最終需要者に対して、製品およびこれを使用した機器の機能・性能や取り扱いの説明、ならびに適 切な警告・表示などを十分に実施してください。 製品の保証は、納入後1年以内に瑕疵が発見され、かつ弊社に通知された場合、製品の修理また は代品の納入を限度とします。ただし、保証期間内であっても、天災および不適切な使用 (改造、 弊社製品資料に記載された環境・適用分野・使用方法・保管・廃棄などに関する諸条件に反したこ となど)に起因する損害については、弊社はその責を負いません。なお、納入仕様書などで製品ご とに保証期間を定めている場合は、その期間を保証期間とします。 弊社製品の輸出など (技術の提供を含む)を行う場合は、外国為替および外国貿易法などの輸出 関連法規を遵守し、輸出許可証、役務取引許可証などが必要であれば確実に取得してください。 なお、輸出関連法規に関する製品の該当／非該当については弊社営業にお問い合わせください。 弊社製品資料に記載された応用例は、製品の代表的な使用例を説明するためのものであり、特定 の使用目的への適合性や商業的利用の成否を保証するものではありません。また、知的財産権の 実施に対する保証または許諾を行うものでもありません。なお、その使用により第三者と知的財 産権にかかわる問題が発生した場合、弊社はその責を負いません。 製品の仕様は、改良などのため予告なく変更することがあります。弊社製品資料は正確を期する ため慎重に作成されたものですが、まれに誤記などによる誤りがある場合があります。製品を使 用する際には、必ず納入仕様書をご用命の上、最新の仕様をご確認ください。 弊社製品資料の記載内容について、弊社の許諾なしに転載または複製することを禁じます。 ■ 営業品目 光半導体製品ラインアップ 受 光 素 子 光半導体製品 Siフォトダイオード APD ● MPPC ● フォトIC ● イメージセンサ ● PSD （位置検出素子） ● 赤外線検出素子 ● LED ● 光通信用デバイス ● 車載用デバイス ● X線フラットパネルセンサ ● ミニ分光器 ● 光半導体モジュール ● ● Siフォトダイオード、APD、MPPC フォトIC イメージセンサ PSD（位置検出素子） 赤外線検出素子 X線フラットパネルセンサ 電子管製品 光電子増倍管 光電子増倍管モジュール ● マイクロチャンネルプレート ● イメージインテンシファイア ● キセノンランプ・水銀キセノンランプ ● 重水素ランプ ● 光源応用製品 ● レーザ応用製品 ● マイクロフォーカスX線源 ● X線イメージングデバイス ● ● LED 光通信用デバイス 車載用デバイス ミニ分光器 システム応 用 製 品 カメラ・画像計測装置 X線関連製品 ● ライフサイエンス分野製品 ● 医療分野製品 ● 半導体故障解析装置 ● FPD/LEDの特性評価装置 ● 分光計測・光計測装置 ● ● レー ザ製 品 ● ● 半導体レーザ及び応用製品 固体レーザ 光半導体モジュール MPPCは浜松ホトニクス株式会社の登録商標です。 本資料の記載内容は、平成28年1月現在のものです。 ● 製品の仕様は、 改良などのため予告なく変更することがあります。製品を使用する際には、納入仕様書をご用命の上、最新の内容をご確認ください。 ● ● Cat. No. KACC0001J04 Jan. 2016 (1,500) 仙 台 営 業 所 〒980-0011 (2016年3月より 「〒980-0021 筑 波 営 業 所 〒305-0817 東 京 営 業 所 〒105-0001 中 部 営 業 所 〒430-8587 大 阪 営 業 所 〒541-0052 西 日 本 営 業 所 〒812-0013 固体営業推進部 仙台市青葉区上杉1-6-11（日本生命仙台勾当台ビル2階） 仙台市青葉区中央3-2-1 青葉通プラザ11階」に移転します） 茨城県つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階） 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階） 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル4階） 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階） 福岡市博多区博多駅東1-13-6 (竹山博多ビル5階) 〒435-8558 浜松市東区市野町1126-1 Tel: 022-267-0121 Fax: 022-267-0135 Tel: Tel: Tel: Tel: Tel: Fax: Fax: Fax: Fax: Fax: 029-848-5080 03-3436-0491 053-459-1112 06-6271-0441 092-482-0390 Tel: 053-434-3311 029-855-1135 03-3433-6997 053-459-1114 06-6271-0450 092-482-0550 Fax: 053-434-5184