技術トピックス 〈技術トピックス〉 圧力センサ用デジタルトリミング IC 圧力センサはいわゆるMEMS デバイスの最古参 このICは使用温度範囲が− 40 ∼ 125℃と広く， であり，そのアプリケーション分野は自動車，ヘ かつ圧力センサとインタフェースを構築した際の ルスケア，医療，FA，住設，家電などさまざま 精度は± 1%FS/0 ∼ 85 ℃を実現し得るものである な用途に広がりを見せている．中でも自動車アプ （図 2）．またオフセット電圧，スパン電圧，オフ リケーションにおけるセンサ需要は極めて大きく， セット温度特性，感度温度特性など圧力センサが 低圧から高圧まで幅広い圧力レンジとさまざまな 持つばらつきを補正する信号処理能力に加えて， 製品形態を持つセンサが各メーカより製品化され， 温度センサも内蔵しており，“マルチセンシング” 市場投入されている． を実現している． 当社グループ（フジクラ，東北フジクラ）では， 本 ICの主な特徴は表１のとおりである． これまで血圧計に代表される医療，ヘルスケア分 今回使用したデジタルトリミングという手法は， 野，圧力スイッチといった FA 分野，さらに家電 高精度なセンサの出力調整として最も有力な手段 といった民生マーケットでその競争力を発揮して であり，このように，開発した IC と圧力センサ きたが，今後は自動車マーケットにも積極的に製 チップにインタフェースを構築してワンパッケー 品を投入していくことで，一層の性能／品質向 ジ化することによって，高精度でローコストな圧 上，コスト競争力アップをはかりつつ，センサ製 力センサを作製することが可能である．さらに本 品ラインナップを拡充していく予定である． ICが持つ設計自由度と，既存パッケージ開発技術 こうした新たな製品開発へ向けたファーストス を組み合わせることにより，当社グループの強み テップとして，われわれは今回 ICメーカ殿の協力 であるさまざまな顧客要求に応える“カスタマイ を得てオリジナルの圧力センサ用信号処理 ICを開 ズ性”もより強化できるものと考える． 発した（図 1） ． （東北フジクラ センサ部 小山内） オフセット電圧 調整ブロック 感 度 調整ブロック 8.0 7.0 6.0 5.0 4.0 精 3.0 2.0 度 1.0 （％FS）0.0 −1.0 −2.0 −3.0 −4.0 −5.0 −6.0 −7.0 −8.0 −50 −25 温度特性 調整ブロック 圧力センサ 出 力 デジタル トリミングデータ 圧力センサチップ 温度センサ 出 力 信号処理IC 電源ノイズ除去用 コンデンサ 電 源 図1 ローパスフィルタ用 コンデンサ GND 開発品仕様 0 フィルタ 図2 開発 IC を組み込んだ圧力センサブロック図 表1 当社集積化 センサ仕様 25 50 75 温 度（℃） 100 125 150 圧力センサ測定精度の温度特性 開発ICの主な特徴 ■高精度なデジタルトリミング ■出力電圧のカスタマイズが容易 → 精度 ±1%FS/0∼85℃ → Rail to Rail出力， オフセット電圧可変 ■広範な温度範囲で動作 → 動作温度範囲−40∼125℃ ■アナログ出力温度センサ搭載 → 計測範囲−40∼125℃ ■レシオメトリック出力 ■低電圧動作可能 ■間欠駆動による低消費電力化 → 電源電圧に比例した 出力電圧 ［お問い合わせ］ → 動作電源電圧DC +3∼5V 自動車電装事業部 センサ技術部 → イネーブルピンによる動 TEL： 03-5606-1072 作セレクト FAX： 03-5606-1538 E-mail： [email protected] 59