X線TDIカメラ C12200シリーズ C12200 シリーズ 高速読み出し 広域エリア 高解像度 高感度 を同時に実現！ 高速ライン対応のX線TDIカメラ。 スタンダードタイプの約3倍の高速読み出しを実現。 高速 読 み 出 し 検出幅 水平画素数 36.8 293 6144 m/分 mm 画素 X線TDIカメラは、TDI技術を用いることにより、広域エリアで の高速・高感度・高解像度読み出しを同時に実現し、高精度なイン ラインX線内部検査を可能にしたカメラです。 X線TDIカメラC12200シリーズは、スタンダードタイプのX線 TDIカメラシリーズ（C10650シリーズ）に比べ、読み出し速度が約3 倍に向上し、高速ラインにも対応できるようになりました。このた び、293 mmの検出エリアを隙間無く撮影できるC12200-461 をラインアップに加えました。 TD I 技術 TDI(Time Delay Integration)は、CCDの特 殊な読み出し方式です。CCDでは電荷読み出 しの時、1ライン単位で垂直転送を行います。 この転送のタイミングとCCD面に入射してい る対象像が移動するタイミングを合わせれば、 CCDの垂直段数だけ露光することができます。 この方式をTDIと言い、移動物体を高速かつ高 感度で撮像することが可能です。 遮蔽ボックス X線源 移動方向 被検査物 ベルト コンベア TDIセンサ 輝度 プリント基板検査 実装部品検査 リチウムイオン電池検査 構造物内部検査 特長 高S/N：12 bit 出力（-321）/16 bit 出力（-461） Camera Linkインターフェース (Base Configuration) 単電源(15 V)駆動 リアルタイム暗電流補正・シェーディング補正機能搭載 エリア読み出しモード搭載（初期調整用） X線TDI カメラ 幅広い視野を高解像度で高速にインライン検査可能！全数検査にも対応。 高速読み出し 広域エリア 高解像度 高感度 4要素を同時に実現するTDI技術！ 高解像度 画像取得 X線源 被検査物 広域エリア をカバー ※C12200-321で取得した画像 X線TDIカメラ 高速 読み出し 仕様 型名 画素数 有効画素数 画素サイズ X線検出エリア X線受光面 シンチレータタイプ 推奨使用範囲 CCDピクセルクロック TDI ラインレート C12200-321 4608 (H) × 128 (V) 4608 (H) × 110 (V) C12200-461 6144 (H) × 128 (V) 6144 (H) × 110 (V) ① 48 μm × 48 μm 221 mm（H）× 6 mm（V） 293 mm（H）× 6 mm（V） FOS (シンチレータ付ファイバオプティックプレート) CsI 約 25 kV ∼ 90 kV ② 5.0 MHz 1.0 kHz ∼ 8.0 kHz (2.88 m/分 ∼ 23.04 m/分) 1.0 kHz ∼ 6.4 kHz (5.76 m/分 ∼ 36.864 m/分) 12 bit 16 bit 12 bit 16 bit Base Configuration 40 MHz 50 MHz 0 dB ∼ 14 dB (64ステップ) DC ＋15 V (±1 V) 40 VA 45 VA 1×1 ビニング2×2 A/Dコンバータ データ出力 インターフェース (Camera Link） ピクセルクロック (Camera Link） A/D ゲイン調整値 電源 消費電力 ① 重複画素の取り扱いで画素数は、変わります。総画素数は、オーバーラップ部分を含めた全ての画素を出力した場合の数値です。重なり部分を削除した際の総画素数はカメラにより ばらつきがあります。このため、わずかではありますが検出幅もカメラごとに変わりますので、カメラを複数台で使用する場合などはご注意ください。複数のカメラを同時に使用され、 画素数や検出幅を同じように使用されたい場合は、カメラの有効画素数をソフト上で決めるなどの対応をお願いします。 ② 使用できるX線強度の使用範囲は、電流や電圧、検出距離により変化します。 ■ チップ間の不感帯（C12200-321) ■ 幅広い検出エリアを不感帯なく撮影（C12200-461) C12200-321には以下のようにチップ間に理論上の不感帯があります。 C12200-461は、複数の検出器の検出範囲を重ねて交互に配置すること 拡大率やX線のフォーカスサイズで画像での見え方に違いがありますので、 により、不感帯を無くし幅広い範囲での検出を実現しています。 （単位：mm） C12200-321 10 画素 エッジ画素 不感帯領域 1: 130 μm min 200 μm max 中央チップ ±50 μm MAX 左チップ （最小4画素、最大16画素） 不感帯領域 2 中央チップ エッジ画素 不感帯領域 2: 130 μm min 200 μm max C12200-461 右チップ ±50 μm MAX 不感帯領域 1 C12200-461測定例 15.1±0.5 実画像で評価いただいてからご使用願います。 測定例 はんだバックフィレットの検査 不良はんだ付け 正 常 は ん だ 付け ラインスキャン ラ イ ン ス キ ャン プロファイル プリント基板部品のバックフィレット部のはん だに不良がある場合、少しの振動ではんだ付け が剥がれ、接触不良を起こしてしまいます。バ ックフィレット部の観察には、X線透過観察を行 ってきましたがオフラインでしか検査できませ んでした。X線TDIカメラでは、高速で高感度な プロファイルデータを取得できますので、プロ ファイルデータにしきい値を設定することによ り不良箇所を検出し、インラインでのバックフ ィレット検査を可能にしました。プロファイル データは、ソフトウエアを用いて輝度レベルを 3D表示することも可能です。 3D表示 は ん だ 不良 リチウムイオン電池の内部形状検査 二次元センサを用いた内部検査では、X線源の中心以外の 画像が歪んで撮像されてしまい、正確な寸法計測を行うこ とができません。また長い寸法のサンプルを撮像する場合は、 撮影したい部位をX線源の中心に配置する必要があり、 ワークをそのたびに持ちかえて設置させる必要があります。 X線TDIカメラを利用した検査は、ラインセンサ方式なの で搬送方向に対して歪みのない画像を得ることができ、こ れにより長いワークに対して持ちかえることなく、ライン を止めずに全体像の検査を行うことが可能になります。 エリアセンサ による検査 X線TDIカメラ による検査 I.I.検出器 X線TDIカメラ 二次元センサでは中心 以外の撮像が厚み方向に 歪んだ画像になり 寸法測定などが困難です。 対象を検出器に対して垂直 に移動させるので歪みの ない検査が行えます。 正確な寸法測定も可能です。 長い対象物も持ちかえること無く 歪みのない全体像での検査が可能です。 巻きだるみ 歪みのない画像により 巻きズレや電極の 寸法計測が可能です。 溶剤の不足 電極の接続具合 測定例 BGAのボイド検査 X線TDIカメラ ラインセンサなので 狭い照射エリアでOK X線TDIカメラによる検査では、X線照射エリアを扇型の狭 いエリアに絞り込み、その中を高速に移動させるだけで検 査が可能です。また、S/Nが優れているため低線量でも十 分にボイドの有無を判別する検査を行うことができます。 さらに、X線の照射域を狭めることで、検査装置から漏れ 出る線量を低減させることができ、装置自体の簡素化にも 貢献します。 通過させるだけで検査できますので 最小限の被曝で済み、 部品の損傷の可能性が少なくなります。 (単位 : mm) ● C12200-321 (約 5 kg) 50.05±0.5 160±0.5 11±0.5 239±0.5 250±0.5 15.1±0.3 228±0.5 4-φ4.5 30±0.2 300±0.2 360±0.5 160±0.5 5.5±0.3 370±0.5 25±0.5 134±0.5 64±0.5 6 (センサ範囲) 112±0.5 123±0.2 32±0.5 (センサ位置) 5.5±0.2 ● C12200-461 (約 7 kg) 221（センサ範囲） 11±0.5 狭い幅のX線照射エリアを高速で 10.6 外形寸法図 X線源 293（センサ範囲） 10.7±0.5 50±0.5 (38.264±0.5) 16.1 42.4±0.5 66 (センサ位置) 147 32.5 270±0.5 302.2 50±0.5 6−φ4.5 ● A8206-35 (オプション) (約 2 kg) 2-M4深さ6 オプション ● ● ● ● 電源ユニット：A8206-35 電源ケーブル 5 m：A10847-05 カメラリンクケーブル MDR-MDR 5 m：A9262-05 画像取り込みボード カメラリンク：M9982-09 ★ ★ ※ 実際の測定にあたりましては、 お客様にてご用意いただくＸ線源、ベルトコンベア等との組み合わせに加え、設置場所、設置環境、検査速度、検査対象の種類等によって検査内容が左右される 可能性があります。システム構築にあたっては、 お客様におかれて十分にご留意いただく必要があり、当社は本件製品がそれ自体でお客様の企図される特定のご使用目的に適合することを 保証するものではありません。 記載商品名、 ソフト名等は該当商品製造会社の商標または登録商標です。 本カタログの記載内容は2015年3月現在のものです。本内容は改良のため予告なく変更する場合があります。 □ □ □ □ □ □ 仙台営業所 筑波営業所 東京営業所 中部営業所 大阪営業所 西日本営業所 www.hamamatsu.com 〒980-0011 仙台市青葉区上杉1-6-11（日本生命仙台勾当台ビル2階） 〒305-0817 つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階） 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階） 〒430-8587 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル4階） 〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階） 〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階） TEL TEL TEL TEL TEL TEL (022)267-0121 (029)848-5080 (03)3436-0491 (053)459-1112 (06)6271-0441 (092)482-0390 □ システム営業推進部 〒431-3196 浜松市東区常光町812 TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031 FAX FAX FAX FAX FAX FAX (022)267-0135 (029)855-1135 (03)3433-6997 (053)459-1114 (06)6271-0450 (092)482-0550 Cat. No. SFAS0026J11 MAR/2015 HPK