X線TDIカメラ C10650 シリーズ 高速読み出し 広域エリア 高解像度 高感度 を同時に実現! 高解像度かつ明るく鮮明な画像取得を実現し インラインX線内部検査を実現したX線TDIカメラです。 高 速 読 み 出し 最大検出幅 最大水平画素数 10.7 586 6144×2 m/分 mm 画素 X線TDIカメラC10650シリーズは、TDI技術を用いることにより、 広域エリアでの高速・高感度・高解像度読み出しを同時に実現し、 高精度 なインラインX線内部検査を可能にしたカメラです。従来のラインセン TD I 技術 TDI(Time Delay Integration)は、CCDの特 殊な読み出し方式です。CCDでは電荷読み出 しの時、1ライン単位で垂直転送を行います。 この転送のタイミングとCCD面に入射してい る対象像が移動するタイミングを合わせれ ば、CCDの垂直段数だけ露光することができ ます。この方式をTDIと言い、移動物体を高速 かつ高感度で撮像することが可能です。 遮蔽ボックス X線源 移動方向 被検査物 ベルト コンベア TDIセンサ サカメラで懸念されていた高解像度撮影=感度不足による低輝度画像 を改善し、高解像度かつ明るく鮮明な画像取得を実現しました。狭い幅 での検出器の配置を考慮した縦型タイプもラインアップに加えました。 輝度 プリント基板検査 実装部品検査 リチウムイオン電池検査 構造物内部検査 特長 高S/N:12 bit/16 bit 出力 Camera Linkインターフェース(Base Configuration) 単電源(15 V)駆動 リアルタイム暗電流補正・シェーディング補正機能搭載 エリア読み出しモード搭載(初期調整用) X線TDI カメラ 幅広い視野を高解像度で高速にインライン検査可能!全数検査にも対応。 高速読み出し 広域エリア 高解像度 高感度 4要素を同時に実現するTDI技術! 高解像度 画像取得 X線源 被検査物 広域エリア をカバー 暗いサンプルも 画像取得 高感度 X線TDIカメラ 高速 読み出し ラインアップ □ ストレート配置タイプ 型名 センサ数 X線検出エリア C10650-221 2 145.9 mm C10650-321 3 221.1 mm C10650-261 2 146.9 mm C10650-361 3 220.2 mm C10650-461 4 293.4 mm C10650-261V 2 146.9 mm C10650-361V 3 220.2 mm C10650-461V 4 293.4 mm C10650-261W 6 439.9 mm C10650-361W 7 513.2 mm C10650-461W 8 586.4 mm □ 千鳥配置横型タイプ 型名 センサ数 X線検出エリア □ 千鳥配置縦型タイプ 型名 センサ数 X線検出エリア □ 千鳥配置縦型2カメラタイプ 型名 センサ数 X線検出エリア 仕様(代表製品) 型名 C10650-221 C10650-321 C10650-461 C10650-461V CsIシンチレータ シンチレータ FOS (シンチレータ付ファイバオプティックプレート) 窓材 約 25 kV ∼ 90 kV *1 推奨使用(X線感度)範囲 48 μm × 48 μm 画素サイズ 3040 (H) × 128 (V) 4608 (H) × 128 (V) 画素数 6144 (H) × 128 (V) *2 145.9 mm (H) × 6.1 mm (V) 221.1 mm (H) × 6.1 mm (V) X線検出エリア 293.4 mm (H) × 6.1 mm (V) *2 最大 2.109 kHz (6.073 m/分) TDI ラインレート 1×1 最大 1.858 kHz (10.702 m/分) ビニング2×2 4.0 MHz CCDピクセルクロック 12 bit A/Dコンバータ 16 bit Camera Link データ出力インターフェース 転送方式 Base Configuration ピクセルクロック (Camera Link) 16.0 MHz 12 bitデジタル出力 出力信号 (画像データ) 16 bitデジタル出力 電源 DC +15 V 消費電力 約30 VA C10650-461W 6144 (H)×128 (V) + 6144 (H)×128 (V)*2 586.4 mm (H) × 6.1 mm (V)*2 約30 VA + 約30 VA *3 *1 使用できるX線強度の使用範囲は、電流や電圧、検出距離により変わります。 *2 重複画素の取り扱いで画素数は変わります。総画素数は、重複部分を含めた全ての画素を出力した場合の数値です。重複部分を削除した際の総画素数はカメラによりばらつきがあり ます。このため、わずかではありますが検出幅もカメラごとに変わりますので、カメラを複数台で使用する場合などはご注意ください。複数のカメラを同時に使用して、画素数や検出 幅を同じように使用したい場合は、カメラの有効画素数をソフト上で決めるなどの対応をお願いします。 *3 C10650-461Wには、電源及びカメラリンクケーブルが2つ必要です。 測定例 はんだバックフィレットの検査 リチウムイオン電池の内部形状検査 プリント基板部品のバックフィレット部のはんだに不良がある 場合、少しの振動ではんだ付けが剥がれ、接触不良を起こして しまいます。バックフィレット部の観察には、X線透過観察を行 ってきましたがオフラインでしか検査できませんでした。X線 TDIカメラでは、高速で高感度なプロファイルデータを取得で きますので、 プロファイルデータにしきい値を設定することに より不良箇所を検出し、 インラインでのバックフィレット検査を 可能にしました。プロファイルデータは、 ソフトウエアを用いて 輝度レベルを3D表示することも可能です。 二次元センサを用いた内部検査では、X線源の中心以外の画 像が歪んで撮像されてしまい、正確な寸法計測を行うことがで きません。また長い寸法のサンプルを撮像する場合は、撮影し たい部位をX線源の中心に配置する必要があり、 ワークをその たびに持ちかえて設置させる必要があります。X線TDIカメラ を利用した検査は、ラインセンサ方式なので搬送方向に対し て歪みのない画像を得ることができ、 これにより長いワークに 対して持ちかえることなく、 ラインを止めずに全体像の検査を 行うことが可能になります。 長い対象物も 持ちかえること無く 歪みのない全体像での 検査が可能です。 二次元センサによる検査 不良はんだ付け 正常はんだ付け ラインスキャン ラインスキャン X線TDIカメラによる検査 プロファイル I.I.検出器 X線TDIカメラ 二次元センサでは、中心 以外の撮像が厚み方向に 歪んだ画像になり 寸法測定などが困難です。 対象を検出器に対して垂直 に移動させるので、歪みの ない撮像が行え 正確な寸法測定も可能です。 巻きだるみ 3D表示 はんだ不良 溶剤の不足 電極の接続具合 ■ 幅広い検出エリアを不感帯無く撮影 ストレート配置タイプには、以下のようにチップ間に不感帯があります。 千鳥配置タイプは、複数の検出器の検出範囲を重ねて交互に配置すること により、不感帯を無くし幅広い範囲での撮影を実現しています。 (単位:mm) C10650-221 10 画素 C10650-321 C10650-461 エッジ画素 不感帯領域 1: 250 μm min 350 μm max ±50 μm MAX 左チップ 中央チップ 不感帯領域 2 中央チップ エッジ画素 不感帯領域 2: 130 μm min 200 μm max 右チップ ±50 μm MAX 不感帯領域 1 (最小4画素、最大16画素) 千鳥配置タイプ測定例 15.1±0.5 ■ チップ間の不感帯 (単位 : mm) ● C10650-221 (約 5 kg) ● C10650-261V、-361V、-461V (約 7 kg) 441 17 65 80 6 5 10.7 50 5.5 146(センサ範囲:C10650-261V) 220(センサ範囲:C10650-361V) 293(センサ範囲:C10650-461V) 73.764 360 300 221(センサ範囲) 175 ● C10650-321 (約 5 kg) 30 32.9 371 6(センサ範囲) 123 134 112 64 11 2−Φ8.2 130 390.5 (センサ位置) 64 6(センサ範囲) 123 134 112 4−Φ4.5 407 16 145(センサ範囲) 30 32.9 10.6 11 360 300 15.1 外形寸法図 50 10.7 5.5 4−Φ4.5 ● C10650-261W、-361W、-461W (約 16 kg) 370 10.6 239 250 220(センサ範囲:C10650-361) 293(センサ範囲:C10650-461) 734 700 2−Φ8.2 73.764 80 6 439(センサ範囲:C10650-261W) 513(センサ範囲:C10650-361W) 586(センサ範囲:C10650-461W) 5 8.3 (センサ位置) (38.264) 65 130 39 (センサ位置) 50.05 (センサ位置) 10.6 15.1 146(センサ範囲:C10650-261) 228 17 (15.1) 160 11 160 5.5 25 22 ● C10650-261、-361、-461 (約 7 kg) 42.4 50 (センサ位置) 175 6−Φ4.5 664 ● A8206-35 (オプション) (約 2 kg) 270 302.2 66 32.5 147 16.1 2−M4深さ6 オプション ● ● ● ● ● 電源ユニット:A8206-35 電源ケーブル 5 m:A10847-05 カメラリンクケーブル MDR-MDR 5 m:A9262-05 画像取り込みボード カメラリンク:M9982-09 機能追加モジュール 64ゲイン対応:M8815-01 ※実際の測定にあたりましては、お客様にてご用意いただくX線源、ベルトコンベア等との組み合わせに加え、設置場所、設置環境、検査速度、検査対象の種類等によって検査条件が左右される 可能性があります。システム構築にあたっては、お客様におかれて十分にご留意いただく必要があり、当社は本件製品がそれ自体でお客様の企図される特定のご使用目的に適合することを 保証するものではありません。 ※記載商品名、ソフト名等は該当商品製造会社の商標または登録商標です。 ※カタログの記載内容は2016年6月現在のものです。 本内容は改良のため予告なく変更する場合があります。 www.hamamatsu.com □ □ □ □ □ □ 仙台営業所 筑波営業所 東京営業所 中部営業所 大阪営業所 西日本営業所 〒980-0021 仙台市青葉区中央3-2-1 青葉通プラザ 11階 〒305-0817 つくば市研究学園5-12-10 (研究学園スクウェアビル7階) 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21 (虎ノ門33森ビル5階) 〒430-8587 浜松市中区砂山町325-6 (日本生命浜松駅前ビル4階) 〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13 (大阪国際ビル10階) 〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-13-6 (竹山博多ビル5階) TEL TEL TEL TEL TEL TEL (022)267-0121 (029)848-5080 (03)3436-0491 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No. SFAS0025J13 JUN/2016 HPK