CMOSリニアイメージセンサ S10121～S10124シリーズ (-01) 従来品よりも紫外域で高感度 蓄積時間可変機能付き電流出力型センサ 分光光度計用の検出器として設計された自己走査型フォトダイオードアレイです。走査回路は、低消費電力駆動が可能なた め、取り扱いが容易です。各フォトダイオードの受光面積が大きく、紫外域における高感度となめらかな分光感度特性を特 長としています。 特長 用途 高い紫外感度 分光測光 従来品よりも紫外域で高感度 紫外域におけるなめらかな分光感度特性 画素ごとに蓄積時間を変更可能 広い受光面 画素ピッチ: 50 μm, 25 μm 画素高さ: 2.5 mm, 0.5 mm 大飽和電荷量 構成 型名 画素数 S10121-128Q-01 S10121-256Q-01 S10121-512Q-01 S10122-128Q-01 S10122-256Q-01 S10122-512Q-01 S10123-256Q-01 S10123-512Q-01 S10123-1024Q-01 S10124-256Q-01 S10124-512Q-01 S10124-1024Q-01 128 256 512 128 256 512 256 512 1024 256 512 1024 画素ピッチ (μm) 画素高さ (mm) パッケージ 窓材 *1 *2 質量 (g) 3.0 2.5 3.5 50 3.0 0.5 セラミック 0.5 石英 (t=0.5 mm) 3.5 3.0 3.5 25 2.5 3.0 3.5 *1: 樹脂封止 *2: 屈折率=1.46 浜松ホトニクス株式会社 1 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ 絶対最大定格 項目 電源電圧 クロックパルス電圧 スタートパルス電圧 蓄積時間可変パルス オーバーフローゲート電圧 オーバーフロードレイン電圧 動作温度 *3 保存温度 *3 記号 Vdd V(CLK) V(ST) V(INT) Vofg Vofd Topr Tstg 条件 Ta=25 °C Ta=25 °C Ta=25 °C Ta=25 °C Ta=25 °C Ta=25 °C 定格値 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -0.3 ～ +6 -5 ～ +65 -10 ～ +85 単位 V V V V V V °C °C *3: 結露なきこと 注 ) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。 推奨端子電圧 (Ta=25 °C) 項目 記号 Vdd 電源電圧 クロックパルス電圧 スタートパルス電圧 蓄積時間可変パルス電圧 オーバーフロードレイン電圧 オーバーフローゲート電圧 Highレベル Lowレベル Highレベル Lowレベル Highレベル Lowレベル V(CLK) V(ST) V(INT) Vofd Vofg Min. 4.75 Vdd - 0.25 0 Vdd - 0.25 0 Vdd - 0.25 0 0.5 0.17 Typ. 5 Vdd Vdd Vdd 2 0.2 Max. 5.25 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 Vdd + 0.25 0.4 2.5 0.23 単位 V V V V V V 2 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ 電気的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, Vb=Vofd=2 V, Vofg=0.2 V] 項目 クロックパルス S10121/S10124シリーズ 周波数 S10122/S10123シリーズ データレート S10121-128Q-01 S10121-256Q-01 S10121-512Q-01 S10122-128Q-01 S10122-256Q-01 S10122-512Q-01 4 消費電力* S10123-256Q-01 S10123-512Q-01 S10123-1024Q-01 S10124-256Q-01 S10124-512Q-01 S10124-1024Q-01 S10121-128Q-01 S10122-128Q-01 S10121-256Q-01 S10122-256Q-01 S10121-512Q-01 ビデオライン容量 S10122-512Q-01 (Vb=2 V)*5 S10123-256Q-01 S10124-256Q-01 S10123-512Q-01 S10124-512Q-01 S10123-1024Q-01 S10124-1024Q-01 記号 f(CLK) DR P Min. 10 k 10 k - Typ. f(CLK) 0.75 1.75 4.25 1.5 3.5 8.25 3.25 7.25 18.25 1.75 3.75 8.25 Max. 250 k 500 k - - 10 - - 14 - - 22 - - 13 - - 19 - - 32 - Cv 単位 Hz Hz mW pF *4: f(CLK)=250 kHz (S10121/S10124シリーズ), 500 kHz (S10122/S10123シリーズ) *5: Vbは電流積分方式の読み出し回路におけるチャージアンプの非反転入力端子の電圧 [読み出し回路例 (P.8)を参照] 電気的および光学的特性 [Ta=25 °C, Vdd=5 V, Vb=Vofd=2 V, Vofg=0.2 V, f(CLK)=200 kHz] 項目 感度波長範囲 最大感度波長 暗電流 飽和出力電荷量 飽和露光量*6 感度不均一性*6 *7 *8 S10121 シリーズ S10122 シリーズ S10123 シリーズ S10124 シリーズ S10121 シリーズ S10122 シリーズ S10123 シリーズ S10124 シリーズ 記号 λ λp ID Qsat Esat PRNU Min. 110 22 11 55 - Typ. 200 ～ 1000 750 0.1 0.02 0.02 0.1 165 32 14 75 580 - Max. 0.6 0.12 0.12 0.6 ±3 単位 nm nm pA pC mlx･s % *6: 2856K、タングステンランプ *7: 感度不均一性は、飽和の50%の露光量の均一光を当てた場合に次のように定義します。 PRNU= ∆X/X × 100 (%) X: 全画素の出力の平均, ∆X: 最大または最小出力とXとの差 *8: スタート画素と最終画素を除く 3 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ 分光感度特性 (代表例) 紫外域の分光感度特性 (代表例) (Ta=25 °C) 0.4 (Ta=25 °C) 0.12 S10121ȡS10124ΏςȜΒ (-01)ġ 0.10 ۜഽ (A/W) ۜഽ (A/W) 0.3 0.2 0.08 0.06 0.04 ਲြ 0.1 0.02 0 200 400 600 800 1000 0 200 1200 ෨ಿ (nm) 220 240 260 280 ෨ಿ (nm) KMPDB0442JA 紫外域の感度バラツキ (代表例) ۜഽ (A/W) KMPDB0443JA ブロック図 (Ta=25 °C) 0.12 0.10 300 CLK Typ. ୋ1 ୋ2 ୋ3 ST ΏέΠτΐΑΗ EOS INT ͺΡτΑΑͼΛΙͺτͼ 0.08 Active Video Dummy Video Vdd 0.06 GND Vofd Vofg 0.04 έΠΘͼȜΡͺτͼ ȜΨȜέυȜΡτͼϋ KMPDC0232JC 0.02 0 200 220 240 260 280 300 ෨ಿ (nm) KMPDB0444JA 紫外域の受光感度は製品によってバラツキがあります。 4 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ 等価回路 ST D Q D Q D Q D Q C Q C Q C Q C Q EOS CLK INT Active Video 1ْள࿒ 2ْள࿒ डਞْள Dummy Video KMPDC0279JB 5 CMOSリニアイメージセンサ S10121～S10124シリーズ (-01) 1画素の出力波形 (S10124-1024Q-01) f(CLK)=250 kHz, Cf=15 pF, G=1 CLK 5 V/div. GND 4.7 V (გႁഩكၾ=70 pC) Video 1 V/div. 1 μs/div. GND f(CLK)=10 kHz, Cf=15 pF, G=1 CLK 5 V/div. GND 4.7 V (გႁഩكၾ=70 pC) Video 1 V/div. 20 μs/div. GND 6 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ タイミングチャート CLK tpi(ST), ಇୟশۼ ST INT Active Video (ခ࢘)ۼܢ EOS ڐఱ डਞْள 1st 2nd 3rd 4th tf(CLK) 1st 2nd 3rd 4th tr(CLK) CLK 1/f(CLK) tr(ST) ST t(ST-CLK) tf(ST) t(CLK-ST) t(INT-CLK) t(CLK-INT) ْளͬඋ͙̯̞̈́ાࣣ͉INTͬHigh̳ͥͅ INT tr(INT) Active Video (ခ࢘)ۼܢ 1st 2nd tf(INT) 3rd 4th 5th SȚHigh͈ۼܢಎͅCLKͬ1ഽ̺̫High̥ͣLowͅၛ̻̞̯̺̩̬̀ئȃ ಇୟশ͉ۼΑΗȜΠΩσΑ̳ͤ͘͘ࠨ́ڞۼȃ Dummy Videoႁ̥͉ͣΑͼΛΙϋΈΦͼΒ଼͈͙̦ႁ̯̳ͦ͘ȃ ഩၠୟ༷͈ાࣣ͉ͅDummy Videoႁ͉ঀဥ̵̱ͭ͘ȃ INT͉EOS͂ষ͈ST͈ၛ̻ષ̦͈͉ͤ́ۼຈါ̵̜ͤͭ͘ȃ KMPDC0249JD 項目 記号 * S1012 -128Q-01 S1012*-256Q-01 スタートパルス (ST) 周期 tpi(ST) S1012*-512Q-01 S1012*-1024Q-01 INT パルス上昇／下降時間 tr(INT), tf(INT) INT パルス－クロックパルスタイミング t(INT-CLK) クロックパルス－ INT パルスタイミング t(CLK-INT) スタートパルス上昇／下降時間 tf(ST), tr(ST) クロックパルスデューティ比 クロックパルス上昇／下降時間 tf(CLK), tr(CLK) クロックパルス－スタートパルスタイミング t(CLK-ST) スタートパルス－クロックパルスタイミング T(ST-CLK) Min. 130/f(CLK) 258/f(CLK) 514/f(CLK) 1026/f(CLK) 0 30 30 0 40 0 20 20 Typ. 20 20 50 20 - Max. 30 1 / [2 × f(CLK)] 1 / [2 × f(CLK)] 30 60 30 - 単位 s ns ns ns ns % ns ns ns 7 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ 電流積分方式の読み出し回路例とタイミングチャート例 読み出し回路例 CLK ST MST INT PLD MCLK Reset Clamp Trigger SD210DE Reset S10121ȡS10124ΏςȜΒ CLK CLK ST ST INT INT Vofg Vofg Vofd Vofd Vdd EOS 22 kΩ 5V EOS 3.9 kΩ 1.5 kΩ 3 kΩ 3.3 kΩ 20 pF Data Video 0.22 μF Active Video OPA606 OPA606 GND OPA606 Clamp SD210DE 5V 0.1 μF &10 μF Vb (=Vofd)* * Vb͉ͅȂVofd͂൳̲ഩգͬවႁ̱̩̺̯̞̀ȃ KMPDC0562JA タイミングチャート例 MST MCLK ST CLK INT Reset Clamp Trigger Data Video EOS KMPDC0386JB 8 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ 蓄積時間の可変機能 INT端子のクロックの制御によって、蓄積時間を画素ごとに「読み出し1周期の整数倍」に変えることができます。特定画素の読み出 しタイミングにおいて、INT端子のクロックをHighにすると、その画素の信号は出力されません (以下の図参照)。その画素において、 信号が出力されない場合、蓄積が継続することになります。この機能によって、たとえば読み出し1周期の蓄積時間が100 msの場合、 3周期に1回だけ信号が出力されるように設定した画素の蓄積時間は300 msになります。特定の画素の蓄積時間を長くすることによっ て、分光された微弱な波長成分の信号を効率的に検出することができます。 タイミングチャート (蓄積時間の可変機能を使用し、1 ch目の蓄積時間を基準として、2 ch・3 ch・4 ch目の蓄積時間をそれぞれ2倍・3倍・4倍 に設定する場合の概念図) CLK ST උ͙̱ ΗͼηϋΈ 1 2 3 4 1 2 3 4 1 2 3 4 1 2 3 4 1 2 3 4 INT 1 chಇୟশۼ 2 chಇୟশۼ 3 chಇୟশۼ 4 chಇୟশۼ ႁ ྫ࢘ΟȜΗ ခ࢘ΟȜΗ KMPDC0233JC 9 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ 外形寸法図 (単位: mm) S10121-128Q-01, S10124-256Q-01 ໐ 6.4 × 2.5 1.3 ± 0.2*1 3.2 ± 0.3 12 ࿂ 10.16 ± 0.25 22 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 1 31.75 ± 0.3 11 0.5 ± 0.05*3 3.0 ± 0.3 औ༷࢜ 5.2 ± 0.2 10.4 ± 0.25 1 ch 0.25 1.4 ± 0.2*2 5.0 ± 0.5 0.51 ± 0.05 2.54 ± 0.13 ခْ࢘ள͈ڙഽୈഽĻ ±2° ςȜΡੜၑĻ Ni/AuιΛ΅ ςȜΡऺৗĻ FeNiࣣ߄ *1: םௗ͈ນ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *2: ΩΛΉȜΐೲ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *3: ௗ͈࢚̯ 25.4 ± 0.13 KMPDA0060JG S10121-256Q-01, S10124-512Q-01 ໐ 12.8 × 2.5 1.3 ± 0.2*1 6.4 ± 0.3 ࿂ 12 10.16 ± 0.25 22 1 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 11 31.75 ± 0.3 5.2 ± 0.2 10.4 ± 0.25 1 ch 0.25 1.4 ± 0.2*2 0.5 ± 0.05*3 3.0 ± 0.3 औ༷࢜ 5.0 ± 0.5 0.51 ± 0.05 2.54 ± 0.13 ခْ࢘ள͈ڙഽୈഽĻ ±2° ςȜΡੜၑĻ Ni/AuιΛ΅ ςȜΡऺৗĻ FeNiࣣ߄ *1: םௗ͈ນ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *2: ΩΛΉȜΐೲ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *3: ௗ͈࢚̯ 25.4 ± 0.13 KMPDA0061JG 10 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ S10121-512Q-01, S10124-1024Q-01 ໐ 25.6 × 2.5 1.4 ± 0.2*2 12 ࿂ 10.4 ± 0.25 10.16 ± 0.25 22 1 ch 0.25 1.3 ± 0.2*1 12.8 ± 0.3 11 5.2 ± 0.2 1 40.6 ± 0.3 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 0.5 ± 0.05*3 3.0 ± 0.3 औ༷࢜ 5.0 ± 0.5 0.51 ± 0.05 2.54 ± 0.13 ခْ࢘ள͈ڙഽୈഽĻ ±2° ςȜΡੜၑĻ Ni/AuιΛ΅ ςȜΡऺৗĻ FeNiࣣ߄ *1: םௗ͈ນ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *2: ΩΛΉȜΐೲ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *3: ௗ͈࢚̯ 25.4 ± 0.13 KMPDA0062JG S10122-128Q-01, S10123-256Q-01 ໐ 6.4 × 0.5 1.3 ± 0.2*1 3.2 ± 0.3 12 ࿂ 10.16 ± 0.25 22 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 1 31.75 ± 0.3 0.5 ± 0.05*3 3.0 ± 0.3 औ༷࢜ 11 5.2 ± 0.2 10.4 ± 0.25 1 ch 0.25 1.4 ± 0.2*2 5.0 ± 0.5 0.51 ± 0.05 2.54 ± 0.13 ခْ࢘ள͈ڙഽୈഽĻ ±2° ςȜΡੜၑĻ Ni/AuιΛ΅ ςȜΡऺৗĻ FeNiࣣ߄ *1: םௗ͈ນ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *2: ΩΛΉȜΐೲ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *3: ௗ͈࢚̯ 25.4 ± 0.13 KMPDA0215JG 11 S10121～S10124シリーズ (-01) CMOSリニアイメージセンサ S10122-256Q-01, S10123-512Q-01 ໐ 12.8 × 0.5 12 ࿂ 10.16 ± 0.25 22 0.25 1.3 ± 0.2*1 6.4 ± 0.3 10.4 ± 0.25 1 ch 1.4 ± 0.2*2 11 5.2 ± 0.2 1 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 31.75 ± 0.3 0.5 ± 0.05*3 3.0 ± 0.3 औ༷࢜ ခْ࢘ள͈ڙഽୈഽĻ ±2° ςȜΡੜၑĻ Ni/AuιΛ΅ ςȜΡऺৗĻ FeNiࣣ߄ *1: םௗ͈ນ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *2: ΩΛΉȜΐೲ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *3: ௗ͈࢚̯ 5.0 ± 0.5 0.51 ± 0.05 2.54 ± 0.13 25.4 ± 0.13 KMPDA0216JG S10122-512Q-01, S10123-1024Q-01 ໐ 25.6 × 0.5 12 ࿂ 10.16 ± 0.25 22 0.25 1.3 ± 0.2*1 12.8 ± 0.3 10.4 ± 0.25 1 ch 1.4 ± 0.2*2 11 5.2 ± 0.2 1 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· 40.6 ± 0.3 0.5 ± 0.05*3 3.0 ± 0.3 औ༷࢜ 5.0 ± 0.5 0.51 ± 0.05 2.54 ± 0.13 ခْ࢘ள͈ڙഽୈഽĻ ±2° ςȜΡੜၑĻ Ni/AuιΛ΅ ςȜΡऺৗĻ FeNiࣣ߄ *1: םௗ͈ນ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *2: ΩΛΉȜΐೲ࿂̥ͣ࿂͈́͘ݻၗ *3: ௗ͈࢚̯ 25.4 ± 0.13 KMPDA0217JG 12 CMOSリニアイメージセンサ S10121～S10124シリーズ (-01) ピン接続 ͼϋΟΛ·ΑζȜ· ST 1 22 CLK INT 2 21 NC Vofg 3 20 NC Vdd 4 19 NC GND 5 18 NC GND 6 17 NC Vdd 7 16 NC Vofd 8 15 NC Active Video 9 14 NC Dummy Video 10 13 NC GND 11 12 EOS KMPDC0230JC ピン No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 記号 ST INT Vofg Vdd GND GND Vdd Vofd Active Video Dummy Video GND EOS NC NC NC NC NC NC NC NC NC CLK ピン名称 スタートパルス 蓄積時間可変パルス オーバーフローゲート電圧 電源電圧 グランド グランド 電源電圧 オーバーフロードレイン電圧 ビデオ出力 ダミービデオ出力 グランド エンドオブスキャン 入出力 入力 入力 入力 入力 入力 入力 入力 入力 出力 出力 入力 出力 無接続 クロックパルス 入力 使用上の注意 (1) 静電気対策 本製品は静電気に対する保護回路を内蔵していますが、静電気による破壊を未然に防ぐために、作業者・作業台・作業工具の接地 などの静電気対策を実施してください。 また、周辺機器からのサージ電圧を防ぐようにしてください。 (2) 入射窓 入射窓ガラスの表面にゴミや汚れが付着すると画像に黒キズとして現れます。ゴミや汚れを拭き取る場合、乾いた布や綿棒などで こすると静電気発生の原因となります。アルコール類を少量含ませた柔らかい布・紙・綿棒などでゴミや汚れを拭き取り、シミが 残らないように圧搾気体を吹き付けてください。 (3) はんだ付け はんだ付けによる損傷を避けるため、はんだ温度、はんだ付け時間に十分注意してください。 はんだ付け作業は、はんだ温度260 °C以下、5秒以内で行ってください。 (4) 動作／保存環境 定格温度内にて取り扱いください。 過度の高温高湿条件下においては、特性に変化を生じることがあります。 (5) 紫外線照射 本製品は紫外線照射による特性劣化を抑えるように設計されていますが、不必要な照射は避けてください。 また、ガラスの接着部分には紫外線が当たらないようにしてください。 13 CMOSリニアイメージセンサ S10121～S10124シリーズ (-01) 関連情報 www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・ 製品に関する注意事項とお願い ・ イメージセンサ／使用上の注意 技術情報 ・ イメージセンサ／用語の説明 本資料の記載内容は、平成27年10月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııijIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊಎ؇ĴĮijĮIJġĩဩίρΎIJIJٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪĶĮIJijĮIJıġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ Cat. No. KMPD1162J02 Oct. 2015 DN 14