CCDエリアイメージセンサ S7030/S7031シリーズ 裏面入射型FFT-CCD S7030/S7031シリーズは、微弱光検出用に開発された計測用FFT-CCDエリアイメージセンサです。ビニング動作を行うこと により、受光面の高さ方向に長いリニアイメージセンサとして使用できるため、分光光度計の検出器に適しています。ビニ ング動作は、外部回路で信号をデジタル的に加算する従来の方法と比べると、S/Nや信号処理速度において非常に優れています。 S7030/S7031シリーズは、低ノイズ・低暗電流・広ダイナミックレンジのため、蓄積時間を長くすることによって微弱光の 検出が可能になります。 S7030/S7031シリーズの有効画素サイズは24 × 24 μmで、受光面サイズは12.288 (H) × 1.392 (V) mm2 (512 × 58画素)から 24.576 (H) × 2.928 (V) mm2 (1024 × 250画素)まで用意されています。 特長 用途 常温型: S7030シリーズ 1段電子冷却型: S7031シリーズ 画素サイズ: 24 × 24 μm 蛍光分光測光、ICP 工業製品の検査 半導体検査 ライン／ピクセルビニングが可能 DNAシーケンサ 微弱光検出 量子効率: ピーク時90%以上 広い感度波長範囲 低読み出しノイズ 広いダイナミックレンジ MPP動作 紫外感度が高く、紫外線照射に対して特性が安定 セレクションガイド 型名 S7030-0906 S7030-0907 S7030-1006 S7030-1007 S7031-0906S S7031-0907S S7031-1006S S7031-1007S 冷却 非冷却 1 段電子冷却 全画素数 有効画素数 532 × 64 532 × 128 1044 × 64 1044 × 128 532 × 64 532 × 128 1044 × 64 1044 × 128 512 × 58 512 × 122 1024 × 58 1024 × 122 512 × 58 512 × 122 1024 × 58 1024 × 122 イメージサイズ [mm (H) × mm (V)] 12.288 × 1.392 12.288 × 2.928 24.576 × 1.392 24.576 × 2.928 12.288 × 1.392 12.288 × 2.928 24.576 × 1.392 24.576 × 2.928 適合マルチチャンネル 検出器ヘッド C7040 C7041 注) 2 段電子冷却型 (S7032-1006/-1007)も対応が可能です (受注生産品)。 浜松ホトニクス株式会社 1 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ 構成 S7030 シリーズ 項目 画素サイズ (H × V) 垂直クロック 水平クロック 出力回路 パッケージ 窓材*1 S7031 シリーズ 24 × 24 μm 2相 2相 1 段 MOSFET ソースフォロア 24 ピン セラミック DIP ( 外形寸法図を参照 ) 石英ガラス*2 反射防止コーティングサファイア*3 *1: 仮付け窓タイプ ( 例 : S7030-0906N)も対応が可能です。 *2: 樹脂封止 *3: 気密封止 絶対最大定格 (Ta=25 °C) 項目 動作温度*4 保存温度 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 垂直入力ソース電圧 水平入力ソース電圧 垂直入力ゲート電圧 水平入力ゲート電圧 サミングゲート電圧 出力ゲート電圧 リセットゲート電圧 トランスファーゲート電圧 垂直シフトレジスタクロック電圧 水平シフトレジスタクロック電圧 記号 Topr Tstg VOD VRD VISV VISH VIG1V, VIG2V VIG1H, VIG2H VSG VOG VRG VTG VP1V, VP2V VP1H, VP2H Min. -50 -50 -0.5 -0.5 -0.5 -0.5 -10 -10 -10 -10 -10 -10 -10 -10 Typ. - Max. +50 +70 +25 +18 +18 +18 +15 +15 +15 +15 +15 +15 +15 +15 単位 °C °C V V V V V V V V V V V V 注) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 *4: パッケージ温度 (S7030シリーズ)、チップ温度 (S7031シリーズ) 動作条件 (MPPモード, Ta=25 °C) 項目 出力トランジスタドレイン電圧 リセットドレイン電圧 出力ゲート電圧 基板電圧 垂直入力ソース 水平入力ソース テストポイント 垂直入力ゲート 水平入力ゲート 垂直シフトレジスタクロック電圧 水平シフトレジスタクロック電圧 サミングゲート電圧 リセットゲート電圧 トランスファーゲート電圧 外部負荷抵抗 High Low High Low High Low High Low High Low 記号 VOD VRD VOG VSS VISV VISH VIG1V, VIG2V VIG1H, VIG2H VP1VH, VP2VH VP1VL, VP2VL VP1HH, VP2HH VP1HL, VP2HL VSGH VSGL VRGH VRGL VTGH VTGL RL Min. 18 11.5 1 -9 -9 4 -9 4 -9 4 -9 4 -9 4 -9 20 Typ. 20 12 3 0 VRD VRD -8 -8 6 -8 6 -8 6 -8 6 -8 6 -8 22 Max. 22 12.5 5 8 -7 8 -7 8 -7 8 -7 8 -7 24 単位 V V V V V V V V V V V V V kΩ 2 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ 電気的特性 (Ta=25 °C) 項目 記号 fc 信号出力周波数 垂直シフトレジスタ容量 水平シフトレジスタ容量 S703*-0906 S703*-0907/-1006 S703*-1007 S703*-0906/-0907 S703*-1006/-1007 CP1V, CP2V CP1H, CP2H - CSG CRG - CTG - CTE Vout Zo P 0.99995 14 - サミングゲート容量 リセットゲート容量 トランスファゲート容量 Min. - S703*-0906/-0907 S703*-1006/-1007 電荷転送効率*5 DC出力レベル*6 出力インピーダンス*6 消費電力*6 *7 Typ. 0.25 750 1500 3000 110 180 30 30 55 75 0.99999 16 3 13 Max. 1 - 単位 MHz - pF - pF pF - pF 18 4 14 V kΩ mW Max. 1000 100 16 ±10 0 10 3 0 単位 V pF *5: 飽和出力の半分のときに測定した、1画素当たりの転送効率 *6: 負荷抵抗により変わります。(Typ. VOD=20 V, 負荷抵抗=22 kΩ) *7: オンチップアンプと負荷抵抗を合わせた消費電力 電気的および光学的特性 (指定のない場合は Ta=25 °C) 項目 記号 Vsat 飽和出力電圧 垂直 水平*8 飽和電荷量 Fw CCD変換効率 Sv 暗電流*9 (MPPモード) 25 °C 0 °C DS 読み出しノイズ*10 Nr ダイナミックレンジ*11 ラインビニング エリアスキャン 感度不均一性*12 感度波長範囲 PRNU λ 白キズ 黒キズ ポイント欠陥*13 キズ DR クラスタ欠陥*14 コラム欠陥*15 - Min. 240 800 1.8 100000 30000 - Typ. Fw × Sv 320 1000 2.2 100 10 8 125000 40000 ±3 200 to 1100 - keμV/ee-/pixel/s e- rms % nm - *8: 直線性=±1.5% *9: 暗電流は温度が5～7 °C上昇すると約2倍になります。 *10: 当社製デジタルCCDカメラ C4880を使用 (CDS回路付、素子温度: -40 °C, 動作周波数: 150 kHz) *11: ダイナミックレンジ = 飽和電荷量／読み出しノイズ *12: LED光 (ピーク波長: 560 nm)を用いて飽和出力の半分のときに測定 ۜഽະ֚ = ࡥΩΗȜϋΦͼΒ (peak to peak) × 100 [%] *13: 白キズ 冷却温度0 °Cで1秒間蓄積したときに、暗電流が1 ke-を超える画素 黒キズ 平均出力画素に比べて感度が半分以下の画素 (測定条件: 飽和電荷量の1/2の出力になる均一光) *14: 2～9個の連続した画像欠陥 *15: 10個以上の連続した画像欠陥 3 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ 分光感度特性 (窓なし時)*16 (Typ. Ta=25 °C) 100 90 ၔ࿂වৣ߿CCD 80 ၾঊ࢘ၚ (%) 70 60 50 40 30 20 ນ࿂වৣ߿CCD (UVȜΠ) ນ࿂වৣ߿CCD 10 0 200 400 600 800 1000 1200 ෨ಿ (nm) KMPDB0058JB *16: 石英ガラスまたは反射防止コーティングサファイアの透過率特性により分光感度は低下します。 窓材の分光透過特性 暗電流ー温度 (Typ. Ta=25 °C) 100 (Typ.) 1000 90 80 100 ൫ًၚ (%) 70 ճഩၠ (e-/pixel/s) ΄םρΑௗ ৣཡগȜΞͻϋΈέͼͺ 60 50 40 30 20 10 1 0.1 10 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 ෨ಿ (nm) 0.01 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 أഽ (°C) KMPDB0110JA KMPDB0256JA 4 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ デバイス構造 (外形寸法図において上面からみたCCDチップ概念図) ခْ࢘ள Thinning ခْ࢘ள 23 21 15 20 13 14 2-bevel 22 24 1 ႁ n H 2 5 4 3 2 12345 4-bevel Thinning V 12 କΏέΠ τΐΑΗ 2 3 4 5 8 2 4ήρϋ·ْள n 11 V=58, 122 H=512, 1024 10 9 ႁ 4ήρϋ·ْள କΏέΠτΐΑΗ 6-bevel 6-bevel ಕ) වৣ༷̥࢜ͣࡉ̹ાࣣȂକΏέΠτΐΑΗ͉Si͈࢚̞໐ (ະۜ໐)́ ໞ̞̳̦ͩͦ̀͘Ȃಿ෨ಿ͈͉ະۜ໐͈Siͬ൫ً̱ȂକΏέΠτΐΑΉ ̯ͦͥخෝ̦̜̳ͤ͘ȃຈါͅ؊̲̀৭͈̈́̓చॐ࣐̩̺̯̞ͬ̽̀ȃ KMPDC0016JE 5 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ タイミングチャート ラインビニング ಇୟۼܢ (ΏλΛΗ)ٳ Tpwv 1 ೄΫΣϋΈۼܢ (ΏλΛΗ) 3.. 62 63 3..126 127 2 P1V උ͙̱(ۼܢΏλΛΗ) 64← 58 + 6 (bevel): S703*-0906/-1006 128← 122 + 6 (bevel): S703*-0907/-1007 Tovr P2V, TG 4..530 531 4..1042 1043 Tpwh, Tpws P1H 1 2 3 532 : S703*-0906/-0907 1044: S703*-1006/-1007 P2H, SG Tpwr RG OS D1 D1 D2..D10, S1..S512, D11..D19 D2..D10, S1..S1024, D11..D19 D20 : S703*-0906/-0907 D20 : S703*-1006/-1007 KMPDC0017JD 項目 P1V, P2V, TG*17 P1H, P2H*17 SG RG TG – P1H S703*-0906 パルス幅 S703*-0907/-1006 S703*-1007 上昇／下降時間 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 記号 Tpwv Tprv, Tpfv Tpwh Tprh, Tpfh Tpws Tprs, Tpfs Tpwr Tprr, Tpfr Tovr Min. 1.5 3 6 10 500 10 500 10 100 5 3 Typ. 2 4 8 2000 50 2000 50 - Max. - 単位 μs ns ns ns % ns ns % ns ns μs *17: 最大パルス振幅の50%のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。 6 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ エリアスキャン: 大飽和電荷量モード ಇୟۼܢ (ΏλΛΗ)ٳ උ͙̱(ۼܢΏλΛΗ) 4.. 63 64← 58 + 6 (bevel): S703*-0906/-1006 4..127128←122 + 6 (bevel): S703*-0907/-1007 Tpwv 1 2 3 P1V P2V, TG P1H P2H, SG RG OS Tovr P2V, TG ڐఱ Tpwh, Tpws P1H P2H, SG Tpwr RG OS D1 D2 D3 D4 D18 S1..S512 D5..D10, S1..S1024, D11..D17 D19 D20 : S703*-0906/-0907 : S703*-1006/-1007 KMPDC0127JB 項目 P1V, P2V, TG*18 P1H, P2H*18 SG RG TG - P1H S703*-0906 パルス幅 S703*-0907/-1006 S703*-1007 上昇／下降時間 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 デューティ比 パルス幅 上昇／下降時間 オーバーラップ時間 記号 Tpwv Tprv, Tpfv Tpwh Tprh, Tpfh Tpws Tprs, Tpfs Tpwr Tprr, Tpfr Tovr Min. 1.5 3 6 10 500 10 500 10 100 5 3 Typ. 2 4 8 2000 50 2000 50 - Max. - 単位 μs ns ns ns % ns ns % ns ns μs *18: 最大パルス振幅の50%のところに対称クロックパルスをオーバーラップさせてください。 7 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ 外形寸法図 (単位: mm) S7030-0906/-0907 වৣௗ 16.3* වৣௗ 28.6* ໐ 12.29 ໐ 24.58 1 12 12 2.54 ± 0.13 2.54 ± 0.13 44.0 ± 0.44 S7030-1006: A=1.392 S7030-1007: A=2.928 *ȶௗऺ͈ۜഽඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ 4.4 ± 0.44 (24 ×) 0.5 ± 0.05 S7030-0906: A=1.392 S7030-0907: A=2.928 ࿂ (24 ×) 0.5 ± 0.05 *ȶௗऺ͈ۜഽඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0047JF KMPDA0046JF S7031-0906S/-0907S වৣௗ 16.3* ໐ 12.29 19.0 22.4 ± 0.30 22.9 ± 0.30 6.92 ± 0.63 7.7 ± 0.68 4.0 6.32 ± 0.63 13 A 8.2* 24 1 12 2.54 ± 0.13 34.0 ± 0.34 42.0 50.0 ± 0.30 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ 4.89 ± 0.15 1.0 3.0 ഩঊ႖ݕளঊ S7031-0906S: A=1.392 S7031-0907S: A=2.928 4.8 ± 0.49 3.0 4.8 ± 0.49 4.4 ± 0.44 2.35 ± 0.15 3.75 ± 0.44 3.0 ࿂ 3.75 ± 0.44 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 2.35 ± 0.15 34.0 ± 0.34 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 22.9 ± 0.30 A 8.2* 22.9 ± 0.30 A 1 13 22.4 ± 0.30 24 13 22.4 ± 0.30 24 8.2* S7030-1006/-1007 (24 ×) 0.5 ± 0.05 *ȶௗऺ͈ۜഽඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0048JH 8 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ S7031-1006S/-1007S වৣௗ 28.6* ໐ 24.58 22.9 ± 0.30 19.0 4.0 1 22.4 ± 0.30 13 A 8.2* 24 12 2.54 ± 0.13 44.0 ± 0.44 52.0 60.0 ± 0.30 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· άϋNo. 1 ࿂ S7031-1006S: A=1.392 S7031-1007S: A=2.928 7.7 ± 0.68 6.92 ± 0.63 6.32 ± 0.63 1.0 4.89 ± 0.15 3.0 ഩঊ႖ݕளঊ (24 ×) 0.5 ± 0.05 *ȶௗऺ͈ۜഽඅȷ͈Έρέ͈൫ًၚͬ༗બ̳ͥςͺ KMPDA0049JI ピン接続 ピン No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 記号 RD OS OD OG SG P2H P1H IG2H IG1H ISH TG*19 P2V P1V SS ISV IG2V IG1V RG S7030シリーズ 機能 リセットドレイン 出力トランジスタソース 出力トランジスタドレイン 出力ゲート サミングゲート CCD水平レジスタ クロック-2 CCD水平レジスタ クロック-1 テストポイント (水平入力ゲート-2） テストポイント (水平入力ゲート-1） テストポイント (水平入力ソース) トランスファーゲート CCD垂直レジスタ クロック-2 CCD垂直レジスタ クロック-1 基板 (GND) テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート-2) テストポイント (垂直入力ゲート-1) リセットゲート 記号 RD OS OD OG SG P2H P1H IG2H IG1H ISH TG*19 P2V P1V Th1 Th2 PP+ SS ISV IG2V IG1V RG S7031シリーズ 機能 リセットドレイン 出力トランジスタソース 出力トランジスタドレイン 出力ゲート サミングゲート CCD水平レジスタ クロック-2 CCD水平レジスタ クロック-1 テストポイント (水平入力ゲート-2) テストポイント (水平入力ゲート-1) テストポイント (水平入力ソース) トランスファーゲート CCD垂直レジスタ クロック-2 CCD垂直レジスタ クロック-1 サーミスタ サーミスタ 電子冷却素子 (-) 電子冷却素子 (+) 基板 (GND） テストポイント (垂直入力ソース) テストポイント (垂直入力ゲート-2) テストポイント (垂直入力ゲート-1) リセットゲート 備考 （標準動作） +12 V RL=22 kΩ +20 V +3 V P2Hと同タイミング -8 V -8 V RDに接続 P2Vと同タイミング GND RDに接続 -8 V -8 V *19: 垂直レジスタと水平レジスタ間の分離ゲート。標準動作ではTGにP2Vと同じパルスを入力してください。 9 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ 内蔵電子冷却素子の仕様 (Typ.) 項目 内部抵抗 最大電流*20 最大電圧 最大熱吸収*23 放熱側の最高温度 S7031-0906S/-0907S 2.5 1.5 3.8 3.4 70 記号 条件 Rint Ta=25 °C Imax Tc*21=Th*22=25 °C Vmax Tc*21=Th*22=25 °C Qmax - S7031-1006S/-1007S 1.2 3.0 3.6 5.1 70 単位 Ω A V W °C この最大電流Imaxは冷却器を損なわないためのしきい値 *20: 電流値がImax以上になると、ジュール熱によって熱吸収率が低下し始めます。 ではありませんので注意してください。電子冷却素子を保護し、安定した動作を維持するために、供給電流をこの最大電流の60%以下に 設定してください。 *21: 電子冷却素子の冷却側の温度 *22: 電子冷却素子の放熱側の温度 *23: 最大電流をセンサに供給したときに、電子冷却素子に生じる温度差を補正する理論的な熱吸収レベルです。 S7031-1006S/-1007S S7031-0906S/-0907S 30 (Typ. Ta=25 °C) 7 30 ഩգȽഩၠ CCD أഽȽഩၠ 20 6 5 10 5 10 4 0 4 0 3 -10 3 -10 2 -20 2 -20 1 -30 1 -30 -40 2.0 0 0 0 1.0 0.5 1.5 ഩգ (V) 6 CCD أഽ (°C) ഩ գ (V) ഩգȽഩၠ CCD أഽȽഩၠ 20 0 2 1 ഩ ၠ (A) 3 4 CCDأഽ (°C) (Typ. Ta=25 °C) 7 -40 ഩၠ (A) KMPDB0178JA KMPDB0179JA 内蔵温度センサの仕様 CCDチップと同じパッケージにサーミスタチップが内蔵されており、動作中のCCDチップ温度をモニタします。 このサーミスタの抵抗値と絶対温度の関係は次式で表されます。 1 MΩ RT1 = RT2 × exp BT1/ T2 (1/T1 – 1/T2) ࢯ RT1: 絶対温度T1 [K]のときの抵抗値 RT2: 絶対温度T2 [K]のときの抵抗値 BT1/ T2: B定数 [K] 100 kΩ 使用しているサーミスタの特性は以下のとおりです。 R298=10 kΩ B298/323=3450 K 10 kΩ 220 230 240 250 260 270 280 290 300 أഽ (K) KMPDB0111JB 10 CCDエリアイメージセンサ S7030/S7031シリーズ 使用上の注意 (静電対策) ・ センサは、素手あるいは綿の手袋をはめて扱うようにしてください。さらに、摩擦で生じる静電気によるダメージを避けるため、 静電防止服やアース付きリストバンドを身に着けてセンサを取り扱ってください。 ・ 静電気を帯びる可能性のある作業台やフロアの上にセンサを直接置かないでください。 ・ 作業台や作業フロアには、静電気を放電させるためのアース線を接続してください。 ・ センサを取り扱うピンセットやはんだごてなどの道具にもアースをとるようにしてください。 上記の静電対策は必ずしもすべて行う必要はありません。発生する障害の程度に応じて対策を施してください。 素子の冷却・昇温時の温度勾配速度 外付け冷却器で冷却する場合は、素子の冷却・昇温時の温度勾配速度を5 K/分以下になるように設定してください。 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・製品に関する注意事項とお願い ・イメージセンサ／使用上の注意 技術情報 ・FFT-CCDエリアイメージセンサ／技術資料 ・イメージセンサ／用語の解説 マルチチャンネル検出ヘッド C7040, C7041 特長 C7040: S7030シリーズ用 C7041: S7031シリーズ用 エリアスキャンまたはラインビニング動作 読み出し周波数: 250 kHz 読み出しノイズ: 20 e-rms ΔT=50 °C (ΔTは冷却方法により異なります。) 入力 印加電圧 記号 VD1 定格値 +5 Vdc, 200 mA VA1+ +15 Vdc, +100 mA VA1- -15 Vdc, -100 mA VA2 +24 Vdc, 30 mA VD2 +5 Vdc, 30 mA (C7041) Vp +5 Vdc, 2.5 A (C7041) マスタースタート VF φms マスタークロック φmc +12 Vdc, 100 mA (C7041) HCMOSロジックコンパチブル HCMOSロジックコンパチブル, 1 MHz 11 S7030/S7031シリーズ CCDエリアイメージセンサ マルチチャンネル検出器ヘッド用コントローラ C7557-01 特長 マルチチャンネル検出器ヘッドの制御とデータ収集を 行うためのコントローラ 付属のソフトウェアを使用することにより、USBイン ターフェースを通して簡易に制御およびデータ収集が可能 接続図 ΏλΛΗ* ΗͼηϋΈΩσΑ ACΉȜήσ (100ȡ240 V, C7557-01 ͅັ௺) Trig. őŐŘņœ ဥΉȜήσ (C7557-01ͅັ௺) ŔŊňŏłōġŊİŐ USB ΉȜήσ (C7557-01ͅັ௺) ŕņġńŐŏŕœŐōġŊİŐ ͼιȜΐΓϋ + ζσΙΙλϋΥσ ܕΰΛΡ C7557-01 PC (USB 2.0/3.0) [Windows 7 (32-bit, 64-bit)/ Windows 8 (64-bit)/ Windows 8.1 (64-bit)] *ġΏλΛΗ͉̈́̓ဥփ̵̱̞̀ͭ͘ȃ KACCC0402JD 12 CCDエリアイメージセンサ S7030/S7031シリーズ 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・ 製品に関する注意事項とお願い ・ 安全上の注意 ・ イメージセンサ／使用上の注意 技術情報 ・ イメージセンサ／用語の説明 本資料の記載内容は、平成27年7月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪĶĮIJijĮIJıġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KMPD1023J19 Jul. 2015 DN 13